液態(tài)的膜材料的吐出裝置的制造方法
【專利說明】液態(tài)的膜材料的吐出裝置
[0001]本申請(qǐng)主張基于2014年3月11日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)第2014-047141號(hào)的優(yōu)先權(quán)。該日本申請(qǐng)的全部內(nèi)容通過參考援用于本說明書中。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及一種將液態(tài)的膜材料從噴嘴孔吐出的吐出裝置。
【背景技術(shù)】
[0003]已知有從噴嘴頭吐出膜材料的液滴，從而在基板表面形成具有規(guī)定的圖案的膜的技術(shù)(例如專利文獻(xiàn)I)。應(yīng)形成膜的基板例如為印刷基板、厚銅基板等。在印刷基板上形成的膜例如為阻焊膜，在厚銅基板上形成的膜例如為配置在厚銅圖案之間的絕緣膜。
[0004]液態(tài)的膜材料通過材料供給用配管從循環(huán)裝置供給至噴嘴頭，多余的膜材料通過材料回收用配管回收到循環(huán)裝置中。為了從噴嘴頭穩(wěn)定地吐出液滴，優(yōu)選加熱膜材料來使膜材料的粘度降低。下述的專利文獻(xiàn)2中公開有通過加熱從儲(chǔ)存膜材料的罐體至噴嘴頭的配管，從而防止膜材料的粘度降低的基板制造裝置。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2004-104104號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:國際公開第2013/015093號(hào)
[0007]即使利用從罐體至噴嘴頭的配管加熱液態(tài)的膜材料，若膜材料長時(shí)間停留在噴嘴頭，則也會(huì)造成膜材料的溫度降低。為了縮短在噴嘴頭內(nèi)的停留時(shí)間，優(yōu)選使膜材料的流量增多。但是，若流量增多，則在配管內(nèi)的流速變快，膜材料在配管內(nèi)被加熱的時(shí)間縮短。為了確保充分的加熱時(shí)間需要加長配管。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種無需加長配管就能夠充分加熱膜材料的吐出裝置。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一種觀點(diǎn)，提供一種吐出裝置，其具有:
[0010]第I罐，構(gòu)成為若液面超出一定高度，則使內(nèi)部的液態(tài)的膜材料溢出；
[0011]加熱器，配置在所述第I罐中，通過所述第I罐的側(cè)面和所述加熱器劃定加熱流路；
[0012]第I路徑，從所述加熱流路的下端向所述加熱流路供給液態(tài)的膜材料；
[0013]噴嘴頭，設(shè)有吐出液態(tài)的所述膜材料的多個(gè)噴嘴孔；及
[0014]第2路徑，將從所述第I罐溢出的所述膜材料輸送至所述噴嘴頭。
[0015]通過在第I罐內(nèi)配置加熱器而劃定加熱流路，能夠在第I罐內(nèi)加熱膜材料。因此，無需加長配管就能夠進(jìn)行充分加熱。
【附圖說明】
[0016]圖1是實(shí)施例的吐出裝置的示意圖。
[0017]圖2是實(shí)施例的吐出裝置的膜材料的循環(huán)路徑的示意圖。
[0018]圖3是供給罐的俯視剖視圖。
[0019]圖4是圖3的單點(diǎn)劃線4-4處的剖視圖。
[0020]圖5是圖3的單點(diǎn)劃線5-5處的剖視圖。
[0021]圖6是另一實(shí)施例的吐出裝置的膜材料的循環(huán)路徑的示意圖。
[0022]圖7是又一實(shí)施例的吐出裝置的膜材料的循環(huán)路徑的示意圖。
[0023]圖中:10-基臺(tái)，11-移動(dòng)機(jī)構(gòu)，13-載物臺(tái)，15-基板，16-控制裝置，20-噴嘴頭，21-支承板，22-噴嘴孔，23-第I路徑，24-第2路徑，25-第3路徑，26-回流泵，27-溢流泵，28-隔熱罩，29-噴出口，30-供給罐，31-第I罐，32-第2罐，33-第3罐，34-加熱器，35-空氣閥，36-加熱流路，37-傳熱塊，37A-中心部件，37B-散熱片，38-發(fā)熱體，40-回收側(cè)緩沖罐，42-補(bǔ)給罐，43-三通閥，50-外側(cè)容器，51-中間容器，52-內(nèi)側(cè)容器，53-蓋，55-管路部件，57-排出口，58-流入口，59-排出口，60-輸入口，70-第I壓力傳感器，71-第2壓力傳感器，72-供給泵，73-供給側(cè)緩沖罐，75-控制裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0024]圖1中示出實(shí)施例的吐出裝置的示意圖。在基臺(tái)10上通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)11支承有載物臺(tái)13。定義將xy面設(shè)為水平面，并將鉛直上方設(shè)為z軸的正方向的xyz直角坐標(biāo)系。載物臺(tái)13能夠沿X方向及I方向移動(dòng)。在載物臺(tái)13上保持作為膜的形成對(duì)象物的基板15。基板15例如為阻焊膜的形成對(duì)象的印刷基板、成為用于形成厚銅基板的基底的支承基板等?；?5吸附在載物臺(tái)13上。
[0025]噴嘴頭20通過支承板21支承在載物臺(tái)13的上方。噴嘴頭20將液態(tài)的膜材料液滴化后向保持在載物臺(tái)13上的基板15吐出。膜材料例如使用光固化性的樹脂。圖1中雖未示出，但支承板21上安裝有用于使膜材料固化的固化用光源。當(dāng)膜材料使用紫外線固化性的樹脂時(shí)，固化用光源向基板15放射紫外光。
[0026]控制裝置16存儲(chǔ)定義應(yīng)形成膜的圖案的圖像數(shù)據(jù)。控制裝置16根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)控制基于移動(dòng)機(jī)構(gòu)11的基板15的移動(dòng)、及來自噴嘴頭20的膜材料的吐出時(shí)刻。由此，在基板15上形成具有以圖像數(shù)據(jù)定義的圖案的膜。
[0027]形成經(jīng)由第I路徑23、供給罐30、第2路徑24、噴嘴頭20、第3路徑25及回收側(cè)緩沖罐40而返回至第I路徑23的循環(huán)路徑。液態(tài)的膜材料通過第I路徑23供給至供給罐30。
[0028]供給罐30包括第I罐31、第2罐32及第3罐33。供給至供給罐30的膜材料從第I罐31的下端導(dǎo)入至第I罐31內(nèi)。在第I罐31內(nèi)，膜材料在向上方輸送的期間被加熱。從第I罐31溢出的膜材料流入第2罐32。第2罐32內(nèi)的膜材料通過第2路徑24供給至噴嘴頭20。從第2罐32溢出的膜材料流入第3罐33。
[0029]在供給罐30安裝有空氣閥35。若打開空氣閥35，則供給罐30內(nèi)部成為大氣壓狀態(tài)。若關(guān)閉空氣閥35，則供給罐30內(nèi)部成為密閉狀態(tài)。由此，能夠?qū)┙o罐30內(nèi)部進(jìn)行加減壓。
[0030]未從噴嘴頭20吐出的膜材料通過第3路徑25回收至回收側(cè)緩沖罐40。第I路徑23使回收側(cè)緩沖罐40內(nèi)的膜材料返回至供給罐30。在第I路徑23上，從回收側(cè)緩沖罐40朝向供給罐30依次插入有回流泵26、第3罐33及溢流泵27。回收側(cè)緩沖罐40劃定容納膜材料的密閉空間，從而在密閉空間內(nèi)暫時(shí)儲(chǔ)存膜材料。由此，回收側(cè)緩沖罐40防止由回流泵26引起的脈動(dòng)傳遞至噴嘴頭20。
[0031]從補(bǔ)給罐42經(jīng)由三通閥43向第I路徑23補(bǔ)給膜材料。三通閥43通常切斷從補(bǔ)給罐42向第I路徑23補(bǔ)給膜材料的路徑。在補(bǔ)給膜材料時(shí)，打開從補(bǔ)給罐42向第I路徑23補(bǔ)給膜材料的路徑。
[0032]圖2中示出膜材料的循環(huán)路徑的示意圖。通過第I路徑23供給至供給罐30的膜材料通過供給罐30內(nèi)的第I路經(jīng)23輸送至供給罐30的底部后，從第I罐31的下端導(dǎo)入至第I罐31內(nèi)。在第I罐31內(nèi)容納有加熱器34。在第I罐31的側(cè)面與加熱器34之間劃定有加熱流路36。若第I罐31內(nèi)的膜材料的液面超出一定高度，則膜材料從第I罐31溢出。
[0033]導(dǎo)入至第I罐31內(nèi)的膜材料從下方向上方流過加熱流路36期間，被加熱器34加熱。被加熱后，從第I罐31溢出的膜材料流入第2罐32。
[0034]在第2罐32的底面連接有第2路徑24的上游端。第2罐32內(nèi)的膜材料通過第2路徑24供給至噴嘴頭20。第2路徑24被隔熱罩28覆蓋。因此，能夠抑制膜材料從第2罐32輸送至噴嘴頭20期間溫度下降。另外，除了隔熱罩28之外，或代替隔熱罩28，也可以配置加熱器。
[0035]若第2罐32內(nèi)的膜材料的液面超出一定高度(流出高度)，則膜材料從第2罐32溢出。從第2罐32溢出的膜材料流入第3罐33。
[0036]在供給罐30的上表面安裝有空氣閥35。在打開空氣閥35的狀態(tài)下，第I罐31、第2罐32及第3罐33內(nèi)的膜材料的液面上施加有大氣壓力。若關(guān)閉空氣閥35，則供給罐30內(nèi)部成為密閉狀態(tài)。因此，供給罐30的內(nèi)壓根據(jù)溢流泵27與回流泵26的流量而變。本實(shí)施例中，空氣閥35處于打開狀態(tài)，第I罐31、第2罐32及第3罐33內(nèi)的膜材料的液面上施加有大氣壓力。
[0037]在噴嘴頭20的底面設(shè)有多個(gè)噴嘴孔22。膜材料被液滴化后從噴嘴孔22吐出。
[0038]控制溢流泵27及回流泵26的流量，以使從第I路徑23供給至第I罐31的膜材料的流量大于從第2罐32供給至噴嘴頭20的膜材料的流量。因此，膜材料始終從第2罐32溢出到第3罐33，第2罐32內(nèi)的膜材料的液面的高度維持恒定。由于第2罐32內(nèi)的膜材料的液面上施加有大氣壓力，因此在噴嘴孔22的位置施加有依賴于從噴嘴孔22至第2罐32內(nèi)的膜材料的液面的高低差h的水頭壓力。通過調(diào)節(jié)高低差h，能夠調(diào)節(jié)噴嘴孔22的位置處的膜材料的壓力。
[0039]圖3中示出供給罐30的俯視剖視圖。外側(cè)容器50內(nèi)容納有中間容器51，中間容器51內(nèi)容納有內(nèi)側(cè)容器52。外側(cè)容器50的內(nèi)側(cè)表面與中間容器51的外側(cè)表面之間確保有空間。該空間相當(dāng)于第3罐33。中間容器51的側(cè)面的內(nèi)側(cè)表面與內(nèi)側(cè)容器52的側(cè)面的外側(cè)表面之間確保有空間。該空間相當(dāng)于第2罐32。內(nèi)側(cè)容器52內(nèi)的空間相當(dāng)于第I罐31(圖 2)。
[0040]內(nèi)側(cè)容器52內(nèi)容納有加熱器34及管路部件55。管路部件55內(nèi)設(shè)有構(gòu)成第I路徑23 (圖2)的一部分的流路。加熱器34包括傳熱塊37及發(fā)熱體38。傳熱塊37包括中心部件37A、及從中心部件37A向側(cè)方延伸的多個(gè)散熱片37B。在中心部件37A上形成有多個(gè)發(fā)熱體容納部例如凹部，在該凹部分別插入有發(fā)熱體38。
[0041]散熱片37B的前端與內(nèi)側(cè)容器52的側(cè)面接觸。以彼此相鄰的散熱片37B、中心部件37A及內(nèi)側(cè)容器52的側(cè)面圍成的空間相當(dāng)于加熱流路36(圖2)。
[0042]圖4中示出圖3的單點(diǎn)劃線4-4處的剖視圖。外側(cè)容器50內(nèi)容納有中間容器51，中間容器51內(nèi)容納有內(nèi)側(cè)容器52。