本技術(shù)涉及多晶硅生產(chǎn)，尤其是涉及一種尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、多晶硅企業(yè)全廠尾氣大多數(shù)直接排放到尾氣洗滌塔進(jìn)行水解處理，尾氣洗滌塔底部水池存在很多白色水解物，頂部排放的尾氣排放量超標(biāo)，污染大氣；部分企業(yè)經(jīng)過工藝優(yōu)化后，增加壓縮機(jī)對(duì)全廠尾氣加壓冷凝后再進(jìn)尾氣洗滌塔進(jìn)行水解處理，這樣，尾氣洗滌塔底部水池中水解物相對(duì)較少，頂部尾氣排放量減少。

2、但是，目前增加壓縮機(jī)的方案仍存在一些技術(shù)問題：

3、1、全廠尾氣中一定量的氯硅烷氣體直接進(jìn)入尾氣洗滌塔水解（現(xiàn)有尾氣洗滌塔用水淋洗全廠尾氣），會(huì)造成氯硅烷浪費(fèi)（在尾氣洗滌塔底部水池存在很多白色水解物），尾氣淋洗系統(tǒng)負(fù)荷大（需處理的氣體多），尾氣處理成本高，頂部排放的尾氣超標(biāo)，空氣污染嚴(yán)重。

4、2、由于全廠尾氣中含二氧化硅及硅粉等固體雜質(zhì)，因而經(jīng)常堵塞壓縮機(jī)進(jìn)口的過濾器，造成頻繁檢修，同時(shí)，也會(huì)造成壓縮機(jī)級(jí)間冷卻器堵塞，換熱效果不好，使得壓縮機(jī)（二級(jí)壓縮）二級(jí)進(jìn)氣溫度偏高，從而導(dǎo)致壓縮機(jī)二級(jí)排氣溫度高。

5、3、由于全廠尾氣中二氧化硅及硅粉等固體雜質(zhì)的存在，導(dǎo)致壓縮機(jī)出現(xiàn)磨損。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)上述情況，本實(shí)用新型提供一種尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，旨在解決上述背景技術(shù)中指出的技術(shù)問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、本實(shí)用新型提供一種尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，包括依次連接的尾氣預(yù)洗滌裝置和尾氣加壓深冷裝置；

4、尾氣預(yù)洗滌裝置用于對(duì)含塵尾氣除塵；

5、尾氣加壓深冷裝置包括依次連接的壓縮機(jī)、空冷器、尾氣冷凝液罐、第二換熱器和尾氣深冷器；

6、壓縮機(jī)的入口與尾氣預(yù)洗滌裝置的末端連接；

7、尾氣冷凝液罐的氣相出口的流股進(jìn)入第二換熱器后，得到第一冷凝流股和第一氣相流股；

8、第一冷凝流股返回至尾氣冷凝液罐中；

9、第一氣相流股進(jìn)入尾氣深冷器中，得到第二冷凝流股和第二氣相流股；

10、第二冷凝流股返回至尾氣冷凝液罐中；

11、第二氣相流股流經(jīng)第二換熱器后，進(jìn)入后端的尾氣淋洗系統(tǒng)。

12、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，尾氣加壓深冷裝置還包括循環(huán)水冷卻器，空冷器、循環(huán)水冷卻器和尾氣冷凝液罐依次連接。

13、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，尾氣預(yù)洗滌裝置包括：

14、過濾器，用于分離含塵尾氣中的氣相和固相；

15、尾氣預(yù)洗塔，具有待洗氣入口、淋洗液入口、預(yù)洗塔氣相出口和預(yù)洗塔液相出口；

16、待洗氣入口與過濾器氣相出口連接；

17、淋洗液入口位于待洗氣入口的上方；

18、其中，淋洗液入口用于向尾氣預(yù)洗塔導(dǎo)入四氯化硅；預(yù)洗塔氣相出口的流股流向壓縮機(jī)。

19、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，尾氣預(yù)洗滌裝置還包括換熱器；預(yù)洗塔氣相出口的流股和過濾器氣相出口的流股在換熱器中熱交換。

20、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，尾氣預(yù)洗滌裝置還包括氯硅烷循環(huán)泵和氯硅烷深冷器；預(yù)洗塔液相出口的流股通過氯硅烷循環(huán)泵的輸送先經(jīng)過氯硅烷深冷器，再進(jìn)入尾氣預(yù)洗塔的上部。

21、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，氯硅烷循環(huán)泵采用渣漿泵。

22、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，尾氣預(yù)洗滌裝置還包括粉塵收集罐，粉塵收集罐的入口與過濾器固相出口連接。

23、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，粉塵收集罐的頂部與待洗氣入口連接。

24、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，尾氣預(yù)洗滌裝置還包括無(wú)塵尾氣輸入管，無(wú)塵尾氣輸入管中的流股與過濾器氣相出口的流股匯合后，一起進(jìn)入尾氣預(yù)洗塔。

25、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，無(wú)塵尾氣輸入管的路徑上設(shè)置有尾氣緩沖罐。

26、本實(shí)用新型實(shí)施例至少具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果：

27、1、通過對(duì)含塵尾氣除塵解決了壓縮機(jī)的磨損和級(jí)間冷卻器堵塞問題。

28、2、在壓縮機(jī)的基礎(chǔ)上增設(shè)了空冷器、尾氣冷凝液罐、第二換熱器和尾氣深冷器，能夠回收氯硅烷，并能夠降低進(jìn)入后端尾氣淋洗系統(tǒng)的氣量，從而降低尾氣淋洗系統(tǒng)的負(fù)荷。

29、本實(shí)用新型的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說(shuō)明書中闡述，并且，部分地從說(shuō)明書中變得明顯，或者通過實(shí)施本實(shí)用新型而了解。

技術(shù)特征：

1.一種尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，包括依次連接的尾氣預(yù)洗滌裝置和尾氣加壓深冷裝置；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述尾氣加壓深冷裝置還包括循環(huán)水冷卻器，所述空冷器、所述循環(huán)水冷卻器和所述尾氣冷凝液罐依次連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述尾氣預(yù)洗滌裝置包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述尾氣預(yù)洗滌裝置還包括換熱器；所述預(yù)洗塔氣相出口的流股和過濾器氣相出口的流股在所述換熱器中熱交換。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述尾氣預(yù)洗滌裝置還包括氯硅烷循環(huán)泵和氯硅烷深冷器；所述預(yù)洗塔液相出口的流股通過所述氯硅烷循環(huán)泵的輸送先經(jīng)過所述氯硅烷深冷器，再進(jìn)入所述尾氣預(yù)洗塔的上部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述氯硅烷循環(huán)泵采用渣漿泵。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述尾氣預(yù)洗滌裝置還包括粉塵收集罐，所述粉塵收集罐的入口與過濾器固相出口連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述粉塵收集罐的頂部與所述待洗氣入口連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述尾氣預(yù)洗滌裝置還包括無(wú)塵尾氣輸入管，所述無(wú)塵尾氣輸入管中的流股與過濾器氣相出口的流股匯合后，一起進(jìn)入所述尾氣預(yù)洗塔。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，其特征在于，所述無(wú)塵尾氣輸入管的路徑上設(shè)置有尾氣緩沖罐。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種尾氣預(yù)洗滌加壓深冷系統(tǒng)，涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，其包括尾氣預(yù)洗滌裝置和尾氣加壓深冷裝置；尾氣預(yù)洗滌裝置用于對(duì)含塵尾氣除塵；尾氣加壓深冷裝置包括依次連接的壓縮機(jī)、空冷器、尾氣冷凝液罐、第二換熱器和尾氣深冷器；尾氣冷凝液罐的氣相出口的流股進(jìn)入第二換熱器后，得到第一冷凝流股和第一氣相流股；第一氣相流股進(jìn)入尾氣深冷器中，得到第二冷凝流股和第二氣相流股；第二氣相流股流經(jīng)第二換熱器后，進(jìn)入后端的尾氣淋洗系統(tǒng)。通過對(duì)含塵尾氣除塵解決了壓縮機(jī)的磨損和級(jí)間冷卻器堵塞問題。在壓縮機(jī)的基礎(chǔ)上增設(shè)了空冷器、尾氣冷凝液罐、第二換熱器和尾氣深冷器，能夠回收氯硅烷，并能夠降低尾氣淋洗系統(tǒng)的負(fù)荷。

技術(shù)研發(fā)人員：曹利利,王云鵬,官君,游書華,王琪淇,金國(guó)棟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：內(nèi)蒙古通威硅能源有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240416
技術(shù)公布日：2025/1/9