本技術(shù)涉及晶圓級鏡頭模組制備的，具體為一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著內(nèi)窺鏡技術(shù)的發(fā)展，越來越多的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)用到了晶圓級鏡頭與感光芯片的貼合工藝，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的多樣化對貼合工藝的需求越來越高。在晶圓級鏡頭實(shí)際的制備過程中，貼合完成后的產(chǎn)品仍然存在各種問題。

2、現(xiàn)有技術(shù)中晶圓級鏡頭與感光芯片貼合后存在的氣泡、傾斜以及未固化，導(dǎo)致晶圓級鏡頭模組的制備效率大大降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提供一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中晶圓級鏡頭與感光芯片貼合后存在的氣泡以及未固化的技術(shù)問題。

2、本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

3、本實(shí)用新型提供了一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，包括抽氣機(jī)構(gòu)、脫泡固化箱以及晶圓級鏡頭組件；所述晶圓級鏡頭組件放置在脫泡固化箱內(nèi)，所述脫泡固化箱內(nèi)設(shè)有固化組件，用于對晶圓級鏡頭組件進(jìn)行固化；所述脫泡固化箱設(shè)有真空口，所述抽氣機(jī)構(gòu)的輸入端連接真空口；所述晶圓級鏡頭組件內(nèi)設(shè)有貼合層。

4、優(yōu)選的，固化組件包括若干紫外固化燈和加熱組件；若干紫外固化燈在脫泡固化箱的內(nèi)壁環(huán)繞設(shè)置在晶圓級鏡頭組件四周，用于對晶圓級鏡頭進(jìn)行紫外固化；所述加熱組件在脫泡固化箱內(nèi)設(shè)置，用于對晶圓級鏡頭組件進(jìn)行熱固化。

5、進(jìn)一步的，加熱組件包括加熱風(fēng)扇、加熱絲和熱電偶，所述熱電偶與熱風(fēng)扇和加熱絲連接。

6、優(yōu)選的，脫泡固化箱內(nèi)設(shè)有隔板，所述晶圓級鏡頭組件水平放置在隔板上。

7、進(jìn)一步的，隔板在脫泡固化箱內(nèi)水平設(shè)置，且隔板的兩端分別固定在脫泡固化箱的兩側(cè)內(nèi)壁上。

8、進(jìn)一步的，隔板材質(zhì)采用玻璃材質(zhì)、亞克力材質(zhì)或透明陶瓷材質(zhì)中的任意一種。

9、優(yōu)選的，晶圓級鏡頭組件包括晶圓級鏡頭和芯片，所述晶圓級鏡頭通過膠水貼附在芯片上，所述貼合層為晶圓級鏡頭和芯片的接觸面。

10、優(yōu)選的，脫泡固化箱內(nèi)設(shè)有若干溫控器，用于監(jiān)測脫泡固化箱內(nèi)的溫度。

11、優(yōu)選的，抽氣機(jī)構(gòu)為真空泵，所述真空泵的輸入端連接至真空口。

12、進(jìn)一步的，真空泵的輸入端處設(shè)有截止閥。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益的技術(shù)效果：

14、本實(shí)用新型提供了一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，圓級鏡頭組件放置在脫泡固化箱內(nèi)，脫泡固化箱設(shè)有真空口，抽氣機(jī)構(gòu)的輸入端連接真空口，可將存在于晶圓級鏡頭組件的貼合層的貼合膠水中的氣泡進(jìn)行抽離，避免了存在氣泡問題。脫泡固化箱內(nèi)設(shè)有固化組件，可對貼合層的膠水進(jìn)行固化，提高了晶圓級鏡頭與感光芯片之間固化效率。

15、進(jìn)一步的，固化組件包括若干紫外固化燈和加熱組件，若干紫外固化燈在脫泡固化箱的內(nèi)壁環(huán)繞設(shè)置在晶圓級鏡頭組件四周，用于對晶圓級鏡頭進(jìn)行紫外固化，加熱組件在脫泡固化箱內(nèi)設(shè)置，用于對晶圓級鏡頭組件進(jìn)行熱固化，針對不同固化條件的膠水，可選用對應(yīng)的固化方式。紫外固化燈在真空腔體中的背面、側(cè)面、上下面均勻布置，避免了單一方向的照射導(dǎo)致固化光束被晶圓級鏡頭上的光學(xué)截止膜層所阻斷，確保了照射后的固化率，加熱組件在保證熱場均勻分布的前提下避免了劇烈溫度波動對晶圓級鏡頭帶來的熱應(yīng)力損傷。

16、進(jìn)一步的，加熱組件包括加熱風(fēng)扇、加熱絲和熱電偶，所述熱電偶與熱風(fēng)扇和加熱絲連接，通過熱電偶的反饋型號閉環(huán)控制加熱的整個過程，避免了劇烈溫度波動對晶圓級鏡頭帶來的熱應(yīng)力損傷。

17、進(jìn)一步的，脫泡固化箱內(nèi)設(shè)有隔板，所述晶圓級鏡頭組件水平放置在隔板上，隔板在脫泡固化箱內(nèi)水平設(shè)置，且隔板的兩端分別固定在脫泡固化箱的兩側(cè)內(nèi)壁上，在抽離完氣泡后，晶圓級鏡頭與感光芯片的貼合面將會自適應(yīng)的調(diào)整水平，避免了傾斜的問題。

技術(shù)特征：

1.一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，包括抽氣機(jī)構(gòu)、脫泡固化箱(11)以及晶圓級鏡頭組件；所述晶圓級鏡頭組件放置在脫泡固化箱(11)內(nèi)，所述脫泡固化箱(11)內(nèi)設(shè)有固化組件，用于對晶圓級鏡頭組件進(jìn)行固化；所述脫泡固化箱(11)設(shè)有真空口，所述抽氣機(jī)構(gòu)的輸入端連接真空口；所述晶圓級鏡頭組件內(nèi)設(shè)有貼合層(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述固化組件包括若干紫外固化燈(3)和加熱組件；若干紫外固化燈(3)在脫泡固化箱(11)的內(nèi)壁環(huán)繞設(shè)置在晶圓級鏡頭組件四周，用于對晶圓級鏡頭進(jìn)行紫外固化；所述加熱組件在脫泡固化箱(11)內(nèi)設(shè)置，用于對晶圓級鏡頭組件進(jìn)行熱固化。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述加熱組件包括加熱風(fēng)扇(5)、加熱絲(6)和熱電偶(7)，所述熱電偶(7)與熱風(fēng)扇(5)和加熱絲(6)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述脫泡固化箱(11)內(nèi)設(shè)有隔板(4)，所述晶圓級鏡頭組件水平放置在隔板(4)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述隔板(4)在脫泡固化箱(11)內(nèi)水平設(shè)置，且隔板(4)的兩端分別固定在脫泡固化箱(11)的兩側(cè)內(nèi)壁上。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述隔板(4)材質(zhì)采用玻璃材質(zhì)、亞克力材質(zhì)或透明陶瓷材質(zhì)中的任意一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述晶圓級鏡頭組件包括晶圓級鏡頭(9)和芯片(10)，所述晶圓級鏡頭(9)通過膠水貼附在芯片(10)上，所述貼合層為晶圓級鏡頭(9)和芯片(10)的接觸面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述脫泡固化箱(11)內(nèi)設(shè)有若干溫控器(12)，用于監(jiān)測脫泡固化箱(11)內(nèi)的溫度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述抽氣機(jī)構(gòu)為真空泵(1)，所述真空泵(1)的輸入端連接至真空口。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，其特征在于，所述真空泵(1)的輸入端處設(shè)有截止閥(2)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及晶圓級鏡頭模組制備的技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種適用于晶圓級鏡頭貼合后的脫泡固化裝置，圓級鏡頭組件放置在脫泡固化箱內(nèi)，脫泡固化箱設(shè)有真空口，抽氣機(jī)構(gòu)的輸入端連接真空口，可將存在于晶圓級鏡頭組件的貼合層的貼合膠水中的氣泡進(jìn)行抽離，避免了存在氣泡問題。脫泡固化箱內(nèi)設(shè)有固化組件，可對貼合層的膠水進(jìn)行固化，提高了晶圓級鏡頭與感光芯片之間固化效率。

技術(shù)研發(fā)人員：張哲,袁萬利,朱龍,安輝,龐軍星
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華天慧創(chuàng)科技（西安）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240415
技術(shù)公布日：2025/1/9