本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備，特別涉及一種旋涂自動(dòng)定量上液裝置。

背景技術(shù)：

1、旋涂是旋轉(zhuǎn)涂抹法的簡(jiǎn)稱，是有機(jī)發(fā)光二極管中常用的制備方法，主要有設(shè)備為勻膠機(jī)。旋涂法包括：配料，高速旋轉(zhuǎn)，揮發(fā)成膜三個(gè)步驟，通過(guò)控制勻膠的時(shí)間，轉(zhuǎn)速，滴液量以及所用溶液的濃度、粘度來(lái)控制成膜的厚度。

2、相關(guān)技術(shù)中，在試驗(yàn)加工給旋涂設(shè)備添加功能液時(shí)，采用注射器原理的移液頭，試驗(yàn)人員采用通過(guò)手動(dòng)形式，給旋涂設(shè)備的加工面抓添加功能液。

3、但是，試驗(yàn)時(shí)，通常需要加工一定數(shù)量的器件，增大樣本量，以根據(jù)大樣本器件的加工情況，判斷加工質(zhì)量。人工加液時(shí)，受到人工操縱一致性的影響，不僅每次加液量無(wú)法控制一致，而且每次加液的位置也難以保證，由于操作一致性的影響，導(dǎo)致試驗(yàn)后得知的加工效果情況的說(shuō)服力較差。另外，每次加液后，均需要替換針頭，以避免使用過(guò)的針頭中殘留的功能液對(duì)后續(xù)加液產(chǎn)生影響，而人工更換針頭后，再進(jìn)行取液和加液操作，加工效率極低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種旋涂自動(dòng)定量上液裝置，以解決相關(guān)技術(shù)中手動(dòng)每次加液的位置也難以保證，由于操作一致性的影響，導(dǎo)致試驗(yàn)后得知的加工效果情況的說(shuō)服力較差，人工更換針頭再加工，效率極低的技術(shù)問(wèn)題。

2、一種旋涂自動(dòng)定量上液裝置，用于給旋涂設(shè)備定量定點(diǎn)加液，所述旋涂設(shè)備的蓋體中心開(kāi)設(shè)有貫穿的加液孔，所述旋涂自動(dòng)定量上液裝置包括：

3、移液組件，所述移液組件包括移液頭和移液針管，移液針管可拆卸連接于所述移液頭；

4、移動(dòng)模組，所述移動(dòng)模組驅(qū)動(dòng)所述移液組件升降運(yùn)動(dòng)以及在水平面上轉(zhuǎn)動(dòng)，所述移液組件在水平面上轉(zhuǎn)動(dòng)以在上液工位、加液工位和收集工位切換，所述旋涂設(shè)備位于所述加液工位；

5、備料組件，所述備料組件包括備料架、備料驅(qū)動(dòng)模組和多個(gè)備用針管，所述備料驅(qū)動(dòng)模組帶動(dòng)所述備料架在送料方向上運(yùn)動(dòng)，多個(gè)所述備用針管均豎直穿設(shè)于所述備料架，且多個(gè)所述備用針管隨所述備料架運(yùn)動(dòng)依次經(jīng)過(guò)所述上液工位；

6、供液組件，所述供液組件包括液瓶，所述液瓶用于裝載功能液，所述液瓶位于所述上液工位，且所述液瓶位于處于所述上液工位的所述備用針管的正下方。

7、一些實(shí)施例中，所述移液頭包括：

8、主體部，所述主體部安裝于所述移動(dòng)模組的驅(qū)動(dòng)端；

9、管體，所述管體與所述主體部連接，所述移液針管套設(shè)于所述管體；

10、活塞桿，所述活塞桿穿設(shè)于所述管體；

11、移液驅(qū)動(dòng)件，所述移液驅(qū)動(dòng)件安裝于所述主體部?jī)?nèi)，所述移液驅(qū)動(dòng)件與所述活塞桿驅(qū)動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述活塞桿相對(duì)于所述管體升降；其中，

12、隨所述活塞桿上升，將所述液瓶?jī)?nèi)的功能液抽至所述移液針管和所述管體內(nèi)。

13、一些實(shí)施例中，所述移液針管和所述備用針管均包括：

14、第一沉孔段，所述管體插設(shè)至所述移液針管或所述備用針管的所述第一沉孔段內(nèi)，且所述管體的外側(cè)面貼合于所述第一沉孔段的孔壁；

15、第二通孔段，所述第二通孔段與所述第一沉孔段連通；其中，

16、所述活塞桿下降至抵緊所述第一沉孔段的孔底，并下推所述移液針管，以使所述移液針管脫離所述管體。

17、一些實(shí)施例中，多個(gè)所述備用針管均彈性升降設(shè)于所述備料架；

18、所述移液組件下降，所述管體插設(shè)至處于上液工位處的的備用針管內(nèi)，并下壓所述備用針管，使所述備用針管伸至所述液瓶?jī)?nèi)。

19、一些實(shí)施例中，所述備料組件還包括：

20、多個(gè)支撐套，多個(gè)所述支撐套沿所述送料方向排列，所述備用針管穿設(shè)于所述支撐套，所述備用針管的外側(cè)面設(shè)有臺(tái)階面，所述臺(tái)階面貼合于所述支撐套的頂面；

21、多個(gè)彈性件，多個(gè)所述彈性件分別對(duì)應(yīng)連接多個(gè)所述支撐套，所述彈性件的兩端分別與所述支撐套和所述備用架連接；其中，

22、隨所述管體下降，所述備用針管套設(shè)至所述管體，且所述管體帶動(dòng)所述備用針管下壓而使所述支撐套彈性下降。

23、一些實(shí)施例中，所述供液組件還包括：

24、供液板，所述液瓶可拆卸安裝于所述供液板；

25、供液驅(qū)動(dòng)件，所述供液驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述供液板在供液方向運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)所述供液板上的液瓶移動(dòng)至上液工位處。

26、一些實(shí)施例中，所述供液組件還包括鎖緊結(jié)構(gòu)，所述液瓶通過(guò)所述鎖緊結(jié)構(gòu)與所述供液板連接；所述鎖緊結(jié)構(gòu)包括：

27、定位板，所述定位板固定在所述供液板表面，且所述定位板的側(cè)面與所述液瓶的周向側(cè)面契合；

28、鎖緊直線模組，所述鎖緊直線模組安裝于所述供液板，且所述鎖緊直線模組的驅(qū)動(dòng)端抵緊所述液瓶，所述液瓶被夾持在所述定位板和所述鎖緊直線模組的驅(qū)動(dòng)端之間。

29、一些實(shí)施例中，所述移動(dòng)模組包括安裝座，所述安裝座為所述移動(dòng)模組的驅(qū)動(dòng)端，所述移液頭可拆卸安裝于所述安裝座；所述安裝座包括安裝槽，所述移液頭位于所述安裝槽內(nèi)，所述移液頭的側(cè)面通過(guò)多個(gè)螺栓抵緊以固定所述移液頭。

30、一些實(shí)施例中，該旋涂自動(dòng)定量上液裝置還包括收集容器，所述收集容器位于所述收集工位處，所述收集容器收集從所述移液頭上拆下的所述移液針管。

31、一些實(shí)施例中，該旋涂自動(dòng)定量上液裝置還包括加工腔室，所述移液組件、所述移動(dòng)模組、所述備料組件和所述供液組件均位于所述加工腔室內(nèi)。

32、本申請(qǐng)?zhí)峁┑募夹g(shù)方案帶來(lái)的有益效果包括：

33、本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種旋涂自動(dòng)定量上液裝置，通過(guò)移動(dòng)模組帶動(dòng)移液組件運(yùn)動(dòng)，以使移液組件可依次移動(dòng)至上液工位、加液工位和收集工位。其中，在上液工位處，備料組件將備用針管送至上液工位，移液頭也運(yùn)動(dòng)至上液工位，移液頭下降以安裝備用針管，此時(shí)備用針管安裝后為移液針管。移液針管安裝后，移液頭和移液針管繼續(xù)下降，移液針管伸至液瓶?jī)?nèi)而抽取功能液。因此移液頭下降以安裝針管并直接抽取功能液，功能液的抽取效率更高，無(wú)需多次移動(dòng)移液頭，減少了移液頭的定位步驟以及移動(dòng)次數(shù)。因此簡(jiǎn)化了工作步驟，提高了加液效率。

34、移液頭抽取功能液后，攜帶有功能液的移液頭移動(dòng)至加液工位，由于在加液工位處的移液頭的位置固定，每次加液時(shí)，移液頭的位置一致性更好。移液頭在加液工位處下降而從加液孔伸至旋涂設(shè)備內(nèi)，并進(jìn)行加液。由于通過(guò)移動(dòng)模組自動(dòng)帶動(dòng)移液頭運(yùn)動(dòng)，因而移液頭每次移動(dòng)至加液工位處的位置一致，高度也一致，即保證了每次加液的位置和加液高度一致性，確保每次加液的操作一致性，提高旋涂加工試驗(yàn)結(jié)果的信服力。

35、最后，移液頭移動(dòng)至收集工位處，將使用過(guò)的移料針管拆下，以方便后續(xù)安裝下一備用針管至移液頭，便于下一器件的加工。

36、另外，由于移液頭被帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)而切換工位，移液頭連續(xù)依次經(jīng)過(guò)上液工位、加液工位和收集工位，并從收集工位再次移動(dòng)至上液工位，工位切換更流暢，加工節(jié)拍更優(yōu)，提高了加工效率。

技術(shù)特征：

1.一種旋涂自動(dòng)定量上液裝置，用于給旋涂設(shè)備定量定點(diǎn)加液，所述旋涂設(shè)備的蓋體中心開(kāi)設(shè)有貫穿的加液孔，其特征在于，所述旋涂自動(dòng)定量上液裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，所述移液頭包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，所述移液針管和所述備用針管均包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，多個(gè)所述備用針管均彈性升降設(shè)于所述備料架；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，所述備料組件還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，所述供液組件還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，所述供液組件還包括鎖緊結(jié)構(gòu)，所述液瓶通過(guò)所述鎖緊結(jié)構(gòu)與所述供液板連接；所述鎖緊結(jié)構(gòu)包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，所述移動(dòng)模組包括安裝座，所述安裝座為所述移動(dòng)模組的驅(qū)動(dòng)端，所述移液頭可拆卸安裝于所述安裝座；所述安裝座包括安裝槽，所述移液頭位于所述安裝槽內(nèi)，所述移液頭的側(cè)面通過(guò)多個(gè)螺栓抵緊以固定所述移液頭。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，還包括收集容器，所述收集容器位于所述收集工位處，所述收集容器收集從所述移液頭上拆下的所述移液針管。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂自動(dòng)定量上液裝置，其特征在于，還包括加工腔室，所述移液組件、所述移動(dòng)模組、所述備料組件和所述供液組件均位于所述加工腔室內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)涉及一種旋涂自動(dòng)定量上液裝置，包括：移液組件，其包括移液頭和移液針管，移液針管可拆卸連接于移液頭；移動(dòng)模組，其驅(qū)動(dòng)移液組件升降運(yùn)動(dòng)以及在水平面上轉(zhuǎn)動(dòng)，移液組件在水平面上轉(zhuǎn)動(dòng)以在上液工位、加液工位和收集工位切換，旋涂設(shè)備位于加液工位；備料組件，其包括備料架、備料驅(qū)動(dòng)模組和多個(gè)備用針管，多個(gè)備用針管隨備料架運(yùn)動(dòng)依次經(jīng)過(guò)上液工位；供液組件，其包括液瓶，液瓶位于處于上液工位的備用針管的正下方。本申請(qǐng)將移液組件依次移動(dòng)至上液工位、加液工位和收集工位，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上液、加液以及更換針管，提高了加工效率，并保證操作一致性，增強(qiáng)了試驗(yàn)效果的說(shuō)服力。

技術(shù)研發(fā)人員：余鵬程,雷春耀,孫成祥,唐偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東國(guó)創(chuàng)科光電裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6