本發(fā)明涉及顯示技術領域，具體地，涉及一種涂布裝置及檢測基板上異物的方法。

背景技術：

在顯示面板的生產(chǎn)過程中，通常要采用涂布裝置在基板上涂布形成光刻膠膜層以在隨后的制程中在基板上形成各種膜層。在具體生產(chǎn)中，涂布裝置通常采用噴嘴在基板上涂布相應的膜層材料，例如光刻膠。

涂布裝置的基本工作過程為：噴嘴以一定速度沿基板表面從基板的一側(cè)邊緣移動到相對的另一側(cè)邊緣，同時，噴嘴中以一定的速度吐出膜層材料，隨著噴嘴的移動，膜層材料就能涂布到基板的表面以形成相應的膜層。

但基板上有凸起的異物時，異物會極大地影響涂布工作。在現(xiàn)有技術中，固定在噴嘴前方的對射式傳感器只能探測到基板上的異物的沿噴嘴運動方向的坐標，無法準確地確定異物的位置，這給清除異物帶來不便。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種涂布裝置及其基板上的異物檢知方法，以解決現(xiàn)有涂布裝置無法準確確定基板上異物的位置信息且無法自動清除異物的問題。

本發(fā)明解決其技術問題是采用以下的技術方案來實現(xiàn)的。

本發(fā)明提供一種涂布裝置，用于對基板進行涂布，涂布裝置包括第一對射式傳感器和第二對射式傳感器，第一對射式傳感器沿第一方向掃描基板的第一表面得到基板上的異物的第一坐標信息，第二對射式傳感器沿與第一方向垂直的第二方向掃描基板的第一表面得到基板上的異物的第二坐標信息。

進一步地，沿著噴嘴的移動方向，第一對射式傳感器和第二對射式傳感器位于噴嘴的前方。

進一步地，第一對射式傳感器包括設置在噴嘴的長度方向的第一發(fā)射器和第一接收器，第一發(fā)射器和第一接收器均固定連接至噴嘴，第一發(fā)射器和第一接收器位于基板的兩側(cè)。

進一步地，第二對射式傳感器包括設置在噴嘴寬度方向的第二發(fā)射器和第二接收器，第二接收器可滑動地連接至噴嘴上，第二發(fā)射器與第二接收器同步運動。

進一步地，涂布裝置還包括用于拍攝基板上的異物的攝像頭，攝像頭與噴嘴活動連接且能相對噴嘴移動。

進一步地，涂布裝置還包括用于清掃基板上的異物的清掃裝置，清掃裝置與噴嘴活動連接能相對噴嘴移動。

進一步地，涂布裝置還包括控制單元，控制單元與噴嘴、第一對射式傳感器、第二對射式傳感器、攝像頭和清掃裝置電連接。

本發(fā)明還提供一種應用如上所述的涂布裝置來檢測基板上異物的方法，包括步驟：

沿第一方向掃描基板的第一表面以探測基板上是否存在異物；

在探測到基板上有異物后，獲得異物的第一坐標信息；

沿第二方向掃描基板的第一表面以得到異物的第二坐標信息；

基于第一坐標信息和第二坐標信息確定異物的位置。

進一步地，還包括，在獲得異物的位置后，獲得異物的圖像信息，基于圖像信息除去異物。

進一步地，基于圖像信息判斷異物處于基板的第一表面還是處于基板的與第一表面相對的第二表面上：

當判定異物處于基板的第一表面上時，涂布裝置的清掃裝置處理異物；

當判定異物處于基板的第二表面上時，涂布裝置發(fā)出警報。

本發(fā)明提供一種涂布裝置及其基板上異物的檢測方法，通過在噴嘴上設置與噴嘴固定連接的第一對射式傳感器、與噴嘴活動連接的第二對射式傳感，不僅可以對噴嘴進行保護，還能準確定位基板上異物的位置。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例中涂布裝置與基板相對位置的俯視示意圖。

圖2為圖1中涂布裝置的局部側(cè)視示意圖。

圖3為圖1中噴嘴開始移動時的結(jié)構示意圖。

圖4為圖3中第二對射式傳感器開始移動時的結(jié)構示意圖。

圖5為圖4中第二對射式傳感器停止移動時的結(jié)構示意圖。

圖6為圖5中攝像頭移動至異物處時的結(jié)構示意圖。

圖7為圖6中清掃裝置移動至異物處時的結(jié)構示意圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本發(fā)明為達成預定發(fā)明目的所采取的技術方式及功效，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明的具體實施方式、結(jié)構、特征及其功效，詳細說明如后。

圖1為本發(fā)明實施例中涂布裝置與基板相對位置的俯視示意圖。圖2為圖1中涂布裝置的局部側(cè)視示意圖。請參考圖1和圖2，本實施例提供一種涂布裝置，用于對基板10進行涂布。涂布裝置包括噴嘴20、第一對射式傳感器30和第二對射式傳感器40(圖2中未示意出第一對射式傳感器30和第二對射式傳感器40)。第一對射式傳感器30和第二對射式傳感器40均連接至噴嘴20的前方，第一對射式傳感器30沿第一方向掃描基板10的第一表面得到基板10上的異物11的第一坐標信息，第二對射式傳感器40沿與第一方向垂直的第二方向掃描基板10的第一表面得到基板10上的異物11的第二坐標信息。本實施例中，第一方向例如為圖1中的y軸反向，第二方向例如為圖1中的x軸方向。在其他實施例中，第一方向例如為圖1中的x軸反向，第二方向例如為圖1中的y軸方向。第一表面例如為正面，第二表面例如為反面。

具體地，第一對射式傳感器30包括第一發(fā)射器31和第一接收器32，第一發(fā)射器31和第一接收器32均固定連接至噴嘴20上。第一發(fā)射器31和第一接收器32連接在噴嘴20的長度方向上，且第一發(fā)射器31和第一接收器32位于基板10的兩側(cè)。第二對射式傳感器40包括第二發(fā)射器41和第二接收器42，第二接收器42可滑動地連接在噴嘴20的寬度方向上，當?shù)诙邮掌?2運動時，第二發(fā)射器41同步運動。

本實施例中，第一對射式傳感器30和第二對射式傳感器40均為對射式光電傳感器。例如，第一發(fā)射器31發(fā)出紅光或者紅外光，第一接收器32接收；第二發(fā)射器41發(fā)出紅外或者紅外光，第二接收器42接收。當有異物11存在時，發(fā)射器與接收器之間的光線切斷，便輸出在基板10上存在異物的信號。

進一步地，請參考圖1和圖2，涂布裝置還包括用于拍攝基板10上異物的攝像頭50和用于清掃基板10上異物的清掃裝置60。攝像頭50與噴嘴20活動連接且能相對噴嘴20移動，清掃裝置60與噴嘴20活動連接且能相對噴嘴20移動。在一個具體的實施例中，在噴嘴20上沿其長度方向設置有滑軌70，攝像頭50和清掃裝置60例如分別設置在滑軌70的兩端并且可沿著滑軌70運動，攝像頭50和清掃裝置60例如均可以通過伸縮桿(圖中未示)活動連接至噴嘴20，即攝像頭50和清掃裝置60既可以隨著噴嘴20移動，也可以相對噴嘴20移動。在另一個實施例中，清掃裝置60包括的清掃工具例如可以為氣槍、激光鐳射、有機溶劑滴管、清潔球中的任一種或者兩種以上的組合，但不限于此。

請參考圖1，涂布裝置還包括控制單元80，控制單元80分別與噴嘴20、第一對射式傳感器30、第二對射式傳感器40、攝像頭50及清掃裝置60電連接，并可以控制噴嘴20、第二對射式傳感器40、攝像頭50及清掃裝置60的移動。

本發(fā)明還提供一種應用如上所述的涂布裝置檢測基板上異物的方法，包括步驟：

沿第一方向掃描基板10的第一表面以探測基板10上是否存在異物11；

在探測到基板10上有異物11后，獲得異物11的第一坐標信息；

沿第二方向掃描基板10的第一表面以得到異物11的第二坐標信息；

基于第一坐標信息和第二坐標信息確定異物11的位置。

在獲得異物11的位置后，獲得異物11的圖像信息，基于圖像信息除去異物11。

進一步地，基于圖像信息判斷異物11處于基板10的第一表面還是處于基板10的與第一表面相對的第二表面上，

當判定異物11處于基板10的第一表面上時，涂布裝置的清掃裝置60處理異物11，

當判定異物11處于基板10的第二表面上時，涂布裝置發(fā)出警報。

圖3為圖1中噴嘴開始移動時的結(jié)構示意圖。請參考圖1和圖3，控制單元80控制噴嘴20沿基板10的y軸方向移動并進行涂布，固定連接至噴嘴20上的第一發(fā)射器31和第一接收器32跟隨噴嘴20移動并同時探測基板10上是否有異物11存在，活動連接至噴嘴20上的第二接收器42也隨著噴嘴20在y軸方向上移動，第二發(fā)射器41與第二接收器42同步運動。

圖4為圖3中第二對射式傳感器開始移動時的結(jié)構示意圖。請結(jié)合圖3和圖4，在第一發(fā)射器31和第一接收器32探測到異物11時，將異物11的第一坐標信息發(fā)送至控制單元80。此時，控制單元80控制噴嘴20停止移動，并開始控制第二發(fā)射器41和第二接收器42在基板10的上方沿基板10的x軸方向開始移動。

圖5為圖4中第二對射式傳感器停止移動時的結(jié)構示意圖，請結(jié)合圖5，在第二對射式傳感器40在基板10的上方沿著基板10的x軸方向移動期間，若第二對射式傳感器40檢測到異物11，則第二對射式傳感器40將異物11的第二坐標信息發(fā)送至控制單元80，同時，控制單元80控制第二對射式傳感器40停止移動。

圖6為圖5中攝像頭移動至異物處的結(jié)構示意圖。清結(jié)合圖6，當?shù)诙ι涫絺鞲衅?0停止移動后，控制單元80根據(jù)從第一對射式傳感器30和第二對射式傳感器40接收到的第一坐標信息和第二坐標信息，開始控制攝像頭50在基板10的上方沿著滑軌70的長度方向移動至異物11的正上方，并拍攝異物11的圖像傳送至控制單元80。本實施例中，若攝像頭50距離異物11較遠，則控制單元80可以通過控制連接在攝像頭50與噴嘴20之間的伸縮桿(圖中未示)的伸縮，以使攝像頭50移動至異物11的正上方。

當控制單元80接收到攝像頭50拍攝的異物11的圖像時，控制單元80控制攝像頭50歸位(即圖1中所示的位置)，并基于圖像信息判斷異物11是處于基板10的第一表面(即正面)上還是處于基板10的第二表面(即反面)上。當控制單元80判定異物11處于基板10的第二表面時，則涂布裝置發(fā)出警報提示人工處理；當控制單元80判定異物11處于基板10的第一表面時，則控制單元80控制清掃裝置60處理異物11。

圖7為圖6中清掃裝置移動至異物處的結(jié)構示意圖。請結(jié)合圖7，當控制單元80判定異物11處于基板10的第一表面時，控制單元80根據(jù)從第一對射式傳感器30和第二對射式傳感器40接收到的異物11的第一坐標信息和第二坐標信息后，再基于攝像頭50拍攝的照片判定得出需要執(zhí)行的清掃動作，然后控制清掃裝置60沿著滑軌70的長度方向移動至異物11的正上方，清掃裝置60開始執(zhí)行清掃動作。本實施例中，若清掃裝置60距離異物11較遠，則控制單元80可以通過控制連接在清掃裝置60與噴嘴20之間的伸縮桿(圖中未示)的伸縮，以使清掃裝置60移動至異物11的正上方。

在本文中，術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且還可包含沒有明確列出的其他要素。

在本文中，所涉及的前、后、上、下等方位詞是以附圖中零部件位于圖中以及零部件相互之間的位置來定義的，只是為了表達技術方案的清楚及方便。應當理解，所述方位詞的使用不應限制本申請請求保護的范圍。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。