隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，包含一固定環(huán)、一密合件、一支撐件、一濾膜及一蓋體，所述固定環(huán)包含一環(huán)狀體及一內(nèi)凸環(huán)，所述內(nèi)凸環(huán)具有一內(nèi)環(huán)孔，所述密合件包含一抵靠部及一頸部，所述抵靠部可活動(dòng)的抵靠在所述內(nèi)凸環(huán)上，所述支撐件包含一支撐環(huán)及數(shù)個(gè)支撐肋。通過(guò)所述抵靠部密合于所述內(nèi)環(huán)孔內(nèi)側(cè)，同時(shí)通過(guò)所述支撐肋推頂密合件，可提高所述濾膜組件的氣密性。
【專利說(shuō)明】隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型是有關(guān)于一種隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，特別關(guān)于一種可增加進(jìn)氣作業(yè)時(shí)的進(jìn)氣量及提高氣密性的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝中，自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(Automated Material Handling System,AMHS)與隔離進(jìn)出料標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面(Standard Mechanical Interface, SMIF)設(shè)備常被用來(lái)進(jìn)行晶圓(wafer)與光掩膜(photomask)于非使用期間的維護(hù)與運(yùn)送,其不但能取代傳統(tǒng)人工搬運(yùn)、降低無(wú)塵室設(shè)備的建置與維護(hù)成本，還能提升晶圓與光掩膜的潔凈度，達(dá)到超高生產(chǎn)良率，故近年來(lái)，AMHS與SMIF已被列為是國(guó)際間半導(dǎo)體廠的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備規(guī)范。
[0003]如上所述，為避免破壞晶圓或光掩膜，一般采用晶圓盒或光掩膜盒來(lái)保護(hù)晶圓或光掩膜，且于盒內(nèi)充填惰性氣體以防止晶圓或光掩膜產(chǎn)生氧化而毀損。請(qǐng)參閱圖1、2所示，其揭示一種現(xiàn)有的光掩膜盒I，所述光掩膜盒I的底部具有數(shù)個(gè)可連接充氣管11的填充裝置12，每一填充裝置12內(nèi)設(shè)置有中空通道13，而中空通道13的一端為設(shè)置有開合部14，所述開合部14為由復(fù)數(shù)具彈性位移的活頁(yè)所組成，并于遠(yuǎn)離開合部的另一端設(shè)置有導(dǎo)引斜面，利用填充裝置12所設(shè)置的中空通道13及開合部14，使充氣管11可在欲進(jìn)行進(jìn)氣作業(yè)時(shí)通過(guò)開合部14而伸入光掩膜盒I內(nèi)充填氣體。
[0004]然而，利用所述充氣管11穿入所述中空通道13，再通過(guò)所述開合部14伸入所述光掩膜盒I內(nèi)的設(shè)計(jì)，其密合度仍不足，導(dǎo)致空氣中的粉塵、細(xì)屑等異物隨著充氣所述光掩膜盒I內(nèi)而影響其潔凈度，進(jìn)而危害到將光掩膜用于晶圓生產(chǎn)的品質(zhì)和良率，再者，所述充氣管11的管徑受到所述中空通道13的限制也會(huì)影響對(duì)所述光掩膜盒I的充氣速度及效率。
[0005]故，有必要提供一種隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，以解決現(xiàn)有技術(shù)密合度不足的問題。
[0007]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，利用抵靠部可密合于內(nèi)環(huán)孔內(nèi)側(cè)，同時(shí)通過(guò)支撐肋的推頂，可提高濾膜組件的氣密性并簡(jiǎn)化進(jìn)氣及出氣的結(jié)構(gòu)。
[0008]為達(dá)成本實(shí)用新型的前述目的，本實(shí)用新型一實(shí)施例提供一種隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，設(shè)置在一隔離式搬運(yùn)盒的底部的一通氣孔，所述濾膜組件包含一固定環(huán)、一密合件、一支撐件、一濾膜及一蓋體，所述固定環(huán)包含一環(huán)狀體及一內(nèi)凸環(huán)，所述環(huán)狀體設(shè)置在所述隔離式搬運(yùn)盒的底部的通氣孔且具有一環(huán)狀孔，所述內(nèi)凸環(huán)自所述環(huán)狀體的環(huán)狀孔內(nèi)側(cè)延伸，且具有一內(nèi)環(huán)孔，所述密合件包含一抵靠部及一頸部，所述抵靠部可上下活動(dòng)的抵靠在所述內(nèi)凸環(huán)上，所述頸部自所述抵靠部向下延伸且深入所述內(nèi)環(huán)孔中，其中所述頸部具有一中心軸孔，及數(shù)個(gè)徑向側(cè)孔，所述徑向側(cè)孔與所述中心軸孔連通，所述支撐件放置在所述環(huán)狀體上，所述支撐件包含一支撐環(huán)及數(shù)個(gè)支撐肋，所述支撐肋自所述支撐環(huán)內(nèi)側(cè)徑向向內(nèi)延伸并頂?shù)钟谒龅挚坎?，所述濾膜放置在所述支撐件上，所述蓋體放置在所述濾膜上，且所述蓋體包含數(shù)個(gè)頂部側(cè)孔。
[0009]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述抵靠部具有數(shù)個(gè)徑向凹槽，所述支撐肋分別向下傾斜頂?shù)衷谒鰪较虬疾凵稀?br> [0010]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述固定環(huán)還具有一上凸環(huán)，自所述環(huán)狀體的頂面向上延伸且具有一上環(huán)孔，所述支撐件放置在所述上環(huán)孔中。
[0011]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述上環(huán)孔的內(nèi)徑大于所述環(huán)狀孔的內(nèi)徑，所述環(huán)狀孔的內(nèi)徑大于所述內(nèi)環(huán)孔的內(nèi)徑。
[0012]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述蓋體的直徑與所述上凸環(huán)外側(cè)的直徑相匹配。
[0013]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述蓋體的所述頂部側(cè)孔形成在所述蓋體的頂面及側(cè)面的一交界處。
[0014]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述抵靠部具有一圓弧狀的外環(huán)面。
[0015]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述支撐件還具有一個(gè)十字肋條，設(shè)置在所述支撐環(huán)內(nèi)側(cè)。
[0016]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述環(huán)狀體的外環(huán)面為由上而下縮徑的一傾斜面。
[0017]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述濾膜的直徑與所述支撐環(huán)外側(cè)的直徑相匹配。
[0018]如上所述，本實(shí)用新型通過(guò)所述抵靠部可密合于所述內(nèi)環(huán)孔內(nèi)側(cè)，同時(shí)通過(guò)所述支撐肋的推頂，提高所述濾膜組件的氣密性并簡(jiǎn)化進(jìn)氣及出氣的結(jié)構(gòu)。另外，通過(guò)所述上環(huán)孔、環(huán)狀孔、內(nèi)環(huán)孔的設(shè)計(jì)，氣體由所述通氣孔通過(guò)所述徑向側(cè)孔，可有較大的空間排入所述隔離式搬運(yùn)盒內(nèi)部而增加在進(jìn)氣作業(yè)時(shí)的進(jìn)氣效率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是一現(xiàn)有的隔離式搬運(yùn)盒的立體圖。
[0020]圖2是一現(xiàn)有的隔離式搬運(yùn)盒的部分剖視圖。
[0021]圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件的立體分解圖。
[0022]圖4是本實(shí)用新型一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件的剖視圖。
[0023]圖5是本實(shí)用新型一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件閉氣時(shí)的剖視圖。
[0024]圖6是本實(shí)用新型一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件進(jìn)氣時(shí)的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖式，用以例示本實(shí)用新型可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。再者，本實(shí)用新型所提到的方向用語(yǔ)，例如上、下、頂、底、前、后、左、右、內(nèi)、外、側(cè)面、周圍、中央、水平、橫向、垂直、縱向、軸向、徑向、最上層或最下層等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語(yǔ)是用以說(shuō)明及理解本實(shí)用新型，而非用以限制本實(shí)用新型。
[0026]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，本實(shí)用新型一實(shí)施例的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件100，所述隔離式搬運(yùn)盒2用以存放半導(dǎo)體元件或光掩膜的存放裝置的結(jié)構(gòu)，所述濾膜組件100設(shè)置在所述隔離式搬運(yùn)盒2的底部的一通氣孔21，所述濾膜組件100包含一固定環(huán)3、一密合件4、一支撐件5、一濾膜6及一蓋體7，本實(shí)用新型將于下文詳細(xì)說(shuō)明各元件的細(xì)部構(gòu)造、組裝關(guān)系及其運(yùn)作原理。
[0027]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，所述固定環(huán)3包含一環(huán)狀體31、一內(nèi)凸環(huán)32及一上凸環(huán)33，其中所述環(huán)狀體31設(shè)置在所述隔離式搬運(yùn)盒2的底部的通氣孔21內(nèi)，且所述環(huán)狀體31具有一環(huán)狀孔311 ;所述內(nèi)凸環(huán)32自所述環(huán)狀體31的環(huán)狀孔311內(nèi)側(cè)向內(nèi)且向下延伸，且所述內(nèi)凸環(huán)32具有一內(nèi)環(huán)孔321 ;所述上凸環(huán)32自所述環(huán)狀體31的頂面向上延伸，且所述上凸環(huán)33具有一上環(huán)孔331，及所述上凸環(huán)32的一內(nèi)頂面較佳為一向內(nèi)及向下傾斜的漏斗形傾斜面。所述支撐件5放置在所述上環(huán)孔331中且所述支撐件5的外側(cè)靠貼在所述上環(huán)孔331的內(nèi)側(cè)，其中所述上環(huán)孔331的內(nèi)徑大于所述環(huán)狀孔311的內(nèi)徑，所述環(huán)狀孔311的內(nèi)徑大于所述內(nèi)環(huán)孔321的內(nèi)徑。另外，所述環(huán)狀體31的外環(huán)面為由上而下縮徑的一傾斜面，用以緊配合所述通氣孔21的內(nèi)側(cè)面。
[0028]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，所述密合件4包含一抵靠部41及一頸部42，所述抵靠部41的底面較佳為向內(nèi)及向下傾斜的錐形傾斜面，其可上下活動(dòng)的抵靠在所述內(nèi)凸環(huán)32的內(nèi)頂面(漏斗形傾斜面)上，且所述抵靠部41具有數(shù)個(gè)徑向凹槽411及一圓弧狀的外環(huán)面(未標(biāo)示)，所述外環(huán)面用以緊貼合所述環(huán)狀孔311的內(nèi)側(cè)。在本實(shí)施例中，所述徑向凹槽411放射狀形成在所述抵靠部41的頂面，相互連通，且較佳呈十字形；所述頸部42自所述抵靠部41向下延伸且深入所述內(nèi)環(huán)孔321中，其中所述頸部42具有一中心軸孔421及數(shù)個(gè)徑向側(cè)孔422，其中所述中心軸孔421軸向形成在所述頸部42內(nèi)部，所述徑向側(cè)孔422則與所述中心軸孔421相連通,并徑向向外延伸至開口于所述頸部42的外周面。另外，所述中心軸孔421不向上延伸至所述抵靠部41。
[0029]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，所述支撐件5放置在所述環(huán)狀體31上，且所述支撐件5包含一支撐環(huán)51、數(shù)個(gè)支撐肋52及一個(gè)十字肋條53，所述支撐肋52自所述支撐環(huán)51內(nèi)側(cè)徑向向內(nèi)延伸，且所述支撐肋52分別向下傾斜頂?shù)衷谒龅挚坎?1的所述徑向凹槽411上，所述十字肋條53設(shè)置在所述支撐環(huán)51內(nèi)側(cè)，用以強(qiáng)化所述支撐件5的整體結(jié)構(gòu)。
[0030]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，所述濾膜6放置在所述支撐件5的支撐環(huán)51頂部，其中所述濾膜6的直徑與所述支撐環(huán)51外側(cè)的直徑相匹配，用以使所述濾膜6與支撐件5能夠密合，所述濾膜6可利用混合纖維制成，因此具有許多適當(dāng)孔徑的微孔隙。當(dāng)空氣流通過(guò)所述濾膜組件100時(shí)，至少可由所述濾膜6的微孔隙過(guò)濾空氣中的微塵與雜質(zhì)。
[0031]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，所述蓋體7放置在所述濾膜6上且靠制在所述上凸環(huán)33頂部，其中所述蓋體7包含數(shù)個(gè)頂部側(cè)孔71，所述頂部側(cè)孔71形成在所述蓋體7的頂面及側(cè)面的一交界處。另外，所述蓋體7外側(cè)的直徑與所述上凸環(huán)33外側(cè)的直徑相匹配，用以使所述蓋體7與上凸環(huán)33能夠密合；所述蓋體7底部的一內(nèi)凹空間的內(nèi)徑則與所述濾膜6及支撐件5的外徑相匹配，用以使所述濾膜6及支撐件5能夠密合組裝于所述內(nèi)凹空間中。
[0032]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，依據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，如圖5所示，當(dāng)所述濾膜組件100處于閉氣狀態(tài)時(shí)，所述支撐肋52推頂所述密合件4的抵靠部41的徑向凹槽411上，使所述抵靠部41的底面(錐形傾斜面)靠制在所述內(nèi)凸環(huán)32的內(nèi)頂面(漏斗形傾斜面)上，此時(shí)，所述徑向側(cè)孔422深入所述內(nèi)環(huán)孔321中緊貼其孔壁，因而外部空氣無(wú)法與所述隔離式搬運(yùn)盒2內(nèi)部連通，使所述隔離式搬運(yùn)盒2內(nèi)部形成閉氣。另一方面，如圖6所示，當(dāng)利用充氣管(如第2圖)等工具將所述密合件4的頸部42向上推抵時(shí)，所述密合件4的抵靠部41推頂所述支撐肋52，使所述支撐肋52略為向上移動(dòng)。此時(shí)，所述徑向側(cè)孔422因上升而離開所述內(nèi)環(huán)孔321的孔壁，同時(shí)所述抵靠部41的底面(錐形傾斜面)也因上升而離開所述內(nèi)凸環(huán)32的內(nèi)頂面(漏斗形傾斜面)，進(jìn)而使外部空氣通過(guò)所述徑向側(cè)孔422及頂部側(cè)孔71與所述隔離式搬運(yùn)盒2內(nèi)部連通，所述通氣孔21即可通過(guò)所述濾膜組件100進(jìn)氣至所述隔離式搬運(yùn)盒2內(nèi)部。
[0033]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，通過(guò)上述的設(shè)計(jì)，利用所述抵靠部41可密合于所述內(nèi)環(huán)孔321內(nèi)側(cè)，同時(shí)通過(guò)所述支撐肋52的推頂，可提高所述濾膜組件100的氣密性并簡(jiǎn)化進(jìn)氣及出氣的結(jié)構(gòu)。另外，利用所述上環(huán)孔331的內(nèi)徑大于所述環(huán)狀孔311的內(nèi)徑，所述環(huán)狀孔311的內(nèi)徑大于所述內(nèi)環(huán)孔321的內(nèi)徑的設(shè)計(jì)，氣體由所述通氣孔21通過(guò)所述徑向側(cè)孔422，即有較大的空間排入所述隔離式搬運(yùn)盒2內(nèi)部，可有效增加其在進(jìn)氣作業(yè)時(shí)的進(jìn)氣效率。
[0034]本實(shí)用新型已由上述相關(guān)實(shí)施例加以描述，然而上述實(shí)施例僅為實(shí)施本實(shí)用新型的范例。必需指出的是，已公開的實(shí)施例并未限制本實(shí)用新型的范圍。相反的，包含于權(quán)利要求書的精神及范圍的修改及均等設(shè)置均包括于本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，設(shè)置在一隔離式搬運(yùn)盒的底部的一通氣孔，其特征在于:所述濾膜組件包含: 一固定環(huán)，包含:一環(huán)狀體，設(shè)置在所述隔離式搬運(yùn)盒的底部的通氣孔且具有一環(huán)狀孔；及一內(nèi)凸環(huán)，自所述環(huán)狀體的環(huán)狀孔內(nèi)側(cè)延伸，且具有一內(nèi)環(huán)孔； 一密合件，包含:一抵靠部，可上下活動(dòng)的抵靠在所述內(nèi)凸環(huán)上；及一頸部，自所述抵靠部向下延伸且深入所述內(nèi)環(huán)孔中，其中所述頸部具有一中心軸孔，及數(shù)個(gè)徑向側(cè)孔，所述徑向側(cè)孔與所述中心軸孔連通； 一支撐件，放置在所述環(huán)狀體上，所述支撐件包含:一支撐環(huán)；及數(shù)個(gè)支撐肋，自所述支撐環(huán)內(nèi)側(cè)徑向向內(nèi)延伸并頂?shù)钟谒龅挚坎浚? 一濾膜，放置在所述支撐件上 '及 一蓋體，放置在所述濾膜上，所述蓋體包含數(shù)個(gè)頂部側(cè)孔。
2.如權(quán)利要求1所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述抵靠部具有數(shù)個(gè)徑向凹槽，所述支撐肋分別向下傾斜頂?shù)衷谒鰪较虬疾凵稀?br> 3.如權(quán)利要求1所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述固定環(huán)還具有一上凸環(huán)，自所述環(huán)狀體的頂面向上延伸且具有一上環(huán)孔，所述支撐件放置在所述上環(huán)孔中。
4.如權(quán)利要求3所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述上環(huán)孔的內(nèi)徑大于所述環(huán)狀孔的內(nèi)徑，所述環(huán)狀孔的內(nèi)徑大于所述內(nèi)環(huán)孔的內(nèi)徑。
5.如權(quán)利要求3所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述蓋體的直徑與所述上凸環(huán)外側(cè)的直徑相匹配。
6.如權(quán)利要求1所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述蓋體的所述頂部側(cè)孔形成在所述蓋體的頂面及側(cè)面的一交界處。
7.如權(quán)利要求1所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述抵靠部具有一圓弧狀的外環(huán)面。
8.如權(quán)利要求1所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述支撐件還具有一個(gè)十字肋條，設(shè)置在所述支撐環(huán)內(nèi)側(cè)。
9.如權(quán)利要求1所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述環(huán)狀體的外環(huán)面為由上而下縮徑的一傾斜面。
10.如權(quán)利要求1所述的隔離式搬運(yùn)盒的濾膜組件，其特征在于:所述濾膜的直徑與所述支撐環(huán)外側(cè)的直徑相匹配。
【文檔編號(hào)】B01D46/54GK203724931SQ201420097155
【公開日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2014年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月5日
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