揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)及其回收流程的制作方法
【專利摘要】一種揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)及其回收流程，該揮發(fā)性有機(jī)物回收系統(tǒng)包括一熱處理單元、一頂部進(jìn)氣單元、一引氣單元及一防治單元，其中所述熱處理單元具有一上氣室、一烘箱及一下氣室，而所述頂部進(jìn)氣單元與所述上氣室相連接，所述引氣單元分別與所述上氣室及所述烘箱相連接，且所述防治單元與所述烘箱相連接，藉此，熱處理裝置的上氣室所排放的VOCs可經(jīng)由所述引氣單元的導(dǎo)引而進(jìn)入所述防治單元，以提升均化控制效率。本發(fā)明另提供一種揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的回收流程。
【專利說明】揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)及其回收流程
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種揮發(fā)性有機(jī)物的處理系統(tǒng)，尤指一種揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)及其回收方法。
【背景技術(shù)】
[0002]按，空氣污染源中，除了車輛所排放的廢氣以外，工業(yè)界所排放的廢氣例如石化業(yè)、橡膠業(yè)、油漆制造業(yè)、涂裝業(yè)以及近年來逐漸蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體制造業(yè)等，都會(huì)產(chǎn)生具揮發(fā)性有機(jī)物(Volatile organic compounds ;V0CS)的廢氣，因而對(duì)于空氣質(zhì)量造成嚴(yán)重污染。
[0003]基于VOCs的危害性，環(huán)保署自2006年開征VOCs空污費(fèi)，且計(jì)劃在2010年開始提聞費(fèi)率，估計(jì)將自原本每公斤12兀提聞到25 30兀。
[0004]根據(jù)2003年統(tǒng)計(jì)資料，臺(tái)灣每年排放到大氣中的VOCs超過864，000噸。研究指出，以焚化法處理低濃度大風(fēng)量VOCs的難度、所消耗能源及衍生排放的CO2均極高。因此，目前已有許多節(jié)能設(shè)計(jì)被開發(fā)出來，例如，半導(dǎo)體業(yè)者多數(shù)以疏水性沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮VOCs，之后將小風(fēng)量高濃度VOCs進(jìn)行直接高溫焚化處理或蓄熱式焚化處理。然而，即使選擇蓄熱式焚化仍需使用燃料。根據(jù)TSIA統(tǒng)計(jì)資料，目前臺(tái)灣前十大半導(dǎo)體業(yè)者的瓦斯使用量約26，530，OOOm3/年，費(fèi)用約3.9億元/年(以14.65元/m3計(jì)算)，二氧化碳排放量達(dá)到55，700 噸 / 年。
[0005]常用的有機(jī)廢氣處理方法大致包括熱焚化、觸媒焚化、蓄熱式燃燒、轉(zhuǎn)輪濃縮焚化、活性碳吸附、冷凝回收等。中國(guó)臺(tái)灣專利1255324披露一種有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)及方法，主要是利用濃縮轉(zhuǎn)輪吸附以脫附出濃縮的有機(jī)廢氣，并通過電漿火炬直接高溫?zé)峤獠⒀杆傺趸瘽饪s廢氣。此外，更利用電漿火炬所產(chǎn)生的熱能預(yù)熱欲進(jìn)氣處理的濃縮廢氣的溫度并提供濃縮轉(zhuǎn)輪脫附再生的熱源。
[0006]另外，中國(guó)臺(tái)灣專利M320434還披露一種高效能濃縮器搭配高級(jí)氧化技術(shù)處理有機(jī)廢氣的凈化裝置，其設(shè)置一高級(jí)氧化處理單元于廢氣濃縮器脫附處理部的下游端，以氧化處理廢氣濃縮器所濃縮的有機(jī)物質(zhì)。然而，無論利用電漿或高級(jí)氧化仍需使用能源，其降低運(yùn)作成本的效果有限，無法真正解決問題。
[0007]請(qǐng)參閱圖1所示，其為傳統(tǒng)揮發(fā)性有機(jī)物的處理系統(tǒng)，主要是利用蓄熱式燃燒爐(RTO)以將VOCs氧化為二氧化碳及水。所述揮發(fā)性有機(jī)物的處理系統(tǒng)100’包括一熱處理設(shè)備I’、至少一廢氣排放設(shè)備2’、至少一空污防治設(shè)備3’、多個(gè)進(jìn)氣管路4’及多個(gè)排氣管路5’。其中，廢氣排放設(shè)備2’及空污防治設(shè)備3’(蓄熱式燃燒爐)的數(shù)量可依據(jù)制程及環(huán)保需求而有所調(diào)整，熱處理設(shè)備I’具有頂部氣室10’、烘箱11’及底部氣室12’，而制程產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣及供給裝置提供的空氣可分別經(jīng)由該些進(jìn)氣管路4’輸入熱處理設(shè)備I’的頂部氣室10’、烘箱11’及底部氣室12’，并分別通過這些排氣管路5’進(jìn)入廢氣排放設(shè)備2’及空污防治設(shè)備3’。
[0008]然而，增設(shè)廢氣排放設(shè)備或空污防治設(shè)備除了會(huì)額外增加設(shè)備成本外，考慮到集氣效率(會(huì)被濃度和風(fēng)量等因素所影響)及防治設(shè)備破壞率，增設(shè)廢氣排放設(shè)備及空污防治設(shè)備還會(huì)降低所述揮發(fā)性有機(jī)物處理系統(tǒng)的均化控制效率，如式i及ii所示，進(jìn)而需要給付更多的空污費(fèi)。
[0009]均化控制效率=集氣效率X防治設(shè)備破壞率(式i)
[0010]空污費(fèi)=原料使用量X排放強(qiáng)度X (1-均化控制效率)(式ii)
[0011]在節(jié)能及暖化議題日益高張之際，業(yè)者對(duì)于低能源成本、低碳排放的廢氣處理技術(shù)的需求隨之日益迫切。于是本發(fā)明人有感于上述缺陷的可改善，乃特潛心研究并配合學(xué)理的運(yùn)用，終于提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述缺陷的本發(fā)明。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明的主要目的，在于解決已知揮發(fā)性有機(jī)物的處理系統(tǒng)因管路架構(gòu)的限制而需要增設(shè)廢氣排放設(shè)備或空污防治設(shè)備，導(dǎo)致設(shè)備成本及燃料增加，且必須給付大量空污費(fèi)等技術(shù)問題。
[0013]為了解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，包括一熱處理單元、一頂部進(jìn)氣單元、一引氣單元及一排氣管路。其中該熱處理單元包含有一上行加熱爐及一鄰設(shè)于該上行加熱爐的下行加熱爐，且該上行加熱爐及該下行加熱爐各具有一上氣室、一下氣室及一位于該上氣室與該下氣室之間的烘箱；該頂部進(jìn)氣單元具有一制程氣體產(chǎn)生室及一導(dǎo)氣管路，該導(dǎo)氣管路的一端連接該制程氣體產(chǎn)生室，且該導(dǎo)氣管路的另一端分別連接該上行加熱爐的上氣室及該下行加熱爐的上氣室。
[0014]該引氣單元具有一第一引氣管路及一第二引氣管路，該第一引氣管路的一端分別連接該下行加熱爐的上氣室及該導(dǎo)氣管路，且該第一引氣管路的另一端連接該上行加熱爐的烘箱，該第二引氣管路的一端連接該上行加熱爐的烘箱，且該第二引氣管路的另一端連接該下行加熱爐的烘箱；以及該排氣管路與該下行加熱爐的烘箱相連接。
[0015]根據(jù)上述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收流程，本發(fā)明另提供一種揮發(fā)性有機(jī)物的回收方法，包括以下步驟:首先，揮發(fā)性有機(jī)物自該制程氣體產(chǎn)生室經(jīng)該導(dǎo)氣管路進(jìn)入該上行加熱爐的上氣室及該下行加熱爐的上氣室；接著，所述揮發(fā)性有機(jī)物通過該導(dǎo)氣管路及該第一引氣管路進(jìn)入該上行加熱爐的烘箱；之后，所述揮發(fā)性有機(jī)物通過該第二引氣管路進(jìn)入該下行加熱爐的烘箱；最后，所述揮發(fā)性有機(jī)物匯流入該排氣管路。
[0016]綜上所述，本發(fā)明揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)可確實(shí)利用引氣單元將多管通入的VOCs共同導(dǎo)入排氣管路，，進(jìn)而排入防制裝置進(jìn)行處理，除了能夠維持進(jìn)與出風(fēng)量的平衡外，還能夠有效提升防治設(shè)備的破壞率及均化控制效率。
[0017]本發(fā)明的其他目的和優(yōu)點(diǎn)可以從本發(fā)明所披露的技術(shù)特征得到進(jìn)一步的了解。為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例并配合所附圖式作詳細(xì)說明如下。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為傳統(tǒng)揮發(fā)性有機(jī)物的處理系統(tǒng)的示意圖；
[0019]圖2為本發(fā)明揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的示意圖；
[0020]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的方塊圖；[0021]圖4為本發(fā)明揮發(fā)性有機(jī)物的回收流程的示意圖；及
[0022]圖5為本發(fā)明第二實(shí)施例的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的方塊圖；
[0023]圖6為本發(fā)明第三實(shí)施例的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的方塊圖；以及
[0024]圖7為本發(fā)明第四實(shí)施例的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的方塊圖。
[0025]【主要元件符號(hào)說明】
[0026](現(xiàn)有技術(shù))
[0027]100’揮發(fā)性有機(jī)物的處理系統(tǒng)
[0028]I ’熱處理設(shè)備
[0029]10’頂部氣室
[0030]11’ 烘箱
[0031]12’底部氣室
[0032]2’廢氣排放設(shè)備
[0033]3’空污防治設(shè)備
[0034]4’進(jìn)氣管路
[0035]5’排氣管路
`[0036](本發(fā)明)
[0037]100揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)
[0038]I熱處理單元
[0039]11上行加熱爐
[0040]111上氣室
[0041]112 烘箱
[0042]113下氣室
[0043]114上氣簾部
[0044]115下氣簾部
[0045]12下行加熱爐
[0046]121上氣室
[0047]122 烘箱
[0048]123下氣室
[0049]124上氣簾部
[0050]125下氣簾部
[0051]2頂部進(jìn)氣單元
[0052]21制程氣體產(chǎn)生室
[0053]22導(dǎo)氣管路
[0054]221導(dǎo)入部
[0055]2211 導(dǎo)入管
[0056]2212 過濾件
[0057]2213 驅(qū)動(dòng)件
[0058]222分流部
[0059]3底部進(jìn)氣單元[0060]31空氣供給裝置
[0061]32空氣管路
[0062]321空氣導(dǎo)入部
[0063]322空氣導(dǎo)出部
[0064]323驅(qū)動(dòng)件
[0065]4引氣單元
[0066]41第一引氣管路
[0067]411第一引氣管
[0068]412驅(qū)動(dòng)件
[0069]413引入管
[0070]414過濾件
[0071]415驅(qū)動(dòng)件
[0072]42第二引氣管路
[0073]421第二引氣管
[0074]422驅(qū)動(dòng)件
[0075]423過濾件
[0076]5防治單元
[0077]51防治裝置
[0078]52排氣管路
【具體實(shí)施方式】
[0079]〔第一實(shí)施例〕
[0080]本發(fā)明主要提供一種揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其能夠通過系統(tǒng)的管路配置，先將系統(tǒng)內(nèi)的所有氣體(包含VOCs)導(dǎo)入熱處理單元，之后再共同排入防治單元，藉以提升系統(tǒng)整體的均化控制效率。以下，將基于各圖式以說明所述揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu)特征及回收流程。
[0081]請(qǐng)參閱圖2，為本發(fā)明揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的示意圖，所述揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)100包括一熱處理單元1、一頂部進(jìn)氣單元2、一底部進(jìn)氣單元3、一引氣單元4及一防治單元5。其中熱處理單元I包括一上氣室、一烘箱及一下氣室(未標(biāo)示)，頂部進(jìn)氣單元2及底部進(jìn)氣單元3可分別將制程產(chǎn)生的VOCs和新鮮空氣(Fresh air)通入熱處理單元I的上氣室和下氣室，并且所有氣體可由引氣單元4導(dǎo)入烘箱，進(jìn)而共同排入防治單元5進(jìn)行處理。
[0082]請(qǐng)參閱圖3，為本發(fā)明第一實(shí)施例的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的方塊圖；在本實(shí)施例中，所述揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)100主要是應(yīng)用于預(yù)浸體(Prepreg)的烘烤程序，其包括一熱處理單元1、一頂部進(jìn)氣單元2、一底部進(jìn)氣單元3、一引氣單元4及一防治單元5。
[0083]具體而言，熱處理單元I可以是一種直立式加熱裝置(例如直立式烘箱)，但不限于此，其包括一上行加熱爐11及一鄰設(shè)于上行加熱爐11的下行加熱爐12 ;顧名思義，當(dāng)含浸揮發(fā)性有機(jī)溶劑的預(yù)浸體進(jìn)行烘烤程序時(shí)，會(huì)先由上行加熱爐11的底部進(jìn)入，于上行加熱爐11內(nèi)烘烤一預(yù)定時(shí)間后，再經(jīng)上行加熱爐11的頂部傳輸至下行加熱爐12的頂部，并于下行加熱爐12內(nèi)烘烤另一預(yù)定時(shí)間后，自下行加熱爐12的底部退出。
[0084]更詳細(xì)地說，上行加熱爐11具有一上氣室111、一下氣室113及一位于上氣室111與下氣室113之間的烘箱112，并且上氣室111與烘箱112之間設(shè)置有一上氣簾部(Aircurtain) 114，而烘箱112與下氣室113之間設(shè)置有一下氣簾部115。
[0085]同樣地，下行加熱爐12各具有一上氣室121、一下氣室123及一位于上氣室121與下氣室123之間的烘箱122，并且上氣室121與烘箱122之間設(shè)置有一上氣簾部124，而烘箱122與下氣室123之間設(shè)置有一下氣簾部125。
[0086]頂部進(jìn)氣單元2包括一制程氣體產(chǎn)生室21及一導(dǎo)氣管路22，其中制程氣體產(chǎn)生室21可以是一玻璃屋，但不限于此，可在其內(nèi)進(jìn)行含浸加工，例如將玻璃布含浸于揮發(fā)性有機(jī)溶劑的程序；導(dǎo)氣管路22的一端連接制程氣體產(chǎn)生室21，而另一端分別連接上行加熱爐11的上氣簾部114、下行加熱爐12的上氣簾部124及導(dǎo)引單元4。
[0087]在本實(shí)施例中，導(dǎo)氣管路22包含一導(dǎo)入部221及一分流部222，其中導(dǎo)入部221具有一導(dǎo)入管2211、一過濾件2212及一驅(qū)動(dòng)件2213 (為方便說明本發(fā)明的具體實(shí)施例，故于下文均稱作第一過濾件2212及第一驅(qū)動(dòng)件2213)，其中第一過濾件2212及第一驅(qū)動(dòng)件2213均設(shè)置于導(dǎo)入管2211上。
[0088]更詳細(xì)地說，制程氣體產(chǎn)生室21連接于導(dǎo)入管2211的一端，第一過濾件2212連接于導(dǎo)入管2211的另一端,且第一驅(qū)動(dòng)件2213鄰設(shè)于第一過濾件2212 ;分流部222由多個(gè)分流管所組構(gòu)而成，分流部222的一端連接導(dǎo)入部221的第一驅(qū)動(dòng)件2213，分流部222的另一端分別連接該上行加熱爐11的上氣簾部114、下行加熱爐12的上氣簾部124及第一引
氣單元4。
[0089]底部進(jìn)氣單元3包括一空氣供給裝置31及一空氣管路32，其中空氣供給裝置31是當(dāng)作系統(tǒng)的空氣源(Air supply)，空氣管路32的一端連接空氣供給裝置31，且另一端分別連接上行加熱爐111的下氣簾部115及下行加熱爐12的下氣簾部125，用于將外部新鮮空氣引入所述熱處理單元I。
[0090]更詳細(xì)地說，空氣管路32包括一空氣導(dǎo)入部321、一空氣導(dǎo)出部322及一驅(qū)動(dòng)件323 (為方便說明本發(fā)明的具體實(shí)施例，故于下文均稱作第二驅(qū)動(dòng)件323)，其中空氣導(dǎo)入部321的一端連接空氣供給裝置31，另一端分別連接上行加熱爐11的下氣簾部115與下行加熱爐12的下氣簾部125，且第二驅(qū)動(dòng)件323接設(shè)于空氣導(dǎo)入部321上；空氣導(dǎo)出部322的一端分別連接上行加熱爐11的下氣簾部115與下行加熱爐12的下氣簾部125，另一端則連接引氣單元4。
[0091]引氣單元4包括第一引氣管路41及第二引氣管路42，其中第一引氣管路41的一端分別與下行加熱爐12的上氣簾部124及導(dǎo)氣管路22相連接，另一端則與上行加熱爐11的上氣簾部114相連接；第二引氣管路42的一端連接到上行加熱爐11的烘箱112，而另一端連接到下行加熱爐12的烘箱122。
[0092]在本實(shí)施例中，第一引氣管路41包含一第一引氣管411、一驅(qū)動(dòng)件412、一引入管413、一過濾件414及一驅(qū)動(dòng)件415(為方便說明本發(fā)明的具體實(shí)施例，故于下文均稱作第三驅(qū)動(dòng)件412、第二過濾件414及第四驅(qū)動(dòng)件415);其中第一引氣管411的一端通過第二驅(qū)動(dòng)件412連接到下行加熱爐12的上氣簾部124與導(dǎo)氣管路22的分流部222，而另一端通過引入管413連接到上行加熱爐11的上氣簾部114，并且第二過濾件414及第四驅(qū)動(dòng)件415間隔設(shè)置于引入管413上。
[0093]另外，第二引氣管路42包含有一第二引氣管421、一驅(qū)動(dòng)件422及一過濾件423(為方便說明本發(fā)明的具體實(shí)施例，故于下文均稱作第五驅(qū)動(dòng)件422及第三過濾件423)，其中第二引氣管421的一端連接上行加熱爐11的烘箱112，且另一端連接下行加熱爐12的烘箱122，第四驅(qū)動(dòng)件422及過濾組件423則間隔設(shè)置于第二引氣管421上。藉此，由頂部進(jìn)氣單元2及底部進(jìn)氣單元3通入的所有氣體，可經(jīng)由引氣單元4之導(dǎo)引而匯流入下行加熱爐12的烘箱122。
[0094]值得一提的是，所述頂部進(jìn)氣單元2和底部進(jìn)氣單元3的數(shù)量可依據(jù)制程需求而有所調(diào)整，且所述制程氣體產(chǎn)生室21和空氣供給裝置31的數(shù)量也可依據(jù)制程需求而有所調(diào)整，因此，舉凡利用引氣單元4將由下行加熱爐12的上氣簾部124排出的VOCs導(dǎo)入上行加熱爐11的烘箱112，并與底部進(jìn)氣單元3的所有氣體共同排放或處理者，均為本發(fā)明的范疇。
[0095]防治單元5具有一防治裝置51及一排氣管路52，其中防治裝置51是一蓄熱式焚化爐(RT0)，而排氣管路52可以是高溫排氣管路，但不限于此，在一變化實(shí)施例中，所述防治裝置51還可以是觸媒焚化、轉(zhuǎn)輪濃縮焚化、活性碳吸附或冷凝回收等VOCs的處理裝置；排氣管路52的一端連接下行加熱爐12的烘箱122，而另一端連接防治裝置51。藉此，匯流于下行加熱爐12的烘箱122的所有氣體可共同經(jīng)排氣管路52排入防治裝置51進(jìn)行處理，從而將VOCs氧化成二氧化碳及水。
[0096]請(qǐng)參閱圖4，本發(fā)明揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)運(yùn)作時(shí)的回收流程如下:首先，揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)自制程氣體產(chǎn)生室21經(jīng)導(dǎo)氣管路22進(jìn)入上行加熱爐11的上氣室111及下行加熱爐12的上氣室121 ;接著，所述揮發(fā)性有機(jī)物通過導(dǎo)氣管路22及第一引氣管路41進(jìn)入上行加熱爐11的烘箱112 ;之后，所述揮發(fā)性有機(jī)物通過第二引氣管路42進(jìn)入下行加熱爐12的烘箱122 ;最后，所述揮發(fā)性有機(jī)物匯流入排氣管路52，并排入防治裝置51進(jìn)行處理。
[0097]〔第二實(shí)施例〕
[0098]請(qǐng)參閱圖5，為本發(fā)明第二實(shí)施例的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的方塊圖，本實(shí)施例與前一實(shí)施例的不同之處在于，所述底部進(jìn)氣單元3的空氣管路32的空氣導(dǎo)出部322與防治單元5的排氣管路52相連接。
[0099]〔第三實(shí)施例〕
[0100]請(qǐng)參閱圖6，為本發(fā)明第三實(shí)施例的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的方塊圖，本實(shí)施例與第一實(shí)施例的不同之處在于，所述空氣管路32的空氣導(dǎo)出部322與導(dǎo)氣管路22的導(dǎo)入管2211相連接，并通過第一過濾件2212及第一驅(qū)動(dòng)件2213而連接到導(dǎo)氣管路22的分流部 222。
[0101]〔第四實(shí)施例〕
[0102]請(qǐng)參閱圖7，示為本發(fā)明第四實(shí)施例的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的方塊圖，本實(shí)施例與第三實(shí)施例的不同之處在于，所述頂部進(jìn)氣單元2的制程氣體產(chǎn)生室21連接到底部進(jìn)氣單元3的空氣管路32的空氣導(dǎo)入部321，并且空氣管路32的空氣導(dǎo)出部322，連接到所述導(dǎo)氣管路22 ;換言之，所述制程氣體產(chǎn)生室21產(chǎn)生的VOCs與空氣供給裝置31提供的新鮮空氣皆可由第二驅(qū)動(dòng)件323引入熱處理單元I。[0103]綜上所述，本發(fā)明揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)可確實(shí)將所有由頂部或底部通入的氣體匯流至排氣管路，并排入防治設(shè)備51進(jìn)行處理。
[0104]〔實(shí)施例效果〕
[0105]本發(fā)明揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)可確實(shí)通過引氣單元將由多個(gè)進(jìn)氣單元通入的VOCs共同導(dǎo)入防治單元進(jìn)行處理，因此可減少增設(shè)廢氣排放設(shè)備及空污防治設(shè)備的成本。
[0106]再者，所述回收系統(tǒng)通過多管進(jìn)及單管出的管路設(shè)計(jì)，除了能夠維持進(jìn)與出風(fēng)量的平衡外，還能夠有效提升防治設(shè)備的破壞率及均化控制效率，進(jìn)而節(jié)省下需繳納的空污費(fèi)。
[0107]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選可行實(shí)施例，非因此局限本發(fā)明的專利范圍，故舉凡運(yùn)用本發(fā)明說明書及圖示內(nèi)容所為的等效技術(shù)變化，均包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，包括: 一熱處理單元，包含有一上行加熱爐及一鄰設(shè)于所述上行加熱爐的下行加熱爐，所述上行加熱爐與所述下行加熱爐各自具有一上氣室、一下氣室及一位于所述上氣室與所述下氣室之間的烘箱； 一頂部進(jìn)氣單元，具有一制程氣體產(chǎn)生室及一導(dǎo)氣管路，所述導(dǎo)氣管路的一端連接所述制程氣體產(chǎn)生室，且所述導(dǎo)氣管路的另一端分別與所述上行加熱爐的所述上氣室及所述下行加熱爐的所述上氣室相連接； 一引氣單元，具有一第一引氣管路及一第二引氣管路，所述第一引氣管路的一端分別與所述下行加熱爐的所述上氣室及所述導(dǎo)氣管路相連接，且所述第一引氣管路的另一端連接所述上行加熱爐的所述烘箱，所述第二引氣管路的一端連接所述上行加熱爐的所述烘箱，且所述第二引氣管路的另一端連接所述下行加熱爐的所述烘箱；以及 一排氣管路，所述排氣管路與所述下行加熱爐的所述烘箱相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括一防治裝置，所述排氣管路的一端連接所述下行加熱爐的所述烘箱，且所述排氣管路的另一端連接所述防治裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，所述上行加熱爐的所述上氣室與所述烘箱之間設(shè)有一第一上氣簾部，所述上行加熱爐的所述下氣室與所述烘箱之間設(shè)有一第一下氣簾部，且所述下行加熱爐的所述上氣室與所述烘箱之間設(shè)有一第二上氣簾部，所述下行加熱爐的所述下氣室與所述烘箱之間設(shè)有一第二下氣簾部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，所述導(dǎo)氣管路包括一導(dǎo)入部及一分流部，所述導(dǎo)入部包含一導(dǎo)入管、第一過濾件及一第一驅(qū)動(dòng)件，所述制程氣體產(chǎn)生室連接于所述導(dǎo)入管的一端，所述第一過濾件接設(shè)于所述導(dǎo)入管的另一端，且所述第一驅(qū)動(dòng)件鄰設(shè)于所述第·一過濾件，所述分流部的一端連接所述導(dǎo)入部，所述分流部的另一端分別與所述上行加熱爐的所述第一上氣簾部、所述下行加熱爐的所述第二上氣簾部及所述第一引氣管路相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，所述第一引氣管路包括一第一引氣管、一引入管、一第二過濾件及一第二驅(qū)動(dòng)件，所述第一引氣管的一端通過所述第二驅(qū)動(dòng)件與所述分流部及所述下行加熱爐的所述第二上氣簾部相連接，所述第一引氣管的另一端通過所述引入管與所述上行加熱爐的所述第一上氣簾部相連接，所述第二過濾件及所述第二驅(qū)動(dòng)件間隔地接設(shè)于所述引入管上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，所述第二引氣管路包括一第二引氣管、一第三驅(qū)動(dòng)件及一第三過濾件，所述第二引氣管的一端連接所述上行加熱爐的所述烘箱，所述第二引氣管的另一端連接所述下行加熱爐的所述烘箱，所述第三驅(qū)動(dòng)件及所述第三過濾件間隔地接設(shè)于所述第二引氣管上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括一底部進(jìn)氣單元，具有一空氣供給裝置及一空氣管路，其中所述空氣管路包括一空氣導(dǎo)入部及一空氣導(dǎo)出部，所述空氣導(dǎo)入部的一端連接所述空氣供給裝置，所述空氣導(dǎo)入部的另一端分別與所述上行加熱爐的所述第一下氣簾部及所述下行加熱爐的所述第二下氣簾部相連接，所述空氣導(dǎo)出部的一端分別與所述上行加熱爐的所述第一下氣簾部及所述下行加熱爐的所述第二下氣簾部相連接，所述空氣導(dǎo)出部的另一端連接所述引入管。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括一底部進(jìn)氣單元，具有一空氣供給裝置及一空氣管路，其中所述空氣管路包括一空氣導(dǎo)入部及一空氣導(dǎo)出部，所述空氣導(dǎo)入部的一端連接所述空氣供給裝置，所述空氣導(dǎo)入部的另一端分別與所述上行加熱爐的所述第一下氣簾部及所述下行加熱爐的所述第二下氣簾部相連接，所述空氣導(dǎo)出部的一端分別與所述上行加熱爐的所述第一下氣簾部及所述下行加熱爐的所述第二下氣簾部相連接，所述空氣導(dǎo)出部的另一端連接所述排氣管路。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括一底部進(jìn)氣單元，具有一空氣供給裝置及一空氣管路，其中所述空氣管路包括一空氣導(dǎo)入部及一空氣導(dǎo)出部，所述空氣導(dǎo)入部的一端連接所述空氣供給裝置，所述空氣導(dǎo)入部的另一端分別與所述上行加熱爐的所述第一氣簾部及所述下行加熱爐的所述第二下氣簾部相連接，所述空氣導(dǎo)出部的一端分別與所述上行加熱爐的所述第一下氣簾部及所述下行加熱爐的所述第二下氣簾部相連接，所述空氣導(dǎo)出部的另一端連接所述導(dǎo)氣管路的所述第一過濾件。
10.一種揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，包括: 一熱處理單元，包含有一上行加熱爐及一鄰設(shè)于所述上行加熱爐的下行加熱爐，所述上行加熱爐與所述下行加熱爐各自具有一上氣室、一下氣室及一位于所述上氣室與所述下氣室之間的烘箱； 一頂部進(jìn)氣單元，具有一導(dǎo)氣管路，所述導(dǎo)氣管路分別與所述上行加熱爐的所述上氣室及所述下行加熱爐的所述上氣室相連接； 一底部進(jìn)氣單元，具有一制程氣體產(chǎn)生室、一空氣供給裝置及一空氣管路，所述空氣管路的一端分別與所述制程氣體產(chǎn)生室及所述空氣供給裝置相連接，且所述空氣管路的另一端分別與所述上行加熱爐的所述下氣室、所述下行加熱爐的所述下氣室及所述導(dǎo)氣管路相連接； 一引氣單元，具有一第一引氣管路及一第二引氣管路，所述第一引氣管路的一端分別與所述下行加熱爐的所述上氣室及所述導(dǎo)氣管路相連接，且所述第一引氣管路的另一端連接所述上行加熱爐的所述烘箱，所述第二引氣管路的一端連接所述上行加熱爐的所述烘箱，且所述第二引氣管路的另一端連接所述下行加熱爐的所述烘箱；以及 一排氣管路，所述排氣管路與所述下行加熱爐的所述烘箱相連接。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括一防治裝置，所述排氣管路的一端連接所述下行加熱爐的所述烘箱，且所述排氣管路的另一端連接所述防治裝置。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)，其特征在于，所述空氣管路包括一空氣導(dǎo)入部及一空氣導(dǎo)出部，所述空氣導(dǎo)入部的一端分別與所述制程氣體產(chǎn)生室及所述空氣供給裝置相連接，所述空氣導(dǎo)入部的另一端分別與所述上行加熱爐的所述下氣室及所述下行加熱爐的所述下氣室相連接，所述空氣導(dǎo)出部的一端分別與所述上行加熱爐的所述下氣室及所述下行加熱爐的所述下氣室相連接，且所述空氣導(dǎo)出部的另一端與所述導(dǎo)氣管路相連接。
13.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)物的回收系統(tǒng)的回收流程，其特征在于，包括以下步驟:揮發(fā)性有機(jī)物自所述制程氣體產(chǎn)生室經(jīng)所述導(dǎo)氣管路進(jìn)入所述上行加熱爐的所述上氣室及所述下行加熱爐的所述上氣室； 所述揮發(fā)性有機(jī)物通過所述導(dǎo)氣管路及所述第一引氣管路進(jìn)入所述上行加熱爐的所述烘箱； 所述揮發(fā)性有機(jī)物通過所述第二引氣管路進(jìn)入所述下行加熱爐的所述烘箱；以及 所述揮發(fā)性有機(jī)物匯流·入所述排氣管路。
【文檔編號(hào)】B01D53/74GK103845999SQ201210495619
【公開日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2012年11月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月28日
【發(fā)明者】古鴻賢, 陳永福, 徐金傳 申請(qǐng)人:宏泰電工股份有限公司