專利名稱：自動(dòng)無級(jí)調(diào)速整體攪拌系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅片處理設(shè)備，尤其涉及一種用于硅片堿液制絨面處理中，可以使堿液在清洗過程中的濃度、溫度均勻以及減少堿液結(jié)晶的自動(dòng)無極調(diào)速整體攪拌系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在硅片堿液制絨面處理過程中，清洗硅片時(shí)堿液的濃度、溫度是否均勻以及堿液 結(jié)晶多少是必須控制的。這直接影響硅片清洗的質(zhì)量?，F(xiàn)有制絨堿液的濃度、溫度及結(jié)晶 的控制是采用簡(jiǎn)單的攪拌裝置來控制，堿液各點(diǎn)溫度的及時(shí)檢測(cè)和堿液的及時(shí)攪拌，都不 能有效的控制，使得堿液結(jié)晶較快、較多，影響硅片堿液制絨面處理的質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種可以高效、準(zhǔn)確控制堿液濃度、溫度以 及減少堿液結(jié)晶的自動(dòng)無極調(diào)速整體攪拌系統(tǒng)。本實(shí)用新型提出的自動(dòng)無極調(diào)速整體攪拌系統(tǒng),其包括設(shè)于制絨槽內(nèi)上部的吸水 管和下部的出水管、與吸水管和出水管聯(lián)通的循環(huán)泵、設(shè)于制絨槽內(nèi)各處的檢測(cè)裝置，還包 括一控制系統(tǒng)。該控制系統(tǒng)包括與所述循環(huán)泵連接的變頻器，所述的檢測(cè)裝置與該控制系 統(tǒng)連接。本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置不斷測(cè)量堿液中各點(diǎn)的溫度，當(dāng)各點(diǎn)的溫差達(dá)到設(shè)備設(shè)定 值時(shí)，控制系統(tǒng)將控制循環(huán)泵抽吸和排放制絨槽中的液體，進(jìn)行循環(huán)攪拌，并會(huì)根據(jù)溫差的 大小自動(dòng)調(diào)整循環(huán)攪拌速度。以便快速控制槽內(nèi)的溫差以及防止堿液結(jié)晶。本實(shí)用新型選 擇自動(dòng)無極調(diào)速來調(diào)節(jié)攪拌速度,其結(jié)合電氣控制和檢測(cè)功能，達(dá)到使制絨堿液濃度、溫度 均勻及減少結(jié)晶的效果。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作出詳細(xì)的說明,其中


圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為
圖1的剖視圖。
具體實(shí)施方式
圖1和圖2示出了本實(shí)用新型較佳實(shí)施例基本結(jié)構(gòu),所述的自動(dòng)無極調(diào)速整體攪 拌系統(tǒng)，其包括設(shè)于制絨槽1內(nèi)上部的吸水管2和下部的出水管3、與吸水管2和出水管3 聯(lián)通的循環(huán)泵4、設(shè)于制絨槽1內(nèi)各處的檢測(cè)裝置5，還包括一控制系統(tǒng)。該控制系統(tǒng)包括 與所述循環(huán)泵4連接的變頻器6,所述的檢測(cè)裝置5與控制系統(tǒng)連接。在硅片的清洗過程中,檢測(cè)裝置5不斷測(cè)量制絨槽1中的堿液中各點(diǎn)的溫度，當(dāng)各 點(diǎn)的溫差達(dá)到設(shè)備設(shè)定值時(shí)，控制系統(tǒng)通過變頻器6控制循環(huán)泵4啟動(dòng)，循環(huán)泵由吸水管2 和出水管3來抽吸和排放制絨槽中的液體，從而使得液體進(jìn)行循環(huán)攪拌。循環(huán)泵為攪拌提供動(dòng)力，變頻器根據(jù)溫差的大小按線性關(guān)系控制循環(huán)泵轉(zhuǎn)速,采用無極調(diào)速，自動(dòng)調(diào)整循環(huán) 攪拌速度。攪拌的速度也可人工在控制系統(tǒng)的觸摸屏上調(diào)整。這樣便可以快速的控制槽內(nèi) 的溫差以及防止堿液結(jié)晶，加工出高質(zhì)量的硅片。 以上結(jié)合較佳實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了具體描述，但是本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù) 人員可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或變化，這些變更和變化應(yīng)落入本實(shí)用新型保護(hù)的 范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種自動(dòng)無極調(diào)速整體攪拌系統(tǒng)，其特征在于，包括設(shè)于制絨槽(1)內(nèi)上部的吸水管(2)和下部的出水管(3)、與吸水管(2)和出水管(3)聯(lián)通的循環(huán)泵(4)、設(shè)于制絨槽(1)內(nèi)各處的檢測(cè)裝置(5)，還包括一控制系統(tǒng)；該控制系統(tǒng)包括與所述循環(huán)泵(4)連接的變頻器(6)，所述的檢測(cè)裝置(5)與控制系統(tǒng)連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種自動(dòng)無級(jí)調(diào)速整體攪拌系統(tǒng)，其包括設(shè)于制絨槽內(nèi)上部的吸水管和下部的出水管、與吸水管和出水管聯(lián)通的循環(huán)泵、設(shè)于制絨槽內(nèi)各處的檢測(cè)裝置，還包括一控制循環(huán)泵的控制系統(tǒng)。該控制系統(tǒng)包括與所述循環(huán)泵連接的變頻器，所述的檢測(cè)裝置與該控制系統(tǒng)連接。本實(shí)用新型根據(jù)檢測(cè)裝置提供的數(shù)據(jù)，由控制系統(tǒng)將控制循環(huán)泵抽吸和排放制絨槽中的液體，進(jìn)行循環(huán)攪拌，并可以自動(dòng)調(diào)整攪拌速度，以便快速的控制槽內(nèi)的溫差以及防止堿液結(jié)晶。
文檔編號(hào)B01F5/10GK201579005SQ20092026115
公開日2010年9月15日 申請(qǐng)日期2009年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月8日
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