專利名稱：過濾器單元及過濾器芯子的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及過濾器單元及過濾器芯子，更詳細地涉及使用于制造半導體晶片或 LCD用玻璃基板等時所使用的胺類等的有機剝離液或顏料分散光致抗蝕劑或者使用化學的 機械的研磨裝置時所使用的泥漿等的過濾、純水的制造等的過濾器單元及應用于該單元的 過濾器芯子，尤其涉及它們的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
過濾器單元具備過濾器芯子(過濾器組裝體)；外殼(筒體)，收容過濾器芯子； 及外殼蓋體(頂蓋)，具有被過濾液的入口、過濾液的出口及排氣用通氣口，作為過濾器芯 子公知有例如在半徑方向內(nèi)外的多孔筒之間收容使帶有折皺的多孔質(zhì)膜呈圓筒狀的過濾 構(gòu)件，并熔接上下的端蓋而成的過濾器芯子。作為過濾器單元的一個類型存在如下過濾器單元，首先從蓋體入口向外殼內(nèi)的過 濾器芯子的半徑方向外側(cè)的側(cè)部流路導入被過濾液，之后，流向半徑方向內(nèi)側(cè)多孔筒內(nèi)的 中心部流路使其向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件并進行過濾，從中心部流路向出口吐出該過 濾液。在該類型的過濾器單元中，被過濾液的流動往往停滯在側(cè)部流路的外殼底部側(cè)，因 此，存在如下情況，在側(cè)部流路底部附近殘留未過濾的異物，或過濾構(gòu)件的底部側(cè)與上部側(cè) (外殼蓋體側(cè))相比使用效率降低。作為改善該課題的過濾器單元開發(fā)出如下過濾器單元(例如，本申請人的日本國 專利申請2007-107074號等)，其構(gòu)成為將過濾構(gòu)件的中心部空間分為半徑方向內(nèi)側(cè)的中 心部內(nèi)側(cè)流路和半徑方向外側(cè)的中心部外側(cè)流路，通過首先向中心部內(nèi)側(cè)流路通入從蓋 體入口導入的被過濾液之后，從該內(nèi)側(cè)流路的下端部向外殼內(nèi)的過濾器芯子下方的底部流 路，之后從底部流路向上述側(cè)部流路輸送，可防止在側(cè)部流路底部附近滯留，還可使被過濾 液從側(cè)部流路向中心部外側(cè)流路大致均等地經(jīng)過過濾構(gòu)件以進行過濾，經(jīng)由中心部外側(cè)流 路從蓋體出口吐出該過濾液。上述中心部外側(cè)流路形成在半徑方向外側(cè)的多孔筒和半徑方 向內(nèi)側(cè)的無孔筒之間，在該無孔筒內(nèi)部形成中心部內(nèi)側(cè)流路。上述的最初將被過濾液導入中心部內(nèi)側(cè)流路的類型的過濾器單元能夠解決在側(cè) 部流路下方滯留被過濾液或不均衡使用過濾構(gòu)件這樣的問題，另一方面，由于使被過濾液 流經(jīng)中心部內(nèi)側(cè)流路一底部流路一側(cè)部流路一中心部外側(cè)流路，所以與最初說明的類型 (側(cè)部流路一中心部流路)相比液體流通路徑變長，因此，在導入被過濾液的初期階段，存 在容易在過濾器單元內(nèi)的液體流通路徑中殘存空氣(氣泡)這樣的問題，尤其是氣泡容易 附著殘留于形成中心部外側(cè)流路的半徑方向外側(cè)的多孔筒的多個開口(因為成形時的脫 模，尺寸稍稍向半徑方向內(nèi)側(cè)縮小)的邊緣。另外，如果殘存的氣泡隨后即使只是稍稍混入 過濾液，也有可能例如在制造中的半導體晶片等上產(chǎn)生不良現(xiàn)象。而且，如上所述，如果液體流通路徑變長，則過濾器單元內(nèi)的殘留液體具有變多的 傾向，尤其是過濾對象的藥液等在開發(fā)初期階段中價格極高且只有少量時，該殘留液體的 問題尤為顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對上述課題而做出的，其目的在于提供一種過濾器單元及應用于該單 元的過濾器芯子，在使被過濾液流經(jīng)中心部流路一底部流路一側(cè)部流路的類型的過濾器單 元中， 能夠提高空氣去除性能，同時能夠縮小所謂的滯留體積以減少殘液量。根據(jù)本發(fā)明，提供一種過濾器單元，具備過濾器芯子，包括圓筒狀過濾構(gòu)件及配 置在過濾構(gòu)件中心部的圓筒狀濾芯構(gòu)件；外殼，收容過濾器芯子；及外殼蓋體，具有被過濾 液的入口及過濾液的出口，濾芯構(gòu)件具有與所述入口連通的中心部流路，在外殼內(nèi)分別在 過濾器芯子的下方形成有底部流路、在過濾器芯子的半徑方向外側(cè)形成有側(cè)部流路，從入 口導入的被過濾液經(jīng)由所述中心部流路被輸送至底部流路，之后從底部流路被輸送至側(cè)部 流路，從側(cè)部流路向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件而被過濾后，沿濾芯構(gòu)件外周流向出口，其 特征在于，在所述濾芯構(gòu)件的外周設(shè)置有凸部，過濾時支撐所述過濾構(gòu)件的內(nèi)周部；及凹 部，將向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過了過濾構(gòu)件的過濾液引導向所述出口。在本發(fā)明中，從蓋體入口經(jīng)由中心部流路、底部流路直至側(cè)部流路的被過濾液向 半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件并被過濾，此時，濾芯構(gòu)件外周的凸部發(fā)揮這樣的作用從內(nèi)側(cè) 支撐因流體壓力而被壓向半徑方向內(nèi)側(cè)的過濾構(gòu)件的內(nèi)周部；而且，濾芯構(gòu)件外周的凹部 發(fā)揮這樣的作用將過濾液導向蓋體出口。因此，能夠廢除在以往的最初將被過濾液導入中 心部內(nèi)側(cè)流路的類型的過濾器單元中的形成在半徑方向外側(cè)的多孔筒和半徑方向內(nèi)側(cè)的 無孔筒之間的中心部外側(cè)流路，由此，不再需要使用容易殘存氣泡的上述多孔筒，而且，能 夠縮小中心部外側(cè)流路部分的滯留體積。在本發(fā)明的一個實施方式中，所述凹部形成螺旋狀的槽。該螺旋槽除凹部以直線 狀伸長而形成槽的方式以外，包括使各自的單位形狀為矩形等的凹部傾斜連續(xù)地成為螺旋 狀的槽的方式(參照圖4)。在本發(fā)明的一個實施方式中，所述槽的底部為沒有角的形狀。由此，不會在凹部的 底部附著殘留氣泡。在本發(fā)明的一個實施方式中，所述螺旋狀槽相對于與所述濾芯構(gòu)件的軸線垂直的 面的傾斜角度為40度至50度。該螺旋角度不足40度時，過濾液的排出速度變慢，有可能 會殘存氣泡，而超過50度時，過濾構(gòu)件外周部的折皺痕有可能會進入槽。在本發(fā)明的一個實施方式中，所述濾芯構(gòu)件外周的凸部及凹部使用多個模來成 形。作為在濾芯構(gòu)件外周上形成凹凸的方法，存在由多個(例如二至四塊)模來成形的方 法或切削濾芯構(gòu)件外周面的方法，前者較為容易制造。根據(jù)其它的本發(fā)明，提供一種過濾器芯子，具備圓筒狀的過濾構(gòu)件、和配置在過濾 構(gòu)件中心部的具有中心部流路的濾芯構(gòu)件，從外部被導入的被過濾液經(jīng)過了中心部流路 后，被輸送至過濾構(gòu)件的半徑方向外側(cè)，之后向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件而被過濾，該過 濾液沿濾芯構(gòu)件外周流向出口，其特征在于，在所述濾芯構(gòu)件的外周設(shè)置有凸部，過濾時 支撐所述過濾構(gòu)件的內(nèi)周部；及凹部，將向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過了過濾構(gòu)件的過濾液引導向 外部。發(fā)明的效果在本發(fā)明中，由于能夠廢除在以往的最初將被過濾液導入中心部內(nèi)側(cè)流路的類型的過濾器單元中的形成在半徑方向外側(cè)的多孔筒和半徑方向內(nèi)側(cè)的無孔筒之間的中心部 外側(cè)流路，不再需要容易殘存氣泡的上述多孔筒，所以能夠提高空氣去除性能，而且，能夠 縮小中心部外側(cè)流路部分的滯留體積從而減少殘液量。


圖1是本發(fā)明一個實施方式的過濾器單元的縱剖視立體說明圖。圖2是濾芯構(gòu)件的主視 圖。圖3是沿圖2的A-A線的濾芯構(gòu)件的橫剖視圖。圖4是表示濾芯構(gòu)件的其它例子的立體圖。符號說明1 過濾器單元；10 過濾器芯子；11 過濾構(gòu)件；12 套筒；13、13，濾芯構(gòu)件；14 中心部流路；15、15，凸部；16、16，槽(凹部)；20:外殼；30:外殼蓋體；31:入口 ；32:出 口 ；40 底部流路；41 側(cè)部流路。
具體實施例方式下面，參照

本發(fā)明一個實施方式的過濾器單元及過濾器芯子。圖1是過 濾器單元1的縱剖視立體說明圖。過濾器單元1由過濾器芯子10、收容過濾器芯子10的外 殼(筒體)20、外殼蓋體(頂蓋)30構(gòu)成，在外殼蓋體30上裝有被過濾液的入口 31及與其 連續(xù)的入口流路31’、過濾液的出口 32及與其連續(xù)的出口流路32’、排氣用通氣口 33。在過 濾器單元1中，外殼20內(nèi)的過濾器芯子10的下方成為底部流路40，過濾器芯子10的半徑 方向外側(cè)成為側(cè)部流路41。另外，過濾器芯子10交換自如地應用于過濾器單元1。過濾器芯子10具備過濾構(gòu)件11，使帶有折皺的多孔質(zhì)膜成為圓筒狀而構(gòu)成；套 筒12，是包圍過濾構(gòu)件11外周部的樹脂制多孔筒；樹脂制濾芯構(gòu)件13，以圓筒狀配置在過 濾構(gòu)件11的半徑方向內(nèi)側(cè)的中心部空間；上部端蓋17，熔接于過濾構(gòu)件11及濾芯構(gòu)件13 的上部；及底部端蓋18，熔接于過濾構(gòu)件11及濾芯構(gòu)件13的底部。濾芯構(gòu)件13具有沿濾 芯軸線的中心部流路14，與上部及底部端蓋17、18的中心部流路14相對應的部分作為該流 路的延長部分而開口。圖2及圖3是濾芯構(gòu)件13的主視圖及橫剖視圖。在濾芯構(gòu)件13外周面的外周全 域上形成有作為凹部的多個螺旋狀槽16，相對于槽16相對地突出的凸部15以螺旋狀殘留 在槽_槽之間。相對于與螺旋槽16的濾芯軸線垂直的面的傾斜角度設(shè)定為45度，各槽16 的底部截面為沒有角部的大致半球形(參照圖3)(在圖2中為了使凹凸清楚，適宜地表示 為在槽16的底部具有角部)。而且，在上述端蓋17上，與槽16相對應的部分局部開口(參 照圖1)。由于濾芯構(gòu)件13外周的槽16在基于左右一對半模的成形中很難脫模，所以通過 從濾芯外周面進行切削加工來形成。在上述過濾器單元1中，從蓋體入口 31導入過濾器單元1內(nèi)的被過濾液經(jīng)由入口 流路31，進入中心部流路14，沿中心部流路14下降至底部流路40，之后從底部流路40到 達側(cè)部流路41。此后被過濾液向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件11而被過濾。該過濾時，濾 芯構(gòu)件13外周的凸部15支撐因流體壓力而被壓向半徑方向內(nèi)側(cè)的過濾構(gòu)件11的內(nèi)周部。 而且，過濾液進入濾芯構(gòu)件13外周的槽16內(nèi)，沿槽16上升，經(jīng)由出口路徑32’從蓋體出口32吐出。由于在以上的過濾器單元1中廢除了以往的過濾器單元中的形成在半徑方向外 側(cè)的多孔筒和半徑方向內(nèi)側(cè)的無孔筒之間的中心部外側(cè)流路，所以不再需要容易殘存氣泡 的上述多孔筒，能夠提高空氣去除性能。而且，能夠縮小大致中心部外側(cè)流路部分的滯留體 積從而減少殘液量。而且，還能夠消減不需要多孔筒部分的過濾器芯子10的制造成本。圖4表示作為濾芯構(gòu)件的其它例子能夠用左右一對半模來成形的例子，在該濾芯 構(gòu)件13’的外周上設(shè)置有多個單位形狀為橫長方形的凸部15’和縱向長度與凸部15’大致 相同且橫向 長度比凸部15’的一半稍短的矩形單位形狀的凹部16’，凹部16’從下方向上方 在對角線方向上連續(xù)地形成為螺旋狀的槽。由于濾芯構(gòu)件13’能夠通過模成形來得到外周 的凹凸16’、15’，所以與需要切削的濾芯13相比凹凸的制造較為容易。
權(quán)利要求
一種過濾器單元，具備過濾器芯子，包括圓筒狀過濾構(gòu)件及配置在過濾構(gòu)件中心部的圓筒狀濾芯構(gòu)件；外殼，收容過濾器芯子；及外殼蓋體，具有被過濾液的入口及過濾液的出口，濾芯構(gòu)件具有與所述入口連通的中心部流路，在外殼內(nèi)分別在過濾器芯子的下方形成有底部流路、在過濾器芯子的半徑方向外側(cè)形成有側(cè)部流路，從入口導入的被過濾液經(jīng)由所述中心部流路被輸送至底部流路，之后從底部流路被輸送至側(cè)部流路，從側(cè)部流路向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件而被過濾后，沿濾芯構(gòu)件外周流向出口，其特征在于，在所述濾芯構(gòu)件的外周設(shè)置有凸部，過濾時支撐所述過濾構(gòu)件的內(nèi)周部；及凹部，將向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件的過濾液引導向所述出口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾器單元，其中，所述凹部形成螺旋狀的槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的過濾器單元，其中，所述槽的底部為沒有角的形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的過濾器單元，其中，所述螺旋狀槽相對于與所述濾芯構(gòu)件 的軸線垂直的面的傾斜角度為40度至50度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾器單元，其中，所述濾芯構(gòu)件外周的凸部及凹部使用多 個模來成形。
6.一種過濾器芯子，具備圓筒狀的過濾構(gòu)件、和配置在過濾構(gòu)件中心部的具有中心部 流路的濾芯構(gòu)件，從外部被導入的被過濾液經(jīng)過了中心部流路后，被輸送至過濾構(gòu)件的半 徑方向外側(cè)，之后向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件而被過濾，該過濾液沿濾芯構(gòu)件外周流向 出口，其特征在于，在所述濾芯構(gòu)件的外周設(shè)置有凸部，過濾時支撐所述過濾構(gòu)件的內(nèi)周部；及凹部，將 向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過了過濾構(gòu)件的過濾液引導向外部。
全文摘要
提供一種過濾器單元，在使被過濾液流經(jīng)中心部流路→底部流路→側(cè)部流路的類型的過濾器單元中，能夠提高空氣去除性能，并且，能夠縮小所謂的滯留體積以減少殘液量。過濾器單元，從蓋體(30)的入口(31)導入外殼(20)內(nèi)的被過濾液經(jīng)由濾芯構(gòu)件(13)的中心部流路(14)輸送至底部流路(40)，之后從底部流路(40)輸送至側(cè)部流路(41)，從側(cè)部流路(41)向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件(11)并被過濾后，沿濾芯構(gòu)件外周流向蓋體(30)的出口(32)，在濾芯構(gòu)件(13)的外周設(shè)置有凸部(15)，過濾時支撐過濾構(gòu)件(11)的內(nèi)周部；及凹部(16)，將向半徑方向內(nèi)側(cè)經(jīng)過過濾構(gòu)件(11)的過濾液引導向出口(32)。凹部(16)能夠形成為螺旋狀的槽。
文檔編號B01D27/08GK101868288SQ200880117149
公開日2010年10月20日 申請日期2008年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月29日
發(fā)明者鈴木靖二 申請人:安格斯公司