本發(fā)明涉及集成電路領(lǐng)域，特別是一種集成電路清潔毛刷。

背景技術(shù)：

為集成電路元器件的載體，半導(dǎo)體基板在原初狀態(tài)下的性能愈發(fā)的引起了行業(yè)的關(guān)注。研究表明，半導(dǎo)體基板遍歷盡可能多的必要加工工藝對基板產(chǎn)品整體良率的提高有很大的促進(jìn)作用，根據(jù)產(chǎn)品的需要，這些可能的加工工藝包括但不限于刻蝕、顯影、涂膠以及研磨等工藝。由于各個工藝之間相對獨(dú)立，每一工藝步驟中所使用的化學(xué)藥劑也不盡相同，所以半導(dǎo)體基板通常每完成一道或幾道工序之后，對基板進(jìn)行清洗處理的工作不可或缺。這也是為什么半導(dǎo)體行業(yè)對清潔機(jī)臺的需求異常旺盛的原因。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種集成電路清潔毛刷。為實(shí)現(xiàn)上述目的本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種集成電路清潔毛刷，包括橡膠吹氣球、套把、導(dǎo)氣管、集塵瓶、扇葉、過濾網(wǎng)、毛刷、吸塵管、套筒、防靜電膠套，橡膠吹氣球出氣口連接導(dǎo)氣管，導(dǎo)氣管出氣口對應(yīng)扇葉，套把黏貼安裝在橡膠吹氣球一側(cè)，集塵瓶螺釘安裝在扇葉上端，過濾網(wǎng)螺釘安裝在套筒下端，毛刷安裝在套筒底端外徑上，吸塵管安裝在套筒底端內(nèi)徑上，防靜電膠套套裝在套筒外壁。

優(yōu)選的，所述扇葉由旋轉(zhuǎn)中軸和扇片組成，旋轉(zhuǎn)中軸桿體上膠接有扇片。

優(yōu)選的，所述集塵瓶螺紋安裝在套筒內(nèi)徑，可單獨(dú)拆裝。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：一種集成電路清潔毛刷，毛刷安裝在套筒底端外徑上，用于梳理集成電路板的灰塵，吸塵管安裝在套筒底端內(nèi)徑上，擠壓橡膠吹氣球，橡膠吹氣球通過導(dǎo)氣管帶動扇葉，扇葉旋轉(zhuǎn)帶動空氣對流，將灰塵吸入集塵瓶內(nèi)部，過濾網(wǎng)過濾雜質(zhì)，防靜電膠套具有很好的防靜電功能。

附圖說明

圖1為本發(fā)明集成電路清潔毛刷的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明扇葉的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明毛刷和吸塵管底部安裝結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、橡膠吹氣球，2、套把，3、導(dǎo)氣管，4、集塵瓶，5、扇葉，6、過濾網(wǎng)，7、毛刷，8、吸塵管，9、套筒，10、防靜電膠套，11、旋轉(zhuǎn)中軸，12、扇片。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)闡述。

如圖1、圖2和圖3所示，一種集成電路清潔毛刷，包括橡膠吹氣球1、套把2、導(dǎo)氣管3、集塵瓶4、扇葉5、過濾網(wǎng)6、毛刷7、吸塵管8、套筒9、防靜電膠套10，橡膠吹氣球1出氣口連接導(dǎo)氣管3，導(dǎo)氣管3出氣口對應(yīng)扇葉5，套把2黏貼安裝在橡膠吹氣球1一側(cè)，集塵瓶4螺釘安裝在扇葉5上端，過濾網(wǎng)6螺釘安裝在套筒9下端，毛刷7安裝在套筒9底端外徑上，吸塵管8安裝在套筒9底端內(nèi)徑上，防靜電膠套10套裝在套筒9外壁。

所述扇葉5由旋轉(zhuǎn)中軸11和扇片12組成，旋轉(zhuǎn)中軸11桿體上膠接有扇片12。

所述集塵瓶4螺紋安裝在套筒9內(nèi)徑，可單獨(dú)拆裝。

本發(fā)明工作原理：一種集成電路清潔毛刷，毛刷安裝在套筒底端外徑上，用于梳理集成電路板的灰塵，吸塵管安裝在套筒底端內(nèi)徑上，擠壓橡膠吹氣球，橡膠吹氣球通過導(dǎo)氣管帶動扇葉，扇葉旋轉(zhuǎn)帶動空氣對流，將灰塵吸入集塵瓶內(nèi)部，過濾網(wǎng)過濾雜質(zhì)，防靜電膠套具有很好的防靜電功能。集塵瓶螺紋安裝在套筒內(nèi)徑，可單獨(dú)拆裝，方便清理。

以上所述為本發(fā)明較佳實(shí)施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)，在不脫離本發(fā)明的原理與精神的情況下，對實(shí)施方式所進(jìn)行的改變、修改、替換和變型仍落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種集成電路清潔毛刷，包括橡膠吹氣球、套把、導(dǎo)氣管、集塵瓶、扇葉、過濾網(wǎng)、毛刷、吸塵管、套筒、防靜電膠套，橡膠吹氣球出氣口連接導(dǎo)氣管，導(dǎo)氣管出氣口對應(yīng)扇葉，套把黏貼安裝在橡膠吹氣球一側(cè)，集塵瓶螺釘安裝在扇葉上端，過濾網(wǎng)螺釘安裝在套筒下端，毛刷安裝在套筒底端外徑上，吸塵管安裝在套筒底端內(nèi)徑上，防靜電膠套套裝在套筒外壁，一種集成電路清潔毛刷，毛刷安裝在套筒底端外徑上，用于梳理集成電路板的灰塵，吸塵管安裝在套筒底端內(nèi)徑上，擠壓橡膠吹氣球，橡膠吹氣球通過導(dǎo)氣管帶動扇葉，扇葉旋轉(zhuǎn)帶動空氣對流，將灰塵吸入集塵瓶內(nèi)部，過濾網(wǎng)過濾雜質(zhì)，防靜電膠套具有很好的防靜電功能。

技術(shù)研發(fā)人員：張建
受保護(hù)的技術(shù)使用者：張建
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.14
技術(shù)公布日：2017.09.05