砂線切割液的回收方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種砂線切割液的回收方法，包括：第一步，在沉淀池中放置60-120分鐘；第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；第三步，進(jìn)行紗布過濾，進(jìn)一步濾除浮在表面的低密度雜質(zhì)；第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；第五步，通過致密石墨板進(jìn)行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進(jìn)行反沖洗一次，保證過濾效果。通過上述技術(shù)方案回收的砂線切割液，可以進(jìn)行重復(fù)利用，減少水污染的排放，可以將回收液里面的雜質(zhì)進(jìn)行收集和儲(chǔ)藏，供二次使用；本砂線切割液的回收方法，可以減少70%的重金屬污染的排放，減少85%的非金屬有害物質(zhì)的排放。
【專利說明】砂線切割液的回收方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種砂線切割液的回收方法，屬于半導(dǎo)體材料切割【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]在進(jìn)行半導(dǎo)體加工的過程中，所使用的砂線切割液的用量非常大，一般砂線切割液里面含有重污染物質(zhì)，對環(huán)境會(huì)造成較大的傷害，而直接將用過的砂線切割液排放出去也會(huì)造成資源的浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種砂線切割液的回收方法，解決砂線切割液直接排放帶來的污染和浪費(fèi)的問題。
[0004]本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來具體實(shí)現(xiàn):
砂線切割液的回收方法，包括:
第一步，在沉淀池中放置60-120分鐘；
第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；
第三步，進(jìn)行紗布過濾，進(jìn)一步濾除浮在表面的低密度雜質(zhì)；
第四步，按照體積比100: 3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；第五步，通過致密石墨板進(jìn)行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進(jìn)行反沖洗一次，保證過濾效果。
[0005]通過上述技術(shù)方案回收的砂線切割液，可以進(jìn)行重復(fù)利用，減少水污染的排放，可以將回收液里面的雜質(zhì)進(jìn)行收集和儲(chǔ)藏，供二次使用；本砂線切割液的回收方法，可以減少70%的重金屬污染的排放，減少85%的非金屬有害物質(zhì)的排放。
【具體實(shí)施方式】
[0006]本發(fā)明實(shí)施例一所述的砂線切割液的回收方法，包括:
第一步，在沉淀池中放置60分鐘；
第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；
第三步，進(jìn)行紗布過濾，進(jìn)一步濾除浮在表面的低密度雜質(zhì)；
第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；第五步，通過致密石墨板進(jìn)行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進(jìn)行反沖洗一次，保證過濾效果。
[0007]本發(fā)明實(shí)施例二所述的砂線切割液的回收方法，包括:
第一步，在沉淀池中放置120分鐘；
第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；
第三步，進(jìn)行紗布過濾，進(jìn)一步濾除浮在表面的低密度雜質(zhì)；
第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；第五步，通過致密石墨板進(jìn)行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進(jìn)行反沖洗一次，保證過濾效果。
[0008]本發(fā)明實(shí)施例三所述的砂線切割液的回收方法，包括:
第一步，在沉淀池中放置80分鐘；
第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；
第三步，進(jìn)行紗布過濾，進(jìn)一步濾除浮在表面的低密度雜質(zhì)；
第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；第五步，通過致密石墨板進(jìn)行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進(jìn)行反沖洗一次，保證過濾效果。
[0009]通過上述技術(shù)方案回收的砂線切割液，可以進(jìn)行重復(fù)利用，減少水污染的排放，可以將回收液里面的雜質(zhì)進(jìn)行收集和儲(chǔ)藏，供二次使用；本砂線切割液的回收方法，可以減少70%的重金屬污染的排放，減少8 5%的非金屬有害物質(zhì)的排放。
【權(quán)利要求】
1.砂線切割液的回收方法，包括: 第一步，在沉淀池中放置60-120分鐘； 第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出； 第三步，進(jìn)行紗布過濾，進(jìn)一步濾除浮在表面的低密度雜質(zhì)； 第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；第五步，通過致密石墨板進(jìn)行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進(jìn)行反沖洗一次，保證過濾效 果。
【文檔編號(hào)】C02F9/04GK103508592SQ201310477768
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年10月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月14日
【發(fā)明者】劉耀峰, 潘振東 申請人:無錫榮能半導(dǎo)體材料有限公司