一種烘干機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導體材料技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片清洗后水分烘干用途的烘干機。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片的光刻、離子注入等技術(shù)，可以制作成各種半導體器件，而用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力，這使得硅片廣泛應(yīng)用于航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防，甚至已經(jīng)進入每一個家庭內(nèi)。
[0003]為了去除硅片表面雜質(zhì)，需要對硅片進行清洗，清洗后的硅片表面有水分，故需要及時對其進行烘干?，F(xiàn)有技術(shù)中，烘干機內(nèi)設(shè)有升溫用的電熱管，將裝有硅片的花籃置于烘干機內(nèi)的擱物架上，由電熱管進行熱烘干處理，該烘干機在對硅片進行烘干處理時存在以下缺陷:I)熱介質(zhì)為空氣，烘干中易造成硅片的氧化，影響硅片質(zhì)量;2)硅片置于花籃中，花籃置于烘干機的烘干架上，由于相鄰硅片之間間隔較小，故烘干效率低、烘干時間長。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，提供一種硅片烘干用烘干機，該機為了防止烘干中硅片被空氣中的氧氣氧化，特別充入了氮氣作為加熱介質(zhì);為了提高烘干的速度，在擱物架下安裝了驅(qū)動缸，以帶動擱物架上下移動，加快烘干速度，采用的技術(shù)方案是:一種烘干機，包括機架和位于機架下部的烘干箱，所述機架上部裝有控制部件，所述烘干箱包括箱門和設(shè)置在所述箱門內(nèi)的擱物架，所述烘干箱的內(nèi)壁上裝有電熱管，其特征在于:所述烘干箱還設(shè)有氮氣入口和廢氣出口，所述氮氣入口連接氮氣輸入管，所述廢氣出口連接廢氣排出管;所述烘干箱的底板上裝有驅(qū)動缸，所述驅(qū)動缸的活塞桿穿過連接孔后連接在所述擱物架上。
[0005]本實用新型的技術(shù)特征還有:所述驅(qū)動缸為驅(qū)動氣缸。
[0006]本實用新型的技術(shù)特征還有:所述驅(qū)動缸為驅(qū)動油缸。
[0007]本實用新型的技術(shù)特征還有:所述控制部件包括控制面板，所述控制面板上設(shè)有超溫報警按鈕。
[0008]本實用新型的有益效果在于:本機改變了傳統(tǒng)烘干機所用傳熱介質(zhì)，以達到避免硅片氧化的目的;本機的擱物架下連接驅(qū)動缸的活塞桿，在驅(qū)動缸的帶動下，可實現(xiàn)擱物架間歇或者連續(xù)的上下移動，以加速硅片表面水分的烘干速度，提高烘干效率;本機具有烘干效果好、烘干速度快、節(jié)能降耗之優(yōu)點。
【附圖說明】
[0009]附圖1是本實用新型主視圖，附圖2是烘干箱結(jié)構(gòu)示意圖，其中I是機架，2是烘干箱，21是箱門，22是把手，23是擱物架，24是底板，25是連接板，3是驅(qū)動缸，31是活塞桿，4是控制面板。
【具體實施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖，對本實用新型的【具體實施方式】進行說明。本實用新型公開了一種烘干機，該機適用于比如硅片之類對烘干要求高、且烘干時排布較為緊密的產(chǎn)品的烘干。該機包括機架1、位于機架I上部的控制部件和位于機架I下部的烘干箱2，其中烘干箱2包括箱門21、把手22和設(shè)置在箱門21內(nèi)的擱物架23，烘干箱2的內(nèi)壁上裝有電熱管(圖中未示出)，為了防止硅片被氧化，本機將加熱介質(zhì)改成了惰性氣體一一氮氣，為此烘干箱還設(shè)有氮氣入口和廢氣出口，氮氣入口上連接氮氣輸入管，廢氣排出口上連接廢氣排出管，通過氮氣輸入管和氮氣入口向烘干箱內(nèi)輸送氮氣，并由廢氣出口和廢氣排出管將廢氣排出。為了實現(xiàn)擱物架23的上下移動，在烘干箱2的底板上裝有驅(qū)動缸3，驅(qū)動缸3的活塞桿31穿過連接板25上的連接孔后連接在擱物架23上，此處的驅(qū)動缸3可為驅(qū)動氣缸或者驅(qū)動油缸。
[0011]控制部件包括控制面板，控制面板上設(shè)有超溫報警按鈕，當感溫探頭檢測到烘干箱2內(nèi)溫度超過設(shè)定溫度時，超溫報警器將報警，以避免高溫對硅片的損傷。
[0012]當然，上述說明并非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實用新型的實質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種烘干機，包括機架和位于機架下部的烘干箱，所述機架上部裝有控制部件，所述烘干箱包括箱門和設(shè)置在所述箱門內(nèi)的擱物架，所述烘干箱的內(nèi)壁上裝有電熱管，其特征在于:所述烘干箱還設(shè)有氮氣入口和廢氣出口，所述氮氣入口連接氮氣輸入管，所述廢氣出口連接廢氣排出管;所述烘干箱的底板上裝有驅(qū)動缸，所述驅(qū)動缸的活塞桿穿過連接孔后連接在所述擱物架上。2.按照權(quán)利要求1所述的烘干機，其特征在于:所述驅(qū)動缸為驅(qū)動氣缸。3.按照權(quán)利要求1所述的烘干機，其特征在于:所述驅(qū)動缸為驅(qū)動油缸。4.按照權(quán)利要求1所述的烘干機，其特征在于:所述控制部件包括控制面板，所述控制面板上設(shè)有超溫報警按鈕。
【專利摘要】一種烘干機，包括機架和位于機架下部的烘干箱，機架上部裝有控制部件，烘干箱包括箱門和設(shè)置在箱門內(nèi)的擱物架，烘干箱的內(nèi)壁上裝有電熱管，烘干箱還設(shè)有氮氣入口和廢氣出口，氮氣入口連接氮氣輸入管，廢氣出口連接廢氣排出管；烘干箱的底板上裝有驅(qū)動缸，驅(qū)動缸的活塞桿穿過連接孔后連接在擱物架上。本機具有烘干效果好、烘干速度快、節(jié)能降耗之優(yōu)點。
【IPC分類】F26B23/04, F26B9/06, F26B25/00
【公開號】CN205209099
【申請?zhí)枴緾N201520930976
【發(fā)明人】張運, 孫者利
【申請人】濟南卓微電子有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年11月23日