本技術(shù)屬于燒結(jié)裝置領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、晶圓在打磨或者劃片時(shí)需要用到墊環(huán)，墊環(huán)通常是半導(dǎo)體材料制成或者用陶瓷燒結(jié)制成，而陶瓷燒結(jié)的其中一種方式是通過(guò)天然氣燃燒來(lái)燒結(jié)，但目前使用天然氣進(jìn)行陶瓷燒結(jié)的設(shè)備，大多不能控制墊環(huán)表面各個(gè)位置受熱的均勻度，導(dǎo)致墊環(huán)的部分位置受熱較多，部分位置受熱較少，不利于控制墊環(huán)燒結(jié)后的品質(zhì)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型提供了一種晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了以下技術(shù)方案：

3、一種晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，包括燒結(jié)箱體，所述燒結(jié)箱體的左端鉸接設(shè)有第一箱門，所述燒結(jié)箱體的右端鉸接設(shè)有第二箱門，所述第一箱門和所述第二箱門對(duì)稱設(shè)置，所述燒結(jié)箱體的底部設(shè)有第一導(dǎo)軌架，所述燒結(jié)箱體的下端設(shè)有第一讓位口，所述第一讓位口與所述第一導(dǎo)軌架相匹配，所述燒結(jié)箱體內(nèi)設(shè)有第一燒結(jié)架，所述第一燒結(jié)架的兩端設(shè)有第一限位輪，所述第一限位輪與所述第一導(dǎo)軌架相匹配，所述燒結(jié)箱體的兩側(cè)設(shè)有加熱裝置。

4、進(jìn)一步地，所述加熱裝置包括第一加熱罩，所述第一加熱罩設(shè)置在所述燒結(jié)箱體內(nèi)，是第一加熱罩的兩端設(shè)有若干第一進(jìn)風(fēng)孔，所述第一加熱罩的兩側(cè)設(shè)有第一加熱管，所述第一加熱管呈u型，所述第一加熱管的兩端設(shè)有第一連接部，所述第一連接部固定在所述燒結(jié)箱體的上端。

5、進(jìn)一步地，所述加熱裝置包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)和第一風(fēng)扇葉，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在所述燒結(jié)箱體的上端，所述第一風(fēng)扇葉設(shè)置在所述燒結(jié)箱體和所述第一加熱罩之間，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)與所述第一風(fēng)扇葉相連接。

6、進(jìn)一步地，所述加熱裝置包括第一防護(hù)殼，所述第一防護(hù)殼設(shè)置在所述燒結(jié)箱體的兩端，所述第一連接部對(duì)應(yīng)于所述第一防護(hù)殼內(nèi)。

7、進(jìn)一步地，所述燒結(jié)箱體的后端設(shè)有第一限位框件，所述第一箱門的右端設(shè)有第一限位柱，所述第二箱門的左端設(shè)有第二限位柱，所述第一限位柱和所述第二限位柱均與所述第一限位框件相匹配。

8、本實(shí)用新型公開的一種晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于，其利用第一加熱罩吸熱并傳導(dǎo)熱量，可以使得第一燒結(jié)架周圍溫度更加均勻，并通過(guò)第一風(fēng)扇葉吹動(dòng)，加快燒結(jié)速度，并可以保證更好的燒結(jié)品質(zhì)。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，其特征在于，包括燒結(jié)箱體(100)，所述燒結(jié)箱體(100)的左端鉸接設(shè)有第一箱門(130)，所述燒結(jié)箱體(100)的右端鉸接設(shè)有第二箱門(140)，所述第一箱門(130)和所述第二箱門(140)對(duì)稱設(shè)置，所述燒結(jié)箱體(100)的底部設(shè)有第一導(dǎo)軌架(120)，所述燒結(jié)箱體(100)的下端設(shè)有第一讓位口(110)，所述第一讓位口(110)與所述第一導(dǎo)軌架(120)相匹配，所述燒結(jié)箱體(100)內(nèi)設(shè)有第一燒結(jié)架(160)，所述第一燒結(jié)架(160)的兩端設(shè)有第一限位輪(170)，所述第一限位輪(170)與所述第一導(dǎo)軌架(120)相匹配，所述燒結(jié)箱體(100)的兩側(cè)設(shè)有加熱裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括第一加熱罩(200)，所述第一加熱罩(200)設(shè)置在所述燒結(jié)箱體(100)內(nèi)，是第一加熱罩(200)的兩端設(shè)有若干第一進(jìn)風(fēng)孔(210)，所述第一加熱罩(200)的兩側(cè)設(shè)有第一加熱管(220)，所述第一加熱管(220)呈u型，所述第一加熱管(220)的兩端設(shè)有第一連接部(221)，所述第一連接部(221)固定在所述燒結(jié)箱體(100)的上端。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(230)和第一風(fēng)扇葉(240)，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(230)安裝在所述燒結(jié)箱體(100)的上端，所述第一風(fēng)扇葉(240)設(shè)置在所述燒結(jié)箱體(100)和所述第一加熱罩(200)之間，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(230)與所述第一風(fēng)扇葉(240)相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括第一防護(hù)殼(250)，所述第一防護(hù)殼(250)設(shè)置在所述燒結(jié)箱體(100)的兩端，所述第一連接部(221)對(duì)應(yīng)于所述第一防護(hù)殼(250)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，其特征在于，所述燒結(jié)箱體(100)的后端設(shè)有第一限位框件(150)，所述第一箱門(130)的右端設(shè)有第一限位柱，所述第二箱門(140)的左端設(shè)有第二限位柱(141)，所述第一限位柱和所述第二限位柱均與所述第一限位框件(150)相匹配。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，包括燒結(jié)箱體，所述燒結(jié)箱體的左端鉸接設(shè)有第一箱門，所述燒結(jié)箱體的右端鉸接設(shè)有第二箱門，所述第一箱門和所述第二箱門對(duì)稱設(shè)置，所述燒結(jié)箱體的底部設(shè)有第一導(dǎo)軌架，所述燒結(jié)箱體的下端設(shè)有第一讓位口，所述第一讓位口與所述第一導(dǎo)軌架相匹配，所述燒結(jié)箱體內(nèi)設(shè)有第一燒結(jié)架，所述第一燒結(jié)架的兩端設(shè)有第一限位輪，所述第一限位輪與所述第一導(dǎo)軌架相匹配，所述燒結(jié)箱體的兩側(cè)設(shè)有加熱裝置。本技術(shù)提供的一種晶圓墊環(huán)的燒結(jié)裝置，其利用第一加熱罩吸熱并傳導(dǎo)熱量，可以使得第一燒結(jié)架周圍溫度更加均勻，并通過(guò)第一風(fēng)扇葉吹動(dòng)，加快燒結(jié)速度，并可以保證更好的燒結(jié)品質(zhì)。

技術(shù)研發(fā)人員：徐暉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江圓芯半導(dǎo)體材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240402
技術(shù)公布日：2025/1/9