本技術(shù)涉及加熱設(shè)備的領(lǐng)域，尤其是涉及一種化學(xué)沉積爐用封閉式爐底加熱裝置。

背景技術(shù)：

1、化學(xué)氣相沉積爐是制備高性能c/c復(fù)合材料的主要設(shè)備之一，通常沉積爐爐壁四周安裝有加熱器，但是當(dāng)沉積爐尺寸較大時(shí)，爐體中心以及爐底的溫度相對(duì)較低，從而影響設(shè)備整體溫度均勻性，所以大尺寸沉積爐主要將加熱器安裝在爐體正下方，通過電極引出裝置接線。

2、但是爐體實(shí)際使用過程中，由于c/c復(fù)合材料在利用氣相前驅(qū)體熱解下形成沉積炭填充炭纖維的過程中，部分沉積炭很容易沉積在加熱器周圍，在爐體長時(shí)間工作時(shí)，容易導(dǎo)致加熱器損壞，需要將整個(gè)內(nèi)爐膽拆除后再對(duì)加熱器進(jìn)行維修，延長對(duì)加熱器的維修工作量，從而增加對(duì)化學(xué)沉積爐的使用成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了改善沉積炭易沉積在加熱器周圍的問題，本技術(shù)提供一種化學(xué)沉積爐用封閉式爐底加熱裝置。

2、本技術(shù)提供的一種化學(xué)沉積爐用封閉式爐底加熱裝置x，采用如下的技術(shù)方案：

3、一種化學(xué)沉積爐用封閉式爐底加熱裝置，包括與爐底法蘭座連接的法蘭盤、絕緣罩、加熱器和導(dǎo)電裝置，所述絕緣罩連接在法蘭盤表面，所述絕緣罩內(nèi)腔與法蘭盤表面之間留有供加熱器安裝的密封腔，所述導(dǎo)電裝置連接在加熱器和法蘭盤之間，所述導(dǎo)電裝置能對(duì)加熱器通電。

4、通過采用上述技術(shù)方案，法蘭盤安裝在爐底法蘭座表面，加熱器安裝在密封腔內(nèi)，實(shí)現(xiàn)爐體內(nèi)工藝氣體與加熱器的隔絕，使?fàn)t體內(nèi)工藝氣體不易進(jìn)入密封腔內(nèi)并在加熱器表面形成沉積炭，保證加熱器運(yùn)行的穩(wěn)定性，使加熱器運(yùn)行過程中不易損壞，無需將整個(gè)內(nèi)爐膽拆除后再對(duì)加熱器進(jìn)行維修，從而降低對(duì)化學(xué)沉積爐的使用成本；同時(shí)導(dǎo)電裝置對(duì)加熱器通電，加熱器得電產(chǎn)生大量熱能，實(shí)現(xiàn)對(duì)爐體內(nèi)腔的穩(wěn)定供熱，保證爐體內(nèi)工藝氣體反應(yīng)的穩(wěn)定性。

5、可選的，所述法蘭盤表面間隔開設(shè)有惰性氣體進(jìn)口和惰性氣體出口，所述惰性氣體進(jìn)口和惰性氣體出口均連通密封腔。

6、通過采用上述技術(shù)方案，惰性氣體通過惰性氣體進(jìn)口進(jìn)入密封腔內(nèi)，惰性氣體注滿密封腔后從惰性氣體出口排出，惰性氣體環(huán)繞加熱器，使?fàn)t體內(nèi)的工藝氣體不易進(jìn)入密封腔內(nèi)在加熱器表面形成沉積炭；同時(shí)當(dāng)加熱器升溫使，控制密封腔內(nèi)通入惰性氣體的壓力，使密封腔內(nèi)的惰性氣體壓力高于爐體內(nèi)工藝氣體壓力，使?fàn)t體內(nèi)的工藝氣體不易進(jìn)入密封腔內(nèi)，進(jìn)一步提高對(duì)密封腔的密封穩(wěn)定性。

7、可選的，所述法蘭盤朝向絕緣罩的表面連接有固定環(huán)，所述固定環(huán)內(nèi)圈壁抵緊絕緣罩周向外壁形成密封。

8、通過采用上述技術(shù)方案，當(dāng)絕緣罩安裝在法蘭盤表面時(shí)，固定環(huán)內(nèi)圈壁抵緊絕緣罩周向外壁形成密封，使?fàn)t體內(nèi)的工藝氣體不易通過固定環(huán)與絕緣罩的抵接處進(jìn)入密封腔內(nèi)，從而提高對(duì)密封腔的密封穩(wěn)定性。

9、可選的，所述導(dǎo)電裝置包括電極桿、接線排和電極連接桿，所述法蘭盤表面開設(shè)有供電極桿穿設(shè)的電極接口，所述電極接口連通密封腔，所述接線排表面開設(shè)有供電極桿穿設(shè)的電極孔一，所述接線排表面間隔開設(shè)有多個(gè)接線孔，所述電極連接桿一端連接在加熱器上，所述電極連接桿另一端連接在電極桿上，所述電極桿遠(yuǎn)離電極連接桿的端部依次穿設(shè)電極接口和電極孔一。

10、通過采用上述技術(shù)方案，電極連接桿一端安裝在加熱器上，電極連接桿另一端安裝在電極桿上，電極桿遠(yuǎn)離電極連接桿的端部依次穿設(shè)電極接口和電極孔一，電極孔一內(nèi)壁抵緊電極桿周向外壁，同時(shí)電纜線與接線孔內(nèi)壁螺裝完成接線，實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱器的通電，保證對(duì)加熱器運(yùn)行的穩(wěn)定性。

11、可選的，所述導(dǎo)電裝置還包括密封組件，所述密封組件包括擋片、絕緣法蘭一、絕緣法蘭二、密封圈一和固定螺母，所述擋片、絕緣法蘭一、密封圈一和絕緣法蘭二依次同軸套設(shè)在電極桿外周，所述擋片抵接電極桿外壁形成限位，所述固定螺母螺紋擰緊固定在電極桿遠(yuǎn)離擋片的端部，驅(qū)使所述絕緣法蘭一和絕緣法蘭二夾緊密封圈一兩側(cè)，所述密封圈一內(nèi)圈抵緊電極桿外周面形成密封，所述密封圈一外圈抵緊電極接口內(nèi)壁形成密封。

12、通過采用上述技術(shù)方案，擋片、絕緣法蘭一、密封圈一和絕緣法蘭二依次同軸套設(shè)在電極桿外周，擋片抵接電極桿外壁形成限位，固定螺母螺紋擰緊固定在電極桿遠(yuǎn)離擋片的端部，固定螺母和擋片夾緊絕緣法蘭一和絕緣法蘭二，絕緣法蘭一和絕緣法蘭二擠壓密封圈一，驅(qū)使密封圈一內(nèi)圈抵緊電極桿周向外壁形成密封，密封圈一外圈抵緊電極接口內(nèi)壁形成密封，使密封腔內(nèi)的惰性氣體不易從電極桿和電極接口的抵接處溢出，從而提高對(duì)密封腔的密封穩(wěn)定性。

13、可選的，所述導(dǎo)電裝置還包括冷卻水管，所述電極桿凸出電極接口的端部開設(shè)有供冷卻水流動(dòng)的冷卻流道，所述冷卻水管一端間隔開設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述冷卻水管另一端連接在電極桿上，所述冷卻水管內(nèi)腔連通冷卻流道，水通過所述進(jìn)水口進(jìn)入冷卻流道內(nèi)，所述冷卻流道內(nèi)的水通過出水口排出。

14、通過采用上述技術(shù)方案，水通過進(jìn)水口進(jìn)入冷卻流道內(nèi)，水與冷卻流道內(nèi)壁充分接觸并進(jìn)行熱交換，實(shí)現(xiàn)對(duì)電極桿的降溫，同時(shí)冷卻流道內(nèi)的水通過出水口排出，實(shí)現(xiàn)對(duì)冷卻流道內(nèi)水的循環(huán)流動(dòng)，從而提高對(duì)電極桿的降溫效率。

15、可選的，所述法蘭盤連接有熱偶集成裝置，所述法蘭盤連接有熱偶座，所述熱偶座內(nèi)腔連通密封腔，所述熱偶集成裝置檢測端嵌入熱偶座內(nèi)腔壁形成連接。

16、通過采用上述技術(shù)方案，熱偶座安裝在法蘭盤盤面，熱偶座內(nèi)腔連通密封腔，熱偶集成裝置檢測端嵌入熱偶座內(nèi)腔壁形成連接，熱偶集成裝置能夠精準(zhǔn)控制和測量密封腔內(nèi)的溫度，從而提高對(duì)爐體內(nèi)腔加熱的精準(zhǔn)度。

17、可選的，所述熱偶座遠(yuǎn)離密封腔的內(nèi)壁嵌有盲銷。

18、通過采用上述技術(shù)方案，盲銷嵌入熱偶座遠(yuǎn)離密封腔的內(nèi)腔壁，實(shí)現(xiàn)對(duì)熱偶座內(nèi)腔的封閉，使外界雜質(zhì)不易通過熱偶座內(nèi)腔進(jìn)入密封腔內(nèi)干擾加熱器，保證對(duì)加熱器運(yùn)行的穩(wěn)定性；當(dāng)需要對(duì)單獨(dú)控制溫度時(shí)，使用同等直徑的熱偶集成裝置替換盲銷，實(shí)現(xiàn)對(duì)化學(xué)沉積爐用封閉式爐底加熱裝置各種模式的任意切換。

19、可選的，所述熱偶座連接有加封組件，所述熱偶座內(nèi)腔壁開設(shè)有容納加封組件的加封腔，所述加封組件包括密封圈二、隔環(huán)、壓套和鎖緊螺母，所述密封圈二、隔環(huán)和壓套依次套設(shè)在盲銷外周，所述鎖緊螺母螺紋連接在熱偶座外周面，所述鎖緊螺母表面擠壓壓套，帶動(dòng)所述隔環(huán)擠壓密封圈二，所述密封圈二內(nèi)圈抵緊盲銷外周面形成密封，所述密封圈二外圈抵緊加封腔內(nèi)壁形成密封。

20、通過采用上述技術(shù)方案，密封圈二、隔環(huán)和壓套依次套設(shè)在盲銷外周，鎖緊螺母螺紋擰緊固定在熱偶座外周面，鎖緊螺母表面擠壓壓套，帶動(dòng)壓套擠壓隔環(huán)，隔環(huán)將壓力施加到密封圈二，密封圈二受壓形變，密封圈二內(nèi)圈抵緊盲銷外周面形成密封，密封圈二外圈抵緊加封腔內(nèi)壁形成密封，使密封腔內(nèi)的惰性氣體不易從盲銷和熱偶座的連接處溢出，從而提高對(duì)密封腔的密封穩(wěn)定性。

21、可選的，所述法蘭盤上連接有保溫組件，所述保溫組件包括支撐桿、隔板和保溫板，所述支撐桿一端連接在法蘭盤朝向密封腔的表面，所述支撐桿另一端連接在隔板板面，所述保溫板板面連接在隔板朝向加熱器的表面，所述隔板板面間隔開設(shè)有熱偶孔和供電極連接桿穿設(shè)的電極孔二，所述熱偶孔與熱偶座一一對(duì)應(yīng)，所述保溫板朝向電極孔二的表面開設(shè)有供電極連接桿穿設(shè)的電極孔三，所述保溫板朝向熱偶孔的表面開設(shè)有熱偶通道，所述熱偶通道朝靠近加熱器的方向貫穿保溫板板面。

22、通過采用上述技術(shù)方案，支撐桿一端連接在法蘭盤盤面，支撐桿另一端連接在隔板板面，支撐桿為隔板提供支撐，同時(shí)保溫板安裝在隔板朝向加熱器的板面，保溫板能蓄積加熱器產(chǎn)生的熱能，減少能源的耗損，從而體現(xiàn)節(jié)能的概念；同時(shí)電極連接桿端部穿設(shè)電極孔二和電極孔三并連接在加熱器上，電極孔二內(nèi)壁為電極連接桿提供支撐，使電極連接桿在密封腔內(nèi)不易發(fā)生偏移，從而提高電極連接桿在密封腔內(nèi)的限位穩(wěn)定性。

23、綜上所述，本技術(shù)包括以下至少一種有益技術(shù)效果：

24、1.法蘭盤、絕緣罩、加熱器和導(dǎo)電裝置的設(shè)置，使?fàn)t體內(nèi)工藝氣體不易進(jìn)入密封腔內(nèi)并在加熱器表面形成沉積炭，保證加熱器運(yùn)行的穩(wěn)定性，使加熱器運(yùn)行過程中不易損壞，無需將整個(gè)內(nèi)爐膽拆除后再對(duì)加熱器進(jìn)行維修，從而降低對(duì)化學(xué)沉積爐的使用成本；

25、2.惰性氣體進(jìn)口和惰性氣體出口的設(shè)置，控制密封腔內(nèi)通入惰性氣體的壓力，使密封腔內(nèi)的惰性氣體壓力高于爐體內(nèi)工藝氣體壓力，使?fàn)t體內(nèi)的工藝氣體不易進(jìn)入密封腔內(nèi)，進(jìn)一步提高對(duì)密封腔的密封穩(wěn)定性；

26、3.固定環(huán)的設(shè)置，固定環(huán)內(nèi)圈壁抵緊絕緣罩周向外壁形成密封，使?fàn)t體內(nèi)的工藝氣體不易通過固定環(huán)與絕緣罩的抵接處進(jìn)入密封腔內(nèi)，從而提高對(duì)密封腔的密封穩(wěn)定性。