專利名稱：可控制結(jié)露量的環(huán)境試驗(yàn)裝置及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可對(duì)試驗(yàn)對(duì)象的結(jié)露量進(jìn)行控制的環(huán)境試驗(yàn)裝置，該環(huán)境試驗(yàn)裝置尤 其可適用于電子元件、電子材料等試驗(yàn)對(duì)象的電絕緣性能試驗(yàn)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，由電子元件、電子材料等構(gòu)成的電子設(shè)備隨著用途的擴(kuò)大而應(yīng)用于各種 環(huán)境下。其中，例如在高濕度的環(huán)境下使用電子設(shè)備有時(shí)會(huì)在電子設(shè)備上結(jié)露使導(dǎo)體之間 短路從而產(chǎn)生故障。為此，越來(lái)越有必要對(duì)電子設(shè)備的結(jié)露耐受性(電絕緣性)進(jìn)行適當(dāng) 評(píng)價(jià)。用于進(jìn)行結(jié)露試驗(yàn)的裝置例如有專利文獻(xiàn)1、2中記載的裝置。在專利文獻(xiàn)1所記 載的裝置中，對(duì)載置臺(tái)進(jìn)行冷卻以使試件的載置臺(tái)的溫度在試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度附近保持 一定，從而長(zhǎng)時(shí)間保持試件的結(jié)露狀態(tài)。另外，在專利文獻(xiàn)2記載的裝置中，根據(jù)由電視成像裝置所獲取的試驗(yàn)對(duì)象表面 的圖像來(lái)判斷結(jié)露量，并將與該結(jié)露量相關(guān)的信號(hào)輸入冷卻器控制部。并且，用冷卻器對(duì)試 驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行冷卻以使試驗(yàn)對(duì)象表面達(dá)到設(shè)定的結(jié)露量。另外，最大限度地利用冷卻器的冷 卻能力進(jìn)行試驗(yàn)對(duì)象的冷卻控制。專利文獻(xiàn)1 日本國(guó)專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)“特開(kāi)昭62-19746號(hào)”專利文獻(xiàn)2 日本國(guó)專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)“特開(kāi)10-78387號(hào)”

發(fā)明內(nèi)容
然而，用專利文獻(xiàn)1所記載的裝置難以獲得高精度的結(jié)露狀態(tài)。換言之，雖然能夠 進(jìn)行粗略的結(jié)露量控制，但難以實(shí)現(xiàn)精細(xì)的結(jié)露量控制。僅僅使載置臺(tái)的溫度在露點(diǎn)溫度 附近保持一定，試件表面的結(jié)露量還是會(huì)隨著時(shí)間變化而發(fā)生變化。另一方面，在專利文獻(xiàn)2所記載的裝置中，用電視成像裝置對(duì)試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié) 露量進(jìn)行測(cè)定。然而，在專利文獻(xiàn)2所記載的裝置中，最大限度地利用冷卻器的冷卻能力對(duì) 試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。在這種情況下，雖然結(jié)露量對(duì)設(shè)定的結(jié)露量附近的值的 響應(yīng)性良好，但難以將結(jié)露量收斂到設(shè)定的結(jié)露量值。即，難以獲得結(jié)露量變化較小的穩(wěn)定 的結(jié)露狀態(tài)。本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題所完成的，其目的是提供一種環(huán)境試驗(yàn)裝置，該裝置能夠 在試驗(yàn)對(duì)象表面獲得較之于現(xiàn)有技術(shù)結(jié)露量變化小的穩(wěn)定的結(jié)露狀態(tài)。本發(fā)明的發(fā)明人為解決上述問(wèn)題進(jìn)行了廣泛研究的結(jié)果是，對(duì)冷卻及加熱試驗(yàn)對(duì) 象的冷卻加熱器的溫度控制范圍設(shè)置了一定的限制。即，將該溫度控制范圍的上限值設(shè)置 為由濕球所檢測(cè)出的濕球溫度與偏差相加的值，將下限值設(shè)置為試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏 差相加的值。并且發(fā)現(xiàn)在該溫度控制范圍內(nèi)通過(guò)根據(jù)來(lái)自結(jié)露量傳感器的信號(hào)進(jìn)行冷卻 加熱器的溫度控制，從而控制試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量，較之于現(xiàn)有技術(shù)，這種方式能夠抑制 試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量變化，由此能夠解決上述問(wèn)題?；谶@個(gè)發(fā)現(xiàn)完成了本發(fā)明。
3
S卩，本發(fā)明提供一種環(huán)境試驗(yàn)裝置，包括試驗(yàn)室，用于放置試驗(yàn)對(duì)象；濕球和干 球，配置于所述試驗(yàn)室內(nèi)用以檢測(cè)所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣的溫濕度；空調(diào)裝置，根據(jù)來(lái)自所述 濕球和干球的信號(hào)將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度；冷卻加熱器，收納在所述 試驗(yàn)室內(nèi)，并且，所述試驗(yàn)對(duì)象配置于其上表面，對(duì)該試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行冷卻/加熱；結(jié)露量傳 感器，載置于所述試驗(yàn)對(duì)象上；控制裝置，根據(jù)來(lái)自所述結(jié)露量傳感器的信號(hào)使得向所述冷 卻加熱器發(fā)出的溫度指令值在由所述濕球所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值和所述試驗(yàn) 室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值之間變化，從而對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。優(yōu)選地，在本發(fā)明中，所述控制裝置將所述溫度指令值切換為所述濕球溫度與偏 差相加的值、所述濕球溫度的值、以及所述露點(diǎn)溫度與偏差相加的值中的任意一個(gè)值，從而 對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。優(yōu)選地，在本發(fā)明中，所述控制裝置將所述溫度指令值切換為所述濕球溫度與偏 差相加的值以及所述露點(diǎn)溫度與偏差相加的值中的任意一個(gè)值，從而對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面 的結(jié)露量進(jìn)行控制。另外，根據(jù)本發(fā)明的第2方面，還提供環(huán)境試驗(yàn)裝置的控制方法，所述環(huán)境試驗(yàn)裝 置具有試驗(yàn)室，用于放置試驗(yàn)對(duì)象；濕球和干球，配置于所述試驗(yàn)室內(nèi)用以檢測(cè)所述試驗(yàn) 室內(nèi)的空氣的溫濕度；空調(diào)裝置，根據(jù)來(lái)自所述濕球和干球的信號(hào)將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣 調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度；冷卻加熱器，收納在所述試驗(yàn)室內(nèi)，并且，所述試驗(yàn)對(duì)象配置于其上 表面，對(duì)該試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行冷卻/加熱；結(jié)露量傳感器，載置于所述試驗(yàn)對(duì)象上，其特征在于， 所述控制方法包括恒溫恒濕步驟，使所述空調(diào)裝置工作以將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到 預(yù)定的溫濕度；結(jié)露量測(cè)定步驟，根據(jù)來(lái)自所述結(jié)露量傳感器信號(hào)來(lái)測(cè)定所述試驗(yàn)對(duì)象表 面的結(jié)露量；結(jié)露量控制步驟，根據(jù)測(cè)定出的所述結(jié)露量使得向所述冷卻加熱器發(fā)出的溫 度指令值在由所述濕球所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值和所述試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與 偏差相加的值之間變化，從而使得所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量接近預(yù)定量。根據(jù)本發(fā)明，基于來(lái)自結(jié)露量傳感器的信號(hào)使得向冷卻加熱器發(fā)出的溫度指令值 在由濕球所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值和試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值之間 變化，從而對(duì)試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制，由此能夠抑制試驗(yàn)對(duì)象的無(wú)益的溫度升降。 另外，即使在試驗(yàn)室內(nèi)的溫濕度有一定程度紊亂的情況下，也可根據(jù)紊亂情況對(duì)冷卻加熱 板進(jìn)行溫度控制(能夠控制試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量)。其結(jié)果，能夠獲得較之于現(xiàn)有技術(shù)結(jié) 露量變化小的穩(wěn)定的結(jié)露狀態(tài)。


圖1為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的環(huán)境試驗(yàn)裝置的結(jié)構(gòu)圖；圖2為圖1所示的結(jié)露量傳感器的詳圖；圖3為表示圖1所示的調(diào)節(jié)器的控制部詳細(xì)內(nèi)容的框圖；圖4為固定夾具安裝在冷卻加熱板上的環(huán)境試驗(yàn)裝置的結(jié)構(gòu)圖；圖5為表示圖1所示的環(huán)境試驗(yàn)裝置的控制方法的流程圖；圖6為表示向冷卻加熱板發(fā)出的溫度指令的變化的圖；圖7為表示利用現(xiàn)有技術(shù)的情況下試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量的變化以及冷卻加熱 板的溫度變化的圖8為表示利用本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的環(huán)境試驗(yàn)裝置的情況下試驗(yàn)對(duì)象表面的 結(jié)露量變化以及冷卻加熱板的溫度變化的圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1試驗(yàn)室2空調(diào)室3溫濕度發(fā)生器(空調(diào)裝置)4調(diào)節(jié)器(控制裝置)6冷卻加熱板(冷卻加熱器)9結(jié)露量傳感器12導(dǎo)熱片100環(huán)境試驗(yàn)裝置W試驗(yàn)對(duì)象
具體實(shí)施例方式下面，結(jié)合附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說(shuō)明。(環(huán)境試驗(yàn)裝置的結(jié)構(gòu))圖1為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的環(huán)境試驗(yàn)裝置100的結(jié)構(gòu)圖。如圖1所示，環(huán)境試 驗(yàn)裝置100包括放置試驗(yàn)對(duì)象W的試驗(yàn)室1、由試驗(yàn)室1分隔出的空調(diào)室2、調(diào)節(jié)器4 (控 制裝置)。除連通部5和送風(fēng)機(jī)34部之外，試驗(yàn)室1和空調(diào)室2形成彼此分離的結(jié)構(gòu)，其 中，連通部5和送風(fēng)機(jī)34部用于使試驗(yàn)室1和空調(diào)室2之間進(jìn)行空氣循環(huán)。另外，試驗(yàn)室 1內(nèi)配置有作為溫濕度傳感器的干球10和濕球11。(空調(diào)裝置)空調(diào)室2中收納有溫濕度發(fā)生器3 (空調(diào)裝置)，該溫濕度發(fā)生器3用于根據(jù)來(lái)自 濕球11和干球10的信號(hào)將試驗(yàn)室1內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度。溫濕度發(fā)生器3包括對(duì)向試驗(yàn)室1內(nèi)供給的空氣提供水分的加濕器31、對(duì)向試 驗(yàn)室1內(nèi)供給的空氣進(jìn)行冷卻的冷卻器32、對(duì)向試驗(yàn)室1內(nèi)供給的空氣進(jìn)行加熱的加熱器 33、使試驗(yàn)室1和空調(diào)室2之間的空氣循環(huán)的送風(fēng)機(jī)34。試驗(yàn)室1的上部空間和空調(diào)室2之 間通過(guò)送風(fēng)機(jī)34連通，試驗(yàn)室1的下部空間和空調(diào)室2之間通過(guò)連通部5連通。溫濕度發(fā) 生器3通過(guò)加濕器31、冷卻器32和加熱器33對(duì)空氣進(jìn)行溫濕度調(diào)節(jié)并通過(guò)送風(fēng)機(jī)34將調(diào) 節(jié)后的空氣送入試驗(yàn)室1，從而將試驗(yàn)室1內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)為預(yù)定的溫濕度，例如，25°C 50% RH(RelativeHumidity 相對(duì)濕度)。另外，如本實(shí)施方式所述，將一個(gè)筐體分隔成試驗(yàn)室1和空調(diào)室2并在所形成的空 調(diào)室2中收納溫濕度發(fā)生器3。但不限于此，還可以形成為在試驗(yàn)室1之外另行獨(dú)立設(shè)置空 調(diào)室2并在其中配置空調(diào)裝置這樣的結(jié)構(gòu)。(冷卻加熱器)試驗(yàn)室1內(nèi)收納了對(duì)試驗(yàn)對(duì)象W進(jìn)行冷卻和加熱的冷卻加熱板6 (冷卻加熱器)。 冷卻加熱板6為表面接觸式冷卻加熱器，具有與試驗(yàn)對(duì)象W接觸并通過(guò)熱傳導(dǎo)對(duì)試驗(yàn)對(duì)象 直接進(jìn)行冷卻加熱的冷卻加熱面(當(dāng)然，也可以不像本實(shí)施方式那樣直接接觸試驗(yàn)對(duì)象W， 而是通過(guò)導(dǎo)熱片12間接接觸并利用熱傳導(dǎo)對(duì)試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行冷卻加熱)。冷卻加熱板6包括采用冷水等冷媒的冷媒冷卻式的冷卻加熱板，以及將利用勃爾帖效應(yīng)的熱電元件和冷卻風(fēng) 扇組合起來(lái)的電子冷卻式的冷卻加熱板。冷卻加熱板6兼作試驗(yàn)對(duì)象W的載置臺(tái)，試驗(yàn)對(duì)象W通過(guò)導(dǎo)熱片12載置于冷卻加 熱板6上面。冷卻加熱板6中內(nèi)置有用于測(cè)定冷卻加熱板6的溫度的第1溫度傳感器7。 在本實(shí)施方式中，冷卻加熱板6的冷卻加熱面與試驗(yàn)對(duì)象W之間夾著導(dǎo)熱片12，通過(guò)該導(dǎo)熱 片12試驗(yàn)對(duì)象W被加熱冷卻。由于之間夾有導(dǎo)熱片12使得冷卻加熱面與試驗(yàn)對(duì)象W之間 的貼合性增強(qiáng)，向試驗(yàn)對(duì)象W的導(dǎo)熱性提高。另外，結(jié)露量傳感器9通過(guò)導(dǎo)熱片12載置在 試驗(yàn)對(duì)象W上面并且貼緊試驗(yàn)對(duì)象W。導(dǎo)熱片12為導(dǎo)熱性與貼合性優(yōu)良的薄片，作為導(dǎo)熱片12可以列舉例如硅橡膠制 成的薄片和丙烯酸橡膠制成的薄片等。在本實(shí)施方式中，導(dǎo)熱片12采用了硅凝膠GR-b (商 品名SARC0N，制造商富士高分子工業(yè)株式會(huì)社)。(結(jié)露量傳感器)圖2為圖1中所示的結(jié)露量傳感器9的詳圖。如圖2所示，結(jié)露量傳感器9具有 配置于硅晶圓上的結(jié)露檢測(cè)部92和第2溫度傳感器91、與結(jié)露檢測(cè)部92連接的F/V轉(zhuǎn)換部 93、以及與第2溫度傳感器91連接的AMP94。結(jié)露檢測(cè)部92采取梳狀電極的形式，根據(jù)與 電極間的靜電容量值變化相應(yīng)的振蕩頻率的變化檢測(cè)出該結(jié)露檢測(cè)部92上的結(jié)露量。這 里，對(duì)結(jié)露檢測(cè)部9進(jìn)行細(xì)微配線使得電極的寬度Ll和間隔L2均為30 μ m。F/V轉(zhuǎn)換部93 用于將頻率轉(zhuǎn)換為電壓，與結(jié)露量相應(yīng)的信號(hào)作為例如0 IV的電壓信號(hào)輸出。另外，第2 溫度傳感器91用于檢測(cè)結(jié)露量傳感器9的傳感部溫度，采用的是二極管和熱敏電阻等。另 外，也可以不采用二極管和熱敏電阻，而采用紅外線方式等的非接觸式溫度傳感器。AMP94 為用于放大來(lái)自第2溫度傳感器91的信號(hào)的放大器。第2溫度傳感器91可以用于對(duì)試驗(yàn)對(duì)象W的溫度測(cè)定。為達(dá)到對(duì)試驗(yàn)對(duì)象W的狀 態(tài)進(jìn)行監(jiān)視等目的，可將來(lái)自第2溫度傳感器91的信號(hào)納入控制當(dāng)中。當(dāng)由第2溫度傳感 器91所獲得的溫度接近于試驗(yàn)室1內(nèi)的空氣溫度而不追隨冷卻加熱板6的溫度變化(第 1溫度傳感器7的信號(hào)變化)而變化時(shí)，可知結(jié)露量傳感器9從導(dǎo)熱片12 (或試驗(yàn)對(duì)象W) 上脫落了。當(dāng)來(lái)自第2溫度傳感器91的信號(hào)發(fā)生擺動(dòng)時(shí)，可知結(jié)露量傳感器9將要從導(dǎo)熱 片12 (或試驗(yàn)對(duì)象W)上脫落。通過(guò)比較來(lái)自第2溫度傳感器91的信號(hào)和來(lái)自第1溫度傳 感器7的信號(hào)就可以判斷出第1溫度傳感器7的異常。在向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令 值與第1溫度傳感器所獲得的溫度值不一致的情況下，當(dāng)向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令 值和第2溫度傳感器91所獲得的溫度大致一致時(shí)，可以判斷為第1溫度傳感器7發(fā)生了異
堂
巾ο(控制裝置)環(huán)境試驗(yàn)裝置100包括調(diào)節(jié)器4 (控制裝置)，調(diào)節(jié)器4對(duì)試驗(yàn)室1內(nèi)的空氣溫濕 度和冷卻加熱板6的溫度進(jìn)行控制。調(diào)節(jié)器4具有輸入部41、控制部42、存儲(chǔ)部43和輸出 部44。另外，調(diào)節(jié)器4與干球10、濕球11、結(jié)露量傳感器9、溫濕度發(fā)生器3、冷卻加熱板6 以及第1溫度傳感器7電連接。調(diào)節(jié)器4通過(guò)輸入部41接收來(lái)自干球10和濕球11的信 號(hào)并根據(jù)所接收到的信號(hào)從輸出部44發(fā)出指令對(duì)溫濕度發(fā)生器3進(jìn)行控制，以使得試驗(yàn)室 1內(nèi)的空氣成為設(shè)定的溫濕度。另外，調(diào)節(jié)器4通過(guò)輸入部41接收來(lái)自干球10、濕球11、結(jié) 露量傳感器9、以及內(nèi)置于冷卻加熱板6的第1溫度傳感器7的信號(hào)，并根據(jù)所接收到的信
6號(hào)從輸出部44發(fā)出指令對(duì)冷卻加熱板6進(jìn)行控制，以使得試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量成為設(shè)
定的結(jié)露量。調(diào)節(jié)器4與設(shè)定/顯示器13電連接。設(shè)定/顯示器13用于設(shè)定試驗(yàn)室1內(nèi)的空 氣的溫濕度和試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量，用于顯示試驗(yàn)室1內(nèi)的空氣溫濕度的設(shè)定值和測(cè) 定值以及試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量的設(shè)定值和測(cè)定值等。圖3為圖1所示的調(diào)節(jié)器4的控制部42的詳細(xì)內(nèi)容的框圖。圖3中的箭頭表示 信號(hào)的流向。如圖3所示，控制部42具有溫濕度調(diào)節(jié)部401、結(jié)露量調(diào)節(jié)部402和冷卻加熱 器調(diào)節(jié)部403。溫濕度調(diào)節(jié)部401為根據(jù)來(lái)自干球10和濕球11的信號(hào)來(lái)確定向溫濕度發(fā)生器3 發(fā)出的指令值的調(diào)節(jié)部。從溫濕度調(diào)節(jié)部401經(jīng)由存儲(chǔ)部43和輸出部44向溫濕度發(fā)生器 3輸出指令值。結(jié)露量調(diào)節(jié)部402為根據(jù)來(lái)自干球10、濕球11以及結(jié)露量傳感器9的信號(hào) 來(lái)確定向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值的調(diào)節(jié)器。冷卻加熱器調(diào)節(jié)部403為對(duì)來(lái)自第1 溫度傳感器7的信號(hào)(冷卻加熱板6的實(shí)際溫度)與來(lái)自結(jié)露量調(diào)節(jié)部402的溫度指令值 進(jìn)行比較后，將來(lái)自結(jié)露量調(diào)節(jié)部402的溫度指令值通過(guò)存儲(chǔ)部43和輸出部44輸出至冷 卻加熱板6的調(diào)節(jié)部。(試驗(yàn)對(duì)象W的固定方法的變形例)圖4為固定夾具8安裝在冷卻加熱板6上的環(huán)境試驗(yàn)裝置100的結(jié)構(gòu)圖。如圖4 所示，可以利用固定夾具8擠壓試驗(yàn)對(duì)象W并將其固定在冷卻加熱板6上。固定夾具8具 有螺絲81、彈簧82和夾板83。在冷卻加熱板6上表面的四角附近形成有通過(guò)螺紋連接方 式安裝螺絲81的螺孔6a。該螺孔6a中刻有內(nèi)螺紋。另外，夾板83上形成有供螺絲81插 入并穿過(guò)的孔。夾板83為例如長(zhǎng)方形的板。通過(guò)導(dǎo)熱片12載置于冷卻加熱板6上面的試驗(yàn)對(duì)象W的兩端上分別放置了夾板 83。從其上方通過(guò)螺絲81和彈簧82 —邊向試驗(yàn)對(duì)象施加預(yù)定的載荷一邊將試驗(yàn)對(duì)象固定 于冷卻加熱板6上。利用這種方法將試驗(yàn)對(duì)象W固定在冷卻加熱板6上，能夠?qū)⒗鋮s加熱 板6和試驗(yàn)對(duì)象W之間的溫度差抑制在0. 7°C以內(nèi)。S卩，能夠使冷卻加熱板6和試驗(yàn)對(duì)象W 處于大致相同的溫度。(環(huán)境試驗(yàn)裝置的控制方法)下面對(duì)環(huán)境試驗(yàn)裝置100的控制方法進(jìn)行說(shuō)明。圖5為示出圖1所示的環(huán)境試驗(yàn) 裝置100的控制方法的流程圖。(準(zhǔn)備步驟)將試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量的設(shè)定值和試驗(yàn)室1內(nèi)的溫濕度的設(shè)定值輸入設(shè)定/ 顯示器13。通過(guò)導(dǎo)熱片12將試驗(yàn)對(duì)象W載置于冷卻加熱板6上。在圖5中將該步驟示出 為步驟1 (記為Si，其他步驟依此類推)。結(jié)露量的設(shè)定值為每單位面積的結(jié)露量(yg/mm2)。具體而言，設(shè)為例如3 μ g/ mm2,5 μ g/mm2、10 μ g/mm2的設(shè)定值。溫濕度的設(shè)定值設(shè)為例如25°C 50% RH(此時(shí)的露點(diǎn)溫 度約為13. 8°C )。(恒溫恒濕步驟)使溫濕度發(fā)生3工作，將試驗(yàn)室1內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)為預(yù)定的溫濕度(例如25°C50% RH) (S2)。調(diào)節(jié)器4通過(guò)輸入部41接收來(lái)自干球10和濕球11的信號(hào)。根據(jù)所接收到的信號(hào)，通過(guò)控制部42確定向溫濕度發(fā)生器3 (加濕器31、冷卻器32、加熱器33和送風(fēng)機(jī)34) 發(fā)出的各指令值。并且，從輸出部44發(fā)出指令，對(duì)溫濕度發(fā)生器3進(jìn)行控制。試驗(yàn)室1內(nèi) 的空氣通過(guò)送風(fēng)機(jī)34在試驗(yàn)室1和空調(diào)室2之間循環(huán)。另外，在由于冬季等原因試驗(yàn)室1內(nèi)的溫度低而導(dǎo)致試驗(yàn)對(duì)象W變冷的情況下 (試驗(yàn)對(duì)象W表面的溫度達(dá)到露點(diǎn)溫度以下的情況下)，優(yōu)選地，在恒溫恒濕步驟之前使冷 卻加熱板6 (冷卻加熱器)工作，使得試驗(yàn)對(duì)象W表面的溫度高于設(shè)定溫度中的露點(diǎn)溫度 (暖機(jī)步驟)。這是因?yàn)椋绻捎诙镜仍蛟囼?yàn)室1內(nèi)的溫度低而導(dǎo)致試驗(yàn)對(duì)象W變冷， 那么在將試驗(yàn)室1內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度(例如25°C 50% RH)時(shí)，會(huì)在試驗(yàn)對(duì)象表 面產(chǎn)生意外的結(jié)露。試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度由控制部42根據(jù)來(lái)自干球10和濕球11的信 號(hào)求出?？梢詫⒂傻?溫度傳感器7所檢測(cè)出的溫度作為試驗(yàn)對(duì)象W表面的溫度，也可以 將由第2溫度傳感器9所檢測(cè)出的溫度作為試驗(yàn)對(duì)象W表面的溫度。(結(jié)露量測(cè)定步驟)根據(jù)來(lái)自結(jié)露量傳感器9的信號(hào)對(duì)試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量進(jìn)行測(cè)定9S； )。調(diào)節(jié) 器4通過(guò)輸入部41接收來(lái)自結(jié)露量傳感器9的信號(hào)。通過(guò)控制部42根據(jù)所接收到的來(lái)自 結(jié)露量傳感器9的信號(hào)求出試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量。結(jié)露量傳感器9的輸出(信號(hào))和試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量(μ g/mm2)之間的關(guān)系 (相關(guān))以下述方式預(yù)先求出，并且輸入存儲(chǔ)部43。利用顯微鏡等成像裝置對(duì)試驗(yàn)對(duì)象W 表面的結(jié)露狀態(tài)進(jìn)行成像。由所獲取的圖像求出試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量(μ g/mm2)。將 所求出的結(jié)露量9yg/mm2)與此時(shí)的結(jié)露量傳感器9的輸出(信號(hào))之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系預(yù)先 輸入存儲(chǔ)部43。(結(jié)露量控制步驟)首先，將調(diào)節(jié)器4向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值設(shè)為例如0°C，使冷卻加熱板 6冷卻(S4)。將向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值設(shè)為0°C，直到發(fā)生結(jié)露9S5)。由此，可 以使試驗(yàn)對(duì)象W表面迅速產(chǎn)生結(jié)露。即，可以使結(jié)露試驗(yàn)的開(kāi)始時(shí)間縮短。另外，步驟S4 和S5也可以省略。然后，調(diào)節(jié)器4根據(jù)結(jié)露量傳感器9測(cè)定的結(jié)露量對(duì)冷卻加熱板6進(jìn)行控制，以 使向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值在由濕球11所檢測(cè)出的濕球溫度與偏差相加的值和 試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值之間變化，使得試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量接近于預(yù) 定量。調(diào)節(jié)器4對(duì)冷卻加熱板6進(jìn)行控制使得試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量變?yōu)槔缭O(shè)定值 士0. 2 μ g/mm2。換言之，調(diào)節(jié)器4將冷卻加熱板6的溫度控制范圍的上限值設(shè)定為與濕球11所檢 測(cè)出的濕球溫度成正比的值，將溫度控制范圍的下限值設(shè)定為與試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度成 正比的值。而且，通過(guò)使向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值在該上限值和下限值之間變化 來(lái)控制試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量。這里，即使通過(guò)S2調(diào)節(jié)了溫濕度以使得試驗(yàn)室1內(nèi)的溫 度恒定，試驗(yàn)室1內(nèi)的濕球溫度和露點(diǎn)溫度(試驗(yàn)室1內(nèi)的溫濕度)有時(shí)也會(huì)發(fā)生變化(存 在紊亂的情況)。即，當(dāng)濕球溫度變化時(shí)，濕球溫度與偏差相加的值按照與濕球溫度成正比 的方式發(fā)生變化。當(dāng)露點(diǎn)溫度變化(溫濕度發(fā)生變化)時(shí)，試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差 相加的值按照與露點(diǎn)溫度成正比的方式發(fā)生變化。調(diào)節(jié)器4使得向冷卻加熱板6發(fā)出的溫 度指令值與試驗(yàn)室1內(nèi)微妙變化的實(shí)際溫濕度相應(yīng)地發(fā)生變化。因此，即使在試驗(yàn)室1內(nèi)的溫濕度有一定程度紊亂的情況下，也能夠與這種紊亂情況相應(yīng)地對(duì)冷卻加熱板進(jìn)行溫度 控制。其結(jié)果，能夠在試驗(yàn)對(duì)象W表面獲得較之于現(xiàn)有技術(shù)結(jié)露量變化小的穩(wěn)定的結(jié)露狀 態(tài)。另外，還能夠防止試驗(yàn)對(duì)象W的無(wú)益的溫度升降。另外，由于能夠防止冷卻加熱板6發(fā)生急劇的溫度升降，因此能夠抑制無(wú)益的能 源消耗，不僅能獲得節(jié)能的效果，還能使耐久性較差的冷卻加熱板6的壽命延長(zhǎng)。對(duì)于根據(jù)結(jié)露量傳感器9所檢測(cè)的結(jié)露量使得向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值 在濕球11所檢測(cè)出的濕球溫度與偏差相加的值與試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值 之間變化的控制，參照?qǐng)D5和圖6(a)對(duì)其進(jìn)行具體的說(shuō)明。濕球11所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值是指，由濕球11檢測(cè)出的濕球溫度與 A(偏差)相加后得到的濕球溫度+A(°C )。試驗(yàn)室1內(nèi)的溫濕度為25°C 50% RH的情況下， 該值為濕球溫度17.9°C與例如3°C的A(偏差)相加后得到的20.9°C。另外，如前所述，試 驗(yàn)室1內(nèi)的溫濕度存在紊亂的情況下，濕球溫度17. 9°C會(huì)發(fā)生變化，因此，濕球溫度與3°C 的A(偏差)相加后得到的值將按照與濕球溫度成正比的方式發(fā)生變化。同樣，試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值是指，試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度 與-B(偏差)相加后得到的露點(diǎn)溫度-BCC )。試驗(yàn)室1內(nèi)的溫濕度為25°C 50% RH的情 況下，該值為露點(diǎn)溫度13.9°C與例如_3°C的-B(偏差)相加后得到的10.9°C。另外，如前 所述，試驗(yàn)室1內(nèi)的溫濕度存在紊亂的情況下，露點(diǎn)溫度13. 9°C會(huì)發(fā)生變化，因此，露點(diǎn)溫 度與_3°C的-B(偏差)相加后得到的值將按照與露點(diǎn)溫度成正比的方式發(fā)生變化。A和B (偏差)的值是根據(jù)試驗(yàn)對(duì)象W的熱容量、冷卻加熱性能等所確定的值，將與 試驗(yàn)對(duì)象W和冷卻加熱板6對(duì)應(yīng)的值預(yù)先輸入存儲(chǔ)部43。如圖6 (a)所示，調(diào)節(jié)器4根據(jù)結(jié)露量傳感器9所測(cè)定的結(jié)露量將向冷卻加熱板6 發(fā)出的溫度指令值切換為濕球11所檢測(cè)的濕球溫度與例如;TC (偏差)相加后得到的值 (上限溫度，例如20. 9°C )和試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度與例如-3°c (偏差)相加后得到的值 (下限溫度，例如10.9°C)中的任意一者。這樣，調(diào)節(jié)器4對(duì)冷卻加熱板6進(jìn)行控制以使得 試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量為設(shè)定值士 0. 2μ g/mm2。另外，根據(jù)圖6(a)，雖然上限溫度(濕球溫度與偏差相加的值)和下限溫度(露點(diǎn) 溫度與偏差相加的值)沒(méi)有變化，但如前所述，當(dāng)試驗(yàn)室1內(nèi)的溫度發(fā)生變化時(shí)，上限溫度 和下限溫度將與之相應(yīng)地發(fā)生變化。圖6 (a)主要示出了向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令 值進(jìn)行兩級(jí)切換的情況。如圖5所示，調(diào)節(jié)器4判斷結(jié)露量傳感器9所測(cè)定的結(jié)露量是否處于其設(shè)定值以 上(S6)。當(dāng)該結(jié)露量處于其設(shè)定值以上時(shí)，調(diào)節(jié)器4將向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值 設(shè)為上限溫度(例如20. 9°C )，對(duì)冷卻加熱板6進(jìn)行加熱控制(S7)。當(dāng)結(jié)露量小于其設(shè)定 值時(shí)，調(diào)節(jié)器4將向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值設(shè)為下限溫度(例如10. 9°C )，對(duì)冷卻 加熱板6進(jìn)行冷卻控制(SlO)。在進(jìn)入了步驟S7的情況下，調(diào)節(jié)器4判斷冷卻加熱板6的溫度是否處于上限溫度 以上(S8)。根據(jù)來(lái)自第1溫度傳感器7的信號(hào)求出冷卻加熱板6的溫度。在冷卻加熱板6 的溫度低于上限溫度的情況下，返回S6。當(dāng)冷卻加熱板6的溫度處于上限溫度以上時(shí)，開(kāi)始 上限計(jì)時(shí)器的計(jì)數(shù)，以時(shí)間未到為條件(S9)返回到S6。在時(shí)間已到的情況下，調(diào)節(jié)器4判 斷為傳感器異常(S13)。
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在進(jìn)入了 SlO的情況下，調(diào)節(jié)器4判斷冷卻加熱板6的溫度是否處于下限溫度以 下(Sll)。在冷卻加熱板6的溫度高于下限溫度的情況下，返回S6。在冷卻加熱板6的溫度 處于下限溫度以下的情況下，下限計(jì)時(shí)器的計(jì)數(shù)開(kāi)始，以時(shí)間未到為條件(S12)返回到S6。 在時(shí)間已到的情況下，調(diào)節(jié)器4判斷為傳感器異常(S13)。所謂傳感器異常是指，結(jié)露量傳感器9、第1溫度傳感器7、干球10、濕球11中的至 少一者發(fā)生異常。結(jié)露量傳感器9的異常包括結(jié)露量傳感器9本身的故障、結(jié)露量傳感器 9將要從導(dǎo)熱片12 (或試驗(yàn)對(duì)象W)上脫落等。第1溫度傳感器7、干球10、濕球11的異常 分別是傳感器本身的故障。對(duì)試驗(yàn)結(jié)束的判斷步驟(圖5的SE)進(jìn)行說(shuō)明。試驗(yàn)是否結(jié)束根據(jù)是否發(fā)生下述 情況來(lái)判斷(1)是否已經(jīng)過(guò)試驗(yàn)時(shí)間(通過(guò)計(jì)時(shí)器)，(2)是否已完成試驗(yàn)周期(通過(guò)程 序)，(3)是否通過(guò)手動(dòng)方式發(fā)出了結(jié)束試驗(yàn)的指示，(4)是否有異常(傳感器異常)等。如圖5的S6 S13以及圖6 (a)所示，通過(guò)將向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值切 換為濕球溫度與偏差(A(°C ))相加的值和露點(diǎn)溫度與偏差(-BCC ))相加的值中的任意一 者來(lái)控制試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量，即，通過(guò)對(duì)溫度指令值進(jìn)行兩級(jí)切換來(lái)控制試驗(yàn)對(duì)象W 表面的結(jié)露量，從而簡(jiǎn)化控制。從而可以對(duì)加熱試驗(yàn)對(duì)象W的時(shí)間和冷卻試驗(yàn)對(duì)象W的時(shí) 間進(jìn)行控制，其中，以濕球溫度與偏差(A(°C))相加后所得的溫度加熱試驗(yàn)對(duì)象W，以露點(diǎn) 溫度與偏差(-B(°C ))相加后所得的溫度冷卻試驗(yàn)對(duì)象W。另外，優(yōu)選地，如圖6 (b)所示，根據(jù)結(jié)露量傳感器9所測(cè)定的結(jié)露量對(duì)冷卻加熱板 6進(jìn)行控制，使得向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值在由濕球11所檢測(cè)的濕球溫度與偏差 相加的值(上限溫度值)和試驗(yàn)室1內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值(下限溫度之)之間任 意變化，而非梯級(jí)變化，以使試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量接近于預(yù)定量。這樣，通過(guò)細(xì)致地控 制向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值能夠更好地抑制結(jié)露量的變化。另外，優(yōu)選地，如圖6 (c)所示，根據(jù)結(jié)露量傳感器9所測(cè)定的結(jié)露量將向冷卻加熱 板6發(fā)出的溫度指令值切換為由濕球11所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值、濕球溫度的值 以及試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值中的任意一個(gè)值，從而控制試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié) 露量。換言之，優(yōu)選地，將向冷卻加熱板6發(fā)出的溫度指令值以三個(gè)梯級(jí)進(jìn)行切換，從而控 制試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量。從而控制以濕球溫度與偏差(A(°C ))相加所得的溫度加熱 試驗(yàn)對(duì)象W的時(shí)間、在濕球溫度下試驗(yàn)對(duì)象W的結(jié)露穩(wěn)定蒸發(fā)的時(shí)間、以及以露點(diǎn)溫度與偏 差(-BCC))相加所得的溫度冷卻試驗(yàn)對(duì)象W的時(shí)間。由此，既能夠更好地抑制結(jié)露量的變 化，又能夠簡(jiǎn)化控制。(實(shí)施例)圖7為采用現(xiàn)有技術(shù)的情況下試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量變化以及冷卻加熱板的溫 度變化的示意圖。圖8為采用了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的環(huán)境試驗(yàn)裝置100的情況下試驗(yàn)對(duì) 象W表面的結(jié)露量變化以及冷卻加熱板6的溫度變化的示意圖。在圖7、圖8中示出了結(jié)果 的所有結(jié)露試驗(yàn)都在相同的條件下進(jìn)行，即，試驗(yàn)室內(nèi)的溫濕度的設(shè)定值為25V 50% RH, 試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量的設(shè)定值為3 μ g/mm2。在采用圖7所示結(jié)果的現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行的結(jié)露量控制中，為使結(jié)露量接近于設(shè)定 值，最大限度地利用冷卻加熱板的冷卻加熱能力對(duì)其溫度進(jìn)行控制。具體而言，為使結(jié)露量 接近3 μ g/mm2而最大限度地利用冷卻加熱能力使冷卻加熱板的溫度下降。而且，為使結(jié)露量接近3 μ g/mm2而最大限度地利用加熱能力使冷卻加熱板的溫度上升。另一方面，在圖8所示結(jié)果的本發(fā)明的結(jié)露量控制中，將濕球溫度與3°C相加后得 到的溫度值設(shè)為冷卻加熱板6的溫度控制范圍的上限值，將露點(diǎn)溫度減去3°C得到的溫度 值設(shè)為冷卻加熱板6的溫度控制范圍的下限值。為使結(jié)露量接近3 μ g/mm2，對(duì)發(fā)給冷卻加 熱板6的溫度指令值在所述上限值和下限值之間進(jìn)行兩級(jí)切換，從而對(duì)冷卻加熱板的溫度 進(jìn)行控制。詳細(xì)的控制流程請(qǐng)參照?qǐng)D5。另外，圖5中所示的S4和S5的步驟已省略。(試驗(yàn)結(jié)果)如圖7所示，在采用現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)露量控制中，試驗(yàn)對(duì)象W表面的結(jié)露量狀不穩(wěn) 定，結(jié)露量的變化大。另一方面，如圖8所示，本發(fā)明的結(jié)露量控制中，能夠抑制試驗(yàn)對(duì)象W 表面結(jié)露的結(jié)露量的變化使其減小。另外，較之于采用現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)露量控制，本發(fā)明還抑 制并減小了冷卻加熱板6的溫度變化。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的結(jié)露量控制，基于由試驗(yàn)室1內(nèi)的干球10、濕球11所得到 的溫濕度確定冷卻加熱板6的溫度控制范圍，并對(duì)冷卻加熱板6進(jìn)行溫度控制，由此，不僅 能夠在試驗(yàn)室1內(nèi)溫濕度一定的情況下進(jìn)行穩(wěn)定的結(jié)露量控制，而且即使在試驗(yàn)室1內(nèi)溫 濕度存在紊亂的情況下也能夠進(jìn)行穩(wěn)定的結(jié)露量控制，從而能夠產(chǎn)生再現(xiàn)性良好的結(jié)露狀 態(tài)。以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，在權(quán)利 要求的記載范圍內(nèi)，還可以進(jìn)行各種變換并實(shí)施。例如，可以不設(shè)第2溫度傳感器91。另外，也可以不采用上述的結(jié)露量傳感器9， 而采用其他方式的結(jié)露量傳感器。
權(quán)利要求
1.環(huán)境試驗(yàn)裝置，包括 試驗(yàn)室，用于放置試驗(yàn)對(duì)象；濕球和干球，配置于所述試驗(yàn)室內(nèi)用以檢測(cè)所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣的溫濕度； 空調(diào)裝置，根據(jù)來(lái)自所述濕球及干球的信號(hào)將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度；冷卻加熱器，收納在所述試驗(yàn)室內(nèi)，并且，所述試驗(yàn)對(duì)象配置于其上表面，對(duì)所述試驗(yàn) 對(duì)象進(jìn)行冷卻/加熱；結(jié)露量傳感器，載置于所述試驗(yàn)對(duì)象上；以及控制裝置，根據(jù)來(lái)自所述結(jié)露量傳感器的信號(hào)使得向所述冷卻加熱器發(fā)出的溫度指令 值在由所述濕球所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值和所述試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相 加的值之間變化，從而對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。
2.如權(quán)利要求1所述的環(huán)境試驗(yàn)裝置，其特征在于所述控制裝置將所述溫度指令值切換為所述濕球溫度與偏差相加的值、所述濕球溫度 的值、以及所述露點(diǎn)溫度與偏差相加的值中的任意一個(gè)值，從而對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié) 露量進(jìn)行控制。
3.如權(quán)利要求1所述的環(huán)境試驗(yàn)裝置，其特征在于所述控制裝置將所述溫度指令值切換為所述濕球溫度與偏差相加的值以及所述露點(diǎn) 溫度與偏差相加的值中的任意一個(gè)值，從而對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。
4.環(huán)境試驗(yàn)裝置的控制方法，所述環(huán)境試驗(yàn)裝置具有 試驗(yàn)室，用于放置試驗(yàn)對(duì)象；濕球和干球，配置于所述試驗(yàn)室內(nèi)用以檢測(cè)所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣的溫濕度； 空調(diào)裝置，根據(jù)來(lái)自所述濕球和干球的信號(hào)將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度；冷卻加熱器，收納在所述試驗(yàn)室內(nèi)，并且，所述試驗(yàn)對(duì)象配置于其上表面，對(duì)所述試驗(yàn) 對(duì)象進(jìn)行冷卻/加熱；以及結(jié)露量傳感器，被載置于所述試驗(yàn)對(duì)象上； 其特征在于，所述控制方法包括恒溫恒濕步驟，使所述空調(diào)裝置工作，以將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度；結(jié)露量測(cè)定步驟，根據(jù)來(lái)自所述結(jié)露量傳感器的信號(hào)來(lái)測(cè)定所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露 量；以及結(jié)露量控制步驟，根據(jù)測(cè)定出的所述結(jié)露量使得向所述冷卻加熱器發(fā)出的溫度指令值 在由所述濕球所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值和所述試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加 的值之間變化，從而使得所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量接近于預(yù)定量。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種環(huán)境試驗(yàn)裝置，該裝置能夠在試驗(yàn)對(duì)象的表面得到較之于現(xiàn)有技術(shù)結(jié)露量變化小的穩(wěn)定的結(jié)露狀態(tài)。環(huán)境試驗(yàn)裝置(100)具有調(diào)節(jié)器(4)。該調(diào)節(jié)器(4)根據(jù)來(lái)自結(jié)露量傳感器(9)的信號(hào)，在由濕球(11)獲得的濕球溫度與偏差相加的值和試驗(yàn)室(1)內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值之間對(duì)冷卻加熱板(6)進(jìn)行溫度控制。
文檔編號(hào)F24F11/02GK102099669SQ200980128148
公開(kāi)日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2009年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月22日
發(fā)明者坂根浩喜, 島田哲也, 酒見(jiàn)慎一郎 申請(qǐng)人:愛(ài)斯佩克株式會(huì)社