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烤爐的制作方法

文檔序號:46767閱讀:395來源:國知局
專利名稱:烤爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種烤爐,用于加熱和干燥至少一基板。所述烤爐包括一操作腔室、一加熱板以及一多孔板。所述操作腔室具有至少一排氣孔用以排放所述操作腔室內加熱的空氣。所述加熱板,設置于所述操作腔室底部,用以在所述操作腔室內產(chǎn)生一加熱效果。所述多孔板,設置在所述加熱板的邊緣和一排氣孔上方。所述至少一基板設置于所述加熱板上。本實用新型通過設置所述多孔板,讓所述操作腔室中的加熱氣流較為均勻,進而改善了加熱溫度不均勻現(xiàn)象。藉此,當所述基板為一液晶顯示器基板(liquid crystal display substrate)時,所制成的液晶顯示面板的Mura現(xiàn)象(板亮度不均勻造成各種痕跡的現(xiàn)象)可被改善。
【專利說明】
烤爐
技術領域
[0001]本實用新型系涉及一種烤爐,尤其是一種用于面板產(chǎn)業(yè)來加熱和烘干一液晶顯示器基板之烤爐。
【背景技術】
[0002]在面板產(chǎn)業(yè)中,濕式制程發(fā)展的已經(jīng)相當成熟。然而,受限于現(xiàn)有的機構設計,在實際操作中仍存在許多問題。如在烤爐中,因為烤爐內部的空氣持續(xù)被加熱,會導致壓力升高,為了解決壓力升高的問題,現(xiàn)有技術通過在所述烤爐的周圍設置排氣孔進行減壓。如此雖然解決了壓力的問題,卻同時因為氣流不均勻以及溫度不均勻,進而造成所制成的液晶顯示面板會產(chǎn)生Mur a現(xiàn)象(顯示器亮度不均勻造成各種痕跡的現(xiàn)象)。
[0003]因此,有必要提供一種烤爐,以解決上述之問題。
【實用新型內容】
[0004]有鑒于此,本實用新型目的在于提供一烤爐,其具有改善上述之問題的功效。
[0005]為達成上述目的,本實用新型提供一種烤爐,用于加熱和干燥至少一基板。所述烤爐包括一操作腔室、一加熱板以及一多孔板。
[0006]所述操作腔室具有至少一排氣孔用以排放所述操作腔室內加熱的空氣。所述加熱板,設置于所述操作腔室底部,用以在所述操作腔室內產(chǎn)生一加熱效果。所述多孔板,設置在所述操作腔室中,其中所述加熱的空氣至少部分地流過所述多孔板來流入所述排氣孔中。所述至少一基板設置于所述操作腔室中來接收所述加熱板的加熱和干燥。
[0007]在一優(yōu)選實施例中,所述加熱板的面積跟所述多孔板的面積的比值小于或等于10。
[0008]在一優(yōu)選實施例中,所述多孔板設置于所述加熱板的邊緣和所述至少一排氣孔上。
[0009]在一優(yōu)選實施例中,所述至少一排氣孔系設置于所述操作腔室的周圍。
[0010]在一優(yōu)選實施例中,所述多孔板系完全覆蓋所述至少一排氣孔,使得所述受熱空氣在流入所述至少一排氣孔前須完全流過所述多孔板。
[0011 ]在一優(yōu)選實施例中,所述基板為一液晶顯示器基板。
[0012]在一優(yōu)選實施例中,所述烤爐是用在所述液晶顯示器基板的濕式制程中。
[0013]在一優(yōu)選實施例中,所述基板為一液晶顯示器基板。
[0014]在一優(yōu)選實施例中,所述烤爐是用在所述液晶顯示器基板的濕式制程中。
[0015]在一優(yōu)選實施例中,所述烤爐還包括一抽氣裝置,用于從所述至少一排氣孔將所述操作腔室中的氣體抽出。
[0016]在一優(yōu)選實施例中,所述多孔板系造成所述加熱的空氣擾流效果,而使所述加熱空氣均勻分布在所述操作腔室中。
[0017]相較于現(xiàn)有技術,本實用新型通過設置所述多孔板,讓所述操作腔室中的加熱氣流較為均勻,進而改善了加熱溫度不均勻現(xiàn)象。藉此,當所述基板為一液晶顯示器基板(liquid crystal display substrate)時,所制成的液晶顯示面板的Mura現(xiàn)象(板亮度不均勻造成各種痕跡的現(xiàn)象)可被改善。
【附圖說明】
烤爐的制作方法附圖
[0018]圖1,繪示本實用新型的第一優(yōu)選實施例的烤爐之正視剖視圖;
[0019]圖2,繪示根據(jù)圖1的剖面線2-2所得之頂視剖視圖;以及
[0020]圖3,繪示本實用新型的第二優(yōu)選實施例的烤爐之正視剖視圖。
【具體實施方式】
[0021]以下參照附圖詳細說明的實施例將會使得本實用新型的優(yōu)點和特征以及實現(xiàn)這些優(yōu)點和特征的方法更加明確。但是,本實用新型不局限于以下所公開的實施例,本實用新型能夠以互不相同的各種方式實施,以下所公開的實施例僅用于使本實用新型的公開內容更加完整,有助于本實用新型所屬技術領域的普通技術人員能夠完整地理解本實用新型之范疇,本實用新型是根據(jù)申請專利范圍而定義。在說明書全文中,相同的附圖標記表示相同的裝置組件。
[0022]參考圖1以及圖2。圖1,繪示本實用新型的第一優(yōu)選實施例的烤爐100之正視剖視圖。圖2,繪示根據(jù)圖1的剖面線2-2所得之頂視剖視圖。所述烤爐100用于加熱和干燥至少一基板150。在此優(yōu)選實施例中,所述基板150為一在一濕式制程中的液晶顯示器基板(liquidcrystal display substrate)。所述液晶顯示器基板是用以制出一液晶顯示面板。換言之,所述烤爐100是用在一液晶顯示器基板的濕式制程中。所述烤爐100包括一操作腔室110、一加熱板120、一多孔板130、至少一排氣孔140。所述至少一排氣孔140系設置于所述操作腔室110的周圍。所述加熱板120,設置于所述操作腔室110底部。所述多孔板130,設置在所述加熱板120的邊緣和所述至少一排氣孔140上方。所述至少一基板150設置于所述操作腔室110中,優(yōu)選地是置放在所述加熱板120上以接受所述加熱板120的加熱和干燥。在實際操作中,優(yōu)選地,所述至少一基板150被放置于所述加熱板120的中央(溫度最均勻的位置),在加熱和干燥的過程中,所述至少一基板150上的液體會受熱汽化(接收所述加熱板120的接觸熱以及所述操作腔室110的空氣的傳導熱)。在此,因為設置了所述多孔板130,使得所述操作腔室110的加熱空氣產(chǎn)生了一定的擾流效果,進而使所述操作腔室110的空氣的流動以及溫度較為均勻。
[0023]優(yōu)選地,在本優(yōu)選實施例中,所述多孔板130僅設置于所述加熱板120的邊緣并完全覆蓋所述至少一排氣孔140,以便讓所述操作腔室110的加熱空氣可以完全通過所述多孔板130從所述至少一排氣孔140排出所述操作腔室110的內部。但是,也可以根據(jù)不同的設計需求,將所述多孔板130設置在不同的位置,唯一需要注意的是,所述至少一排氣孔140要能夠通過所述多孔板130與所述操作腔室110的空氣接觸。換言之,所述加熱的空氣在流入所述至少一排氣孔140中前要至少部分地流過所述多孔板130。
[0024]優(yōu)選地,所述加熱板120的面積跟所述多孔板130的面積的比值小于或等于10。
[0025]圖3,繪示本實用新型的第二優(yōu)選實施例的烤爐200之正視剖視圖。本優(yōu)選實施例與第一優(yōu)選實施例的差異在于:所述烤爐200還包括一抽氣裝置160,用于從所述至少一排氣孔140將所述操作腔室110中的氣體抽出。藉由所述抽氣裝置160,能夠讓所述操作腔室110內部的壓力維持恒定,進一步穩(wěn)定加熱和干燥效果,使所述至少一基板150能均勻受熱而在整個濕式制程中有一均勻的機械、電氣和化學特性。如此,由所述至少一基板150所得到的液晶顯示面板的Mura現(xiàn)象可被降至最低。
[0026]雖然本實用新型已用優(yōu)選實施例揭露如上,然其并非用以限定本實用新型,本實用新型所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本實用新型之精神和范圍內,當可作各種之更動與潤飾,因此本實用新型之保護范圍當視后附之申請專利范圍所界定者為準。
【主權項】
1.一種烤爐,用于加熱和干燥至少一基板,其特征在于,所述烤爐包括: 一操作腔室具有至少一排氣孔用以排放所述操作腔室內加熱的空氣; 一加熱板,設置于所述操作腔室底部,用以在所述操作腔室內產(chǎn)生一加熱效果;以及 一多孔板,設置在所述操作腔室中,其中所述加熱的空氣至少部分地流過所述多孔板來流入所述排氣孔中; 其中所述至少一基板設置于所述操作腔室中來接收所述加熱板的加熱和干燥。2.如權利要求1項所述之烤爐,其特征在于,所述加熱板的面積跟所述多孔板的面積的比值小于或等于10。3.如權利要求1項所述之烤爐,其特征在于,所述多孔板設置于所述加熱板的邊緣和所述至少一排氣孔上。4.如權利要求1項所述之烤爐,其特征在于,所述至少一排氣孔系設置于所述操作腔室的周圍。5.如權利要求3項所述之烤爐,其特征在于,所述烤爐還包括一抽氣裝置,用于從所述至少一排氣孔將所述操作腔室中的氣體抽出。6.如權利要求1項所述之烤爐,其特征在于,所述多孔板系完全覆蓋所述至少一排氣孔,使得所述受熱空氣在流入所述至少一排氣孔前須完全流過所述多孔板。7.如權利要求6項所述之烤爐,其特征在于,所述基板為一液晶顯示器基板。8.如權利要求7項所述之烤爐,其特征在于,所述烤爐是用在所述液晶顯示器基板的濕式制程中。9.如權利要求1項所述之烤爐,其特征在于,所述基板為一液晶顯示器基板。10.如權利要求7項所述之烤爐,其特征在于,所述烤爐是用在所述液晶顯示器基板的濕式制程中。11.如權利要求10項所述之烤爐,其特征在于,所述烤爐還包括一抽氣裝置,用于從所述至少一排氣孔將所述操作腔室中的氣體抽出。12.如權利要求1項所述之烤爐,其特征在于,所述多孔板系造成所述加熱的空氣擾流效果,而使所述加熱空氣均勻分布在所述操作腔室中。
【文檔編號】F27B17/00GK205718449SQ201620249263
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年3月29日
【發(fā)明人】黃榮龍, 呂峻杰, 陳瀅如
【申請人】盟立自動化股份有限公司
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