一種高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)，其主要結(jié)構(gòu)為：放卷系統(tǒng)、成型系統(tǒng)、烘道干燥系統(tǒng)、收卷系統(tǒng)依次安裝在機(jī)身上。收卷系統(tǒng)的收卷輥由電機(jī)驅(qū)動(dòng)，通過(guò)基帶膜使得整個(gè)設(shè)備都運(yùn)轉(zhuǎn)；基帶膜在經(jīng)過(guò)流延漿料盒時(shí)，漿料從出料口流出，經(jīng)刮刀成型后進(jìn)入烘道干燥系統(tǒng)。本實(shí)用新型的優(yōu)勢(shì)在于：使用了兩級(jí)烘道，且烘道內(nèi)的溫度成遞減趨勢(shì)，以此來(lái)降低干燥速度，盡可能地避免由于干燥速度太快引起的問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】一種高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)，尤其涉及一種采用分級(jí)干 燥方式的高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著微電子技術(shù)的進(jìn)步，微加工工藝的特征線寬已達(dá)亞微米級(jí)，一塊基板上可以 集成106?109個(gè)以上元件，電路工作的速度越來(lái)越快、頻率越來(lái)越高，這對(duì)基板材料的性 能提出了更高的要求。因?yàn)樘沾删哂心透邷?、電絕緣性能高、介電常數(shù)和介質(zhì)損耗低、熱導(dǎo) 率大、化學(xué)穩(wěn)定性好、與元件的熱膨脹系數(shù)相近等主要優(yōu)點(diǎn)，已在基片市場(chǎng)上占據(jù)了很大份 額。
[0003] 在生產(chǎn)時(shí)，大都是先將粉碎好的粉料與粘結(jié)劑、增塑劑、分散劑、溶劑混合制成具 有一定黏度的料漿，料漿從料斗流下，被刮刀以一定厚度刮壓涂敷在專用基帶上，經(jīng)干燥、 固化后從上剝下成為生坯帶的薄膜，然后根據(jù)成品的尺寸和形狀需要對(duì)生坯帶作沖切、層 合等加工處理，制成待燒結(jié)的毛坯成品。
[0004] 在流延成型過(guò)程中，由于工藝參數(shù)控制不當(dāng)，容易造成諸如起皮、裂紋、氣孔、疤 痕、雜質(zhì)等各種缺陷。干燥速度太快，使基片不能均勻地干燥收縮，上下表面收縮不一致或 者是不同地方收縮不一致，產(chǎn)生應(yīng)力集中將基片拉裂。
[0005] 于2009年4月29日授權(quán)的CN201227851Y專利高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)， 其主要結(jié)構(gòu)為：由卷出部、成型部、干燥部、收卷部組成，成型部由刮刀及大理石平臺(tái)組成， 干燥部分由底板加熱器及上部透明有機(jī)玻璃風(fēng)道組成。采用該種高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的 流延機(jī)，烘道干燥系統(tǒng)內(nèi)的溫度一致，干燥速度快，使基片不能均勻地干燥收縮。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0006] 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠分級(jí)干燥的高導(dǎo)熱陶瓷基片制造 用的流延機(jī)。
[0007] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)所采取的具體 技術(shù)方案如下：
[0008] -種高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)，包括機(jī)身、及依次安裝在機(jī)身上的放卷系 統(tǒng)、成型系統(tǒng)、烘道干燥系統(tǒng)、收卷系統(tǒng)；
[0009] 所述放卷系統(tǒng)包括安裝在機(jī)身內(nèi)側(cè)的放卷輥、收緊輥、第一導(dǎo)向輥，所述放卷輥上 繞卷有基帶膜；
[0010] 所述成型系統(tǒng)包括安裝在機(jī)身上的流延漿料盒、安裝在機(jī)身上位于流延漿料盒下 游的刮刀；所述流延漿料盒在相對(duì)于刮刀的方向開有寬度不大于基帶膜寬度的出料口；所 述刮刀可以通過(guò)調(diào)節(jié)刀架上的微調(diào)螺母來(lái)實(shí)現(xiàn)刮刀的上下調(diào)節(jié)；
[0011] 所述基帶膜收卷系統(tǒng)包括安裝在機(jī)身另一側(cè)的收卷輥、第二導(dǎo)向輥，所述收卷輥 由電機(jī)驅(qū)動(dòng)；
[0012] 其特征在于：所述烘道干燥系統(tǒng)包括η> 2級(jí)烘道，每一級(jí)烘道內(nèi)均安裝有m> 1 根加熱棒。
[0013] 在此基礎(chǔ)上，所述烘道干燥系統(tǒng)中朝著基帶膜的移動(dòng)方向，每一級(jí)烘道內(nèi)安裝的 加熱棒數(shù)量逐漸減少或者每一級(jí)烘道內(nèi)安裝的加熱棒數(shù)量相同。
[0014] 在此基礎(chǔ)上，所述每一級(jí)烘道內(nèi)安裝的加熱棒數(shù)量相同，且每一級(jí)烘道還單獨(dú)配 有一個(gè)電控單兀。
[0015] 在此基礎(chǔ)上，所述每一級(jí)烘道內(nèi)均安裝有溫度傳感器，所述溫度傳感器輸出的信 號(hào)通過(guò)對(duì)應(yīng)的電控單元控制烘道內(nèi)加熱棒開啟的數(shù)目。
[0016] 本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)有：1、采用多級(jí)烘道且每一烘道內(nèi)安 裝有多根加熱棒，可以實(shí)現(xiàn)每一級(jí)烘道內(nèi)的干燥溫度的不同，從而降低了干燥速度；2、每一 級(jí)烘道均配置有單獨(dú)的溫度傳感器和電控單元，可減少外界的干擾。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018] 下面結(jié)合【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。
[0019] 本實(shí)用新型高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)主要由以下部分組成：機(jī)身10、依次 安裝在機(jī)身10上的放卷系統(tǒng)20、成型系統(tǒng)30、烘道干燥系統(tǒng)40、收卷系統(tǒng)50、基帶膜60。
[0020] 如圖1所示，在機(jī)身10的內(nèi)側(cè)從下至上依次安裝有放卷輥21、收緊輥22、第一導(dǎo) 向輥23。放卷輥21可以自由拆下，以便放置卷有基帶膜60的放卷輥21。放卷輥21、收緊 輥22、第一導(dǎo)向輥23與機(jī)身10之間均可以自由轉(zhuǎn)動(dòng)，但軸向移動(dòng)受到限制。
[0021] 在機(jī)身10的上表面，還安裝有一只流延漿料盒31、在流延漿料盒31上還開有一個(gè) 出料口 32,為了不讓從出料口 32流出的漿料流到機(jī)身10上，該出料口 32的寬度不大于基 帶膜60的寬度。在機(jī)身10上在出料口 32的下游方向還安裝有一只刮刀33,為了滿足生產(chǎn) 不同厚度的基片的需求，該刮刀33的高度可以調(diào)節(jié)。只需要調(diào)節(jié)刮刀架34上端的微調(diào)螺 母35,即可以改變刮刀33到基帶膜60之間的距離。
[0022] 在機(jī)身10的另一側(cè)安裝有基帶膜收卷系統(tǒng)50,具體結(jié)構(gòu)為：在機(jī)身10的內(nèi)側(cè)安 裝有第二導(dǎo)向輥51，在機(jī)身10內(nèi)側(cè)相對(duì)于第二導(dǎo)向輥51的下側(cè)安裝有收卷輥52,可以自 由拆卸。該收卷輥52由電機(jī)53驅(qū)動(dòng)。
[0023] 為了降低基片的冷卻速度，本實(shí)用新型的一個(gè)創(chuàng)新點(diǎn)就在于烘道干燥系統(tǒng)40采 用多極烘道串聯(lián)、干燥溫度逐漸降低的方式。如圖所示，烘道共有η> 2級(jí)，每一級(jí)烘道均 包括保溫殼體41，該保溫殼體41安裝在機(jī)身10上。在保溫殼體41內(nèi)部還安裝有加熱棒 42,每一級(jí)烘道內(nèi)的加熱棒42數(shù)目為m彡1。其中加熱棒42數(shù)目m可以相等，也可以隨著 基帶膜60的走向m逐漸減少。為了適應(yīng)不同的需求，本實(shí)用新型中每一級(jí)烘道內(nèi)的加熱棒 42的數(shù)量相同，為了實(shí)現(xiàn)對(duì)每一級(jí)烘道的單獨(dú)控制，在每一級(jí)烘道的保溫殼體41內(nèi)均安裝 有一只溫度傳感器43,在機(jī)身10上還安裝有η只電控單元44。通過(guò)溫度傳感器43測(cè)量烘 道內(nèi)的溫度，產(chǎn)生一個(gè)反饋信號(hào)，該信號(hào)傳遞到電控單元44內(nèi)后控制烘道內(nèi)加熱棒42開啟 的數(shù)目。
[0024] 因?yàn)楸緦?shí)用新型高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)的干燥溫度范圍不大，所以烘道 級(jí)數(shù)η優(yōu)選2級(jí)，且烘道內(nèi)加熱棒42的數(shù)量?jī)?yōu)選四根。
【權(quán)利要求】
1. 一種高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)，包括機(jī)身、依次安裝在機(jī)身上的放卷系統(tǒng)、成 型系統(tǒng)、烘道干燥系統(tǒng)、收卷系統(tǒng)； 所述放卷系統(tǒng)包括安裝在機(jī)身內(nèi)側(cè)的放卷輥、收緊輥、第一導(dǎo)向輥，所述放卷輥上繞卷 有基帶膜； 所述成型系統(tǒng)包括安裝在機(jī)身上的流延漿料盒、安裝在機(jī)身上位于流延漿料盒下游的 刮刀；所述流延漿料盒在相對(duì)于刮刀的方向開有寬度不大于基帶膜寬度的出料口；所述刮 刀可以通過(guò)調(diào)節(jié)刀架上的微調(diào)螺母來(lái)實(shí)現(xiàn)刮刀的上下調(diào)節(jié)； 所述基帶膜收卷系統(tǒng)包括安裝在機(jī)身另一側(cè)的收卷輥、第二導(dǎo)向輥，所述收卷輥由電 機(jī)驅(qū)動(dòng)； 其特征在于：所述烘道干燥系統(tǒng)包括η> 2級(jí)烘道，每一級(jí)烘道內(nèi)均安裝有m> 1根加 熱棒。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)，其特征在于：所述烘道干 燥系統(tǒng)中朝著基帶膜的移動(dòng)方向，每一級(jí)烘道內(nèi)安裝的加熱棒數(shù)量逐漸減少或者每一級(jí)烘 道內(nèi)安裝的加熱棒數(shù)量相同。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)，其特征在于：所述每一級(jí) 烘道內(nèi)安裝的加熱棒數(shù)量相同，且每一級(jí)烘道還單獨(dú)配有一個(gè)電控單元。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的高導(dǎo)熱陶瓷基片制造用的流延機(jī)，其特征在于：所述每一級(jí) 烘道內(nèi)均安裝有溫度傳感器，所述溫度傳感器輸出的信號(hào)通過(guò)對(duì)應(yīng)的電控單元控制烘道內(nèi) 加熱棒開啟的數(shù)目。
【文檔編號(hào)】B29C41/46GK203863895SQ201320885599
【公開日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】陶建兵, 馬立斌, 康文秀, 韓旭 申請(qǐng)人:萊鼎電子材料科技有限公司