專利名稱：真空設(shè)備中的片狀工件輸送機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種傳動輸送機械。
在真空設(shè)備中連續(xù)、半連續(xù)的傳輸機械是用來從一個真空室到下一個真空室、或者從一個真空工位到下一個真空工位傳輸基片?？蓱?yīng)用于鍍膜玻璃、平板顯示器、半導(dǎo)體、太陽能器件、激光唱盤等領(lǐng)域。
在真空設(shè)備中對玻璃等一類的基片加工，目前常用的傳輸機械是滾軸式傳片機構(gòu)，其結(jié)構(gòu)主要包括型材導(dǎo)軌、箍有橡皮圈的滾軸、鏈條鏈輪、驅(qū)動器等部件。在每個真空腔體中水平布置若干個滾軸，用鏈條鏈輪將它們聯(lián)在一起，外接一個驅(qū)動源，將不同真空室中滾軸同步驅(qū)動，放在滾軸上的玻璃片被箍在滾軸上的橡皮圈帶動后，從一個真空室傳到另一個真空室。這在真空鍍膜生產(chǎn)線上存在下列不足之處1.每個真空室中的滾軸、鏈條鏈輪結(jié)構(gòu)顯得笨重，真空放氣大，為了達到高真空狀態(tài)，相應(yīng)的抽氣設(shè)備要大，耗能多；2.橡皮圈在高溫下烘烤，對真空鍍膜不利；3.一旦橡皮圈老化變形，工件就會被傳歪，甚至卡牢，就必須停車開箱處理，使生產(chǎn)效率下降；4.只適應(yīng)自上而下的鍍復(fù)工藝，不適應(yīng)自下面上的鍍復(fù)工藝；5.基片無法在線翻轉(zhuǎn)；6.不同真空室中需要同步傳輸。
本實用新型的任務(wù)在于提供一種能夠固定基片、并能在線翻片的真空設(shè)備的工件輸送機構(gòu)。
本實用新型的任務(wù)是通過以下途徑實現(xiàn)的在一對平行型材導(dǎo)軌上布置一個由外框、內(nèi)框、齒輪經(jīng)二個軸分別連接左、右邊框構(gòu)成的載片架，外框的左、右邊框中間與軸成轉(zhuǎn)動連接，內(nèi)框的左、右邊框重心處及齒輪與軸成固定連接，齒輪處于外框與內(nèi)框的邊框之間；在外框的左、右邊框下面每邊至少布置2個在型材導(dǎo)軌上滾動的滾輪，在外框的左、右邊框上還分別布置間隔等于鏈條節(jié)距整數(shù)倍的燕尾形的重力棘牙，經(jīng)軸與外框成擺動連接，在外框前、后橫邊框中間的上面內(nèi)側(cè)分別設(shè)置缺口；在內(nèi)框前、后橫邊框上面分別布置向內(nèi)倒角的壓片條，在內(nèi)框前橫邊框的前端面上，設(shè)置一個能止位于外框前、后橫邊框缺口內(nèi)的重力銷；在型材導(dǎo)軌的內(nèi)側(cè)于需要翻轉(zhuǎn)基片處，布置一個齒數(shù)等于齒輪齒數(shù)一半的，并與其相匹配的齒條。
在內(nèi)框的框內(nèi)布置一個金屬網(wǎng)。在型材導(dǎo)軌上設(shè)置一個固定的支架，并在其上面布置一個防止外框抬起的壓輪。壓片條也可以布置在內(nèi)框的左、右邊框上面。
本實用新型具有以下優(yōu)點1.載片架在齒輪、齒條的配合下，能在線自動翻轉(zhuǎn)基片，這可適應(yīng)于自下而上、自上而下的兩種工藝狀態(tài)的需要；2.由于載片架內(nèi)布有金屬網(wǎng)，所以一旦基片爆裂后，能將碎片全部帶出真空室，避免對真空設(shè)備造成危害，為實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)創(chuàng)造條件；3.本機構(gòu)由金屬材料制成，可承受高溫烘烤，放氣率低，有利于在真空設(shè)備中使用；4.結(jié)構(gòu)簡單輕巧，維修方便。


圖1為本實用新型的部分結(jié)構(gòu)局部剖視示意圖；圖2為
圖1的A-A局部剖視的部分視圖。
以下結(jié)合附圖詳細說明本實用新型的具體內(nèi)容，但實用新型內(nèi)容不限于附圖的說明。
參照
圖1、圖2，在一對平行型材導(dǎo)軌1上面，靠內(nèi)邊為滾輪3滾動的導(dǎo)軌，靠外邊為鏈條2的通槽，通槽下面還有一個鏈條2的通孔，最下面為型材導(dǎo)軌1的固定裝置。鏈條2通過通孔和通槽構(gòu)成一個旋轉(zhuǎn)回路，在通孔和通槽的兩端分別配置一個與鏈條2相配合的鏈輪，鏈輪通過軸25由驅(qū)動器帶動轉(zhuǎn)動。在型材導(dǎo)軌1上面布置一個主要由外框7、內(nèi)框10、齒輪15構(gòu)成的載片架。方形的金屬外框7的左、右邊框的中心位置各開一個橫向軸孔，以便和內(nèi)框連接；在外框7左、右邊框的外側(cè)各開2個安裝重力棘牙18的側(cè)孔17，側(cè)孔口蓋板5由螺釘6固定，側(cè)孔17的下面開口，在開口前后留有一段重力棘牙18的止退肋，側(cè)孔17底的前上方設(shè)有一個布置重力棘牙18的軸孔，2個側(cè)孔17中的軸孔與軸孔之間距為鏈條2節(jié)距的整數(shù)倍；在外框7左、右邊框的底面靠內(nèi)側(cè)，各開有4個安裝滾輪3的凹槽；在外框7前、后橫邊框中間的上面靠內(nèi)側(cè)分別開有缺口4。燕尾形的金屬重力棘牙18的頭部，經(jīng)軸16成擺動連接在側(cè)孔17中的軸孔處，半邊燕尾拖在側(cè)孔17開口之外，并使其伸到鏈條2的節(jié)距空隙中，起到能帶動載片架隨著鏈條2移動的目的。金屬滾輪3經(jīng)軸活動連接在左、右邊框底面的凹槽中，并能在型材導(dǎo)軌1上滾動。方形的金屬內(nèi)框10的左、右邊框的重心位置分別開有一個和外框7連接的橫向軸孔。內(nèi)框10和外框7的左、右邊框分別由軸14連接，外邊框為轉(zhuǎn)動連接，內(nèi)邊框及金屬齒輪15與軸14為固定連接，至少一個內(nèi)邊框與軸14之間用錐銷釘23固定，齒輪15與軸14之間用開口銷22固定，齒輪15與外框7之間布有金屬墊圈21。齒輪15處于外框7、內(nèi)框10的右邊框之間。在內(nèi)框10的前橫邊框上面固定一個向內(nèi)倒角45°的前壓片條12，在后橫邊框上面布置一個具有彈性的向內(nèi)倒角45°的后壓片條19，用于夾持基片13，具有彈性是防基片尺寸略有變化或受熱膨脹時，不至于受力過大而遭破壞。在內(nèi)框10前橫邊框的前端面上設(shè)置一個止位于缺口4內(nèi)的重力銷11。在內(nèi)框10內(nèi)布置一個金屬絲網(wǎng)24，基片13若破碎掉在金屬絲網(wǎng)24上，可隨載片架帶出真空室。在型材導(dǎo)軌1內(nèi)側(cè)于需要翻片加工的真空室中間部位，布置一個與齒輪15相匹配的齒條20，齒條20的齒數(shù)等于齒輪15齒數(shù)的一半，齒輪15通過齒條20，正好使內(nèi)框10翻轉(zhuǎn)180°，使重力銷止位于缺口4內(nèi)。通過固定在型材導(dǎo)軌1上的支架8，布置一個外框7右邊框的壓輪9，在內(nèi)框翻轉(zhuǎn)時，外框7不至于發(fā)生上抬。
實施例載片架的內(nèi)框10尺寸為400×400mm，上面裝有尺寸為356×356mm，厚度為1.1mm的玻璃基片13，外框7尺寸為500×500mm，2號摩托車鏈條2布置在型材導(dǎo)軌1的通槽、通孔及其兩端的鏈輪上構(gòu)成回路。該載片架布置在真空設(shè)備中要進行自下而上蒸鍍二氧化硅薄膜——450℃烘烤——自上而下濺射氧化銦錫薄膜的連續(xù)生產(chǎn)線上。在蒸鍍二氧化硅時，玻璃基片13處在內(nèi)框10的底面，蒸鍍后齒輪15經(jīng)過齒條20，使內(nèi)框10攜帶玻璃基片13翻轉(zhuǎn)180°，送入450℃的真空烘道烘烤，再進入自上而下濺鍍氧化銦錫薄膜工序，然后送出。
權(quán)利要求1.一種真空設(shè)備中的片狀工件輸送機構(gòu)，包括由型材導(dǎo)軌[1]、和在其上面配置的鏈條[2]、鏈輪、及其驅(qū)動器組成的傳動部件，其特征在于在一對型材導(dǎo)軌[1]上面布置一個由外框[7]、內(nèi)框[10]、齒輪[15]經(jīng)二個軸[14]于外框[7]、內(nèi)框[10]的左、右邊框之間分別連接構(gòu)成的載片架，外框[7]的左、右邊框的中間與軸[14]成轉(zhuǎn)動連接，內(nèi)框[10]的左、右邊框的重心處及齒輪[15]與軸[14]成固定連接，齒輪[15]處于外框[7]與內(nèi)框[10]的邊框之間；在外框[7]的左、右邊框下面，每邊至少布置2個滾輪[3]，在外框[7]的左、右邊框上還分別布置間隔等于鏈條[2]節(jié)距整數(shù)倍的燕尾形的，經(jīng)軸[16]與外框[7]成擺動連接的重力棘牙[18]，在外框[7]前、后橫邊框的中間分別設(shè)置缺口[4]；在內(nèi)框[10]前、后橫邊框上面，分別布置向內(nèi)倒角的壓片條[12、19]，在內(nèi)框[10]前橫邊框的前端面上，設(shè)置一個止位于缺口[4]內(nèi)的重力銷[11]；在型材導(dǎo)軌[1]的內(nèi)側(cè)于需要翻轉(zhuǎn)基片[13]處，布置一個齒數(shù)等于齒輪[15]齒數(shù)一半的，并與其相匹配的齒條[20]。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備中的片狀工件輸送機構(gòu)，其特征在于內(nèi)框[10]的框內(nèi)布置一個金屬網(wǎng)[24]。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備中的片狀工件輸送機構(gòu)，其特征在于在型材導(dǎo)軌[1]上設(shè)置一個固定支架[8]，并在其上面布置一個防止外框[7]抬起的壓輪[9]。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備中的片狀工件輸送機構(gòu)，其特征在于壓片條[12、19]也可分別布置在內(nèi)框[10]的左、右邊框上面。
專利摘要一種真空設(shè)備中的片狀工件輸送機構(gòu)，由型材導(dǎo)軌、鏈條鏈輪、驅(qū)動器構(gòu)成的傳動部件，和由外框、重力棘牙、滾輪、內(nèi)框、壓片條、重力銷、以及齒輪齒條、壓輪經(jīng)軸連接構(gòu)成的載片架組成。本輸送機構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡單輕巧、能在線翻片，適應(yīng)自下而上和自上而下的生產(chǎn)工藝，可經(jīng)受高溫烘烤，不需要同步傳輸?shù)葍?yōu)點，可廣泛應(yīng)用于幕墻玻璃、透明導(dǎo)電玻璃、半導(dǎo)體等連續(xù)生產(chǎn)的真空設(shè)備中。
文檔編號B65G11/00GK2234933SQ95210419
公開日1996年9月11日 申請日期1995年5月5日 優(yōu)先權(quán)日1995年5月5日
發(fā)明者王德苗, 任高潮, 高漢牧 申請人:浙江大學(xué)