專利名稱：與基片容器存儲(chǔ)系統(tǒng)交接的集成系統(tǒng)的制作方法
與基片容器存儲(chǔ)系統(tǒng)交接的集成系統(tǒng)
背景技術(shù)：
將半導(dǎo)體晶片容器存儲(chǔ)在半導(dǎo)體制造設(shè)施(“fab”)中存在數(shù)種方法。大型集中化的儲(chǔ)料器能夠存儲(chǔ)晶片的容器直到它們需要用于處理，在輸入端口處從稱作自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)(“AMHS”)的運(yùn)送系統(tǒng)接收容器。總的來(lái)說(shuō)，自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)是工廠中在工作臺(tái)(station)之間以及在工作臺(tái)與存儲(chǔ)位置之間移動(dòng)工件的任何計(jì)算機(jī)控制的系統(tǒng)。在制造設(shè)施中，自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)將在處理設(shè)備、計(jì)量設(shè)備和儲(chǔ)料器之間移動(dòng)晶片容器和空容器。當(dāng)需要處理晶片時(shí)，晶片裝在容器中通過(guò)機(jī)器人機(jī)構(gòu)(“層疊機(jī)械手”)從它們的存儲(chǔ)架子被取出，遞送至儲(chǔ)料器上的輸出端口，由自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)拾取，并遞送至期望的處理工作臺(tái)。層疊機(jī)械手通常需要位于靜止的存儲(chǔ)架子的壁之間的大空間。該空間是必要的，以允許層疊機(jī)械手及其容器有效載荷的操作間隙和運(yùn)動(dòng)。還可存在一個(gè)或多個(gè)這樣的端口，在這里人類操作員能夠從儲(chǔ)料器手動(dòng)地遞送和取出容器。為了更好地分布容器的存儲(chǔ)，可以在制造設(shè)施的處理隔間中設(shè)置較小的儲(chǔ)料器， 容器可在這里被存儲(chǔ)成靠近它們的下一處理工作臺(tái)，在它們被需要用于下一處理操作時(shí)減少容器的遞送時(shí)間和行進(jìn)距離。此外，分布較小的儲(chǔ)料器減少了在大型儲(chǔ)料器處的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)交通擁擠的問(wèn)題以及大型儲(chǔ)料器處的單個(gè)層疊機(jī)械手的總處理能力局限問(wèn)題，然而分布和使用較小的儲(chǔ)料器也有它的局限。較小的儲(chǔ)料器仍然具有大型儲(chǔ)料器的要素，包括層疊機(jī)械手及其操作間隙空間，控制器，以及輸入/輸出端口。對(duì)于相同總數(shù)量的存儲(chǔ)位置來(lái)說(shuō)，這些重復(fù)使得小型的、分散的儲(chǔ)料器比大型儲(chǔ)料器更加昂貴。一些制造設(shè)施構(gòu)建有半導(dǎo)體處理、測(cè)量或操縱設(shè)備(“工具”)的平行的過(guò)道(“隔間”)。如果多個(gè)小型儲(chǔ)料器被放置在每個(gè)隔間中靠近工具，則用于制造設(shè)施的存儲(chǔ)需求的地面空間將會(huì)增加， 原因是小型儲(chǔ)料器的降低了的存儲(chǔ)密度以及圍繞儲(chǔ)料器和工具所需要的訪問(wèn)間隙。在制造設(shè)施中地面空間是非常珍貴的，因?yàn)樗鼘⒂糜谥圃飚a(chǎn)品的處理工具，因此希望使用于存儲(chǔ)功能的地面空間的使用最小化。因此，需求一種容器存儲(chǔ)系統(tǒng)，其是簡(jiǎn)單和廉價(jià)的，使用極小的地面空間，同時(shí)靠近處理工具提供高密度的容器存儲(chǔ)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)方面是用于在水平面中存儲(chǔ)容器的緊湊且簡(jiǎn)單的系統(tǒng)。容器存儲(chǔ)在能夠在一回路上循環(huán)的存儲(chǔ)架子上。本發(fā)明的另一方面將提供一種不使用地面空間的存儲(chǔ)系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠安裝在載置于地面上的設(shè)施和工具上方。在一些情況下，工具的一些部分或區(qū)域可位于存儲(chǔ)系統(tǒng)的上方，然而，存儲(chǔ)系統(tǒng)將仍然在工具的主要功能部分的上方。例如，如果工具是一個(gè)或多個(gè)裝載端口，則存儲(chǔ)系統(tǒng)將仍然位于工具的“上方”，即使工具的一些部件在存儲(chǔ)系統(tǒng)的上方。 此外，術(shù)語(yǔ)“上方”應(yīng)該理解為一般是比工具，例如工具的功能部分，的高度高的高度。這樣， 存儲(chǔ)系統(tǒng)可以在工具的正上方(例如，對(duì)齊)或非正上方(例如，未對(duì)齊)，只要存儲(chǔ)系統(tǒng)處于比工具高的高度即可。如本文所使用的，高度可以是相對(duì)于基準(zhǔn)面測(cè)量的?！盎鶞?zhǔn)面”在一實(shí)施例中是例如潔凈室、工廠或?qū)嶒?yàn)室等的房間的地面。本發(fā)明的另一方面將提供一種不妨礙訪問(wèn)載置于地面上的設(shè)施和工具的存儲(chǔ)系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠安裝在工具之間但是在工具上方的一個(gè)高度處，其允許對(duì)工具的側(cè)面的不受阻礙的訪問(wèn)，以進(jìn)行維護(hù)和操作。本發(fā)明的另一方面將提供這樣一種存儲(chǔ)系統(tǒng)，其具有比常規(guī)儲(chǔ)料器大的容器存儲(chǔ)密度，原因是去除了層疊機(jī)械手所需的大型間隙空間。本發(fā)明的另一方面將提供一種能夠與制造設(shè)施的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)交接 (interface)的存儲(chǔ)系統(tǒng)。本發(fā)明的另一方面將提供一種能夠快速訪問(wèn)存儲(chǔ)的容器的存儲(chǔ)系統(tǒng)。本發(fā)明的另一方面將提供一種具有能夠在訪問(wèn)存儲(chǔ)的容器時(shí)減少延遲的活動(dòng)端口的存儲(chǔ)系統(tǒng)，并提供對(duì)自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)的靈活界面。本發(fā)明的另一方面將提供具有活動(dòng)端口的這樣一種存儲(chǔ)系統(tǒng)，其經(jīng)由空中傳送 (OHT)實(shí)現(xiàn)在活動(dòng)端口回縮時(shí)對(duì)下方的裝載端口沒(méi)有妨礙的訪問(wèn)。本發(fā)明的另一方面將提供一種具有多個(gè)層級(jí)的存儲(chǔ)架子的存儲(chǔ)系統(tǒng)。每個(gè)層級(jí)的存儲(chǔ)系統(tǒng)在一回路上循環(huán)存儲(chǔ)架子，并具有一個(gè)或多個(gè)活動(dòng)端口。本發(fā)明的再一方面將提供能夠安裝在工具上方以實(shí)現(xiàn)對(duì)被工具使用的容器的本地存儲(chǔ)的存儲(chǔ)系統(tǒng)。本發(fā)明的又一方面將提供一種使用活動(dòng)端口和吊升機(jī)械或其它機(jī)構(gòu)來(lái)在沒(méi)有自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)的輔助的情況下在存儲(chǔ)系統(tǒng)與工具之間傳送容器的存儲(chǔ)系統(tǒng)。本發(fā)明的再一方面將提供一種使用活動(dòng)端口和吊升機(jī)械或其它機(jī)構(gòu)來(lái)在仍然允許自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)向/從工具遞送和取出容器的情況下在存儲(chǔ)系統(tǒng)與工具之間傳送容器的存儲(chǔ)系統(tǒng)。在一個(gè)實(shí)施例中，公開(kāi)了一種存儲(chǔ)系統(tǒng)和用于操作存儲(chǔ)系統(tǒng)的方法。所述存儲(chǔ)系統(tǒng)包括定位在比用于裝載和卸載待加工的基片的工具的高度高的高度處的存儲(chǔ)系統(tǒng)組件。 所述存儲(chǔ)系統(tǒng)在本地存儲(chǔ)基片的一個(gè)或多個(gè)容器。所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件包括多個(gè)存儲(chǔ)架子， 所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)具有架子板，所述架子板具有用于支承容器的架子特征。所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)聯(lián)接至鏈條以便能實(shí)現(xiàn)水平移動(dòng)，并且每一個(gè)進(jìn)一步聯(lián)接至導(dǎo)軌以便能實(shí)現(xiàn)向一個(gè)或多個(gè)位置的引導(dǎo)。一電機(jī)聯(lián)接至驅(qū)動(dòng)鏈輪以移動(dòng)所述鏈條，使得所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)沿所述導(dǎo)軌一起移動(dòng)至所述一個(gè)或多個(gè)位置。所述導(dǎo)軌的至少一些部分是直線的，一些部分是非直線的，并且這些部分配置成一個(gè)回路。存儲(chǔ)系統(tǒng)的示例構(gòu)造可包括固定架子、用于吊升機(jī)械的延伸的水平軌道、處在存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的水平處的輸送器和手動(dòng)裝載工作臺(tái)中的一個(gè)或多個(gè)。具有延伸的水平軌道的吊升機(jī)械因此能夠與手動(dòng)裝載工作臺(tái)交接。


圖1是包括活動(dòng)端口的本發(fā)明的俯視圖。圖2是彎曲的引導(dǎo)導(dǎo)軌和支撐轉(zhuǎn)向架的俯視圖。圖3是導(dǎo)軌和支撐轉(zhuǎn)向架的側(cè)視圖。圖4是沒(méi)有活動(dòng)端口的本發(fā)明的俯視圖。
圖5是沒(méi)有活動(dòng)端口的本發(fā)明的另一視圖。圖6是本發(fā)明通過(guò)空中傳送類型的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)進(jìn)行裝載的視圖。圖7是具有回縮的活動(dòng)端口的存儲(chǔ)架子的側(cè)視圖。圖8、9、10和11示出了活動(dòng)端口機(jī)構(gòu)的不同位置。圖12是包括活動(dòng)端口的本發(fā)明的視圖。圖13是包括活動(dòng)端口的本發(fā)明的側(cè)視圖。圖14是包括傳送吊升機(jī)械和活動(dòng)端口的本發(fā)明的視圖。圖15是包括傳送吊升機(jī)械和活動(dòng)端口的本發(fā)明的側(cè)視圖。圖16是本發(fā)明的傳送吊升機(jī)械的視圖。圖17是本發(fā)明的傳送吊升機(jī)械的另一視圖。圖18是具有多個(gè)存儲(chǔ)層級(jí)的本發(fā)明的另一視圖。圖19A和19B是示出活動(dòng)端口和空中傳送車的不同構(gòu)造的本發(fā)明的俯視圖。圖20A、20B和20C是具有自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)的本發(fā)明的不同構(gòu)造的正視圖。圖21A、21B和21C是具有自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)的本發(fā)明的其它正視圖。圖22是常規(guī)儲(chǔ)料器所使用的地面空間的俯視圖。圖23是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例所需的減小了的空間的俯視圖。圖M示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，其中延伸的軌道和吊升機(jī)械與手動(dòng)裝載工作臺(tái)正在交接。圖25示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，其中固定架子聯(lián)接至存儲(chǔ)系統(tǒng)組件。圖沈示出根據(jù)本發(fā)明的、圖25的一示例側(cè)視圖。圖27示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，其中延伸的軌道跨越不止一個(gè)工具。圖觀和四示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，其中輸送器聯(lián)接至存儲(chǔ)系統(tǒng)組件。
具體實(shí)施例方式對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例的說(shuō)明描述了在一制造設(shè)施中使用前開(kāi)口統(tǒng)一盒(“F0UP”) 來(lái)存儲(chǔ)半導(dǎo)體晶片，然而，本發(fā)明并不局限于前開(kāi)口統(tǒng)一盒和/或半導(dǎo)體制造。為了描述本發(fā)明的目的，其它示例包括晶片容器(有壁和無(wú)壁)、基片容器(有壁和無(wú)壁)、匣 (cassette)、平板顯示器匣、標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面(“SMIF”)盒、掩模盒(reticle pod)、或用于支承基片的任何結(jié)構(gòu)，不管該結(jié)構(gòu)是支承單個(gè)基片還是多個(gè)基片，也不管該結(jié)構(gòu)是在封閉的容器中還是向外部環(huán)境開(kāi)放。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例在圖1中示出。存儲(chǔ)系統(tǒng)100具有6個(gè)可移動(dòng)的存儲(chǔ)架子 IlOa-IlOf0每個(gè)存儲(chǔ)架子通過(guò)垂直銷連接至驅(qū)動(dòng)鏈條111，所述垂直銷附接至所述鏈條的連結(jié)件。所述銷與位于存儲(chǔ)架子組件的下側(cè)中的槽匹配，然而，取向成垂直于鏈條運(yùn)動(dòng)的方向的該槽足夠大以允許銷在沒(méi)有束縛的情況下旋轉(zhuǎn)和滑動(dòng)。存儲(chǔ)架子的水平運(yùn)動(dòng)由導(dǎo)軌 112引導(dǎo)，所述導(dǎo)軌112與架子組件下方的支撐轉(zhuǎn)向架接合。導(dǎo)軌112具有直線部分11 和彎曲部分112b。隨著鏈條111的移動(dòng)，它通過(guò)銷在槽中的接合牽引存儲(chǔ)架子，同時(shí)導(dǎo)軌和支撐轉(zhuǎn)向架將架子保持在一圍繞導(dǎo)軌部分的橢圓形構(gòu)造的受約束的路徑上。還應(yīng)該明白的是，軌道的構(gòu)造并非必須是“橢圓形”的，許多構(gòu)造都是可能的。在一個(gè)實(shí)施例中，設(shè)想限定出回路的任何構(gòu)造，并且該回路可具有直線的一些部分和非直線的一些部分。因此，橢圓形構(gòu)造示例只是一個(gè)示例。還存在接合存儲(chǔ)架子與鏈條的其它方法。例如，可將具有孔或槽的片狀金屬支座緊固至鏈條。支座上的孔或槽將與存儲(chǔ)架子上的固定銷或其它特征接合。任何其它類型的接合硬件均是可接受的，只要它在驅(qū)動(dòng)鏈條與存儲(chǔ)架子之間提供充分的靈活性，同時(shí)仍然能夠以驅(qū)動(dòng)鏈條牽弓I存儲(chǔ)架子。雖然本實(shí)施例使用鏈輪和驅(qū)動(dòng)鏈條作為驅(qū)動(dòng)器件，但是其它驅(qū)動(dòng)部件也是可購(gòu)買到的，并被可替代地使用。這些替代驅(qū)動(dòng)器包括但不限于正時(shí)帶和帶輪、塑料鏈條和鏈輪、 或鋼帶和帶輪。帶輪可以是塑料盤，而帶可以是塑料的、橡膠的、光滑的、帶有肋的、嵌有顆粒的、連續(xù)的、分段的等等。在再一些實(shí)施例中，帶和帶輪可以構(gòu)造在基板1 下方或構(gòu)造在其分離的分隔間中，以減少灰塵。圖1中的存儲(chǔ)系統(tǒng)在一回路中移動(dòng)存儲(chǔ)架子?；芈肥怯糜诖鎯?chǔ)架子的連續(xù)引導(dǎo)路徑，其如果沿任一方向被移動(dòng)則將發(fā)生重復(fù)。例如，如果存儲(chǔ)架子IlOa在圖1所示位置起動(dòng)，并且驅(qū)動(dòng)鏈輪沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，則存儲(chǔ)架子IlOa將經(jīng)過(guò)對(duì)架子IlOb-IlOf示出的位置，直到它回到其初始的起始位置，如圖所示。所有架子在該情況下將沿相同方向同時(shí)移動(dòng)，并且全部必須同時(shí)移動(dòng)。一個(gè)架子在不使全部架子在回路中移動(dòng)的情況下，是不能移動(dòng)的。圖1所示回路近似為橢圓形，然而，回路可以呈任何形狀，并且能夠具有沿雙方向移動(dòng)的回路。電機(jī)113通過(guò)正時(shí)帶(未示出)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)鏈輪114，這允許電機(jī)安裝在鏈輪的側(cè)面。替代地，電機(jī)可具有齒輪頭，并直接聯(lián)接至鏈輪的中心。將電機(jī)聯(lián)接至鏈輪的其它方法在本領(lǐng)域中是已知的，并且可被替代地使用。本實(shí)施例中的電機(jī)是步進(jìn)電機(jī)，其在沒(méi)有例如光學(xué)編碼器等位置測(cè)量裝置的反饋的情況下移動(dòng)至其期望位置，然而，也可使用其它類型的電機(jī)，例如具有旋轉(zhuǎn)編碼器的無(wú)刷直流伺服電機(jī)。步進(jìn)電機(jī)在其電氣相位中通過(guò)預(yù)定數(shù)量的小增量移動(dòng)至其期望位置。這樣，步進(jìn)電機(jī)能夠在沒(méi)有反饋裝置測(cè)量位置的情況下，精確地移動(dòng)至其位置。無(wú)刷直流伺服電機(jī)使用例如光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器等反饋裝置來(lái)控制運(yùn)動(dòng)的軌跡，以及停止在期望位置處。驅(qū)動(dòng)鏈條111纏繞在驅(qū)動(dòng)鏈輪114和惰性鏈輪115兩者上。基板1 提供支承結(jié)構(gòu)來(lái)安裝系統(tǒng)部件。驅(qū)動(dòng)鏈輪114和惰性鏈輪115在它們的中心處具有軸承組件，軸承組件將它們連接至基板，并允許它們自由地旋轉(zhuǎn)。電機(jī)113通過(guò)電機(jī)底座116連接至基板。基板129圖示為連續(xù)的固體板，但是代表能夠支承系統(tǒng)部件的任何平坦結(jié)構(gòu)。例如，基板可由多塊板、或者折疊的片狀金屬、或者被框體支承的片狀金屬或框體構(gòu)件的柵格結(jié)構(gòu)制成?；蹇删哂写笾驴瘴坏膮^(qū)域，以允許制造設(shè)施清潔室中的垂直氣流。電機(jī)113電連接至控制電路(未示出)。本實(shí)施例中的電路是步進(jìn)電機(jī)放大器和基于微處理器的控制器。步進(jìn)電機(jī)放大器連接至電機(jī)線，并提供驅(qū)動(dòng)電源來(lái)響應(yīng)于來(lái)自基于微處理器的控制器的控制信號(hào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)?；谖⑻幚砥鞯目刂破鲌?zhí)行一個(gè)序列的程序指令，這些程序指令控制電機(jī)的運(yùn)動(dòng)軌跡和位置，以及與例如制造設(shè)施控制系統(tǒng)、工具控制系統(tǒng)或操作員界面等外部系統(tǒng)的界面，以確定存儲(chǔ)架子是否移動(dòng)了以及存儲(chǔ)架子應(yīng)該如何移動(dòng)。也可使用其它的替代控制電路來(lái)控制電機(jī)，例如可編程邏輯控制器(“PLC”)、具有電機(jī)放大器的個(gè)人計(jì)算機(jī)(“PC”)、或具有微處理器和集成的電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路的定制設(shè)計(jì)的嵌入控制PC板。另一替代方式是使一個(gè)控制器利用自身的程序序列來(lái)控制電機(jī)，并使另一個(gè)控制器利用自身的程序序列來(lái)與外部系統(tǒng)交接。這兩個(gè)控制器將通過(guò)串行或并行通信線路來(lái)協(xié)調(diào)它們的操作?？梢詫⑦@些控制在任意數(shù)量的分離控制器之間劃分，然而，使一個(gè)基于微處理器的控制器運(yùn)行單個(gè)程序序列，是用于控制整個(gè)存儲(chǔ)系統(tǒng)的最簡(jiǎn)單的方法。控制電路可以使用不同的方法與外部系統(tǒng)交接。例如，它可遵循用于儲(chǔ)料器界面的半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)(“SEMI”)E88標(biāo)準(zhǔn)使用以太網(wǎng)與制造設(shè)施控制網(wǎng)絡(luò)通信。替代地，它可使用以太網(wǎng)或RS232類型的串行通信與制造設(shè)施或工具控制系統(tǒng)通信。它甚至可通過(guò)一組并行的信號(hào)線與外部系統(tǒng)通信。制造設(shè)施中使用的通信的類型是各種各樣的，本發(fā)明可根據(jù)控制構(gòu)造和制造設(shè)施的需求實(shí)施不同的類型。圖1還示出了活動(dòng)端口 117和118，處于它們的回縮位置?；顒?dòng)端口是可用于向存儲(chǔ)架子上裝載前開(kāi)口統(tǒng)一盒或從存儲(chǔ)架子卸載前開(kāi)口統(tǒng)一盒的機(jī)構(gòu)?；顒?dòng)端口可水平地移動(dòng)至回縮或延伸位置。活動(dòng)端口還可垂直地移動(dòng)端口板至上側(cè)或下側(cè)位置。在回縮的下側(cè)位置，端口板119允許存儲(chǔ)架子110的運(yùn)動(dòng)，因?yàn)槎丝诎?19停留在架子板120的下方而在支撐板121上方。圖7示出了當(dāng)端口板回縮且處于下側(cè)位置時(shí)端口板與存儲(chǔ)架子之間的垂直間隙。該垂直間隙由虛線示出，其限定出一個(gè)C形空間120a。圖1示出了當(dāng)存儲(chǔ)架子處于其停止位置之一時(shí)在回縮的端口板與存儲(chǔ)架子之間的間隙。該間隙允許端口板在停止位置處垂直地移動(dòng)，以從存儲(chǔ)架子拾起前開(kāi)口統(tǒng)一盒或向存儲(chǔ)架子上放置前開(kāi)口統(tǒng)一盒。圖1示出了兩個(gè)活動(dòng)端口，然而，根據(jù)存儲(chǔ)系統(tǒng)的尺寸以及自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)的構(gòu)造可使用任意的數(shù)量?；顒?dòng)端口也可定位在存儲(chǔ)系統(tǒng)的任一側(cè)。圖19A和19B示出了活動(dòng)端口和空中傳送車的不同構(gòu)造的俯視圖。圖19A示出了具有活動(dòng)端口 117和118的存儲(chǔ)系統(tǒng)100?；顒?dòng)端口 118，在存儲(chǔ)系統(tǒng)的端部，與支承空中傳送車131b的空中傳送導(dǎo)軌132b對(duì)齊，而活動(dòng)端口 117，在存儲(chǔ)系統(tǒng)的側(cè)邊，與支承空中傳送車131a的空中傳送導(dǎo)軌13 對(duì)齊。圖19B示出了具有活動(dòng)端口 117、118、153和154的存儲(chǔ)系統(tǒng)100。在圖19B 中，活動(dòng)端口 117和118與空中傳送導(dǎo)軌13 和空中傳送車131a對(duì)齊，而活動(dòng)端口 153和 154位于存儲(chǔ)系統(tǒng)的相反側(cè)，與空中傳送導(dǎo)軌132b和空中傳送車131b對(duì)齊。圖1和7示出了用于調(diào)準(zhǔn)和保持前開(kāi)口統(tǒng)一盒的位置的銷(例如，特征)。架子銷122與前開(kāi)口統(tǒng)一盒的底面上的配合特征(例如槽)接合，以在前開(kāi)口統(tǒng)一盒停留在架子板上的同時(shí)定位和支承前開(kāi)口統(tǒng)一盒。端口銷123與前開(kāi)口統(tǒng)一盒的底面上的相同配合特征(例如槽)接合，以在前開(kāi)口統(tǒng)一盒停留在端口板上的同時(shí)定位和支承前開(kāi)口統(tǒng)一盒。 槽允許兩個(gè)銷122和123均與容器基底的底面接合。然而，如所示，銷122和123，在三個(gè)位置中的每一個(gè)處，定位成鄰近彼此(見(jiàn)圖1，存儲(chǔ)架子120，以及IlOb的端口板119)。在停止位置，在活動(dòng)端口處的前開(kāi)口統(tǒng)一盒可通過(guò)升高端口板至上側(cè)位置，使其支承從架子銷傳送至端口銷。雖然前開(kāi)口統(tǒng)一盒設(shè)計(jì)成在它們的底板上具有特征用于銷接合，但是也可使用其它特征來(lái)精確地保持容器在架子板或端口板上。例如，端口板或架子板上的隆起特征可約束容器的底面的外緣或與容器的底面上的凸出(relieved)區(qū)域配合。因此，應(yīng)該明白的是，可使用除銷外的其它保持特征。保持特征可連接、抓取、把持、聯(lián)接、配合、平衡或接合容器。此外，容器不一定必須是前開(kāi)口統(tǒng)一盒，并且容器可以是打開(kāi)的、封閉的、部分地封閉/打開(kāi)的，也可以保持任意尺寸或類型的基片。端口特征和板特征，如所聲明的，可包含任意類型的保持特征，包括銷。如果端口特征是銷，則它們?cè)诒疚姆Q為端口銷，而如果板特征是銷，則它們?cè)诒疚姆Q為板銷。圖8、9、10和11示出了被活動(dòng)端口組件119a移動(dòng)時(shí)的端口板119的四個(gè)位置。 為清楚起見(jiàn)，活動(dòng)端口組件119a圖示為與基板分離。在圖8中，端口板119回縮(回縮位置)，并處于下側(cè)位置。在圖9中，端口板119已被垂直運(yùn)動(dòng)組件119a-2升高至上側(cè)位置， 就象它將要從存儲(chǔ)架子拾起前開(kāi)口統(tǒng)一盒那樣。該垂直運(yùn)動(dòng)可以通過(guò)多種方式實(shí)現(xiàn)。例如，垂直運(yùn)動(dòng)可以通過(guò)垂直氣壓缸124的致動(dòng)實(shí)現(xiàn)，并由垂直的直線軸承125引導(dǎo)。當(dāng)安裝在存儲(chǔ)系統(tǒng)中時(shí)，活動(dòng)端口基底126附接至基板129。還示出的是，端口板119具有開(kāi)口 119b，所述開(kāi)口 119b足以裝配成圍繞存儲(chǔ)架子。在一個(gè)實(shí)施例中，該開(kāi)口在一側(cè)限定出一個(gè)空間，在這里端口板銷可仍然位于開(kāi)口的各端部以及開(kāi)口的相反側(cè)。在圖10中，端口板 119，處于上側(cè)位置，已通過(guò)水平運(yùn)動(dòng)組件119a-l水平地移動(dòng)至延伸位置。例如，水平運(yùn)動(dòng)組件119a-l可包括水平氣壓缸127的致動(dòng)，并由水平直線軸承1 引導(dǎo)。在圖10中，水平氣壓缸的本體位于活動(dòng)端口基底1 下方，無(wú)法看見(jiàn)，只能看見(jiàn)氣缸的致動(dòng)桿。在圖11中， 端口板119已移動(dòng)至其下側(cè)位置，在這里它現(xiàn)在準(zhǔn)備好移動(dòng)至回縮位置，而不用擔(dān)心會(huì)與移動(dòng)的架子或前開(kāi)口統(tǒng)一盒碰撞?；顒?dòng)端口的垂直與水平直線運(yùn)動(dòng)在本實(shí)施例中是通過(guò)氣壓缸實(shí)現(xiàn)的，然而，也可替代地使用本領(lǐng)域已知的其它驅(qū)動(dòng)器件，例如由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的滾珠螺桿或絲杠。另一替代驅(qū)動(dòng)器件是由具有正齒輪的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的齒條。 活動(dòng)端口 117和118的操作將與電機(jī)113的操作協(xié)調(diào)。在本實(shí)施例中，活動(dòng)端口受控于用于控制電機(jī)113的操作的相同控制電路，然而，對(duì)于控制電路存在多種不同的構(gòu)造。 一個(gè)替代示例是使活動(dòng)端口受控于一個(gè)或多個(gè)基于微處理器的控制器，并且它們將通過(guò)并行或串行信號(hào)與電機(jī)控制電路通信，以協(xié)調(diào)功能。圖4和5示出了在各存儲(chǔ)架子上裝載有前開(kāi)口統(tǒng)一盒130的存儲(chǔ)系統(tǒng)。架子的間隔做成使得當(dāng)架子和前開(kāi)口統(tǒng)一盒圍繞存儲(chǔ)系統(tǒng)100移動(dòng)時(shí)，它們?cè)谵D(zhuǎn)彎時(shí)不發(fā)生碰撞。 這些圖中示出了六個(gè)存儲(chǔ)架子，然而，通過(guò)延伸系統(tǒng)的長(zhǎng)度，可容納更多的存儲(chǔ)架子和前開(kāi)口統(tǒng)一盒。對(duì)空間的最高效使用將是不改變彎曲的導(dǎo)軌部分112b，延伸直線導(dǎo)軌部分11 的長(zhǎng)度以及基板1 和驅(qū)動(dòng)鏈條111的長(zhǎng)度，然而，用于附接架子的驅(qū)動(dòng)鏈條的長(zhǎng)度還可通過(guò)增加各端處彎曲導(dǎo)軌部分112b的半徑以及增加鏈輪114和115的直徑而得到增加。任一種方法，或兩者的組合，都將增加驅(qū)動(dòng)鏈條的長(zhǎng)度，允許更多的架子以它們最小的間隔得到附接。圖6示出了前開(kāi)口統(tǒng)一盒130對(duì)齊在存儲(chǔ)系統(tǒng)的一個(gè)空架子IlOa上方的空中傳送車131，其定位在制造設(shè)施中的工具上方的一個(gè)高度處。空中傳送車可通過(guò)使用空中傳送導(dǎo)軌132支承它，而在儲(chǔ)料器、存儲(chǔ)系統(tǒng)和工具之間移動(dòng)前開(kāi)口統(tǒng)一盒?？罩袀魉蛙囃ㄟ^(guò)抓爪機(jī)構(gòu)抓取前開(kāi)口統(tǒng)一盒頂部把手133來(lái)抓取前開(kāi)口統(tǒng)一盒，并在工具上方的一個(gè)高度處圍繞制造設(shè)施行進(jìn)。前開(kāi)口統(tǒng)一盒通過(guò)使用吊升機(jī)械在儲(chǔ)料器、存儲(chǔ)系統(tǒng)或工具處被降低或升高。其它五個(gè)存儲(chǔ)架子IlOb-IIOf在其上存儲(chǔ)有前開(kāi)口統(tǒng)一盒，而存儲(chǔ)架子IlOa是空的。空中傳送車131沿空中傳送導(dǎo)軌132移動(dòng)，并停止在與停止架子IlOa對(duì)齊的位置處。在該位置，它可將前開(kāi)口統(tǒng)一盒下降到架子IlOa上。當(dāng)前開(kāi)口統(tǒng)一盒被下降到架子IlOa上后，它可回縮其吊升機(jī)械，并移動(dòng)至另一目的地，或者它可從存儲(chǔ)系統(tǒng)拾起另一前開(kāi)口統(tǒng)一盒。要拾起另一前開(kāi)口統(tǒng)一盒，空中傳送車將等待直到期望的前開(kāi)口統(tǒng)一盒已移動(dòng)至空中傳送車下方的對(duì)齊位置，通過(guò)吊升機(jī)械使其抓爪下降，抓取前開(kāi)口統(tǒng)一盒頂部把手，升高前開(kāi)口統(tǒng)一盒，然后前進(jìn)至其下一目的地。為了進(jìn)行拾起而對(duì)新的前開(kāi)口統(tǒng)一盒的定位是非常快速的，因?yàn)樗恍枰獑蝹€(gè)電機(jī)的操作。存儲(chǔ)系統(tǒng)控制電路可沿任一方向驅(qū)動(dòng)電機(jī)，以移動(dòng)前開(kāi)口統(tǒng)一盒至空中傳送車下方的對(duì)齊位置，并且為了得到最小的延遲，它可選擇引起最小行進(jìn)距離的方向。圖12和13示出了本發(fā)明安裝在工具135上方，以為預(yù)定被該工具處理的前開(kāi)口統(tǒng)一盒提供本地存儲(chǔ)。存儲(chǔ)系統(tǒng)100的存儲(chǔ)系統(tǒng)組件IOOb圖示為包括框體100c?？蝮wIOOc 可以具有結(jié)構(gòu)部件和非結(jié)構(gòu)部件，只要框體IOOc能夠附接至工具的組件200的表面(見(jiàn)圖 13)。組件200可只包括工具的部分，或者還可包括添附部件、面板、電子系統(tǒng)、屏幕、框體、 管道、通風(fēng)口、過(guò)濾器、軌道、氣動(dòng)裝置、電路、設(shè)施連接物、框體穩(wěn)定器、電連接器、通信連接器、和類似物。因此，將存儲(chǔ)系統(tǒng)組件IOOb置于工具上方可包括放置或連接存儲(chǔ)系統(tǒng)組件 IOOb至工具的部分或連接于工具的部件。在圖13中還示出的有，在一個(gè)示例中，空中傳送車131對(duì)齊在活動(dòng)端口板119上方，以及工具裝載端口 13 的工具架子上方。工具架子可以是空中傳送車的降落或拾取點(diǎn)，活動(dòng)端口板119也可以這樣，因?yàn)樗鼈冊(cè)跇?gòu)造成接收或供給容器的區(qū)域(例如，容器裝載區(qū)域)中對(duì)齊。空中傳送車131沿空中傳送導(dǎo)軌132移動(dòng)，直到與活動(dòng)端口 117、活動(dòng)端口 118、或者任一工具裝載端口 134a、134b或13 對(duì)齊?？罩袀魉蛙?31就位以向空活動(dòng)端口 117 上裝載前開(kāi)口統(tǒng)一盒，活動(dòng)端口 117然后可回縮并將它下降到空存儲(chǔ)架子1 IOa上，然而，其它的前開(kāi)口統(tǒng)一盒傳送方式也是可能的。例如，在全部活動(dòng)端口回縮的情況下，空中傳送車可將其前開(kāi)口統(tǒng)一盒傳送至裝載端口 IMa、134b或13 之一。另一示例是使空中傳送車到達(dá)活動(dòng)端口 117的位置，但不攜帶前開(kāi)口統(tǒng)一盒?；顒?dòng)端口 117可從存儲(chǔ)架子拾起前開(kāi)口統(tǒng)一盒，并移動(dòng)至延伸位置，在這里它于是可被空中傳送抓爪抓取，并被提升至空中傳送車。當(dāng)活動(dòng)端口 117回縮后，空中傳送車于是可將前開(kāi)口統(tǒng)一盒下降至裝載端口 i:34a、134b或13 之一。存儲(chǔ)系統(tǒng)還可用于在來(lái)源于前開(kāi)口統(tǒng)一盒的晶片正在被處理的同時(shí)，存儲(chǔ)空的前開(kāi)口統(tǒng)一盒。這允許以有限數(shù)量的工具裝載端口同時(shí)處理較大批量的晶片。在該情況下， 在活動(dòng)端口回縮的狀態(tài)下，空中傳送車將從裝載端口之一例如裝載端口 13 拾起空的前開(kāi)口統(tǒng)一盒，將該空的前開(kāi)口統(tǒng)一盒提升至空中傳送車，延伸活動(dòng)端口，例如活動(dòng)端口 117， 然后將所述空的前開(kāi)口統(tǒng)一盒下降至所述活動(dòng)端口，然后可回縮活動(dòng)端口，并將所述空的前開(kāi)口統(tǒng)一盒下降到與所述活動(dòng)端口對(duì)齊的空架子上。在圖12和13中，具有活動(dòng)端口的存儲(chǔ)系統(tǒng)安裝在工具上方，然而，并非必須要在工具上方。如果存儲(chǔ)系統(tǒng)定位在沿著空中傳送的路徑的任何地方，則空中傳送車能夠通過(guò)活動(dòng)端口訪問(wèn)到存儲(chǔ)于存儲(chǔ)系統(tǒng)中的前開(kāi)口統(tǒng)一盒，唯一的要求是空中傳送車吊升機(jī)械能夠與延伸時(shí)的活動(dòng)端口對(duì)齊。圖14和15示出了本發(fā)明的一實(shí)施例，其中吊升機(jī)械能夠在沒(méi)有空中傳送車的輔助的情況下，在存儲(chǔ)系統(tǒng)與工具之間傳送前開(kāi)口統(tǒng)一盒。傳送吊升機(jī)械136圖示為傳送吊升抓爪140回縮到傳送吊升機(jī)械框體142中。傳送吊升機(jī)械136也可對(duì)齊在活動(dòng)端口板119上方，或者對(duì)齊在裝載端口架子中的一個(gè)或多個(gè)上方。在本實(shí)施例中，傳送吊升機(jī)械延伸到活動(dòng)端口在被延伸時(shí)所延伸到的相同區(qū)域(例如，容器裝載區(qū)域)中，以及裝載端口的架子所在的相同區(qū)域。這允許通過(guò)傳送吊升機(jī)械136實(shí)現(xiàn)高效的傳送。使傳送吊升機(jī)械136、活動(dòng)端口板119和裝載端口架子13如-1對(duì)齊的一個(gè)示例在圖15中示出。例如，傳送吊升機(jī)械136能夠沿吊升機(jī)械直線驅(qū)動(dòng)器137橫向地移動(dòng)。橫向行進(jìn)的范圍包括對(duì)齊在活動(dòng)端口 117、118和裝載端口 134a、134b和13 上方的位置。吊升機(jī)械直線驅(qū)動(dòng)器137中的直線驅(qū)動(dòng)器件可以是本領(lǐng)域已知方法中的任一種。例如，直線驅(qū)動(dòng)器件可以是齒條和具有正齒輪的電動(dòng)機(jī)，或者水平滾珠螺桿和被電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的滾珠螺母。 懸臂支承件138被一個(gè)或多個(gè)直線軸承引導(dǎo)，并且連接至直線驅(qū)動(dòng)器件的可移動(dòng)部分。直線軸承和懸臂支承件必須具有足夠的剛性，以在添加有一整個(gè)前開(kāi)口統(tǒng)一盒的載荷的狀態(tài)下，將傳送吊升機(jī)械136保持在適當(dāng)?shù)乃矫嬷?。吊升機(jī)械直線驅(qū)動(dòng)器中的柔性線纜組件將允許電力和通信線路被連接在存儲(chǔ)系統(tǒng)及其控制電路和傳送吊升機(jī)械的控制電路之間?？罩袀魉蛙?31能夠向和從兩個(gè)活動(dòng)端口和全部裝載端口傳送前開(kāi)口統(tǒng)一盒，但是空中傳送車并非必須要向和從裝載端口傳送前開(kāi)口統(tǒng)一盒。傳送吊升機(jī)械能夠在不等待空中傳送車到達(dá)的情況下，根據(jù)來(lái)自工具的要求從存儲(chǔ)系統(tǒng)向裝載端口傳送前開(kāi)口統(tǒng)一盒。空中傳送車能夠向存儲(chǔ)系統(tǒng)遞送前開(kāi)口統(tǒng)一盒，以保持將被工具處理的前開(kāi)口統(tǒng)一盒的庫(kù)存，而不用關(guān)心工具裝載端口的狀況?？罩袀魉蛙嚹軌驈墓ぞ哐b載端口或存儲(chǔ)系統(tǒng)拾起處理過(guò)的前開(kāi)口統(tǒng)一盒。在一種情況下，處理過(guò)的前開(kāi)口統(tǒng)一盒可在裝載端口上等待直到空中傳送車有空取走它，前提是該裝載端口不需要開(kāi)始處理新的前開(kāi)口統(tǒng)一盒。在另一情況下，即在具有處理過(guò)的前開(kāi)口統(tǒng)一盒的裝載端口需要開(kāi)始處理新的前開(kāi)口統(tǒng)一盒的情況下，可通過(guò)傳送吊升機(jī)械將處理過(guò)的前開(kāi)口統(tǒng)一盒移動(dòng)至一活動(dòng)端口，該活動(dòng)端口將把它裝載到一個(gè)空的存儲(chǔ)架子上，然后一個(gè)新的前開(kāi)口統(tǒng)一盒將從存儲(chǔ)架子被移動(dòng)至活動(dòng)端口至傳送吊升機(jī)械至最近空出的裝載端口。圖16和17提供了運(yùn)送吊升機(jī)械136的設(shè)計(jì)詳情?？偟膩?lái)說(shuō)，運(yùn)送吊升機(jī)械具有多種與空中傳送車上的吊升機(jī)構(gòu)相同的特征；使在一較低高度與一較高高度之間移動(dòng)前開(kāi)口統(tǒng)一盒抓爪機(jī)構(gòu)的帶回縮。吊升框體142容納電動(dòng)機(jī)，該電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)帶驅(qū)動(dòng)輪147以使傳送吊升帶141回縮到吊升框體142中。被回縮的帶被卷繞到提供連續(xù)纏繞扭矩的帶纏繞輪148上。傳送吊升帶141連接至傳送吊升抓爪140，因此傳送吊升帶向傳送吊升框體中的回縮引起傳送吊升抓爪的垂直運(yùn)動(dòng)。傳送吊升抓爪140包圍前開(kāi)口統(tǒng)一盒頂部把手133的周緣，然后抓爪閂鎖146被激活，將抓爪閂鎖定位在前開(kāi)口統(tǒng)一盒頂部把手的底部邊緣下方。通過(guò)抓爪閂鎖的支承，于是能夠從前開(kāi)口統(tǒng)一盒停留于其上的支承面提升前開(kāi)口統(tǒng)一盒。傳送吊升框體與傳送吊升抓爪之間的電力和通信由嵌入傳送吊升帶中的線材提供。替代地，抓爪可由電池供電，并且當(dāng)抓爪被升高至傳送吊升框體時(shí)，電池再充電將通過(guò)電接觸得到實(shí)現(xiàn)。在電池供電的抓爪的情況下，通信將是無(wú)線的，通過(guò)射頻傳輸，或者通過(guò)光束傳輸(可見(jiàn)光或紅外線)。圖16示出了吊升機(jī)械直線驅(qū)動(dòng)組件137的附加詳情。板170為水平驅(qū)動(dòng)電機(jī)169 和吊升機(jī)械直線導(dǎo)軌165提供支承。直線導(dǎo)軌軸承166伴隨滾珠螺母底座171附接至懸臂支承件138。滾珠螺桿167附接至驅(qū)動(dòng)電機(jī)的軸，并且穿過(guò)由滾珠螺母底座保持的滾珠螺母 168。當(dāng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)軸被旋轉(zhuǎn)時(shí)，滾珠螺母和滾珠螺母底座隨著它在導(dǎo)軌165和軸承166上的滑動(dòng)而橫向地推動(dòng)懸臂支承件和吊升機(jī)械。為清楚起見(jiàn)，向吊升機(jī)械供給電力和控制信號(hào)的線纜未示出。在吊升機(jī)械直線驅(qū)動(dòng)組件中可使用替代部件。例如，旋轉(zhuǎn)型電機(jī)169可被直線電機(jī)取代，所述直線電機(jī)具有安裝在板170上的永久磁體和附接至滑動(dòng)懸臂支承件塊的繞組組件。替代地，絲杠和螺母可取代滾珠螺桿和滾珠螺母，或者直線軸承可被一對(duì)平行的引導(dǎo)軸和管狀軸承取代。圖2和3示出了引導(dǎo)和支承存儲(chǔ)架子的軸承組件的詳情。例如THK有限公司和 Bishop-Wisecarver公司等的數(shù)家公司提供能夠用于支持圍繞直線和彎曲導(dǎo)軌或軌道的組合的運(yùn)動(dòng)的軸承/導(dǎo)軌系統(tǒng)。THK公司提供被稱為“Straight-Curved Guide HMG (直線-彎曲引導(dǎo)HMG)，，的產(chǎn)品，而B(niǎo)ishop-Wisecarver公司提供它們的具有彎曲和直線部分的"I3RT Track SyStem(PRT軌道系統(tǒng))”。本領(lǐng)域已知用于在彎曲和直線導(dǎo)軌部分之間移動(dòng)的數(shù)種方法，圖2和3中的圖示只是一個(gè)示例。支撐板121將支承存儲(chǔ)架子。每個(gè)支撐板通過(guò)銷和輥板支撐件145連接至兩個(gè)輥板144中的每一個(gè)。輥板144能夠圍繞輥板支撐件145自由地樞軸，并且各自安裝有2個(gè)輥，每個(gè)輥能夠在支撐件上旋轉(zhuǎn)。輥被間隔成使得它們提供從每側(cè)抓住導(dǎo)軌的橫向作用力。當(dāng)支撐轉(zhuǎn)向架圍繞彎曲導(dǎo)軌移動(dòng)時(shí)，輥板能夠樞軸以允許不受阻礙的運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)軌可采取數(shù)種結(jié)構(gòu)配置，只要能提供軌道來(lái)完成一回路。圖18示出了具有垂直地層疊的兩個(gè)層級(jí)(level)的存儲(chǔ)回路的存儲(chǔ)系統(tǒng)。上側(cè)層級(jí)的存儲(chǔ)系統(tǒng)149具有活動(dòng)端口 117a和118a。下側(cè)層級(jí)的存儲(chǔ)系統(tǒng)150具有活動(dòng)端口 117b和118b。該圖示出了前開(kāi)口統(tǒng)一盒130已準(zhǔn)備好被裝載到延伸出來(lái)的活動(dòng)架子117b 上。位于活動(dòng)端口 117b上方的活動(dòng)端口 117a必須回縮以便空中傳送車131不受阻擋地向活動(dòng)端口 117b遞送前開(kāi)口統(tǒng)一盒，然而活動(dòng)端口 118a或118b可以延伸，例如，使前開(kāi)口統(tǒng)一盒準(zhǔn)備好被空中傳送車拾取。這種類型的多層級(jí)存儲(chǔ)系統(tǒng)可具有大于兩個(gè)的層級(jí)，并且具有不同位置和數(shù)量的存儲(chǔ)架子。圖18示出了存儲(chǔ)系統(tǒng)100安裝在安裝于天花板上的空中傳送車的緊下方，然而，存儲(chǔ)系統(tǒng)可處于任意的高度。存儲(chǔ)系統(tǒng)100可由基于地面的結(jié)構(gòu)、 天花板結(jié)構(gòu)、自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、或其組合支承。存儲(chǔ)系統(tǒng)也可由工具或其它制造設(shè)施特征的結(jié)構(gòu)支承。圖20A、20B和20C是具有活動(dòng)端口的存儲(chǔ)系統(tǒng)的簡(jiǎn)化側(cè)視圖，示出了它是如何能夠以不同基本類型的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)來(lái)傳送前開(kāi)口統(tǒng)一盒的。箭頭示出了前開(kāi)口統(tǒng)一盒在傳送期間的路徑。圖20A示出了定位在存儲(chǔ)系統(tǒng)的側(cè)面的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)151。 這種類型的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)在其中內(nèi)置有能夠向延伸的活動(dòng)端口 117上裝載前開(kāi)口統(tǒng)一盒的傳送裝置，所述活動(dòng)端口于是可回縮并將前開(kāi)口統(tǒng)一盒傳送至存儲(chǔ)架子110。圖 20B示出了自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)155(例如空中傳送車)，其將前開(kāi)口統(tǒng)一盒下降到活動(dòng)端口 117上，所述活動(dòng)端口 117于是回縮并將前開(kāi)口統(tǒng)一盒傳送至存儲(chǔ)架子110。圖20C示出了定位在存儲(chǔ)系統(tǒng)的側(cè)面的不帶有一體傳送裝置的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)156。該自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)類型需要外部傳送裝置152，該外部傳送裝置152能夠從自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)156拾起前開(kāi)口統(tǒng)一盒，并將之移動(dòng)至活動(dòng)端口 117，在這里它于是可被移動(dòng)至存儲(chǔ)架子 110。圖21A、21B和21C是沒(méi)有活動(dòng)端口的存儲(chǔ)系統(tǒng)的簡(jiǎn)化側(cè)視圖，示出了它是如何能夠以不同基本類型的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)來(lái)傳送前開(kāi)口統(tǒng)一盒的。箭頭示出了前開(kāi)口統(tǒng)一盒在傳送期間的路徑。圖21A示出了定位在存儲(chǔ)系統(tǒng)的側(cè)面的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)151。這種類型的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)在其中內(nèi)置有能夠?qū)⑶伴_(kāi)口統(tǒng)一盒直接裝載到存儲(chǔ)架子110 上的傳送裝置。圖20B示出了自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)155(例如空中傳送車)，其將前開(kāi)口統(tǒng)一盒直接下降到存儲(chǔ)架子110上。圖20C示出了定位在存儲(chǔ)系統(tǒng)的側(cè)面的不帶有一體傳送裝置的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)156。該自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)類型需要外部傳送裝置152，該外部傳送裝置152能夠從自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)156拾起前開(kāi)口統(tǒng)一盒，并將之直接移動(dòng)至存儲(chǔ)架子110。圖22和23是簡(jiǎn)化的俯視圖，示出了由常規(guī)儲(chǔ)料器以及由本發(fā)明的存儲(chǔ)系統(tǒng)使用的相對(duì)地面空間。這些圖中的每一個(gè)示出了一個(gè)層級(jí)的存儲(chǔ)位置，但是常規(guī)儲(chǔ)料器157或存儲(chǔ)系統(tǒng)100均可具有多個(gè)層級(jí)的所示前開(kāi)口統(tǒng)一盒配置。在圖22中，常規(guī)儲(chǔ)料器157具有10個(gè)前開(kāi)口統(tǒng)一盒130，配置成兩排，每排五個(gè)前開(kāi)口統(tǒng)一盒。這兩排前開(kāi)口統(tǒng)一盒被一層疊機(jī)械手間隙空間161分開(kāi)，該空間是用于水平地移動(dòng)層疊機(jī)械手158以訪問(wèn)所存儲(chǔ)的前開(kāi)口統(tǒng)一盒所必需的。層疊機(jī)械手158具有垂直的支柱159，該垂直的支柱159垂直地移動(dòng)層疊機(jī)械臂160，以與每個(gè)層級(jí)的存儲(chǔ)系統(tǒng)對(duì)齊。在垂直支柱159訪問(wèn)存儲(chǔ)層級(jí)中的最左側(cè)的前開(kāi)口統(tǒng)一盒時(shí)，必須有一個(gè)層疊機(jī)械手端部空間162。層疊機(jī)械手間隙空間161 必須足夠?qū)?，以在它于間隙空間161的兩側(cè)的存儲(chǔ)位置之間旋轉(zhuǎn)180度時(shí)，容納前開(kāi)口統(tǒng)一盒外加機(jī)械臂的一些部分。相比之下，圖23所示的本設(shè)計(jì)的存儲(chǔ)系統(tǒng)100使用少得多的地面面積來(lái)存儲(chǔ)10個(gè)前開(kāi)口統(tǒng)一盒130。存儲(chǔ)系統(tǒng)100不需要層疊機(jī)械手，因此圖22中的間隙空間161和162被消除，獲得非常密集的配置。圖22和23還示出了本發(fā)明的存儲(chǔ)系統(tǒng)100的改善了的運(yùn)動(dòng)效率。要在圖22中從存儲(chǔ)位置163取出前開(kāi)口統(tǒng)一盒，層疊機(jī)械手158必須首先水平地移動(dòng)至與該存儲(chǔ)位置對(duì)齊，然后層疊機(jī)械臂160中的電機(jī)將該臂延伸到前開(kāi)口統(tǒng)一盒下方，然后一電機(jī)抬升該臂以及前開(kāi)口統(tǒng)一盒，然后臂的電機(jī)使臂和前開(kāi)口統(tǒng)一盒回縮，然后層疊機(jī)械手可水平地移動(dòng)至期望的目的端口。在圖23中，本發(fā)明的存儲(chǔ)系統(tǒng)100只須操作單個(gè)電機(jī)，以同時(shí)移動(dòng)全部的前開(kāi)口統(tǒng)一盒，直到處于位置164處的前開(kāi)口統(tǒng)一盒被移動(dòng)3或4個(gè)位置，例如， 只使用了常規(guī)儲(chǔ)料器用于取出前開(kāi)口統(tǒng)一盒的時(shí)間的一部分。圖M示出了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，其用作不帶有安裝在天花板上的自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)遞送系統(tǒng)的、獨(dú)立的工具存儲(chǔ)系統(tǒng)。吊升機(jī)械直線驅(qū)動(dòng)器137(例如，水平軌道)已被加長(zhǎng)而延伸到位于工具的組件200的側(cè)面的區(qū)域上方，允許傳送吊升機(jī)械136定位在位于工具的側(cè)面的手動(dòng)裝載工作臺(tái)172上方。手動(dòng)裝載工作臺(tái)因此處于工具的側(cè)面。如本文所使用的，“位于側(cè)面”意指手動(dòng)裝載工作臺(tái)可在工具的附近，只要手動(dòng)架子在容器裝載區(qū)域的旁邊或附近即可。在該情況下，容器被放置在手動(dòng)裝載工作臺(tái)上，在這里它們能夠被傳送吊升機(jī)械拾取然后升高至上側(cè)位置。從該位置，傳送吊升機(jī)械橫向地移動(dòng)成對(duì)齊在工具裝載端口 134或活動(dòng)端口 117上方，然后將容器下降并安放在裝載端口或活動(dòng)端口上。傳送吊升機(jī)械能夠在a)手動(dòng)裝載端口與活動(dòng)端口，b)活動(dòng)端口與裝載端口，或c)手動(dòng)裝載端口與裝載端口之間移動(dòng)容器。手動(dòng)裝載工作臺(tái)圖示為具有手動(dòng)裝載架子，所述手動(dòng)裝載架子具有用于在容器被放置于其上時(shí)保持、接合或連接至容器的特征。在一個(gè)實(shí)施例中，所述特征是銷，并且所述銷與容器的相應(yīng)的下側(cè)凹入部分配合。此外，手動(dòng)裝載工作臺(tái)可采取各種構(gòu)造，例如可移動(dòng)的基于地面的運(yùn)送或操縱系統(tǒng)。例如，導(dǎo)軌引導(dǎo)的車，自動(dòng)傳送推車，或可移動(dòng)運(yùn)送系統(tǒng)上的人工放置的容器。再此外，為清楚起見(jiàn)，手動(dòng)裝載架子并非必須是手動(dòng)裝載工作臺(tái)的一部分，能夠支承容器和接收容器的任何結(jié)構(gòu)的機(jī)構(gòu)均可用作手動(dòng)裝載架子。圖M示出了用于300mm硅晶片的類型的容器和裝載端口，然而，同樣的概念將適用于用于例如200mm或450mm等其它尺寸的晶片的容器。200mm晶片容器的不同之處在于它們具有底部開(kāi)門，但是它們具有相似的用于與傳送吊升機(jī)械接合的頂部把手，并且它們被裝載到工具上的水平支承面上，因此它們不會(huì)顯著地改變手動(dòng)裝載或緩沖遞送的操作。圖M中的系統(tǒng)的使用將是允許操作人員向存儲(chǔ)系統(tǒng)100中裝載多個(gè)容器。該存儲(chǔ)系統(tǒng)然后可使用傳送吊升機(jī)械，按需要將容器裝載到工具上，并在處理后將容器移至存儲(chǔ)系統(tǒng)100。操作員然后可在以后的時(shí)間從處理后的容器取回晶片，從而使操作員更頻繁地手動(dòng)裝載和卸載每個(gè)裝載端口的需求最小化。一些類型的操作界面，優(yōu)選為安裝在手動(dòng)裝載工作臺(tái)上的操作界面173，將允許操作員在裝載或卸載處理期間輸入存儲(chǔ)器和容器信息。 手動(dòng)裝載工作臺(tái)可具有自動(dòng)化的容器標(biāo)識(shí)器件，以允許在裝載或卸載容器時(shí)標(biāo)識(shí)容器。在半導(dǎo)體工業(yè)中有數(shù)種不同方法是常見(jiàn)的，例如條形碼讀取器、RFID(射頻標(biāo)識(shí))、和與電池供電的安裝于容器的標(biāo)識(shí)模塊的紅外線通信。還可能的是，如圖M所示的獨(dú)立式系統(tǒng)可用于處理和存儲(chǔ)任何水平基片的容器。 只要工具具有水平裝載面以供傳送吊升機(jī)械將容器下降于其上，并且工具具有允許對(duì)基片進(jìn)行訪問(wèn)以通過(guò)工具的基片操縱設(shè)備裝載到處理工具中的訪問(wèn)端口，則與圖M所示的系統(tǒng)將不會(huì)有實(shí)質(zhì)性的區(qū)別。圖25和沈示出了本發(fā)明的又一實(shí)施例，其使用定位在存儲(chǔ)系統(tǒng)100的側(cè)面的固定架子17 和174b，提供了用于空中傳送式降落和拾起容器的更簡(jiǎn)單的方法。例如，固定架子174中的一個(gè)或多個(gè)可位于存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的框體的旁邊。這樣，固定架子174將定位在存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的軌道外。再此外，固定架子可通過(guò)多種方法聯(lián)接至存儲(chǔ)系統(tǒng)組件。一種方法是聯(lián)接至存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的框體或另一結(jié)構(gòu)。與可處于回縮位置的活動(dòng)端口 117不同， 固定架子17 和174b總是處于空中傳送車和傳送吊升機(jī)械的行程下方的位置，因?yàn)樗鼈兝喂痰匕惭b至固定的結(jié)構(gòu)元件，例如存儲(chǔ)系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)。在一個(gè)示例性實(shí)施例中，固定架子174還位于與下方工具的裝載端口架子以及延伸的活動(dòng)端口 117相同的方向上。為清楚起見(jiàn)，應(yīng)該明白的是，固定架子可連接至鄰近存儲(chǔ)系統(tǒng)組件100的任何位置。例如，固定架子可連接在與活動(dòng)端口 117或118中的一個(gè)的面相同的一側(cè)，只要固定架子不阻擋對(duì)裝載端口架子的垂直吊升機(jī)械訪問(wèn)或空中傳送訪問(wèn)。然而，該面是不存在活動(dòng)端口的地方，例如在活動(dòng)端口 118的右側(cè)。在于存儲(chǔ)系統(tǒng)100與裝載端口之間傳送容器的期間，如果空中傳送車131到達(dá)工具組件200以達(dá)到降落容器的目的，則傳送吊升機(jī)械136可以處于在活動(dòng)端口 117或裝載端口 134a、134b或13 上方橫向地移動(dòng)的過(guò)程中。在該情況下，空中傳送車如果必須與活動(dòng)端口相互作用則需要等待，但是固定架子在存儲(chǔ)系統(tǒng)到裝載端口的傳送期間位于傳送吊升機(jī)械的運(yùn)動(dòng)范圍外，因此空中傳送車將能自由地在固定架子處存放容器，而不用擔(dān)心與這些其它的傳送操作相互影響。在安裝有固定架子的情況下，空中傳送車將不必停止在裝載端口上方，除非在存儲(chǔ)系統(tǒng)或傳送吊升機(jī)械的操作中存在故障。在該情況下，自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)和存儲(chǔ)系統(tǒng)可被置入備用操作模式中。存儲(chǔ)系統(tǒng)操作將被禁止，傳送吊升機(jī)械將移動(dòng)到固定架子中的一個(gè)上方，而空中傳送車將直接地遞送容器至工具的裝載端口。雖然這種類型的操作將不能利用存儲(chǔ)系統(tǒng)的能力，但是它仍將允許工具在故障被修正的同時(shí)進(jìn)行操作。固定架子的另一優(yōu)點(diǎn)是容器可被放置在一個(gè)上，以被空中傳送車拾起，而不占據(jù)活動(dòng)端口上的位置?？罩袀魉蛙嚨竭_(dá)以進(jìn)行拾起的時(shí)間是不確定的，而將容器放置在固定架子上使得容器不必占據(jù)活動(dòng)端口，而這種占據(jù)是可能妨礙其它傳送的。如果使用了兩個(gè)或兩個(gè)以上的固定架子，則固定架子的再一優(yōu)點(diǎn)是一個(gè)可被指定為降落架子，而另一個(gè)被指定為拾起架子。空中傳送車通常只沿空中傳送導(dǎo)軌132在一個(gè)方向上行進(jìn)。降落架子可指定為空中傳送車在趨近工具時(shí)首先橫越的架子174a，而拾起架子可以是定位在空中傳送車進(jìn)一步行進(jìn)后的架子174b，其通常是位于工具的另一側(cè)的架子。如果架子17 是空的，而架子174b具有待拾取的容器，則單個(gè)空中傳送車可在架子 174a處降落容器，然后在短距移動(dòng)后，在架子174b處拾起等待的容器。該方法能夠通過(guò)減少安排好的空中傳送車移動(dòng)的數(shù)量來(lái)減少空中傳送車的總體交通擁堵，原因是容器的降落與容器的拾起被合并到到車的單程中了。因此，傳送吊升機(jī)械可(i)向或從固定架子拾取或放置容器；或者(ii)向或從裝載端口架子拾取或放置容器；或者(iii)向或從固定架子和裝載端口架子拾取或放置容器；或者(iv)向或從存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的端口板、固定架子或裝載端口架子拾取或放置容器。 再此外，空中傳送車連接至存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的軌道，傳送吊升機(jī)械的水平軌道位于空中傳送車的軌道下方，存儲(chǔ)架子、端口板和固定架子位于傳送吊升機(jī)械下方，而裝載端口架子位于存儲(chǔ)架子、端口板和固定架子下方。此外，各自安裝在一個(gè)房間中，所述房間的地面之上安裝所述工具。所述房間可以是制造設(shè)施、實(shí)驗(yàn)室、潔凈室、或任何結(jié)構(gòu)。稱一物體位于下方或上方可以是相對(duì)于一個(gè)基準(zhǔn)而言的，該基準(zhǔn)可以是房間的地面。圖沈示出了空中傳送導(dǎo)軌132、空中傳送車131、傳送吊升機(jī)械136、固定架子 174a和裝載端口 13 是如何占據(jù)大致相同的垂直面的。圖27示出了對(duì)于存儲(chǔ)系統(tǒng)的多工具應(yīng)用。存儲(chǔ)系統(tǒng)可定位在兩個(gè)工具200a和 200b之間或定位成橫跨這兩個(gè)工具，允許傳送吊升機(jī)械136在工具之間移動(dòng)容器，而不用空中傳送車的協(xié)助，并提供工具到工具的緩沖。如果例如在處理步驟后需要計(jì)量步驟，則這將是非常高效的。容器可在處理后返回存儲(chǔ)系統(tǒng)，排成隊(duì)列，以在下一次可獲得時(shí)被計(jì)量工具測(cè)量。傳送吊升機(jī)械136可通過(guò)延伸吊升機(jī)械直線驅(qū)動(dòng)器137而延伸在兩個(gè)工具上方。 在一個(gè)實(shí)施例中，水平軌道位于存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的至少一部分的上方。在另一實(shí)施例中，水平軌道延伸超過(guò)存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的側(cè)面。延伸超過(guò)側(cè)面應(yīng)指任何側(cè)面，并且可包括延伸超過(guò)工具或存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的不止一個(gè)側(cè)面。在一個(gè)示例中，水平軌道可位于一個(gè)或多個(gè)工具上方。 傳送吊升機(jī)械連接至所述水平軌道，以便能使傳送吊升機(jī)械在所述一個(gè)或多個(gè)工具上方沿所述軌道移動(dòng)，并且傳送吊升機(jī)械構(gòu)造成拾取或放置容器。在又一實(shí)施例中，水平軌道延伸超過(guò)存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的側(cè)面，由此水平軌道的一部分至少部分地位于輸送器的一部分上方。 連接于水平軌道的傳送吊升機(jī)械于是能夠在所述輸送器的所述部分上方沿軌道移動(dòng)，以便能實(shí)現(xiàn)拾取或放置容器。存儲(chǔ)系統(tǒng)組件可從地面、工具結(jié)構(gòu)、空中傳送框體或天花板得到支承。存儲(chǔ)系統(tǒng)可位于兩個(gè)工具上方，工具之間，或者安裝在工具中的一個(gè)上方。任一種方法，吊升機(jī)械直線驅(qū)動(dòng)器都將延伸成使得傳送吊升機(jī)械能夠定位在兩個(gè)工具上的所有裝載端口上方。可能希望由透明塑料或其它材料形成安全擋板，以限制操作員進(jìn)入垂直裝載區(qū)域，除非他們手動(dòng)地訪問(wèn)容器?？纱嬖诰哂行盘?hào)開(kāi)關(guān)的檢修門，以在門打開(kāi)的情況下防止傳送吊升機(jī)械發(fā)生垂直運(yùn)動(dòng)。另一可能性是擋板在裝載端口處是打開(kāi)的，但是只達(dá)到容器的頂部的高度。這將防止操作員傾斜到垂直行進(jìn)區(qū)域中，同時(shí)仍然允許在容器高度處的手工訪問(wèn)。如果使用了該打開(kāi)概念，則其可橫跨裝載端口處的開(kāi)口與光學(xué)“打斷射束 (break-the-beam) ”傳感器組合，以通知傳送吊升機(jī)械控制器在操作員正打斷開(kāi)口處的傳感器的射束的情況下防止垂直運(yùn)動(dòng)。第三種選擇將是在工具的前方使用整片“光幕”，而不用任何物理?yè)醢?。如果操作員截?cái)嗔巳我还馐?，則傳送吊升機(jī)械操作將受到限制。存在多種多樣的不同方法使得存儲(chǔ)系統(tǒng)能夠與工具和制造設(shè)施自動(dòng)系統(tǒng)交接，然而，其中有兩種組織交接的常見(jiàn)方法a)作為受控于制造設(shè)施制造控制系統(tǒng)(MCS)的系統(tǒng)， 或b)作為集成于并直接受控于工具的系統(tǒng)。在b)的情況下，工具將與制造設(shè)施的控制系統(tǒng)通信，以指示空的存儲(chǔ)位置以及已完成處理的容器。通常，工具將只傳達(dá)它具有供移除的完成的容器，而制造設(shè)施的控制系統(tǒng)將記住工具的存儲(chǔ)位置(裝載端口)的狀況。工具通常不會(huì)確定容器是否應(yīng)該被遞送去進(jìn)行處理，新工作的進(jìn)度安排是由制造設(shè)施的系統(tǒng)進(jìn)行的。在該“工具控制”方法中，工具將以某種方式向制造設(shè)施的系統(tǒng)表示它具有的容器遞送位置比它具有的裝載端口的數(shù)量多，并允許制造設(shè)施將這些位置與遞送/取出位置以及處理指令相關(guān)聯(lián)。該“工具控制”方法可能無(wú)法使其全部消息遵守SEMI標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，并且可能需要定制制造設(shè)施通信接口。在a)的情況下，工具將基本像沒(méi)有存儲(chǔ)系統(tǒng)時(shí)那樣進(jìn)行操作。 遞送容器以存儲(chǔ)到存儲(chǔ)系統(tǒng)中，以及向和從工具裝載端口傳送容器，將受控于制造設(shè)施制造控制系統(tǒng)(MCS)與存儲(chǔ)系統(tǒng)之間的SEMI標(biāo)準(zhǔn)消息協(xié)議。該MCS控制可使用SEMI E88(用于自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)存儲(chǔ)SEM的規(guī)范)來(lái)進(jìn)行，該標(biāo)準(zhǔn)即通常用于控制與儲(chǔ)料器的交互作用的標(biāo)準(zhǔn)。E88消息覆蓋裝載、卸載和導(dǎo)引容器到例如儲(chǔ)料器或在該情況下本發(fā)明的存儲(chǔ)系統(tǒng)等存儲(chǔ)系統(tǒng)中所需的交互。存在將儲(chǔ)料器中的材料移動(dòng)至端口的E88指令，而它們可用于從存儲(chǔ)系統(tǒng)中的存儲(chǔ)位置將容器移動(dòng)至裝載端口。另一選擇將是使用E82指令(用于隔間之間/隔間內(nèi)(intertay/intrabay)自動(dòng)化材料操縱系統(tǒng)SEM的規(guī)范)而不是E88，來(lái)在存儲(chǔ)系統(tǒng)與裝載端口之間移動(dòng)容器。很多存儲(chǔ)系統(tǒng)操作將可以通過(guò)空中傳送和傳送吊升運(yùn)動(dòng)的高效協(xié)調(diào)得到改善。理想地，制造設(shè)施材料控制系統(tǒng)將在空中傳送車接近存儲(chǔ)系統(tǒng)時(shí)向存儲(chǔ)系統(tǒng)發(fā)送消息，標(biāo)識(shí)它的訪問(wèn)端口(裝載端口號(hào)、活動(dòng)端口號(hào)或固定架子號(hào))以及動(dòng)作(拾起或降落容器號(hào))。 這可通過(guò)存儲(chǔ)系統(tǒng)制造設(shè)施通信接口來(lái)進(jìn)行，例如以太網(wǎng)端口，或者直接地以空中傳送車與存儲(chǔ)系統(tǒng)之間的無(wú)線鏈路(例如Wi-Fi IEEE802. 11或Bluetooth IEEE802. 15)來(lái)進(jìn)行。 當(dāng)空中傳送車經(jīng)過(guò)存儲(chǔ)系統(tǒng)附近的預(yù)先確定的路徑位置時(shí)，可向存儲(chǔ)系統(tǒng)發(fā)送消息。通過(guò)發(fā)送該“接近通知”消息，存儲(chǔ)系統(tǒng)可以以數(shù)種方法為空中傳送車的到達(dá)做準(zhǔn)備，包括a) 為訪問(wèn)所標(biāo)識(shí)的裝載端口清理道路，b)延伸所標(biāo)識(shí)的活動(dòng)端口以接收容器，c)延伸具有所標(biāo)識(shí)的容器的確定的活動(dòng)端口以供空中傳送車拾起，或d)清理所標(biāo)識(shí)的固定架子以備容器的到達(dá)。如果上述協(xié)調(diào)方法不可用，則傳送吊升機(jī)械或活動(dòng)架子在空中傳送車到達(dá)工具時(shí)處于妨礙操作中的概率將增加。空中傳送操作通常將被給予優(yōu)先權(quán)，因?yàn)槿魏慰罩袀魉偷难舆t都會(huì)致使其它空中傳送過(guò)境交通(through traffic)停止，然而，短的空中傳送延遲也可能是可接受的，前提是該空中傳送車位于支路導(dǎo)軌上，而不是位于所有過(guò)境交通所處的主導(dǎo)軌上。空中傳送支路是從主導(dǎo)軌分叉的一段空中傳送導(dǎo)軌，由一個(gè)工具或一組工具運(yùn)行，然后再次并入主空中傳送導(dǎo)軌。向裝載端口或儲(chǔ)料器端口的所有空中傳送式材料傳送均與符合SEMIE84標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)聯(lián)動(dòng)(interlock)。如果沒(méi)有預(yù)先通知，則工具上的裝載端口將不會(huì)有關(guān)于空中傳送車即將到達(dá)的信息，直到空中傳送發(fā)出最早的E84信號(hào)。它們通常是通過(guò)在空中傳送車正確地定位在裝載端口(或架子或端口)上方時(shí)對(duì)齊的光學(xué)鏈路發(fā)送的。E84標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了確認(rèn)傳送的每個(gè)步驟已被允許并且被成功地完成的若干信號(hào)的交換。輸送器遞送系統(tǒng)能夠以多種方式與本發(fā)明的存儲(chǔ)系統(tǒng)的操作集成。參見(jiàn)見(jiàn)圖觀和圖29，它們示出了構(gòu)造的一個(gè)示例。主輸送器區(qū)段175沿一排工具/EFEM運(yùn)送容器，而側(cè)面遞送區(qū)段176a和176b處于工具/EFEM的側(cè)面。在該示例，從圖四可看出，容器177 將在側(cè)面遞送區(qū)段的端部停止在傳送吊升機(jī)械下方的位置處，使得它能夠被傳送吊升機(jī)械拾起并遞送至活動(dòng)端口或工具裝載端口。在一個(gè)實(shí)施例中，停止位置可以是輸送器的一部分。如果還使用空中傳送系統(tǒng)，則它也可對(duì)齊在輸送器停止位置以及裝載端口和活動(dòng)端口上方，得到非常靈活的自動(dòng)系統(tǒng)。例如，輸送器可用于以高傳送速率鏈接一小組工具，而空中傳送車用于移動(dòng)容器到區(qū)域外。側(cè)面遞送輸送器還可用于在容器被傳送吊升機(jī)械拾起前使它們排成一個(gè)短隊(duì)列。這在傳送吊升機(jī)械忙于其它傳送操作的情況下是有利的，允許主輸送器卸載安排好用于遞送的2或3個(gè)更多的容器，而不會(huì)造成主輸送線上的任何中斷或勞通ο圖28示出了兩個(gè)側(cè)面輸送器區(qū)段176a和176b，工具的每側(cè)一個(gè)。一個(gè)可用于容器遞送，而另一個(gè)可用作容器離開(kāi)區(qū)段，然而，如果需要的話，容器遞送和移除與各側(cè)面輸送器的關(guān)聯(lián)可以是動(dòng)態(tài)變化的。動(dòng)態(tài)關(guān)聯(lián)的一個(gè)示例是在存儲(chǔ)系統(tǒng)有必要盡快從空狀態(tài)被填滿的情況下使兩個(gè)區(qū)段都遞送容器，這時(shí)兩個(gè)側(cè)面區(qū)段可通過(guò)到達(dá)的容器填充隊(duì)列到極限。當(dāng)存儲(chǔ)系統(tǒng)被填滿后，側(cè)面區(qū)段中的一個(gè)可改變成離開(kāi)區(qū)段。圖觀和四示出的是主輸送器區(qū)段放置在存儲(chǔ)系統(tǒng)后，然而，其也可簡(jiǎn)單地位于存儲(chǔ)系統(tǒng)的前方，位于裝載端口前方的過(guò)道上方。側(cè)面輸送器區(qū)段仍將是垂直的，它們?nèi)詫⒀由熘翆⑷萜鬟f送至位于傳送吊升機(jī)械下方的位置處的地方。主輸送器部分與側(cè)面輸送器部分之間的交點(diǎn)需要一些類型的傳送裝置，其中多數(shù)已經(jīng)是眾所周知的。例如，可以是在其上安裝有短的輸送器部分的旋轉(zhuǎn)式輸送器轉(zhuǎn)臺(tái)178。容器將在主輸送器上行進(jìn)直到它處于轉(zhuǎn)臺(tái)上，轉(zhuǎn)臺(tái)于是將轉(zhuǎn)動(dòng)并使容器沿側(cè)面輸送器的方向滾動(dòng)離開(kāi)。大部分附圖為簡(jiǎn)化目的只示出了工具的設(shè)備前端模塊(EFEM)，而沒(méi)有示出所連接的工具。圖觀和四示出了工具可定位在EFEM之后的情況。在以上描述中，工具將包括連接于它的所有部分，包括裝載端口、或EFEM或存儲(chǔ)系統(tǒng)本身。寬泛地說(shuō)，空中傳送系統(tǒng)是用于半導(dǎo)體制造設(shè)施的材料遞送系統(tǒng)?？罩袀魉蛙嚁y帶半導(dǎo)體晶片的容器，同時(shí)在由天花板支承的導(dǎo)軌系統(tǒng)上行進(jìn)。容器(在300mm晶片的情況下為前端開(kāi)口統(tǒng)一盒子)在它們的頂部凸緣被抓住的同時(shí)，在空中傳送車中沿導(dǎo)軌系統(tǒng)行進(jìn)?？罩袀魉蛙嚳赏ㄟ^(guò)一組可伸縮的線纜停止在裝載端口或其它傳送工作臺(tái)處，并下降抓取機(jī)構(gòu)，以及容器。當(dāng)容器接觸裝載端口的表面時(shí)，它得到精確的定位，因?yàn)樗c從裝載端口的支承面突出的一組運(yùn)動(dòng)學(xué)銷配合。相似地，空的抓持機(jī)構(gòu)可下降到裝載端口上的容器的頂部凸緣上，抓住頂部凸緣，并通過(guò)使線纜回縮而將容器升高至空中傳送車?？罩袀魉蛙嚹軌?qū)⑷萜餮b載到各種高度的傳送工作臺(tái)，方法是簡(jiǎn)單地通過(guò)調(diào)節(jié)用于該工作臺(tái)的線纜回縮或延伸的長(zhǎng)度。這種類型的調(diào)節(jié)是通過(guò)人控設(shè)置(“教導(dǎo)工作臺(tái)”)來(lái)完成的，接著是將調(diào)節(jié)值存儲(chǔ)在空中傳送車的控制系統(tǒng)中。 應(yīng)該理解的是，用于存儲(chǔ)和訪問(wèn)半導(dǎo)體晶片容器的上述機(jī)構(gòu)和方法只用于說(shuō)明目的，本發(fā)明并不受其限制。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該清楚的是所描述的這些機(jī)構(gòu)和方法的某些優(yōu)點(diǎn)已被實(shí)現(xiàn)。還應(yīng)該理解的是，在本發(fā)明的所附權(quán)利要求的范圍和精神內(nèi)，可做出各種變型、修正和替代實(shí)施方案。
權(quán)利要求
1.一種存儲(chǔ)系統(tǒng)，包括存儲(chǔ)系統(tǒng)組件，定位在比用于操縱待處理的基片的工具的高度高的高度處，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)構(gòu)造成在所述基片被所述工具處理前或處理后，在本地存儲(chǔ)基片的一個(gè)或多個(gè)容器， 所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件包括，(a)框體；(b)聯(lián)接至所述框體的基板，所述基板包括驅(qū)動(dòng)帶輪、惰性帶輪、帶、軌道和電機(jī)；(c)多個(gè)存儲(chǔ)架子，所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)具有架子板，所述架子板具有用于支承容器的架子特征，并且所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)聯(lián)接至所述帶以便能實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)，并且聯(lián)接至所述軌道以便能實(shí)現(xiàn)向一個(gè)或多個(gè)位置的引導(dǎo)；和(d)位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的框體的側(cè)面的固定架子；其中，所述電機(jī)聯(lián)接至所述驅(qū)動(dòng)帶輪以移動(dòng)所述帶，使得所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)沿所述軌道一起移動(dòng)至所述一個(gè)或多個(gè)位置，所述軌道的至少一些部分是直線的，一些部分是非直線的，并且這些部分在所述基板上方配置成一個(gè)回路。
2.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述固定架子包括用于保持所述容器中的一個(gè)的架子特征。
3.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述固定架子定位在所述軌道外。
4.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述固定架子聯(lián)接至所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的框體。
5.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的框體聯(lián)接至所述工具的組件的框體并位于所述工具的組件的框體上方，所述工具是具有與一個(gè)或多個(gè)基片處理工具交接的裝載端口架子的至少一個(gè)裝載端口，其中，所述裝載端口架子和所述固定架子沿相同方向延伸。
6.如權(quán)利要求5所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述固定架子、所述裝載端口架子和所述存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)對(duì)于位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的空中傳送車來(lái)說(shuō)是可訪問(wèn)的。
7.如權(quán)利要求5所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，還包括 位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的水平軌道；傳送吊升機(jī)械，連接至所述水平軌道以使所述傳送吊升機(jī)械能夠沿所述軌道移動(dòng)，所述傳送吊升機(jī)械限定成沿所述固定架子和所述裝載端口架子的方向延伸離開(kāi)所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件，所述傳送吊升機(jī)械構(gòu)造成(i)向或從所述固定架子拾取或放置容器；或 ( )向或從所述裝載端口架子拾取或放置容器；或(iii)向或從固定架子和裝載端口架子拾取或放置容器；或者(iv)向或從存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的端口板、固定架子或裝載端口架子拾取或放置容器。
8.如權(quán)利要求7所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，還包括空中傳送車，所述空中傳送車定位在所述傳送吊升機(jī)械、所述固定架子、所述端口板、所述存儲(chǔ)架子和所述裝載端口架子上方。
9.如權(quán)利要求7所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，(i)所述空中傳送車連接至所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的軌道， ( )所述傳送吊升機(jī)械的水平軌道位于所述空中傳送車的軌道的下方， (iii)所述存儲(chǔ)架子、所述端口板和所述固定架子位于所述傳送吊升機(jī)械下方，并且(iv)所述裝載端口架子位于所述存儲(chǔ)架子、所述端口板和所述固定架子下方； 其中，(i)-(iv)中的每一個(gè)安裝在一個(gè)房間中，所述房間的地面之上安裝所述工具。
10.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述固定架子能夠連接至所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的不止一個(gè)側(cè)面，并且所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件能夠一次連接一個(gè)或多個(gè)固定架子。
11.一種存儲(chǔ)系統(tǒng)，包括(a)存儲(chǔ)系統(tǒng)組件，定位在比用于操縱待處理的基片的工具的高度高的高度處，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)構(gòu)造成在所述基片被所述工具處理前或處理后，在本地存儲(chǔ)基片的一個(gè)或多個(gè)容器，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件包括，⑴框體；( )聯(lián)接至所述框體的基板，所述基板包括驅(qū)動(dòng)帶輪、惰性帶輪、帶、軌道和電機(jī)；(iii)多個(gè)存儲(chǔ)架子，所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)具有架子板，所述架子板具有用于支承容器的架子特征，并且所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)聯(lián)接至所述帶以便能實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)， 并且聯(lián)接至所述軌道以便能實(shí)現(xiàn)向一個(gè)或多個(gè)位置的引導(dǎo)，其中，所述電機(jī)聯(lián)接至所述驅(qū)動(dòng)帶輪以移動(dòng)所述帶，使得所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)沿所述軌道一起移動(dòng)至所述一個(gè)或多個(gè)位置，所述軌道的至少一些部分是直線的，一些部分是非直線的，并且這些部分在所述基板上方配置成一個(gè)回路；(b)位于所述工具的側(cè)面的手動(dòng)裝載工作臺(tái)，所述手動(dòng)裝載工作臺(tái)具有用于與容器交接的手動(dòng)裝載架子。
12.如權(quán)利要求11所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，還包括 位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的水平軌道；傳送吊升機(jī)械，連接至所述水平軌道以使所述傳送吊升機(jī)械能夠沿所述軌道在所述手動(dòng)裝載工作臺(tái)的手動(dòng)裝載架子上方移動(dòng)。
13.如權(quán)利要求11所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述傳送吊升機(jī)械構(gòu)造成從或向所述手動(dòng)裝載架子拾取或放置容器。
14.如權(quán)利要求12所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件包括(iv)連接至所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的所述框體的活動(dòng)端口組件，所述活動(dòng)端口組件具有端口板，所述端口板沿所述軌道定位在所述位置之一處。
15.如權(quán)利要求14所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述傳送吊升機(jī)械構(gòu)造成從或向所述手動(dòng)裝載架子、所述端口板或所述工具的裝載端口架子拾取或放置容器。
16.如權(quán)利要求14所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述活動(dòng)端口組件包括水平運(yùn)動(dòng)組件，限定出位于所述框體外側(cè)的延伸位置和位于所述框體內(nèi)側(cè)的回縮位置；和垂直運(yùn)動(dòng)組件，所述垂直運(yùn)動(dòng)組件聯(lián)接至具有端口特征的所述端口板，并且所述垂直運(yùn)動(dòng)組件限定出一個(gè)上方位置和一個(gè)下方位置，所述水平運(yùn)動(dòng)組件聯(lián)接至所述垂直運(yùn)動(dòng)組件；其中，當(dāng)處于所述下方位置時(shí)，所述回縮位置將所述端口板置于所述架子板之一的下方；其中，當(dāng)處于所述上方位置時(shí)，所述回縮位置將所述端口板置于所述架子板之一的上方。
17.如權(quán)利要求11所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述帶是具有連結(jié)件的鏈條或模制的帶中的一個(gè)，并且所述驅(qū)動(dòng)帶輪和惰性帶輪是鏈輪或圓盤中的一個(gè)。
18.一種存儲(chǔ)系統(tǒng)，包括(a)存儲(chǔ)系統(tǒng)組件，定位在比用于裝載和卸載待處理的基片的工具的高度高的高度處， 所述存儲(chǔ)系統(tǒng)構(gòu)造成在本地存儲(chǔ)基片的一個(gè)或多個(gè)容器，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件包括，(i)多個(gè)存儲(chǔ)架子，所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)具有架子板，所述架子板具有用于支承容器的架子特征，并且所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)聯(lián)接至帶以便能實(shí)現(xiàn)水平運(yùn)動(dòng)，并且每一個(gè)聯(lián)接至導(dǎo)軌以便能實(shí)現(xiàn)向一個(gè)或多個(gè)位置的引導(dǎo)；和( )電機(jī)，所述電機(jī)聯(lián)接至驅(qū)動(dòng)帶輪以移動(dòng)所述帶，使得所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)沿所述導(dǎo)軌一起移動(dòng)至所述一個(gè)或多個(gè)位置，所述導(dǎo)軌的至少一些部分是直線的，一些部分是非直線的，并且這些部分配置成一個(gè)回路；(b)聯(lián)接在所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的側(cè)面的固定架子。
19.如權(quán)利要求18所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的框體聯(lián)接至所述工具的組件的框體并位于所述工具的組件的框體上方，所述工具是具有與一個(gè)或多個(gè)基片處理工具交接的裝載端口架子的至少一個(gè)裝載端口 .其中，所述裝載端口架子和所述固定架子沿相同方向延伸。
20.如權(quán)利要求19所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述固定架子、所述裝載端口架子和所述存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)對(duì)于位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的空中傳送車來(lái)說(shuō)是可訪問(wèn)的。
21.如權(quán)利要求19所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，還包括 位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的水平軌道；傳送吊升機(jī)械，連接至所述水平軌道以使所述傳送吊升機(jī)械能夠沿所述軌道移動(dòng)，所述傳送吊升機(jī)械限定成沿所述固定架子和所述裝載端口架子的方向延伸離開(kāi)所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件，所述傳送吊升機(jī)械構(gòu)造成(i)向或從所述固定架子拾取或放置容器；或 ( )向或從所述裝載端口架子拾取或放置容器；或(iii)向或從固定架子和裝載端口架子拾取或放置容器；或者(iv)向或從存儲(chǔ)系統(tǒng)組件的端口板、固定架子或裝載端口架子拾取或放置容器。
22.如權(quán)利要求18所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述帶是具有連結(jié)件的鏈條或模制的帶中的一個(gè)，并且所述驅(qū)動(dòng)帶輪是鏈輪或圓盤中的一個(gè)。
23.一種存儲(chǔ)系統(tǒng)，包括(a)存儲(chǔ)系統(tǒng)組件，定位在比用于裝載和卸載待處理的基片的工具的高度高的高度處， 所述存儲(chǔ)系統(tǒng)構(gòu)造成在本地存儲(chǔ)基片的一個(gè)或多個(gè)容器，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件包括，(i)多個(gè)存儲(chǔ)架子，所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)具有架子板，所述架子板具有用于支承容器的架子特征，并且所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)聯(lián)接至帶以便能實(shí)現(xiàn)水平運(yùn)動(dòng)，并且每一個(gè)聯(lián)接至導(dǎo)軌以便能實(shí)現(xiàn)向一個(gè)或多個(gè)位置的引導(dǎo)；和( )電機(jī)，所述電機(jī)聯(lián)接至驅(qū)動(dòng)帶輪以移動(dòng)所述帶，使得所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)沿所述導(dǎo)軌一起移動(dòng)至所述一個(gè)或多個(gè)位置，所述導(dǎo)軌的至少一些部分是直線的，一些部分是非直線的，并且這些部分配置成一個(gè)回路；(b)位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的水平軌道，并且所述水平軌道位于一個(gè)或多個(gè)工具上方；和(C)傳送吊升機(jī)械，連接至所述水平軌道，以使傳送吊升機(jī)械能夠在所述一個(gè)或多個(gè)工具上方沿所述軌道移動(dòng)，并且傳送吊升機(jī)械構(gòu)造成拾取或放置容器。
24.一種存儲(chǔ)系統(tǒng)，包括(a)存儲(chǔ)系統(tǒng)組件，定位在比用于裝載和卸載待處理的基片的工具的高度高的高度處， 所述存儲(chǔ)系統(tǒng)構(gòu)造成在本地存儲(chǔ)基片的一個(gè)或多個(gè)容器，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件包括，(i)多個(gè)存儲(chǔ)架子，所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)具有架子板，所述架子板具有用于支承容器的架子特征，并且所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)聯(lián)接至帶以便能實(shí)現(xiàn)水平運(yùn)動(dòng)，并且每一個(gè)聯(lián)接至導(dǎo)軌以便能實(shí)現(xiàn)向一個(gè)或多個(gè)位置的引導(dǎo)；和( )電機(jī)，所述電機(jī)聯(lián)接至驅(qū)動(dòng)帶輪以移動(dòng)所述帶，使得所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每一個(gè)沿所述導(dǎo)軌一起移動(dòng)至所述一個(gè)或多個(gè)位置，所述導(dǎo)軌的至少一些部分是直線的，一些部分是非直線的，并且這些部分配置成一個(gè)回路；(c)位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件旁邊的輸送器；(d)位于所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件上方的水平軌道，所述水平軌道至少部分地位于所述輸送器的一部分上方；和(e)傳送吊升機(jī)械，連接至所述水平軌道，以使傳送吊升機(jī)械能夠在所述輸送器的所述部分上方沿所述軌道移動(dòng)，并且所述傳送吊升機(jī)械構(gòu)造成拾取或放置容器。
25.如權(quán)利要求M所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，還包括空中傳送車，定位在所述傳送吊升機(jī)械和所述輸送器上方。
26.如權(quán)利要求25所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述存儲(chǔ)系統(tǒng)組件定位在空中傳送車下方。
27.如權(quán)利要求沈所述的存儲(chǔ)系統(tǒng)，其中，所述空中傳送車的路徑能夠從所述存儲(chǔ)架子、端口板、所述輸送器或所述工具的裝載端口架子中的一個(gè)直接地遞送或移除容器。
全文摘要
公開(kāi)了一種存儲(chǔ)系統(tǒng)，其包括處在比裝載和卸載待處理基片的工具的高度高的高度的存儲(chǔ)系統(tǒng)組件。存儲(chǔ)系統(tǒng)本地存儲(chǔ)一個(gè)或多個(gè)基片容器。存儲(chǔ)系統(tǒng)組件包括多個(gè)存儲(chǔ)架子，所述多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每個(gè)具有有著用于支承容器的架子特征的架子板。多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每個(gè)聯(lián)接至鏈條以便水平移動(dòng)，且每個(gè)還聯(lián)接至導(dǎo)軌以向一個(gè)或多個(gè)位置引導(dǎo)。電機(jī)聯(lián)接至驅(qū)動(dòng)鏈輪以移動(dòng)鏈條，使多個(gè)存儲(chǔ)架子中的每個(gè)沿導(dǎo)軌一起移至所述一個(gè)或多個(gè)位置。
文檔編號(hào)B65G49/07GK102460675SQ201080031793
公開(kāi)日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月18日
發(fā)明者A.C.伯諾拉, M.克羅拉克, R.H.古爾德 申請(qǐng)人:交叉自動(dòng)控制公司