專利名稱：氣浮式基板輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種基板輸送裝置，尤其涉及一種氣浮式基板輸送裝置。
背景技術(shù)：
在有機發(fā)光顯示器件、太陽能電池板的制造過程中一般涉及一系列與基板有關(guān)的 工序，此處的基板和在下文中所提到的基板均指扁平狀的板，基板可以是玻璃基板、硅基板 等或者在其表面處理過的玻璃基板、硅基板等。一般的工序都要經(jīng)過清洗、鍍膜、熱處理等。 通常的若干的工序需要在若干處理裝置間執(zhí)行，處理裝置可以包括若干腔室和若干零部 件，因此需要在若干處理裝置間進行若干次基板的輸送。主要的基板輸送形態(tài)可以分為接觸式和非接觸式，一般的接觸式輸送基板的系統(tǒng) 是將基板裝在密閉的匣狀外殼內(nèi)進行輸送，通常也會采用自動化的輸送系統(tǒng)，比如小車輸 送、機器人輸送、皮帶輸送、鋼帶輸送等。接觸式輸送通常是使用機械力來作為傳輸動力，在 輸送過程中很容易傳動件磨損發(fā)生偏擺和噪音現(xiàn)象、增大了維修成本，且各輸送組件間的 彼此摩擦，亦會造成粉粒污染制作工藝環(huán)境，影響制作工藝品質(zhì)。而非接觸式傳輸，則是指 使用非接觸力來作為輸送動力的傳輸方式，如氣浮和磁力等。在有機發(fā)光顯示器件、太陽能電池板的生產(chǎn)線中，玻璃基板傳輸工作平臺是一個 重要組成部分。傳統(tǒng)的傳輸工作平臺采用大量的滾輪、滾珠頂桿和吸盤，玻璃基板和平臺之 間是相互接觸的。這樣的平臺無論是用于傳輸還是加工，速度都很慢，而且很容易導(dǎo)致玻璃 出現(xiàn)刮傷、污染和變形等缺陷。隨著產(chǎn)品的升級換代，玻璃的面積越來越大，傳統(tǒng)的接觸式 傳輸加工平臺已經(jīng)難以滿足要求。因此，急需一種采用非接觸輸送方式，特別是氣浮式輸送的基板輸送機構(gòu)，該氣浮 式基板輸送裝置運行時無污染、無噪音、機件耗損小、輸送安全穩(wěn)定性高。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種無污染、無噪音、機件耗損小、輸送安全穩(wěn)定性高 的氣浮式基板輸送裝置。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型所述氣浮式基板輸送裝置包括氣爪和氣浮載臺， 所述氣爪用于將基板夾持并固定于所述氣浮載臺上，所述氣浮載臺包括氣板，所述氣板上 具有與充氣系統(tǒng)相連的若干個噴氣孔，且所述氣板上表面的噴氣量從所述氣板中心向所述 氣板邊緣逐漸增大。較佳地，所述噴氣孔密度從所述氣板中心向所述氣板邊緣逐漸增大。理論上在氣 浮載臺是處在一個相對的封閉空間內(nèi)的，但是現(xiàn)實生產(chǎn)中，在相對的封閉空間內(nèi)也會存在 一定的漏氣問題或者其它一些問題，通俗的說從氣板上噴出的氣體容易集中到基板下部的 中間位置，而基板下部的中心位置就會在應(yīng)力的影響下變形，導(dǎo)致基板出現(xiàn)不良品。為了解 決上述的氣體容易集中到基板下部中心位置導(dǎo)致基板變形的問題，通過在氣板沿中心向氣 板邊緣依次增大氣板上噴氣孔的密度從而增大基板邊緣的氣體的噴氣量和浮力，使基板始終處于平整的懸浮狀態(tài)。較佳地，所述氣板上表面的噴氣孔孔徑從所述氣板中心向所述氣板邊緣逐漸增 大。通過在氣板上表面沿中心向氣板邊緣依次增大噴氣孔的孔徑，從而增大基板邊緣的氣 體的噴氣量和浮力，使基板始終處于平整的懸浮狀態(tài)。較佳地，所述氣板上還包括與抽氣系統(tǒng)相連的若干個泄氣孔，所述泄氣孔密度從 所述氣板中心向所述氣板邊緣逐漸減小。這樣可以在氣體從氣浮載臺的氣板上噴出的同時 進行泄氣，保持了基板下部的表面受到均衡的浮力，并使得所述氣板的泄氣量從氣板邊緣 向氣板中心逐漸增大，防止由于氣板上噴出的氣體容易集中到基板下部的中心位置，而使 得氣板中心的噴氣量多于氣板邊緣的噴氣量造成基板的變形。較佳地，所述氣板上還包括與抽氣系統(tǒng)相連的若干個泄氣孔，所述氣板上表面的 泄氣孔孔徑從所述氣板中心向氣板邊緣逐漸減小。這樣使得所述氣板的泄氣量從氣板邊緣 向氣板中心逐漸增大，防止由于氣板上噴出的氣體容易集中到基板下部的中心位置，而使 得氣板中心的噴氣量多于氣板邊緣的噴氣量造成基板的變形。較佳地，所述泄氣孔上表面孔徑小于所述泄氣孔下表面孔徑。這樣做可以更好的 引導(dǎo)氣流從氣板流出，以達到泄氣的目的，從而保持了基板下表面受到均衡的浮力，基板在 輸送過程正處于平整的懸浮狀態(tài)。較佳地，所述噴氣孔上表面孔徑大于所述噴氣孔下表面孔徑。這樣做可以更好的 引導(dǎo)氣流吹向基板，使基板在輸送過程正處于平整的懸浮狀態(tài)。較佳地，所述氣板上表面兩端的噴氣孔密度大于所述氣板中間的噴氣孔密度。氣 浮式基板輸送裝置傳送基板時，所述氣爪夾持基板的邊緣部直接拖動基板移動，并通過氣 浮單元將基板保持在非接觸的氣浮狀態(tài)，即基板在噴氣孔的噴氣產(chǎn)生的浮力作用下，懸浮 在所述氣板上方，然而在基板從氣浮載臺移進或者移出時，噴氣孔噴出的氣體會發(fā)生流失， 使得氣板相對于基板的浮力因此而減小，而增大氣板上表面兩端的噴氣孔密度的做法使得 所述氣板上表面兩端的噴氣量大于所述氣板中間的噴氣量，保持基板始終處于懸浮狀態(tài)， 避免基板兩端的變形。較佳地，所述氣板上表面兩端的噴氣孔孔徑大于所述氣板中間的噴氣孔孔徑。與 增大所述氣板兩端的噴氣孔密度目的相同，增大噴氣孔孔徑也可以做到使得所述氣板上表 面兩端的噴氣量大于所述氣板中間的噴氣量，從而保持基板始終處于懸浮狀態(tài)，避免基板 兩端的變形。本實用新型的氣浮式基板輸送裝置通過氣板使基板懸浮于氣浮載臺上方，再通過 氣爪夾持基板的工藝邊移動基板，完成基板的輸送作業(yè)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，第一，本實用新 型氣浮式基板輸送裝置保證在輸送過程中，基板的有效部分處于非接觸的氣浮狀態(tài)，使得 輸送基板的過程中超靜音，在輸送過程中能耗及機件的損耗少，節(jié)省維修成本，免維修。第 二，本實用新型的氣浮載臺處于一個相對封閉空間內(nèi)，使得本實用新型運行時發(fā)塵量少，基 板污染大大減少，甚至可以達到零污染。第三，本實用新型包括夾持固定基板的氣爪和懸 浮基板的氣浮載臺，輸送基板時，基板被氣爪夾持固定并懸浮于氣板上，然后在懸浮的狀態(tài) 下被氣爪移動到適當(dāng)位置，完成基板的輸送，因此，本實用新型氣浮式基板輸送裝置安裝方 便、靈活，結(jié)構(gòu)布局緊湊、合理、可靠，輸送效率高。第四，本實用新型氣板上表面的噴氣量從 所述氣板中心向所述氣板邊緣逐漸增大，解決了基板輸送時氣體容易集中到基板下部中心位置導(dǎo)致基板變形的問題，使基板始終處于平整的懸浮狀態(tài)。因此，本實用新型氣浮式基板 輸送裝置具有無噪音、無污染、免維修、輸送效率高，在輸送過程中避免基板變形。

圖1是本實用新型氣浮式基板輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型氣浮式基板輸送裝置第一實施例的示意圖。圖3是圖2沿A-A線的剖視圖。圖4是本實用新型氣浮式基板輸送裝置第二實施例的示意圖。圖5是圖4沿B-B線的剖視圖。圖6是本實用新型氣浮式基板輸送裝置第三實施例的示意圖。圖7是圖6沿C-C線的剖視圖。圖8是本實用新型氣浮式基板輸送裝置第四實施例的示意圖。圖9a_圖9c是本實用新型氣浮式基板輸送裝置輸送基板的示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型氣浮式基板輸送裝置10包括氣爪11和氣浮載臺，所述氣 浮載臺包括氣板12，所述氣爪11與驅(qū)動源(圖中未示)相連，驅(qū)動源用于控制氣爪11動 作，所述氣爪11用于將基板100夾持并固定于所述氣板12上，所述氣板12上具有與充氣系 統(tǒng)(圖中未示)相連的若干個噴氣孔，且所述氣板12上表面的噴氣量從所述氣板中心向所 述氣板邊緣逐漸增大，輸送基板100時，若干個噴氣孔沿箭頭方向噴氣，基板100在噴氣產(chǎn) 生的浮力作用下，懸浮在所述氣板12上方，最后直接使用氣爪11拖動懸浮狀態(tài)的基本100 移動即可。本實用新型具體實施例如下參考圖2和圖3，描述本實用新型的第一實施例，所述浮式基板輸送機構(gòu)10包括氣 爪11和氣浮載臺，所述氣浮載臺包括氣板12，所述氣板12上具有與充氣系統(tǒng)(圖中未示) 相連的若干個噴氣孔21，且所述氣板12上表面噴氣孔21密度的從所述氣板12中心向所述 氣板12邊緣逐漸增大。理論上在氣浮載臺是處在一個相對的封閉空間內(nèi)的，但是現(xiàn)實生產(chǎn) 中，在相對的封閉空間內(nèi)也會存在一定的漏氣問題或者其它一些問題，通俗的說從氣板12 上噴出的氣體容易集中到基板100下部的中間位置，而基板100下部的中心位置在應(yīng)力的 作用下變形，導(dǎo)致基板100出現(xiàn)不良品，而通過在氣板12沿中心向氣板12邊緣依次增大氣 板12上噴氣孔21的密度，從而增大基板100邊緣的氣體的噴氣量和浮力，使基板100始終 處于平整的懸浮狀態(tài)。具體地，所述氣板12上表面兩端(基板100從氣板12移進、移出的位置)噴氣孔 21的密度大于氣板12中間噴氣孔21的密度。實際中，噴氣孔21流出氣體會在基板100移 進、移出處發(fā)生流失，浮力即因此而減小，上述增大噴氣孔21密度是為了增大氣體的噴氣 量和浮力，保持基板100始終處于懸浮狀態(tài)，避免基板100的兩端產(chǎn)生變形。具體地，所述噴氣孔21上表面孔徑大于所述噴氣孔21下表面孔徑，這樣做可以更 好的引導(dǎo)氣流吹向基板100，使基板100在輸送過程正處于平整的懸浮狀態(tài)。參考圖4和圖5，描述本實用新型的第二實施例，所述浮式基板輸送機構(gòu)10包括氣 爪11和氣浮載臺，所述氣浮載臺包括氣板13，所述氣板13上具有與充氣系統(tǒng)(圖中未示)
5相連的若干個噴氣孔31，且所述氣板13上表面的噴氣孔31孔徑從所述氣板13中心向所述 氣板13邊緣逐漸增大。通過增大氣板13邊緣處噴氣孔31的孔徑，從而增大基板100邊緣 的氣體的噴氣量和浮力，使基板100始終處于平整的懸浮狀態(tài)。具體地，所述氣板13上表面噴氣孔31的密度從所述氣板中心向所述氣板邊緣逐 漸增大。進一步增大了氣板邊緣的噴氣量，從而增大基板100邊緣的氣體的噴氣量和浮力， 使基板100始終處于平整的懸浮狀態(tài)。具體地，所述氣板13上表面兩端噴氣孔31的孔徑大于氣板13中間噴氣孔31的 孔徑，使得所述氣板13上表面兩端噴氣量大于氣板13中間的噴氣量，從而避免基板100從 氣浮載臺移進或者移出時，因氣體的流失而發(fā)生變形，保持基板100始終處于懸浮狀態(tài)。具體地，所述氣板13上表面兩端噴氣孔31的密度大于氣板13中間噴氣孔31的 密度，進一步增大了氣板13上表面兩端的噴氣量，從而避免基板100從氣浮載臺移進或者 移出時，因氣體的流失而發(fā)生變形，保持基板100始終處于懸浮狀態(tài)。具體地，所述噴氣孔31上表面孔徑大于所述噴氣孔31下表面孔徑，這樣做可以更 好的引導(dǎo)氣流吹向基板100，使基板100在輸送過程正處于平整的懸浮狀態(tài)。參考圖6和圖7，描述本實用新型的第三實施例，所述浮式基板輸送機構(gòu)10包括氣 爪11和氣浮載臺，所述氣浮載臺包括氣板14，所述氣板14上具有噴氣孔41和泄氣孔42， 所述噴氣孔41與充氣系統(tǒng)(圖中未示)相連，所述泄氣孔42與抽氣系統(tǒng)相連，所述泄氣孔 42密度從所述氣板14中心向所述氣板14邊緣逐漸減小。這樣可以在氣體從噴氣孔41上 噴出的同時進行泄氣，保持了基板100下部的表面受到均衡的浮力，防止由于氣板14上噴 出的氣體容易集中到基板100下部的中心位置，而使得氣板14中心的噴氣量多于氣板14 邊緣的噴氣量造成基板100的變形。具體地，所述噴氣孔41密度從所述氣板14中心向所述氣板14邊緣逐漸增大，這 樣可以防止由于氣板14上噴出的氣體容易集中到基板100下部的中心位置，而使得氣板14 中心的噴氣量多于氣板14邊緣的噴氣量造成基板100的變形。具體地，所述氣板14上表面兩端噴氣孔41的密度大于氣板14中間噴氣孔41的 密度，使得所述氣板14上表面兩端噴氣量大于氣板14中間的噴氣量，從而避免基板100從 氣浮載臺移進或者移出時，因氣體的流失而發(fā)生變形，保持基板100始終處于懸浮狀態(tài)。具體地，所述噴氣孔41上表面孔徑大于所述噴氣孔41下表面孔徑，這樣做可以更 好的引導(dǎo)氣流吹向基板100，使基板100在輸送過程正處于平整的懸浮狀態(tài)。具體地，所述泄氣孔42上表面孔徑小于所述泄氣孔42下表面孔徑。這樣做可以 更好的引導(dǎo)氣流從氣板14流出，以達到泄氣的目的，從而保持了基板100下表面受到均衡 的浮力，基板100在輸送過程正處于平整的懸浮狀態(tài)。參考圖8，描述本實用新型的第四實施例，所述浮式基板輸送機構(gòu)10包括氣爪11 和氣浮載臺，所述氣浮載臺包括氣板15，所述氣板15上具有噴氣孔51和泄氣孔52，所述噴 氣孔51與充氣系統(tǒng)(圖中未示)相連，所述泄氣孔52與抽氣系統(tǒng)相連，所述氣板15上表 面泄氣孔52的孔徑逐漸從所述氣板15中心向所述氣板15邊緣減小。這樣可以在氣體從 噴氣孔41上噴出的同時進行泄氣，并通過減小氣板15邊緣的泄氣孔孔徑，保持基板100下 部的表面受到均衡的浮力，防止由于氣板14上噴出的氣體容易集中到基板100下部的中心 位置，而使得氣板14中心的噴氣量多于氣板14邊緣的噴氣量造成基板100的變形。[0041]具體地，所述泄氣孔52密度從所述氣板15中心向所述氣板15邊緣逐漸減小。這 樣可以通過增加氣板15中心處的泄氣孔52密度，增大氣板15中心的噴氣量，防止由于氣 板15上噴出的氣體容易集中到基板100下部的中心位置，致使基板100變形。具體地，所述氣板15上表面的噴氣孔51孔徑從所述氣板15中心向所述氣板15 邊緣逐漸增大。通過在氣板15上表面沿中心向氣板邊緣依次增大噴氣孔51的孔徑，從而 增大基板100邊緣的氣體的噴氣量和浮力，使基板100始終處于平整的懸浮狀態(tài)。具體地，所述噴氣孔51密度從所述氣板15中心向所述氣板15邊緣逐漸增大，這 樣可以防止由于氣板15上噴出的氣體容易集中到基板100下部的中心位置，而使得氣板15 中心的噴氣量多于氣板15邊緣的噴氣量造成基板100的變形。具體地，所述氣板15上表面兩端噴氣孔51的密度大于氣板15中間噴氣孔51的 密度，使得所述氣板15上表面兩端噴氣量大于氣板15中間的噴氣量，從而避免基板100從 氣浮載臺移進或者移出時，因氣體的流失而發(fā)生變形，保持基板100始終處于懸浮狀態(tài)。具體地，所述氣板15上表面兩端噴氣孔51的孔徑大于氣板15中間噴氣孔51的 孔徑，使得所述氣板15上表面兩端噴氣量大于氣板15中間的噴氣量，從而避免基板100從 氣浮載臺移進或者移出時，因氣體的流失而發(fā)生變形，保持基板100始終處于懸浮狀態(tài)。具體地，所述噴氣孔51上表面孔徑大于所述噴氣孔51下表面孔徑，這樣做可以更 好的引導(dǎo)氣流吹向基板100，使基板100在輸送過程正處于平整的懸浮狀態(tài)。具體地，所述泄氣孔52上表面孔徑小于所述泄氣孔52下表面孔徑。這樣做可以 更好的引導(dǎo)氣流從氣板15流出，以達到泄氣的目的，從而保持了基板100下表面受到均衡 的浮力，基板100在輸送過程正處于平整的懸浮狀態(tài)。參考圖9a-圖9c，描述本實用新型懸浮式基板輸送機構(gòu)10輸送基板100的過程， 其中，圖9a是氣爪11夾持基板100的工藝邊并帶動基板100在氣浮載臺上移動的示意圖； 圖9b是氣爪11夾持基板100的工藝邊并帶動基板100移動到氣板12中間的示意圖；圖 9c是氣爪11夾持基板100的工藝邊并帶動基板100移出氣板12的示意圖。輸送基板100 時，先將基板100夾持固定到氣爪11上，基板100在噴氣孔21的作用下處于懸浮狀態(tài)，再 使用氣爪11夾持基板100并帶動基板100在氣浮載臺上移動，直至所述基板100被移至適 當(dāng)位置，控制驅(qū)動源打開氣爪11，將基板100取件。本實用新型氣板12上表面的噴氣量從 所述氣板12中心向所述氣板12邊緣逐漸增大，解決了基板100輸送時氣體容易集中到基 板100下部中心位置導(dǎo)致基板100變形的問題，使基板100始終處于平整的懸浮狀態(tài)。其中，氣爪11可滑動連接于氣板12的一側(cè)邊上，所述驅(qū)動源控制所述氣爪11打 開或爪緊基板100，并驅(qū)動氣爪11沿氣板12的側(cè)邊滑動。另，本實用新型的四組實施例可 以相互變換或者組合，凡是關(guān)于此的等同變換均落入本實用新型的保護范圍。以上所揭露的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實用新 型之權(quán)利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種氣浮式基板輸送裝置，包括氣爪和氣浮載臺，所述氣爪用于將基板夾持并固定于所述氣浮載臺上，其特征在于所述氣浮載臺包括氣板，所述氣板上具有與充氣系統(tǒng)相連的若干個噴氣孔，且所述氣板上表面的噴氣量從所述氣板中心向所述氣板邊緣逐漸增大。
2 如權(quán)利要求1所述的氣浮式基板輸送裝置，其特征在于所述噴氣孔密度從所述氣 板中心向所述氣板邊緣逐漸增大。
3.如權(quán)利要求1所述的氣浮式基板輸送裝置，其特征在于所述氣板上表面的噴氣孔 孔徑從所述氣板中心向所述氣板邊緣逐漸增大。
4.如權(quán)利要求1所述的氣浮式基板輸送裝置，其特征在于所述氣板上還包括與抽氣 系統(tǒng)相連的若干個泄氣孔，所述泄氣孔密度從所述氣板中心向所述氣板邊緣逐漸減小。
5.如權(quán)利要求1所述的氣浮式基板輸送裝置，其特征在于所述氣板上還包括與抽氣 系統(tǒng)相連的若干個泄氣孔，所述氣板上表面的泄氣孔孔徑從所述氣板中心向所述氣板邊緣 逐漸減小。
6.如權(quán)利要求4或5所述的氣浮式基板輸送裝置，其特征在于所述泄氣孔上表面孔 徑小于所述泄氣孔下表面孔徑。
7.如權(quán)利要求1所述的氣浮式基板輸送裝置，其特征在于所述噴氣孔上表面孔徑大 于所述噴氣孔下表面孔徑。
8.如權(quán)利要求1所述的氣浮式基板輸送裝置，其特征在于所述氣板上表面兩端的噴 氣孔密度大于所述氣板中間的噴氣孔密度。
9.如權(quán)利要求1所述的氣浮式基板輸送裝置，其特征在于所述氣板上表面兩端的噴 氣孔孔徑大于所述氣板中間的噴氣孔孔徑。
專利摘要本實用新型公開了一種氣浮式基板輸送裝置，包括氣爪和氣浮載臺，所述氣爪用于將基板夾持并固定于所述氣浮載臺上，所述氣浮載臺包括氣板，所述氣板上具有與充氣系統(tǒng)相連的若干個噴氣孔，且所述氣板上表面的噴氣量從所述氣板中心向所述氣板邊緣逐漸增大。本實用新型氣浮式基板輸送裝置的氣板上表面邊緣的噴氣量大于氣板中心的噴氣量，解決了基板輸送時氣體容易集中到基板下部中心位置導(dǎo)致基板變形的問題，使基板始終處于平整的懸浮狀態(tài)；另，本實用新型氣浮式基板輸送裝置采用非接觸式輸送方式，具有無噪音、無污染、免維修、輸送效率高的優(yōu)點。
文檔編號B65G47/06GK201626700SQ20092021584
公開日2010年11月10日 申請日期2009年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月31日
發(fā)明者楊明生, 范振華, 藍劾, 覃海 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司