專利名稱：化學(xué)桶槽氣氛保持裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣氛保持裝置及其方法，特別是涉及一種適用于存放 化學(xué)液體桶槽，可達(dá)成化學(xué)桶槽內(nèi)相對溫度及濕度氣氛平衡，減少化學(xué)桶 槽內(nèi)化學(xué)物質(zhì)在桶槽壁上產(chǎn)生結(jié)晶現(xiàn)象，并能維持化學(xué)物質(zhì)穩(wěn)定性的化學(xué) 桶槽氣氛保持裝置及其方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有習(xí)用的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，是利用對化學(xué)桶槽的直接加溫或
加濕的設(shè)計，以達(dá)到短暫的氣氛平衡的效果。請參閱圖4A及圖4B所示，圖 4a是現(xiàn)有習(xí)用的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置的第一結(jié)構(gòu)平面圖，圖4b是現(xiàn)有習(xí) 用的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置的第二結(jié)構(gòu)平面圖。其中，現(xiàn)有習(xí)用的化學(xué)桶槽 氣氛保持裝置如圖4A所示，在化學(xué)桶槽71的外部設(shè)置一加濕器711,或是 如圖4B所示，在化學(xué)桶槽71的外部設(shè)置一加熱器712，以使化學(xué)桶槽71內(nèi) 部的氣氛平衡，藉此可以減少化學(xué)桶槽71的內(nèi)部桶壁上產(chǎn)生結(jié)晶。 此現(xiàn)有習(xí)用的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置存在以下的缺點
1、 化學(xué)桶槽71內(nèi)部的氣體成份不明，穩(wěn)定性不佳，加溫時則容易產(chǎn)生 化學(xué)反應(yīng)，而影響化學(xué)物質(zhì)在成份上的品質(zhì)。
2、 化學(xué)桶槽71內(nèi)部的溫度及相對濕度不容易控制，因此在效能方面無 法產(chǎn)生連續(xù)的氣氛平ff效果，而不能有效的抑制結(jié)晶。
前述現(xiàn)有習(xí)用的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，盡管能夠達(dá)成在減少結(jié)晶產(chǎn) 生上所具備的基本要求，但是在使用時的穩(wěn)定性及效能上，皆存在諸多的 缺點與不足，而無法發(fā)揮出更具體的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用性。
由此可見，上述現(xiàn)有的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與使用上顯 然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問 題，相關(guān)廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè) 計被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品及方法又沒有適切的結(jié)構(gòu)及方法能夠解決上述 問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新的化學(xué) 桶槽氣氛保持裝置及其方法，實屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè) 界極需改進(jìn)的目標(biāo)。
有鑒于上述現(xiàn)有的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置存在的缺陷，本發(fā)明人基于 從事此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗及專業(yè)知識，并配合學(xué)理的運 用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置及其方法，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，使其更具有實用性。經(jīng)過 不斷的研究、設(shè)計，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實用價值 的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置存在的缺陷，而 提供一種新的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其可以解 決現(xiàn)有的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置在穩(wěn)定性及效能上等方面存在不足的缺 點，以及在實用化技術(shù)等方面受到限制的問題， 一方面可以達(dá)成穩(wěn)定化學(xué)桶 槽內(nèi)化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)性質(zhì)，另一方面能夠產(chǎn)生連續(xù)的氣氛平衡效果，可有效 抑制結(jié)晶，除達(dá)成所應(yīng)具備的基本功能外，并可使其兼具有能滿足產(chǎn)業(yè)應(yīng) 用性的實際發(fā)展與要求，非常適于實用。
本發(fā)明的另一目的在于，提供一種新的化學(xué)桶槽氣氛保持方法，所要 解決的技術(shù)問題是使其藉由氮氣預(yù)濕器、水氣分離器、加熱板、溫度感測 器及濕度感測器等裝置，將氮氣經(jīng)由預(yù)濕及分離純水氣等程序后，成為帶 有濕氣的氮氣，并將其排入化學(xué)桶槽內(nèi)，以維持化學(xué)桶槽內(nèi)特定的濕度，達(dá) 成化學(xué)桶槽內(nèi)的氣氛平衡，藉此可以減少化學(xué)桶槽內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)在桶槽壁 上產(chǎn)生結(jié)晶的現(xiàn)象，而可以維持化學(xué)物質(zhì)的穩(wěn)定性，非常適于實用。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)
本發(fā)明提出的一種化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，其包含 一氮氣預(yù)濕器，具有一 第一入口、 一第二入口及一出口，該第一入口通入氮氣，該第二入口通入溶 液，該出口導(dǎo)出加濕后的氮氣，另，該氮氣預(yù)濕器的底部設(shè)有一加熱板； 一溫 度感測器，是設(shè)置于該氮氣預(yù)濕器壁上，可感測該氮氣預(yù)濕器內(nèi)溫度的裝 置； 一化學(xué)桶槽，具有 一 第三入口 ，該第三入口是連接該出口 ； 一濕度感測 器，是設(shè)置于該化學(xué)桶槽壁上，可感測該化學(xué)桶槽內(nèi)濕度的裝置；以及一控 制器，是分別連接且控制該加熱板、該溫度感測器及該濕度感測器；其中，當(dāng) 該氮氣及該溶液進(jìn)入該氮氣預(yù)濕器，藉由該濕度感測器的量測濕度，經(jīng)由該 控制器加以控制，以調(diào)整該加熱板的溫度，當(dāng)該加熱板溫度升高時，能將氮 氣增加其含水量，經(jīng)由該出口、該第三入口至該化學(xué)桶槽內(nèi)，使該氮氣含有 水氣，另藉由該溫度感測器的量測溫度，經(jīng)由該控制器加以控制，以調(diào)整 該加熱纟反的作動。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一 步實現(xiàn)。 前述的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，其更包含一水氣分離器，其是介于該 出口及該第三入口，該水氣分離器具有一輸入管路及一輸出管路，該輸入 管路連接該出口 ，該輸出管路連接該第三入口，該水氣分離器是將該氮氣預(yù) 濕器所加濕的氮氣與純水氣分離的裝置。
4前述的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，其中所述的氮氣預(yù)濕器的第 一入口及 第二入口處前分別各設(shè)有 一 自動補充閥。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。依據(jù)本
發(fā)明提出的一種化學(xué)桶槽氣氛保持方法，其包含以下步驟(a).利用該氮氣 及該溶液進(jìn)入該氮氣預(yù)濕器，藉由該濕度感測器的量測濕度，經(jīng)由該控制器 加以控制，以調(diào)整該加熱板的溫度；(b).利用該加熱板溫度升高時，能夠?qū)?氮氣增加其含水量，經(jīng)由該出口、該第三入口至該化學(xué)桶槽內(nèi)，使氮氣含有 水氣；以及(c).利用該溫度感測器的量測溫度，經(jīng)由該控制器加以控制，以 調(diào)整該加熱板的作動。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上技術(shù)方案 可知，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，其包 含一氮氣預(yù)濕器、 一溫度感測器、 一化學(xué)桶槽、 一濕度感測器以及一控制 器。氮氣預(yù)濕器，具有一第一入口、 一第二入口及一出口，第一入口通入 氮氣，第二入口通入溶液，出口是導(dǎo)出加濕后的氮氣，另外，該氮氣預(yù)濕器 底部設(shè)有一加熱板；溫度感測器是設(shè)置于該氮氣預(yù)濕器壁上，可感測氮氣預(yù) 濕器內(nèi)溫度的裝置；化學(xué)桶槽具有一第三入口，第三入口是連接出口；濕度 感測器是設(shè)置于該化學(xué)桶槽壁上，可感測化學(xué)桶槽內(nèi)濕度的裝置；以及控 制器是分別連接且控制加熱板、溫度感測器及濕度感測器；其中，當(dāng)?shù)獨饧?溶液進(jìn)入氮氣預(yù)濕器，經(jīng)由出口、第三入口至化學(xué)桶槽內(nèi)，使氮氣含有水 氣，藉由濕度感測器的量測濕度，經(jīng)由控制器加以控制，以調(diào)整加熱板的溫 度，當(dāng)加熱板溫度升高時，能將氮氣增加其含水量，另藉由溫度感測器的量 測溫度，經(jīng)由控制器加以控制，以調(diào)整加熱板的作動。
另外為達(dá)到上述目的，本發(fā)明還提供了一種化學(xué)桶槽氣氛保持方法，其 包含s31:利用氮氣及該溶液進(jìn)入氮氣預(yù)濕器，經(jīng)由出口、經(jīng)水氣分離器 將帶有濕氣的氮氣與純水氣分離，再將帶有濕氣的氮氣導(dǎo)入第三入口至化 學(xué)桶槽內(nèi)，使氮氣含有水氣，以維持化學(xué)桶槽內(nèi)特定的溫度與濕度。s31利 用加熱板溫度升高時，能將氮氣增加其含水量，經(jīng)由出口、第三入口至化 學(xué)桶槽內(nèi)，使氮氣含有水氣。s33:利用溫度感測器的量測溫度，經(jīng)由控制 器加以控制，以調(diào)整加熱板的作動。
借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明化學(xué)桶槽氣氛保持裝置及其方法至少具有 下列優(yōu)點及有益效果
1 、控制器可以在最短的時間內(nèi)達(dá)成維持化學(xué)桶槽內(nèi)氣氛平衡所需的溫 度、濕度的狀態(tài)條件，能夠減緩甚至停止產(chǎn)生結(jié)晶速率。
2、利用控制器的連結(jié)，配合溫度、濕度感測器自動調(diào)節(jié)加濕氮氣的溫 濕度，可以有效的減少化學(xué)桶槽內(nèi)壁結(jié)晶的產(chǎn)生。3、加濕氮氣進(jìn)入化學(xué)桶槽內(nèi)具有高度的化學(xué)穩(wěn)定性，不會影響桶槽內(nèi) 的化學(xué)物質(zhì)的原有性質(zhì)，利用加濕氮氣可以增加桶槽內(nèi)特定溫度下所對應(yīng) 的相對濕度。
綜上所述，本發(fā)明是有關(guān)于一種化學(xué)桶槽氣氛保持裝置及其方法，包 含一氮氣預(yù)濕器、 一溫度感測器、 一化學(xué)桶槽、 一濕度感測器以及一控制 器。氮氣及溶液是各別通入氮氣預(yù)濕器，氮氣預(yù)濕器的出口是導(dǎo)出加濕后 的氮氣，且氮氣預(yù)濕器的底部設(shè)有一加熱板，藉由氮氣預(yù)濕器、溫度感測 器、控制器及濕度感測器等裝置，將氮氣經(jīng)由預(yù)濕等程序后，成為帶有濕 氣的氮氣，將其排入化學(xué)桶槽內(nèi)，達(dá)成化學(xué)桶槽內(nèi)的相對溫度及相對濕度 的氣氛平衡，藉此可以減少化學(xué)桶槽內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)在桶槽壁上產(chǎn)生結(jié)晶的 現(xiàn)象。本發(fā)明的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，可以解決現(xiàn)有的化學(xué)桶槽氣氛保 持裝置在穩(wěn)定性及效能上等方面存在不足的缺點，以及在實用化技術(shù)等方 面受到限制的問題， 一方面可達(dá)成穩(wěn)定化學(xué)桶槽內(nèi)化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)性質(zhì)，另 一方面能產(chǎn)生連續(xù)的氣氛平衡效果，可有效抑制結(jié)晶現(xiàn)象，除能夠達(dá)成所 應(yīng)具備的基本功能外，并可使其兼具有能滿足產(chǎn)業(yè)應(yīng)用性的實際發(fā)展與要 求。本發(fā)明的化學(xué)桶槽氣氛保持方法，藉由氮氣預(yù)濕器、水氣分離器、加熱 板、溫度感測器及濕度感測器等裝置，將氮氣經(jīng)由預(yù)濕及分離純水氣等程 序后，成為帶有濕氣的氮氣，并將其排入化學(xué)桶槽內(nèi)，以維持化學(xué)桶槽內(nèi)特 定的濕度，可達(dá)成化學(xué)桶槽內(nèi)的氣氛平衡，藉此可減少化學(xué)桶槽內(nèi)的化學(xué) 物質(zhì)在桶槽壁上產(chǎn)生結(jié)晶的現(xiàn)象，而可以維持化學(xué)物質(zhì)的穩(wěn)定性。本發(fā)明 具有上述諸多優(yōu)點及實用價值，其不論在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)、方法或功能上皆有較 大改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實用的效果，且較現(xiàn)有 的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置具有增進(jìn)的突出功效，從而更加適于實用，誠為 一新穎、進(jìn)步、實用的新設(shè)計。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的 技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和 其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附 圖，詳細(xì)il明如下。


圖1是本發(fā)明的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置一較佳實施例的結(jié)構(gòu)平面圖。 圖2是本發(fā)明的化學(xué)桶槽氣氛保持方法一較佳實施例的調(diào)溫加濕的流 程圖。
圖3是本發(fā)明的化學(xué)桶槽氣氛保持方法一較佳實施例的溫度、濕度與 時間的關(guān)系圖。
圖4a是現(xiàn)有習(xí)用的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置的第一結(jié)構(gòu)平面圖。圖4b是現(xiàn)有習(xí)用的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置的第二結(jié)構(gòu)平面圖。
1:化學(xué)桶槽氣氛保持裝置11:氮氣預(yù)濕器
111:第一入口112:第二入口
113:出口114:加熱才反
115:溫度感測器12:水氣分離器
121:輸入管路122:輸出管路
13:控制器15、 71:化學(xué)槽桶
151:第三入口152:濕度感測器
16:自動4卜充閥711:加濕器
712:加熱器s31至s33:步驟
具體實施例方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功 效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的化學(xué)桶槽氣氛保持裝 置及其方法其具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、方法、步驟、特征及其功效，詳細(xì)說 明如后。
有關(guān)本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點及功效，在以下配合參考圖 式的較佳實施例的詳細(xì)說明中將可清楚呈現(xiàn)。通過具體實施方式
的說明，當(dāng)
;了解，、然而所附圖式僅是提供參考與說明之用，并非用來對本發(fā)明力:以 限制。
請參閱圖1所示，是本發(fā)明的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置一較佳實施例的
結(jié)構(gòu)平面圖。本發(fā)明較佳實施例的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置l,其包含 一氮 氣預(yù)濕器ll、 一水氣分離器12、 一溫度感測器115、 一化學(xué)桶槽15、 一濕 度感測器152以及一控制器13。
上述的氮氣預(yù)濕器11，具有一第一入口 111、 一第二入口 112及一出 口 113;
該第一入口 111，通入氮氣；
該第二入口 112，通入溶液(此溶液可為水、去離子水(DIZ)及蒸餾水其 中之一)；
該出口113,是導(dǎo)出加濕后的氮氣。
另外，該氮氣預(yù)濕器11的底部設(shè)有一加熱板114,以及氮氣預(yù)濕器11 的側(cè)壁上設(shè)有一溫度感測器115。
另外，氮氣預(yù)濕器ll的第一入口 lll及第二入口 112的前面各分別設(shè) 有一自動補充閥16。
上述的溫度感測器115,是設(shè)置于該氮氣預(yù)濕器11的側(cè)壁上，為可感測氮氣預(yù)濕器11內(nèi)溫度的溫度感測裝置。
上述的化學(xué)桶槽15,具有一第三入口 151，該第三入口 151是連接輸出 管路122。
上述的濕度感測器152，是設(shè)置于該化學(xué)桶槽15壁上，為可感測化學(xué)桶 槽15內(nèi)濕度的濕度感測裝置。
上述的水氣分離器12,其是將氮氣預(yù)濕器11所加濕的氮氣與純水氣相 分離的裝置，水氣分離器12的輸入管路121是連接氮氣預(yù)濕器11的出口 113，水氣分離器12的輸出管路122則是連接化學(xué)桶槽15的第三入口 151。
上述的控制器13，分別連接且控制加熱板114、溫度感測器115及濕 度感測器152，該加熱板114可用以對氮氣預(yù)濕器11內(nèi)的溶液加溫，使得通 過溶液而溶解度極低的氮氣在逸出溶液的液面時，與溶液上方的濕氣相混 合成含有濕氣的氮氣，且控制器13可以接收溫度感測器115所偵測的氮氣 預(yù)濕器11內(nèi)的溫度，以調(diào)整加熱板114的作動。
當(dāng)?shù)獨饧叭芤哼M(jìn)入氮氣預(yù)濕器ll,藉由濕度感測器152的量測濕度，經(jīng) 由控制器13加以控制，以調(diào)整加熱板114的溫度，當(dāng)加熱板114溫度升高 時，能將氮氣增加其含水量，經(jīng)由出口 113、水氣分離器12將帶有濕氣的氮 氣與純水氣相分離，再將帶有濕氣的氮氣經(jīng)第三入口 151導(dǎo)入至化學(xué)桶槽 15內(nèi)，使氮氣含有水氣，另外再藉由溫度感測器115的量測溫度，并經(jīng)由 控制器13加以控制，以調(diào)整加熱板114的作動。
本發(fā)明的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置的工作過程是將氮氣及溶液送入氮 氣預(yù)濕器11,干燥的氮氣在氮氣預(yù)濕器11內(nèi)部吸收溶液中的濕氣而成為帶 有濕氣的氮氣，經(jīng)水氣分離器12將帶有濕氣的氮氣與純水氣相分離，再將 帶有濕氣的氮氣導(dǎo)入化學(xué)桶槽15內(nèi)，藉由加濕氮氣，能夠維持該化學(xué)桶槽 15內(nèi)的氣氛平衡，而可以有效的減少化學(xué)桶槽內(nèi)壁結(jié)晶的產(chǎn)生。
請參閱圖1及圖2所示，圖2是本發(fā)明化學(xué)桶槽氣氛保持方法一較佳實 施例的調(diào)溫加濕的流程圖。本發(fā)明較佳實施例的化學(xué)桶槽氣氛保持方法，包 含以下步驟
s31:利用氮氣及該溶液進(jìn)入氮氣預(yù)濕器，經(jīng)由出口、經(jīng)水氣分離器將 帶有濕氣的氮氣與純水氣分離，再將帶有濕氣的氮氣導(dǎo)入第三入口至化學(xué) 桶槽內(nèi)，使氮氣含有水氣，以維持化學(xué)桶槽內(nèi)特定的溫度與濕度。
s32:利用濕度感測器的量測濕度，經(jīng)由控制器加以控制，以調(diào)整加熱 板的溫度，當(dāng)加熱板溫度升高時，能將氮氣增加其含水量。
s33:利用溫度感測器的量測溫度，經(jīng)由控制器加以控制，以調(diào)整該加熱 板的作動。
請參閱圖3所示，是本發(fā)明的化學(xué)桶槽氣氛保持方法一較佳實施例的 溫度、濕度與時間的關(guān)系圖。由圖中可以清楚看出，化學(xué)桶槽15內(nèi)的加濕氮氣排入后的溫度、濕度對時間的變化情形，在運作30分鐘之后，相對濕 度(RH; related humidi ty)即達(dá)到約90°/。的水準(zhǔn)，化學(xué)桶槽15內(nèi)的飽和蒸 氣壓約略達(dá)到飽和溫度下所對應(yīng)的壓力值，可以抑制或減低化學(xué)桶槽15內(nèi) 的化學(xué)物質(zhì)的結(jié)晶現(xiàn)象產(chǎn)生。
綜合上述，由于排入化學(xué)桶槽15內(nèi)的加濕氮氣是具有高度的化學(xué)穩(wěn)定 性，不會影響化學(xué)桶槽15內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)的原有性質(zhì)，利用加濕氮氣逐漸增 加化學(xué)桶槽15的相對濕度與溫度，可以有效減少化學(xué)桶槽15內(nèi)壁結(jié)晶的 產(chǎn)生；且在最短的時間內(nèi)達(dá)成維持化學(xué)桶槽15內(nèi)氣氛平衡所需的溫度、濕 度狀態(tài)條件，可以減緩甚至停止平衡前的結(jié)晶速率。
綜合以上，本發(fā)明是一種針對化學(xué)桶槽氣氛保持裝置及其方法的應(yīng)用 技術(shù)，特別是指一種藉由氮氣預(yù)濕器、水氣分離器、加熱板、溫度感測器 及濕度感測器等裝置，將氮氣經(jīng)由預(yù)濕及分離純水氣等程序后，成為帶有 濕氣的氮氣，并將其排入化學(xué)桶槽內(nèi)，以維持化學(xué)桶槽內(nèi)特定的濕度，達(dá)成 化學(xué)桶槽內(nèi)的氣氛平^f，藉此可以減少化學(xué)桶槽內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)在桶槽壁上 產(chǎn)生結(jié)晶的現(xiàn)象，而可以維持化學(xué)物質(zhì)的穩(wěn)定性，是本發(fā)明對于化學(xué)桶槽 氣氛保持裝置及其方法所作的最具體的改進(jìn)發(fā)明，確為一適于產(chǎn)業(yè)界廣泛 應(yīng)用的最佳的改良與設(shè)計。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式 上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā) 明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利 用上述揭示的方法及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實 施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以 上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方 案的范圍內(nèi)。
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權(quán)利要求
1、一種化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，其特征在于其包含一氮氣預(yù)濕器，具有一第一入口、一第二入口及一出口，該第一入口通入氮氣，該第二入口通入溶液，該出口導(dǎo)出加濕后的氮氣，另，該氮氣預(yù)濕器的底部設(shè)有一加熱板；一溫度感測器，是設(shè)置于該氮氣預(yù)濕器壁上，可感測該氮氣預(yù)濕器內(nèi)溫度的裝置；一化學(xué)桶槽，具有一第三入口，該第三入口是連接該出口；一濕度感測器，是設(shè)置于該化學(xué)桶槽壁上，可感測該化學(xué)桶槽內(nèi)濕度的裝置；以及一控制器，是分別連接且控制該加熱板、該溫度感測器及該濕度感測器；其中，當(dāng)該氮氣及該溶液進(jìn)入該氮氣預(yù)濕器，藉由該濕度感測器的量測濕度，經(jīng)由該控制器加以控制，以調(diào)整該加熱板的溫度，當(dāng)該加熱板溫度升高時，能將氮氣增加其含水量，經(jīng)由該出口、該第三入口至該化學(xué)桶槽內(nèi)，使該氮氣含有水氣，另藉由該溫度感測器的量測溫度，經(jīng)由該控制器加以控制，以調(diào)整該加熱板的作動。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，其特征在于其更包 含一水氣分離器，其是介于該出口及該第三入口，該水氣分離器具有一輸 入管路及一輸出管路，該輸入管路連接該出口，該輸出管路連接該第三入 口，該水氣分離器是將該氮氣預(yù)濕器所加濕的氮氣與純水氣分離的裝置。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，其特征在于其中所 述的氮氣預(yù)濕器的第一入口及第二入口處前分別各設(shè)有一 自動補充閥。
4、 一種化學(xué)桶槽氣氛保持方法，其特征在于其包含以下步驟(a) .利用該氮氣及該溶液進(jìn)入該氮氣預(yù)濕器，藉由該濕度感測器的量 測濕度，經(jīng)由該控制器加以控制，以調(diào)整該加熱板的溫度；(b) .利用該加熱板溫度升高時，能夠?qū)⒌獨庠黾悠浜?，?jīng)由該出 口、該第三入口至該化學(xué)桶槽內(nèi)，使氮氣含有水氣；以及(c) .利用該溫度感測器的量測溫度，經(jīng)由該控制器加以控制，以調(diào)整該 加熱板的作動。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)一種化學(xué)桶槽氣氛保持裝置及其方法。該化學(xué)桶槽氣氛保持裝置，包含一氮氣預(yù)濕器、一溫度感測器、一化學(xué)桶槽、一濕度感測器及一控制器。該化學(xué)桶槽氣氛保持方法，包含利用氮氣及溶液進(jìn)入氮氣預(yù)濕器，經(jīng)由出口、水氣分離器將帶有濕氣氮氣與純水氣分離，再將帶有濕氣氮氣導(dǎo)入第三入口至化學(xué)桶槽內(nèi)，使氮氣含有水氣，維持化學(xué)桶槽內(nèi)特定溫度與濕度；利用加熱板溫度升高時將氮氣增加含水量，經(jīng)由出口、第三入口至化學(xué)桶槽內(nèi)，使氮氣含有水氣；利用溫度感測器的量測溫度，經(jīng)由控制器加以控制，以調(diào)整加熱板的作動。本發(fā)明可達(dá)成化學(xué)桶槽內(nèi)相對溫度及濕度的氣氛平衡，可減少化學(xué)桶槽內(nèi)化學(xué)物質(zhì)在桶槽壁上產(chǎn)生結(jié)晶現(xiàn)象，并能維持化學(xué)物質(zhì)的穩(wěn)定性。
文檔編號B65D90/48GK101497387SQ200810007098
公開日2009年8月5日 申請日期2008年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月2日
發(fā)明者黎源欣 申請人:亞泰半導(dǎo)體設(shè)備股份有限公司