虹吸式撞擊霧化器的制造方法
【專利摘要】虹吸式撞擊霧化器，屬于材料制備【技術(shù)領(lǐng)域】，該裝置中，氣體壓縮管豎向置于盛液容器內(nèi)腔，并向下密封穿出盛液容器的底部，液體虹吸套管布置在盛液容器內(nèi)，液體虹吸套管下端為開口端，液體虹吸套管套置在氣體壓縮管外，液體虹吸套管下端與盛液容器底部固定，液體虹吸套管下端周邊開設(shè)連通的孔道以通過液體，液體虹吸套管的上部側(cè)壁環(huán)周均布有與氣體壓縮管上端口對(duì)應(yīng)的霧化孔；盛液容器的上端設(shè)置有氣霧導(dǎo)口、液體加入口，液體加入口設(shè)置有密封蓋。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)沒有金屬類機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，耐酸堿腐蝕性強(qiáng)，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，易維護(hù)；氣霧運(yùn)動(dòng)平緩、溫和，可以對(duì)各種酸堿度的、各種濃度的、腐蝕性的液體進(jìn)行微米級(jí)均勻霧化。
【專利說明】虹吸式撞擊霧化器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于材料制備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種虹吸式撞擊霧化器。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來，霧化熱分解沉積裝置廣泛用于化學(xué)法薄膜制備和納米粉體制備領(lǐng)域，其中溶液霧化裝置是其關(guān)鍵設(shè)備。目前主流的霧化裝置主要有壓力液流霧化和超聲波霧化兩種裝置，其中壓力液流霧化裝置采用高壓液流和高壓氣流混合后通過狹縫或小孔噴射形成高速運(yùn)動(dòng)的霧化液滴，所需要的氣流量大，霧化效率高、液滴飛行速度高；超聲波霧化裝置采用超聲波晶片振動(dòng)能量使溶液霧化，然后采用另外的輸送氣體將產(chǎn)生的霧滴進(jìn)行輸送。其應(yīng)用于霧化熱分解薄膜沉積領(lǐng)域面臨的主要問題在于:
[0003]對(duì)于壓力液流霧化裝置:
[0004]1、霧化流量(速率)、霧化液滴尺寸受液流壓力和氣體壓力控制,通常尺寸較大，約為3μπι?15μπι，尺寸分布比較寬，相互干擾，難于控制和微細(xì)調(diào)節(jié)；
[0005]2、霧化液滴飛行速度高，沉積過程伴隨著氣流和液滴對(duì)基板的撞擊，沉積過程中流場紊亂、對(duì)基板的吸熱降溫顯著，易于造成基板表面沉積不均勻、溫度驟降、基板炸裂、反應(yīng)不完全等問題，不僅影響膜層質(zhì)量、而且大量廢氣排放和環(huán)境污染也是其必須面對(duì)的問題；
[0006]3、霧化噴嘴承受高壓液流沖擊，通常采用金屬制件，加工精度要求高，不耐受酸堿腐蝕性介質(zhì),生產(chǎn)維護(hù)成本高。
[0007]對(duì)于超聲波霧化裝置:
[0008]1、超聲波晶片不便于工作在酸性、堿性等腐蝕性介質(zhì)環(huán)境；
[0009]2、霧化粒徑微細(xì)約為3 μ m?5 μ m，但受到超聲波能量的限制，不能對(duì)高濃度的溶液起霧，也不能對(duì)溶劑分子量大于50以上的溶液霧化；
[0010]3、形成的氣霧溫和平緩，需要風(fēng)機(jī)鼓風(fēng)或另外的氣流輸送裝置來完成氣霧輸送，工作機(jī)構(gòu)復(fù)雜；
[0011]4、由于工作過程中晶片發(fā)熱，導(dǎo)致鍍膜前驅(qū)溶液體系不穩(wěn)定和沉淀產(chǎn)生；
[0012]5、生產(chǎn)效率較低，維護(hù)成本高，不適合薄膜制備的工業(yè)化生產(chǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0013]本實(shí)用新型的目的是提供簡單緊湊，易調(diào)節(jié)控制霧化流量、易維護(hù)，無殘留，耐酸堿腐蝕性環(huán)境，適合工業(yè)化生產(chǎn)的虹吸式撞擊霧化器。
[0014]本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是:虹吸式撞擊霧化器，其特征在于:包括液體虹吸套管、氣體壓縮管和封閉的盛液容器，氣體壓縮管豎向置于盛液容器內(nèi)腔，并向下密封穿出盛液容器的底部，液體虹吸套管布置在盛液容器內(nèi)，液體虹吸套管下端為開口端，液體虹吸套管套置在氣體壓縮管外，液體虹吸套管與氣體壓縮管之間留有均勻間隙，液體虹吸套管下端與盛液容器底部固定，液體虹吸套管下端周邊開設(shè)連通的孔道以通過液體，液體虹吸套管的上部側(cè)壁環(huán)周均布有與氣體壓縮管上端口對(duì)應(yīng)的霧化孔；盛液容器的上端設(shè)置有氣霧導(dǎo)口、液體加入口，液體加入口設(shè)置有密封蓋。
[0015]進(jìn)一步地，所述置于盛液容器內(nèi)的氣體壓縮管為上口小下口大的錐形，氣體壓縮管截面壓縮比1:50?200。
[0016]進(jìn)一步地，所述液體虹吸套管的上端中部螺紋連接有調(diào)節(jié)螺栓，調(diào)節(jié)螺栓的下端向下延伸到液體虹吸套管的內(nèi)腔，調(diào)節(jié)螺栓的下端螺紋連接有圓柱形的霧化屏，霧化屏的下端面為平面，霧化屏的下端面與氣體壓縮管的上端口相對(duì)設(shè)置，氣體壓縮管的上端出口與霧化屏同軸線設(shè)置。
[0017]進(jìn)一步地，所述液體虹吸套管的底部設(shè)置有2?6個(gè)進(jìn)液孔，液體虹吸套管與氣體壓縮管之間間隙寬度為0.5mm?3mm。
[0018]進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)螺栓的調(diào)節(jié)范圍約為0.01mm?5mm。
[0019]進(jìn)一步地，所述霧化屏下端面的直徑與氣體壓縮管上端出口直徑比值為0.8?1.5。
[0020]本實(shí)用新型的有益效果為:本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)只有盛液容器和固定的氣體管路，部件均能采用聚四氟乙烯材料和耐腐蝕橡膠加工制造，沒有金屬類機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，耐酸堿腐蝕性強(qiáng)，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，易維護(hù)；容器內(nèi)溶液結(jié)構(gòu)原理上可以100%通過虹吸套管進(jìn)行完全霧化，少殘留；連接部位采用螺紋結(jié)構(gòu)，易拆換維修，適合工業(yè)化連續(xù)生產(chǎn)的霧化工況；本實(shí)用新型通過氣體壓縮形成高速液流的負(fù)壓虹吸效應(yīng)攜帶液流撞擊霧化屏的虹吸式撞擊霧化結(jié)構(gòu)來形成氣霧，氣霧運(yùn)動(dòng)平緩、溫和，可以對(duì)各種酸堿度的、各種濃度的、腐蝕性的液體進(jìn)行微米級(jí)均勻霧化。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1為虹吸式撞擊霧化器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖中:1、氣霧導(dǎo)口，2、密封蓋，3、液體加入口，4、盛液容器，5、鎖緊螺母，6、液體虹吸套管，7、氣體壓縮管，8、氣壓調(diào)節(jié)閥，9、進(jìn)液孔，10、霧化孔，11、霧化屏，12、調(diào)節(jié)螺栓。

【具體實(shí)施方式】
[0023]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明，但本實(shí)用新型并不局限于具體實(shí)施例。
[0024]實(shí)施例1
[0025]如圖1所示，虹吸式撞擊霧化器，包括液體虹吸套管6、氣體壓縮管7和封閉的盛液容器4。盛液容器4的上端設(shè)置有氣霧導(dǎo)口 1、液體加入口 3，液體加入口 3設(shè)置有密封蓋2 ;氣體壓縮管7豎向置于盛液容器4內(nèi)腔，并向下密封穿出盛液容器4的底部，置于盛液容器4內(nèi)的氣體壓縮管7為上口小下口大的錐形，氣體壓縮管7截面壓縮比1:50。液體虹吸套管6布置在盛液容器4內(nèi)，液體虹吸套管6的上部側(cè)壁環(huán)周均布有與氣體壓縮管7上端口對(duì)應(yīng)的霧化孔10,液體虹吸套管6下端為開口端,液體虹吸套管6的底部設(shè)置有2個(gè)進(jìn)液孔9，液體虹吸套管6套置在氣體壓縮管7外，液體虹吸套管6與氣體壓縮管7之間留有均勻間隙，液體虹吸套管6與氣體壓縮管7之間間隙寬度為0.5mm，液體虹吸套管6的上端中部螺紋連接有調(diào)節(jié)螺栓12，調(diào)節(jié)螺栓12的下端向下延伸到液體虹吸套管6的內(nèi)腔，調(diào)節(jié)螺栓12的調(diào)節(jié)范圍約為，調(diào)節(jié)螺栓12的下端螺紋連接有圓柱形的霧化屏11，霧化屏11的下端面為平面，霧化屏11的下端面與氣體壓縮管7的上端口相對(duì)設(shè)置，氣體壓縮管7的上端出口與霧化屏11同軸線設(shè)置，霧化屏11下端面的直徑與氣體壓縮管7上端出口直徑比值為0.8，液體虹吸套管6下端與盛液容器4底部固定，液體虹吸套管6下端周邊開設(shè)連通的孔道以通過液體。
[0026]本實(shí)用新型的工作原理:
[0027]虹吸式撞擊霧化器必須垂直于地面放置，通過液體加入口 3加入溶液到盛液容器4內(nèi)，使盛液容器4內(nèi)溶液的液面保持低于氣體壓縮管7的上端口，一定壓力的氣體經(jīng)過氣體壓縮管7進(jìn)一步壓縮形成高速流動(dòng)氣流在氣體壓縮管7上部端口處形成一定真空度(負(fù)壓)，使液體虹吸套管6內(nèi)腔溶液向上流動(dòng)在氣流的攜帶下撞擊到霧化屏11，從豎直方向運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)向?yàn)樗椒较蜻\(yùn)動(dòng)形成氣霧，通過霧化孔10逸出，并在氣流攜帶下進(jìn)入氣霧導(dǎo)口 1進(jìn)行輸送。
[0028]通過調(diào)節(jié)螺栓12調(diào)節(jié)其下端連接的霧化屏11和氣體壓縮管7上部端面的間隙為0.01mm，主要調(diào)節(jié)控制霧化液滴的尺寸分布和中徑尺寸；在上述間隙一定的情況下，通過控制氣體壓縮導(dǎo)管7入口處的氣體壓力，控制調(diào)節(jié)霧化液流流量，實(shí)現(xiàn)微細(xì)液滴(中徑尺寸1 μ m?5 μ m)霧化和霧化液流流量的連續(xù)可靠控制。
[0029]實(shí)施例2
[0030]實(shí)施例2中所使用的虹吸式撞擊霧化器的結(jié)構(gòu)及工作原理與實(shí)施例1中相同，不同的技術(shù)參數(shù)如下:
[0031]1、氣體壓縮管7截面壓縮比1:150 ;
[0032]2、液體虹吸套管6的底部設(shè)置有4個(gè)進(jìn)液孔9 ；
[0033]3、液體虹吸套管6與氣體壓縮管7之間間隙寬度為1.7mm ；
[0034]4、霧化屏11下端面的直徑與氣體壓縮管7上端出口直徑比值為1.2 ；
[0035]5、通過調(diào)節(jié)螺栓12調(diào)節(jié)霧化屏11和氣體壓縮管7上部端面的間隙為2.5mm。
[0036]實(shí)施例3
[0037]實(shí)施例3中所使用的虹吸式撞擊霧化器的結(jié)構(gòu)及工作原理與實(shí)施例1、實(shí)施例2中相同，不同的技術(shù)參數(shù)如下:
[0038]1、氣體壓縮管7截面壓縮比1:200 ；
[0039]2、液體虹吸套管6的底部設(shè)置有6個(gè)進(jìn)液孔9 ；
[0040]3、液體虹吸套管6與氣體壓縮管7之間間隙寬度為0.5mm ；
[0041]4、霧化屏11下端面的直徑與氣體壓縮管7上端出口直徑比值為1.5 ；
[0042]5、通過調(diào)節(jié)螺栓12調(diào)節(jié)霧化屏11和氣體壓縮管7上部端面的間隙為5mm。
【權(quán)利要求】
1.虹吸式撞擊霧化器，其特征在于:包括液體虹吸套管(6)、氣體壓縮管(7)和封閉的盛液容器(4)，氣體壓縮管(7)豎向置于盛液容器(4)內(nèi)腔，并向下密封穿出盛液容器(4)的底部，液體虹吸套管(6)布置在盛液容器(4)內(nèi)，液體虹吸套管(6)下端為開口端,液體虹吸套管(6)套置在氣體壓縮管(7)外，液體虹吸套管(6)與氣體壓縮管(7)之間留有均勻間隙，液體虹吸套管(6)下端與盛液容器(4)底部固定，液體虹吸套管(6)下端周邊開設(shè)連通的孔道以通過液體，液體虹吸套管￠)的上部側(cè)壁環(huán)周均布有與氣體壓縮管(7)上端口對(duì)應(yīng)的霧化孔(10);盛液容器(4)的上端設(shè)置有氣霧導(dǎo)口(I)、液體加入口(3)，液體加入口⑶設(shè)置有密封蓋⑵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的虹吸式撞擊霧化器，其特征在于:所述置于盛液容器(4)內(nèi)的氣體壓縮管(7)為上口小下口大的錐形，氣體壓縮管(7)截面壓縮比1:50?200。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的虹吸式撞擊霧化器，其特征在于:所述液體虹吸套管(6)的上端中部螺紋連接有調(diào)節(jié)螺栓(12)，調(diào)節(jié)螺栓(12)的下端向下延伸到液體虹吸套管(6)的內(nèi)腔，調(diào)節(jié)螺栓(12)的下端螺紋連接有圓柱形的霧化屏(11)，霧化屏(11)的下端面為平面，霧化屏(11)的下端面與氣體壓縮管(7)的上端口相對(duì)設(shè)置，氣體壓縮管(7)的上端出口與霧化屏(11)同軸線設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3任一所述的虹吸式撞擊霧化器，其特征在于:所述液體虹吸套管(6)的底部設(shè)置有2?6個(gè)進(jìn)液孔(9)，液體虹吸套管(6)與氣體壓縮管(7)之間間隙寬度為0.5mm?3mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的虹吸式撞擊霧化器，其特征在于:所述調(diào)節(jié)螺栓(12)的調(diào)節(jié)范圍約為0.01mm?5mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的虹吸式撞擊霧化器，其特征在于:所述霧化屏(11)下端面的直徑與氣體壓縮管(7)上端出口直徑比值為0.8?1.5。
【文檔編號(hào)】B05B17/04GK204034943SQ201420474246
【公開日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月21日
【發(fā)明者】高中明 申請(qǐng)人:揚(yáng)州明晟新能源科技有限公司