專利名稱：一種反提拉涂膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于成膜的反提拉裝置。
背景技術(shù)：
溶膠-凝膠法制備薄膜具有工藝簡便、設(shè)備要求低以及易于制備均勻的多組分薄膜等優(yōu)點(diǎn)，在薄膜制備領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注。以溶膠-凝膠法制備薄膜時，其成膜技術(shù)主要有旋涂法、噴涂法和提拉法。其中，旋涂法僅適用于小尺寸的平面基片，其用途基本僅限于實(shí)驗(yàn)室的研發(fā)；而噴涂法和提拉法可在不同形狀的大尺寸基片上制備薄膜，在實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)生產(chǎn)上都具有實(shí)用價值。噴涂法的主要工藝過程是將洗凈的基板放到專用加熱爐內(nèi)，然后用專用噴槍以一定的壓力和速度將溶膠噴至熱的基板表面形成凝膠膜。因此，薄膜的厚度受溶膠粘度、壓 力、噴涂速度和噴涂時間等多個參數(shù)的影響，且薄膜的均勻性取決于噴槍霧化溶膠成均勻細(xì)小液滴的效果。相比較而言，提拉法是將整個洗凈的基板浸入預(yù)先制備好的溶膠之中，然后以精確控制的速度將基板平穩(wěn)地從溶膠中提拉出來，在粘度和重力的作用下基板表面形成一層均勻的凝膠膜，薄膜厚度主要取決于粘度和提拉速度，即工藝過程較噴涂法簡單。但在傳動裝置帶動基板行進(jìn)過程中，若傳動裝置的精度和穩(wěn)定性不夠，基板易發(fā)生抖動，由此薄膜的均勻性受到影響。采用高精度和高穩(wěn)定性的傳動裝置固然能解決這一問題，但這也使得提拉裝置的成本極其高昂。為了解決提拉法中基片的擺動問題，專利CN200410022550.X提出了一種反提拉思路，即固定基片不動，通過排出溶膠來實(shí)現(xiàn)基片的相對移動，解決了基片擺動的問題。但在排液過程中，專利CN200410022550. X采用的是重力或者壓力來控制排液速度，隨著溶膠的排出，重力減小，由此導(dǎo)致排液速度減小，薄膜厚度上下不均；以壓力控制排液速度時，壓力的精確控制也極其不易。此外，溶膠排出后，再次涂膜時必須往容器中加入溶膠，這使得涂膜過程的連續(xù)性不佳。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種反提拉涂膜裝置，它具有提拉速度可控范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、操作方便、涂膜的連續(xù)性好以及裝置的制作成本低廉等優(yōu)點(diǎn)，以此裝置可在任意形狀、多種尺寸的基片上制備厚度從幾十納米到數(shù)個微米的薄膜，且制備的薄膜均勻性和一致性好。本實(shí)用新型的技術(shù)方案在于一種反提拉涂膜裝置，該裝置包括了直流穩(wěn)壓電源、電動推桿、盛溶膠容器和基片固定裝置，所述盛溶膠容器為恒溫容器，所述盛溶膠容器安裝在電動推桿的升降推桿上，所述電動推桿由直流穩(wěn)壓電源控制并通過電壓調(diào)節(jié)其行進(jìn)速度，所述盛溶膠容器旁側(cè)還設(shè)置有用于固定基片的基片固定裝置。固定基片不動，以直流穩(wěn)壓電源控制電動推桿的行進(jìn)速度、以電動推桿帶動裝有溶膠的容器上下移動，從而實(shí)現(xiàn)待涂膜基片的相對移動來實(shí)現(xiàn)涂膜，由此避免了傳動裝置帶動基片移動過程中的抖動問題，從而得到均勻性和一致性好的薄膜。在一實(shí)施例中，該裝置還包括一箱體，所述直流穩(wěn)壓電源、電動推桿設(shè)置在箱體內(nèi)，所述基片固定裝置固定在箱體的上側(cè)部。在一實(shí)施例中，所述基片固定裝置由安裝在箱體上的固定桿和用于夾持基片的固定夾組成。在一實(shí)施例中，所述盛溶膠容器具有用于通入恒溫水的夾層，以恒定盛溶膠容器內(nèi)的溶I父溫度。在一實(shí)施例中，所述直流穩(wěn)壓電源設(shè)置有電壓調(diào)節(jié)旋鈕和LED顯示面板。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于由于本實(shí)用新型提供的反提拉涂膜裝置不再以傳動裝置帶動基片移動，而是通過電動推桿帶動裝有溶膠的容器的移動來實(shí)現(xiàn)基片的相對移動，避 免了基片移動過程中的抖動問題；同時，通過直流穩(wěn)壓電源可方便、準(zhǔn)確地控制電動推桿的行進(jìn)速度，因此，本反提拉涂膜裝置具有提拉速度可控范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、操作方便、涂膜的連續(xù)性好以及裝置的制作成本低廉等優(yōu)點(diǎn)，以此裝置可在任意形狀、多種尺寸的基片上制備厚度從幾十納米到數(shù)個微米的薄膜，且制備的薄膜均勻性和一致性好。

圖I為實(shí)施例中的反提拉涂膜裝置主視示意圖。圖2為實(shí)施例中的反提拉涂膜裝置側(cè)視示意圖。圖3為是反提拉涂膜過程示意圖。標(biāo)號說明1 一直流穩(wěn)壓電源 I. I 一電壓調(diào)節(jié)旋鈕 I. 2 — LED顯不面板
I.3 —電流調(diào)節(jié)旋鈕 2—電動推桿 3—盛溶膠容器 3. I—夾層4 一基片固定裝置5—箱體 5. I —固定桿 5. 2—固定夾。
具體實(shí)施方式
為讓本實(shí)用新型的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下，但本實(shí)用新型并不限于此。參看附圖廣2，本實(shí)用新型的反提拉涂膜裝置，該裝置包括了直流穩(wěn)壓電源I、電動推桿2、盛溶膠容器3和基片固定裝置4，所述盛溶膠容器3為恒溫容器，該恒溫容器具有上蓋，所述盛溶膠容器3安裝在電動推桿2的升降推桿上，所述電動推桿2由直流穩(wěn)壓電源I控制并通過電壓調(diào)節(jié)其行進(jìn)速度，所述盛溶膠容器3旁側(cè)還設(shè)置有用于固定基片的基片固定裝置4。固定基片不動，以直流穩(wěn)壓電源控制電動推桿的行進(jìn)速度、以電動推桿帶動裝有溶膠的容器上下移動，從而實(shí)現(xiàn)待涂膜基片的相對移動來實(shí)現(xiàn)涂膜，由此避免了傳動裝置帶動基片移動過程中的抖動問題，從而得到均勻性和一致性好的薄膜。在本實(shí)施例中，該裝置還包括一箱體5，所述直流穩(wěn)壓電源I、電動推桿2設(shè)置在箱體5內(nèi)，所述基片固定裝置4固定在箱體的上側(cè)部。在本實(shí)施例中，所述基片固定裝置由安裝在箱體5上的固定桿5. I和用于夾持基片的固定夾5. 2組成。在本實(shí)施例中，所述盛溶膠容器3具有用于通入恒溫水的夾層3. 1，以恒定盛溶膠各器3內(nèi)的溶H父溫度。[0021]在本實(shí)施例中，所述直流穩(wěn)壓電源I設(shè)置有電壓調(diào)節(jié)旋鈕I. I和LED顯示面板I. 2。參看附圖3，圖3是反提拉涂膜過程示意圖。其中，A — C為電動推桿帶動盛溶膠的容器上升的過程，C — E為電動推桿帶動盛溶膠的容器下降的過程，本實(shí)用新型的工作過程為通恒溫水，以使溶膠的溫度(即粘度)恒定，從而避免室溫差異對薄膜厚度的影響，得到具有一致性的薄膜；①溶膠溫度達(dá)到設(shè)定值后，在基片固定夾上固定處理后的待涂膜基片；②調(diào)節(jié)電流旋鈕到最大值、調(diào)節(jié)電壓到設(shè)定值后(LED面板顯示)，將開關(guān)由O檔(斷路，停止)調(diào)到I檔(通路，上升)，電動推桿開始帶動容器向上運(yùn)動(附圖3A)；③溶膠浸沒基板(即到達(dá)附圖3C)后，手動將開關(guān)調(diào)到O檔，或預(yù)先設(shè)計(jì)好高度，推桿到達(dá)附圖3C位置時自動停止；④依據(jù)實(shí)際體系的需要，推桿可在附圖3C位置停留不同的時間；⑤調(diào)節(jié)電壓到設(shè)定值后，將開關(guān)調(diào)到II檔(通路，下降)，電動推桿帶動容器向下運(yùn)動，此過程為薄膜厚度的控制步；⑥電動推桿到達(dá)附圖3E位置后，依據(jù)實(shí)際體系的需要，涂膜后的基片可在基片夾上靜置停留不同的時間再放入加熱爐內(nèi)。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，凡依本實(shí)用新型申請專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求1.一種反提拉涂膜裝置，其特征在于該裝置包括了直流穩(wěn)壓電源、電動推桿、盛溶膠容器和基片固定裝置，所述盛溶膠容器為恒溫容器，所述盛溶膠容器安裝在電動推桿的升降推桿上，所述電動推桿由直流穩(wěn)壓電源控制，所述盛溶膠容器旁側(cè)還設(shè)置有用于固定基片的基片固定裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種反提拉涂膜裝置，其特征在于該裝置還包括一箱體，所述直流穩(wěn)壓電源、電動推桿設(shè)置在箱體內(nèi)，所述基片固定裝置固定在箱體的上側(cè)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的一種反提拉涂膜裝置，其特征在于所述基片固定裝置由安裝在箱體上的固定桿和用于夾持基片的固定夾組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種反提拉涂膜裝置，其特征在于所述盛溶膠容器具有用于通入恒溫水的夾層，以恒定盛溶膠容器內(nèi)的溶膠溫度。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種反提拉涂膜裝置，其特征在于所述直流穩(wěn)壓電源設(shè)置有電壓調(diào)節(jié)旋鈕和LED顯示面板。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種反提拉涂膜裝置，該裝置包括了直流穩(wěn)壓電源、電動推桿、盛溶膠容器和基片固定裝置，所述盛溶膠容器為恒溫容器，所述盛溶膠容器安裝在電動推桿的升降推桿上，所述電動推桿由直流穩(wěn)壓電源控制，所述盛溶膠容器旁側(cè)還設(shè)置有用于固定基片的基片固定裝置，該裝置具有提拉速度可控范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、操作方便、涂膜的連續(xù)性好以及裝置的制作成本低廉等優(yōu)點(diǎn)，該裝置可在任意形狀、多種尺寸的基片上制備厚度從幾十納米到數(shù)個微米的薄膜，且制備的薄膜均勻性和一致性好。
文檔編號B05C13/02GK202700765SQ20122038043
公開日2013年1月30日 申請日期2012年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月2日
發(fā)明者趙劍曦, 李鎮(zhèn)祥 申請人:福州大學(xué)