專利名稱：：樹脂組合物、清漆、樹脂膜及半導體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及樹脂組合物、清漆、樹脂膜及半導體裝置。技術(shù)背景作為半導體用的層間絕緣膜，現(xiàn)在主要使用用CVD法(化學蒸鍍法)等制成的氧化膜(SiOx膜)。但是，氧化膜等的無機絕緣膜，由于介電常數(shù)高，因而難以對應(yīng)半導體的高速化、高性能化。因此，作為低介電常數(shù)的層間絕緣膜，對有機材料的使用進行了研究。作為用于層間絕緣膜有機材料，要求其耐熱性、電氣特性優(yōu)異，并且介電常數(shù)低。以往以來，作為有機材料，研究了聚酰亞胺樹脂、聚喹啉樹脂、聚喹喔啉樹脂等(例如，參照專利文獻O。但是，聚酰亞胺樹脂有耐熱性低、介電常數(shù)高、吸濕性高等的問題。因此，從可靠性方面考慮，其用途限于雙極半導體元件等的一部分的半導體元件上。另一方面，與聚酰亞胺樹脂相比，具有高耐熱性、低介電常數(shù)、低吸濕性的聚喹啉樹脂、聚喹喔啉樹脂，為熱可塑性樹脂，因而，當處于樹脂的玻璃轉(zhuǎn)移溫度以上的溫度的情形下，有時會發(fā)生樹脂圖案變形，在半導體制造時成為問題。專利文獻l:JP特開2000—195853號公報
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的課題本發(fā)明的目的是提供低介電常數(shù)的耐熱性優(yōu)異的樹脂組合物。另外，本發(fā)明的目的是提供低介電常數(shù)的耐熱性優(yōu)異的樹脂膜以及使用該樹脂膜的半導體裝置。解決課題的方法上述的本發(fā)明的目的，可通過下述的(1)(27)所記載的本發(fā)明來達成。(1)一種樹脂組合物，其包括具有由雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而得到的第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及交聯(lián)劑，其特征在于，上述雙氨酚與二羧酸化合物，至少一方具有鉆石形(diamondoid)結(jié)構(gòu)。(2)上述(1)中所述的樹脂組合物，其中，上述交聯(lián)劑具有鉆石形結(jié)構(gòu)。(3)上述(1)或(2)中所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體還具有由不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)而得到的第二重復(fù)單元。(4)上述(1)(3)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述鉆石形結(jié)構(gòu)具有該鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團。(5)上述(1)(4)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物、不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物或其兩方具有上述鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團。(6)上述(1)(5)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述鉆石形結(jié)構(gòu)為選自由金剛垸基、二聯(lián)金剛烷基^千A)、三聯(lián)金剛烷基(卜Uf7>f;"、四聯(lián)金剛烷基(于卜，t>f;"、五聯(lián)金剛烷基(《>夕7、六聯(lián)金剛烷基(、*廿7>千；"、七聯(lián)金剛垸基(、7°夕7>f"、八聯(lián)金剛垸基(才夕夕7>千A)、九聯(lián)金剛垸基(7于t>+、十聯(lián)金剛垸基(f力7、十一聯(lián)金剛垸基(々>亍-力7、雙金剛烷基、三金剛烷基、四金剛烷基、五金剛烷基、六金剛烷基、七金剛垸基、八金剛烷基、九金剛垸基、十金剛烷基、以及十一金剛垸基所組成的組的至少一個基團。(7)上述(1)(6)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述鉆石形結(jié)構(gòu)具有烷基及/或氟烷基。(8)上述(4)(7)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團具有形成交聯(lián)鍵的官能團。(9)上述(4)(7)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團具有炔鍵。(10)上述(1)(9)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸，為金剛烷二羧酸、雙金剛烷二羧酸及/或四金剛烷二羧酸。(11)上述(3)(10)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，由上述第一重復(fù)單元與第二重復(fù)單元共聚而成。(12)—種樹脂組合物，其包括具有用下式(1)表示的第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及交聯(lián)劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage33</formula>式(11一2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage34</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage35</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>(15)上述(14)所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，還具有上述第三重復(fù)單元。(16)上述(14)或(15)所述的樹脂組合物，其中，上述交聯(lián)劑具有鉆石形結(jié)構(gòu)。(17)—種樹脂組合物，其包括具有用下式(13)表示的第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、以及交聯(lián)劑。["式(13)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage37</formula>R式(14)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage37</formula>(式(14)中X2為乙炔基或丙炔醚基；Z為一O—、一S02—、一CH2一、—C(CH3)2—、—C(CF3)2—、或芳香族基團(作為該芳香族基團可舉出聯(lián)萘基、萘基、芴基、苯基、二苯醚基、聯(lián)苯基、二苯砜基、二苯丙烷(式(15)中的X4為選自用下式(16)表示的基團所組成的組中的至少一種基團)38基、及二苯基六氟丙烷基等，但并不限定于此)；Ar為3價以上的芳香族基團(作為該3價以上的芳香族基團，可舉出聯(lián)萘基、萘基、芴基、苯基、二苯醚基、聯(lián)苯基、二苯砜基、二苯丙烷基、及二苯基六氟丙烷基等，但并不限定于此)；R為氫或有機基團(作為該有機基團可舉出聯(lián)萘基、萘基、藥基、苯基、二苯醚基、聯(lián)苯基、二苯砜基、二苯丙垸基、及二苯基六氟丙垸基等，但并不限定于此)；r為0或l;q為l4的整數(shù)。)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage39</formula>(18)上述(17)所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，還具有上述第三重復(fù)單元、第四重復(fù)單元或該兩方。(19)上述(17)或(18)所述的樹脂組合物，其中，上述交聯(lián)劑具有鉆石形結(jié)構(gòu)。(20)上述(12)(19)中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，還具有用下式(17)表示的第六重復(fù)單元。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage39</formula>[式(17)中的Ri及R2分別獨立地表示氫原子或有機基團；n為21000之間的整數(shù)；X3為從用上式(14)、上式(15)表示的基團中選出的至少一種的基團；式(17)中的Y!表示從用上式(4)、上式(6—1)、上式(6一2)、上式(7—1)、上式(7_2)、上式(8)及上式(9)表示的基團中選出的至少一種的基團。&及Y,中所包含的碳環(huán)上的氫原子被垸基及/或氟垸基取代或未被取代]。(21)上述(1)(20)中的任一項所述的樹脂組合物，其中，含有使上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體脫水閉環(huán)反應(yīng)而得到的聚苯并噁唑樹脂。(22)—種樹脂組合物，其包括苯并噁唑樹脂前驅(qū)體組合物以及交聯(lián)劑，該苯并噁唑樹脂前驅(qū)體組合物以具有用上式(1)表示的第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、具有用上式(10)表示的第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體或具有用上式(13)表示的第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體作為必須成分，含有兩種以上的從該具有第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、該具有第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、該具有第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及具有用上式(17)表示的第六重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體中選出的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。(23)—種清漆，其特征在于，其包括上述(1)(22)中任一項所述的樹脂組合物、以及可使這些樹脂組合物溶解或分散的有機溶劑。(24)—種樹脂膜，其特征在于，其由上述(1)(22)中任一項所述的樹脂組合物構(gòu)成。(25)上述(24)所述的樹脂膜，其中，上述樹脂膜具有平均孔徑為10nm以下的微孔。(26)上述(24)或(25)所述的樹脂膜，其中，上述樹脂膜為一種選自由半導體用層間絕緣膜、半導體用保護膜以及蝕刻保護膜所組成的組的膜。(27)—種半導體裝置，其特征在于，其具有上述(24)(26)中的任一項所述的樹脂膜。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠得到介電常數(shù)低且耐熱性優(yōu)異的樹脂組合物。另外，根據(jù)本發(fā)明，能夠得到介電常數(shù)低且耐熱性優(yōu)異的樹脂膜以及使用樹脂膜的半導體裝置。另外，在具有特定的官能團的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的情形時，通過保持在有機溶劑的溶解性，能夠在維持加工性的同時，提高噁唑環(huán)閉環(huán)后的耐熱性。另外，在制成具有微孔的樹脂膜時，能夠得到特別是電氣特性(特別是介電特性)、物理特性以及機械特性優(yōu)異的樹脂膜。圖1是示意性地表示本發(fā)明的半導體裝置的一例的剖面圖。其中，附圖標記說明如下具體實施方式下面，對本發(fā)明的樹脂組合物、清漆、樹脂膜以及半導體裝置進行說明。本發(fā)明的樹脂組合物，含有苯并噁唑樹脂前驅(qū)體與交聯(lián)劑，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，具有由至少一方中含有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而得到的第一重復(fù)單元。另外，本發(fā)明的樹脂組合物，也可含有使上述記載的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體脫水閉環(huán)反應(yīng)而得到的聚苯并噁唑樹脂。本發(fā)明的樹脂膜，用上述記載的樹脂組合物構(gòu)成。本發(fā)明的半導體裝置，具有上述記載的樹脂膜。首先，對用于本發(fā)明的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體進行說明。用于本發(fā)明的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，具有由至少任何一方具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而得到的第一重復(fù)單元。例如，包括由具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)而得到的重復(fù)單元，由不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)而得到的重復(fù)單元，由具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)而得到的重復(fù)單元。上述鉆石形結(jié)構(gòu)，也可具有該鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團。作為官能團，優(yōu)選為形成交聯(lián)鍵的官能團，特別優(yōu)選為炔基。另外，優(yōu)選上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物以及上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物中，至少一方具有上述鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團。由此，能夠得到含有鉆石形結(jié)構(gòu)的苯并噁唑樹脂前驅(qū)1半導體基板3層間絕緣膜5改性處理層7硬掩模層2氮化硅膜4銅配線層6絕緣層100半導體裝置體，由上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體得到的聚苯并噁唑樹脂，具有耐熱性，能夠得到高彈性系數(shù)以及低介電常數(shù)。另外，能夠提高耐濕性。上述鉆石形結(jié)構(gòu)優(yōu)選為具有垸基或氟烷基的基團，由此，形成在有機溶劑中的溶解性更良好的樹脂。本發(fā)明中的鉆石形結(jié)構(gòu)，是指以金剛烷結(jié)構(gòu)為最小單位的結(jié)構(gòu)單元，具有該結(jié)構(gòu)的基團，例如，可舉出具有金剛垸基(adamantyl)、二聯(lián)金剛垸基、三聯(lián)金剛垸基、四聯(lián)金剛垸基、五聯(lián)金剛烷基、六聯(lián)金剛烷基、七聯(lián)金剛烷基、八聯(lián)金剛烷基、九聯(lián)金剛垸基、十聯(lián)金剛烷基、以及十一聯(lián)金剛烷基等多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團，進一步地，可舉出具有多個上述具有多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團的基團。作為具有多個上述具有多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團的基團，可舉出具有低聚結(jié)構(gòu)或高聚結(jié)構(gòu)的基團等，作為上述具有多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團為金剛垸基的情形時，例如，可舉出具有二(1，3—金剛烷)基及二(2，2—金剛烷)基等的二金剛垸基、三(1，3—金剛烷)基及三(2，2—金剛烷)基等的三金剛烷基、四(1，3—金剛烷)基及四(2，2—金剛烷)基等的四金剛烷基、五(1，3—金剛垸)基及五(2，2—金剛垸)基等的五金剛垸基、七(1，3—金剛垸)基及七(2，2—金剛垸)基等的七金剛烷基、六金剛垸基、八金剛烷基、九金剛烷基、十金剛烷基、十一金剛烷基等的低聚金剛垸結(jié)構(gòu)的基團或具有金剛垸基的個數(shù)更多的聚金剛烷結(jié)構(gòu)的基團等。另外，上述具有多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團為金剛烷基以外的基團的情形時，可舉出在上述具有低聚金剛烷結(jié)構(gòu)的基團或具有聚金剛垸結(jié)構(gòu)的基團中取代該金剛烷基的基團，例如，可舉出，雙一(二聯(lián)金剛烷)基、三一(二聯(lián)金剛垸)基、四一(二聯(lián)金剛垸)基、五一(二聯(lián)金剛烷)基、六一(二聯(lián)金剛烷)基、七一(二聯(lián)金剛垸)基、八_(二聯(lián)金剛烷)基、九一(二聯(lián)金剛烷)基、十一(二聯(lián)金剛烷)基以及十一一(二聯(lián)金剛烷)基等的具有多個二聯(lián)金剛烷基的基團；雙一(三聯(lián)金剛垸)基、三一(三聯(lián)金剛垸)基、四一(三聯(lián)金剛垸)基、五一(三聯(lián)金剛垸)基、六一(三聯(lián)金剛垸)基、七一(三聯(lián)金剛烷)基、八一(三聯(lián)金剛烷)基、九一(三聯(lián)金剛烷)基、十一(三聯(lián)金剛垸)基、十一一(三聯(lián)金剛烷)基等的具有多個三聯(lián)金剛垸基的基團；雙一(四聯(lián)金剛垸)基、三一(四聯(lián)金剛垸)基、四一(四聯(lián)金剛垸)基、五一(四聯(lián)金剛烷)基、六一(四聯(lián)金剛烷)基、七一(四聯(lián)金剛烷)基、八一(四聯(lián)金剛烷)基、九一(四聯(lián)金剛垸)基、十一(四聯(lián)金剛烷)基、十一一(四聯(lián)金剛烷)基等的具有多個四聯(lián)金剛烷基的基團等。其中，優(yōu)選金剛烷基、二聯(lián)金剛垸基、三聯(lián)金剛垸基、四聯(lián)金剛烷基、五聯(lián)金剛烷基、六聯(lián)金剛烷基、七聯(lián)金剛烷基、八聯(lián)金剛垸基、九聯(lián)金剛烷基、十聯(lián)金剛烷基、十一聯(lián)金剛烷基、雙金剛垸基、三金剛烷基、四金剛烷基、五金剛垸基、六金剛烷基、七金剛烷基、八金剛烷基、九金剛垸基、十金剛烷基以及十一金剛垸基，更優(yōu)選金剛烷基、二聯(lián)金剛烷基、三聯(lián)金剛烷基、四聯(lián)金剛垸基、五聯(lián)金剛垸基、二(1，3—金剛烷)基、三(1，3—金剛垸)基、四(1，3—金剛烷)基、五(1，3—金剛烷)基、二(2，2—金剛垸)基、三(2，2—金剛垸)基、四(2，2—金剛烷)基以及五(2，2—金剛垸)基。由具有上述結(jié)構(gòu)的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體得到的聚苯并噁唑樹脂，能夠保持耐熱性、降低介電常數(shù)、提高耐濕性。上述具有金剛垸結(jié)構(gòu)的基團也可與甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基以及叔丁基等的烷基；氟甲基、氟乙基、氟丙基以及氟丁基等的氟烷基等結(jié)合。本發(fā)明中，作為在鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團上具有鉆石形結(jié)構(gòu)的基團，例如，可舉出金剛垸基乙炔基、二聯(lián)金剛垸基乙炔基、三聯(lián)金剛垸基乙炔基、四聯(lián)金剛垸基乙炔基、五聯(lián)金剛垸基乙炔基、六聯(lián)金剛垸基乙炔基、七聯(lián)金剛烷基乙炔基、八聯(lián)金剛烷基乙炔基、九聯(lián)金剛垸基乙炔基、十聯(lián)金剛烷基乙炔基、十一聯(lián)金剛垸基乙炔基、雙金剛烷基乙炔基、三金剛垸基乙炔基、四金剛垸基乙炔基、六金剛烷基乙炔基、七金剛垸基乙炔基、八金剛烷基乙炔基、九金剛垸基乙炔基、十金剛烷基乙炔基、十一金剛垸基乙炔基、金剛烷基苯基乙炔基、二聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、三聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、四聯(lián)金剛垸基苯基乙炔基、五聯(lián)金剛垸基苯基乙炔基、六聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、七聯(lián)金剛垸基苯基乙炔基、八聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、九聯(lián)金剛垸基苯基乙炔基、十聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、十一聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、雙金剛烷基苯基乙炔基、三金剛烷基苯基乙炔基、四金剛烷基苯基乙炔基、五金剛垸基苯基乙炔基、六金剛烷基苯基乙炔基、七金剛垸基苯基乙炔基、八金剛垸基苯基乙炔基、九金剛垸基苯基乙炔基、十金剛烷基苯基乙炔基、十一金剛烷基苯基乙炔基、金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、二聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、三聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、四聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、五聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、六聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、七聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、八聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、九聯(lián)金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、十聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、十一聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、雙金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、三金剛院基苯氧基苯基乙炔基、四金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、五金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、六金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、七金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、八金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、九金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、十金剛垸基苯氧基苯基乙炔基以及十一金剛垸基苯氧基苯基乙炔基等。另外，作為在上述乙炔基以外的官能團上具有上述鉆石形結(jié)構(gòu)的官能團，可舉出在具有炔鍵的官能團、聯(lián)亞苯基、氰氧基、馬來酸酐縮亞胺基、納迪克亞酰胺(nadiimide)基、乙烯基以及環(huán)戊二烯基等的官能團上具有上述鉆石形結(jié)構(gòu)的官能團。上述在鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團上具有的鉆石形結(jié)構(gòu)，也可與甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基以及叔丁基等的烷基；氟甲基、氟乙基、氟丙基以及氟丁基等的氟烷基等結(jié)合。其中，特別優(yōu)選金剛烷基苯基乙炔基、二甲基金剛垸基苯基乙炔基、三甲基金剛烷基苯基乙炔基、雙金剛垸基苯基乙炔基、四甲基雙金剛垸基苯基乙炔基、五甲基雙金剛烷基苯基乙炔基、金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、二甲基金剛烷基苯基乙炔基、三甲基金剛垸基苯基乙炔基、二金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、四甲基二金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、五甲基雙金剛烷基苯氧基苯基乙炔基等。本發(fā)明中，作為上述鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團，例如，可舉出具有炔鍵的官能團；聯(lián)亞苯基、氰氧基、馬來酸酐縮亞胺基、納迪克亞酰胺(nadiimide)基、乙烯基以及環(huán)戊二烯基等，優(yōu)選為可與上述交聯(lián)劑交聯(lián)的基團。由此，能夠提高由該苯并噁唑樹脂前驅(qū)體得到的聚苯并噁唑樹脂的耐熱性。進一步地，也能夠提高苯并噁唑樹脂前驅(qū)體在溶劑中的溶解性。其中，優(yōu)選具有炔鍵的官能團。作為上述具有炔鍵的官能團，具體地，可舉出乙炔基、苯基乙炔基、萘基乙炔基、蒽基乙炔基、喹啉基乙炔基、喹喔啉基乙炔基、烷基乙炔基以及丙炔醚等。其中，優(yōu)選為從乙炔基、苯基乙炔基以及萘基乙炔基中選出的一種以上的官能團。由此，能夠提高得到的聚苯并噁唑樹脂的耐熱性，特別是玻璃轉(zhuǎn)移溫度。提高苯并噁唑樹脂的耐熱性，是指通過在苯并噁唑樹脂前驅(qū)體中具有官能團，能夠提高得到的聚苯并噁唑樹脂的交聯(lián)密度。進一步地，通過提高聚苯并噁唑樹脂的交聯(lián)密度，則在使用該聚苯并噁唑樹脂形成納米泡沫而得到層間絕緣膜的情形，納米泡沫不凝集等而能夠保持其形狀。由此，能夠降低層間絕緣膜的介電常數(shù)。1.具有第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體l一l具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物，是指分子內(nèi)具有鉆石形結(jié)構(gòu)的單元結(jié)構(gòu)的化合物，包括在雙氮酚骨架內(nèi)具有鉆石形結(jié)構(gòu)的化合物以及在雙氨酚骨架上直接或通過其它的原子與鉆石形結(jié)構(gòu)結(jié)合的化合物。l一l一l具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物作為該雙氨酚化合物，例如，可舉出，具有雙(3—氨基一4一羥基一苯基)金剛烷以及雙(3—羥基一4一氨基一苯基)金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)金剛垸以及雙(4一氨基一3—羥基一苯氧基一苯基)金剛烷等的鉆石形結(jié)構(gòu)的最小單元的化合物。其中，優(yōu)選1，3—雙(3—氨基一4一羥基一苯基)金剛垸，另外，還可舉出雙(3—氨基一4一羥基一苯基)二聯(lián)金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯基)二聯(lián)金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯基)三聯(lián)金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯基)三聯(lián)金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯基)四聯(lián)金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯基)四聯(lián)金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯基)七聯(lián)金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯基)七聯(lián)金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯基)六聯(lián)金剛烷以及雙(3—羥基一4一氨基一苯基)六聯(lián)金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)二聯(lián)金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)二聯(lián)金剛烷、雙(3一氨基一4一羥基一苯氧基)三聯(lián)金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)三聯(lián)金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)四聯(lián)金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)四聯(lián)金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)七聯(lián)金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)七聯(lián)金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)六聯(lián)金剛烷以及雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)六聯(lián)金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)二聯(lián)金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)二聯(lián)金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)三聯(lián)金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)三聯(lián)金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)四聯(lián)金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)四聯(lián)金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)七聯(lián)金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)七聯(lián)金剛垸、雙(3—氮基一4一羥基一苯氧基一苯基)六聯(lián)金剛烷以及雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基苯基)六聯(lián)金剛烷等的具有鉆石形結(jié)構(gòu)的多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的化合物；雙(3—氨基一4一羥基一苯基)雙金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯基)雙金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯基)三金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯基)三金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯基)四金剛烷、雙(3一羥基一4一氨基一苯基)四金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯基)七金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯基)七金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯基)六金剛烷以及雙(3—羥基一4一氨基一苯基)六金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)雙金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)雙金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)三金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)三金剛烷、二(3—氨基一4一羥基一苯氧基)四金剛垸、雙(3一羥基一4一氨基一苯氧基)四金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)七金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)七金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)六金剛垸以及雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基)六金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)雙金剛垸、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)雙金剛垸、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)三金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)三金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)四金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)四金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)七金剛烷、雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)七金剛烷、雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基一苯基)六金剛烷以及雙(3—羥基一4一氨基一苯氧基一苯基)六金剛垸等的具有低聯(lián)金剛垸結(jié)構(gòu)或具有含有更多的金剛烷基團數(shù)的聯(lián)金剛烷結(jié)構(gòu)的化合物，其中，優(yōu)選3，3，一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一5，5，，7，7'，一四甲基一l，T一雙金剛垸，進一步地，也可舉出3，3'—雙[4一(4一氨基一3—羥基一6—金剛垸基一苯氧基)一苯基]一l，1'一雙金剛烷、3，3，一雙[4一(4一氨基一3—羥基一6—(3—金剛烷基一金剛烷基)一苯氧基)一苯基]一l，1，一雙金剛烷、3,3，一雙[4一(4一氨基一3—羥基一6—四聯(lián)金剛烷基一苯氧基)一苯基]一l，1，一雙金剛垸、3，3，一雙[3—氨基一4一羥基一5—(l一(3，5—二甲基金剛烷基))一苯基]—5，5'，7，7，一四甲基一l，1，一雙金剛垸、3，3，一雙[3_氨基一4一羥基_5—(3一(5，5，，7，7，一四甲基一l，1，一雙金剛垸基))苯基]一5，5，，7，7'—四甲基一l，1'一雙金剛垸、2，2'—雙[3—氨基一4一羥基一5—(1一(3，5—二甲基金剛烷基))苯基]金剛垸、2，2，一雙[3—氨基一4一羥基一5—(3—(5，5，，7，7，一四甲基一l，1，一雙金剛烷基))苯基]金剛烷等的在側(cè)鏈上也可具有鉆石形結(jié)構(gòu)的化合物的在主鏈上具有鉆石形結(jié)構(gòu)的化合物等，但并不限于此。除此以外，還可以舉出，具有五聯(lián)金剛烷基、六聯(lián)金剛烷基、七聯(lián)金剛烷基、八聯(lián)金剛垸基、九聯(lián)金剛烷基、十聯(lián)金剛烷基、十一聯(lián)金剛垸基、五金剛垸基、六金剛烷基、七金剛烷基、八金剛垸基、九金剛烷基、十金剛烷基、十一金剛垸基等的雙氨酚等。作為上述具有含有多個具有多環(huán)式結(jié)構(gòu)的基團的低聚結(jié)構(gòu)的化合物，例如，可舉出，6,6，一雙(3—氨基一4—羥基一苯基)一l，1，一雙(二聯(lián)金剛烷)、6，6，一雙(3—氨基一4一羥基一苯氧基)一l，1，—雙(二聯(lián)金剛垸)、6,6，一雙[4一(3—羥基一4一氨基一苯氧基)一苯基]一l，1，一雙(二聯(lián)金剛烷)等，但只要是屬于鉆石形結(jié)構(gòu)的定義內(nèi)的結(jié)構(gòu)即可，并沒有特別限定。另外，對具有多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團的結(jié)合位置，沒有特別的限定。上述雙酚化合物中的具有金剛烷結(jié)構(gòu)的基團，也可與甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基以及叔丁基等的垸基；氟甲基、氟乙基、氟丙基以及氟丁基等的氟垸基等結(jié)合。作為這些化合物的例子，可舉出，3，3'一雙(3_氨基一4—羥基一苯基)一(5，5，，7，7，一四甲基)一l，1'一雙金剛烷、3，3，一雙[4一(4一氨基一3—羥基一苯氧基)一苯基]一(5，5，，7，7，一四甲基)一l，1，一雙金剛垸、3，3，一雙[4一(4一氨基一3—羥基一6—(3，5—二甲基金剛烷基)一苯氧基)一苯基]一(5，5，，7，7，一四甲基)雙金剛烷、3，3，一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一(5，5'—二丁基)一1，1，一雙金剛烷等，但并不限于此。這些雙氨酚化合物，即可單獨使用也可組合兩種以上使用。作為將鉆石形結(jié)構(gòu)導入雙氨酚化合物的方法，例如，可通過如下方法進行，即，從二溴代金剛烷與苯酚的弗里德-克拉夫茨反應(yīng)(Friedel-craftsreaction)合成雙一(4一羥基一苯基)一l，3—金剛烷，將羥基的鄰位硝基化，然后還原為氨基，從而合成雙一(3—氨基一4一羥基一苯基)一l，3—金剛烷。另外，通過使雙一(4一羥基一苯基)一l,3—金剛垸與4一硝基一3—芐氧基一1一氟苯進行酯化反應(yīng)，然后進行節(jié)氧基的脫保護以及硝基的還原反應(yīng)，從而得到雙一[4一(4一氨基一3—羥基一苯氧基)苯基]一l,3—金剛烷。1一1一2在鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團中具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物(即，在雙氨酚骨架上通過其它的原子結(jié)合鉆石形結(jié)構(gòu)的化合物)作為在該雙氨酚化合物中通過乙炔基而具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物的例子，可舉出2，2，一雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一6，6，一雙一金剛烷基乙炔基一l，1，一聯(lián)萘以及2，2，一雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一6，6'—雙一二金剛垸基乙炔基一l，1，一聯(lián)萘等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一聯(lián)萘的雙氨酚化合物；1，5—雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一2，6—雙一金剛烷基乙炔基一萘、1，5—雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一2，6—雙一二聯(lián)金剛烷基乙炔基一萘、1，5—雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一2—金剛垸基乙炔基萘以及1，5—雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一3—金剛烷基乙炔基萘等的具有乙炔基一萘的雙氨酚化合物；9，9一雙一4一(3—羥基—4一氨基苯氧基)苯基一2，7—雙一金剛垸基乙炔基一芴、9，9一雙一4一(3—羥基一4一氨基苯氧基)苯基一2，7—雙一二聯(lián)金剛烷基乙炔基一芴、9，9一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一2，7—雙一金剛垸基乙炔基一芴以及9，9一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一2，7—雙一二聯(lián)金剛垸基乙炔基一芴等的具有乙炔基一芴的雙氨酚化合物；1，3—雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一4一金剛烷基乙炔基一苯、1，3—雙一(3一羥基一4一氨基苯氧基)一4一二聯(lián)金剛烷基乙炔基一苯、1，4一雙一(3一羥基一4一氨基苯氧基)一3—金剛烷基乙炔基一苯以及1，4一雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一3—二金剛垸基乙炔基一苯等的具有乙炔基一苯的雙氨酚化合物；3，3，一二氨基一4，4'一二羥基一2—金剛烷基乙炔基一二苯基醚、3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一5—二聯(lián)金剛垸基乙炔基一二苯基醚以及3，3，一二氨基一4，4'一二羥基一6—三聯(lián)金剛垸基乙炔基一二苯基醚等的具有乙炔基一二苯基醚的雙氨酚化合物；3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一2—金剛烷基乙炔基一聯(lián)苯基、3，3，一二氨基一4，4，—二羥基一5—二聯(lián)金剛垸基乙炔基一聯(lián)苯基以及3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一6—三聯(lián)金剛烷基乙炔基一聯(lián)苯基等的具有乙炔基一聯(lián)苯基的雙氨酚化合物；3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一6，6，一雙金剛烷基乙炔基一二苯基砜、3，3'—二羥基一4，4'一二氨基一6，6'—雙二聯(lián)金剛垸基乙炔基一二苯基砜以及3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一2，2，一雙三聯(lián)金剛垸基乙炔基一二苯基砜等的具有乙炔基一二苯基砜的雙氨酚化合物；2，2—雙一(3—氨基一4一羥基一6—金剛烷基乙炔基一苯基)一丙烷、2，2—雙一(3—氨基一4一羥基一6—二聯(lián)金剛烷基乙炔基一苯基)一丙烷、2，2_雙一(3—羥基一4一氨基一6—三聯(lián)金剛垸基乙炔基一苯基)一丙烷以及2，2—雙一(3—氨基一4一羥基一2—四聯(lián)金剛烷基乙炔基一苯基)一丙烷等的具有乙炔基一苯基一丙垸的雙氨酚化合物；2，2—雙一(3—氨基一4一羥基一6—金剛垸基乙炔基一苯基)一六氟丙垸、2，2—雙一(3—氨基一4一羥基一6—二聯(lián)金剛烷基乙炔基一苯基)一六氟丙烷、2，2—雙一(3—羥基一4一氨基一6—三聯(lián)金剛烷基乙炔基一苯基)一六氟丙垸以及2，2—雙一(3—氨基一4一羥基一2—四聯(lián)金剛烷基乙炔基一苯基)一六氟丙烷等的具有乙炔基一苯基一六氟丙烷的雙氨酚化合物等，但并不限于此。另外，也可舉出，五聯(lián)金剛垸基、六聯(lián)金剛垸基、七聯(lián)金剛烷基、八聯(lián)金剛烷基、九聯(lián)金剛烷基、十聯(lián)金剛烷基、十一聯(lián)金剛烷基、五金剛烷基、六金剛烷基、七金剛垸基、八金剛烷基、九金剛烷基、十金剛垸基、十一金剛烷基、金剛烷基苯基、二聯(lián)金剛烷基苯基、三聯(lián)金剛垸基苯基、四聯(lián)金剛烷基苯基、五聯(lián)金剛垸基苯基、六聯(lián)金剛垸基苯基、七聯(lián)金剛烷基苯基、八聯(lián)金剛烷基苯基、九聯(lián)金剛垸基苯基、十聯(lián)金剛烷基苯基、十一聯(lián)金剛烷基苯基、二金剛垸基苯基、三金剛烷基苯基、四金剛垸基苯基、五金剛垸基苯基、六金剛垸基苯基、七金剛烷基苯基、八金剛烷基苯基、九金剛烷基苯基、十金剛烷基苯基、十一金剛烷基苯基、金剛烷基苯氧基苯基、二聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、三聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、四聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、五聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、六聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、七聯(lián)金剛垸基苯氧基苯基、八聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、九聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、十聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、十一聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基、二金剛烷基苯氧基苯基、三金剛垸基苯氧基苯基、四金剛垸基苯氧基苯基、五金剛烷基苯氧基苯基、六金剛烷基苯氧基苯基、七金剛烷基苯氧基苯基、八金剛烷基苯氧基苯基、九金剛烷基苯氧基苯基、十金剛烷基苯氧基苯基以及十一金剛烷基苯氧基苯基等，與乙炔基結(jié)合的雙氨酚化合物等。這些雙氨酚化合物即可單獨使用，也可組合兩種以上使用。上述雙酚化合物中的具有金剛烷結(jié)構(gòu)的基團，也可與甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基以及叔丁基等的烷基；氟甲基、氟乙基、氟丙基以及氟丁基等的氟烷基等結(jié)合。另外，作為將具有鉆石形結(jié)構(gòu)的官能團引入雙氨酚化合物的方法，在具有鉆石形結(jié)構(gòu)的乙炔基的情形，例如，可舉出l一乙炔基金剛烷與鹵化化合物的偶合反應(yīng)的方法。具體地，以具有鄰羥基硝基苯結(jié)構(gòu)的鹵化化合物與乙炔基金剛烷的偶合反應(yīng)作為基礎(chǔ)，通過最合適的催化劑的選擇，不還原炔鍵地進行氨基化反應(yīng)而將金剛垸基乙炔基引入雙氨酚化合物。l一2不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物1一2—1具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的雙氨酚化合物作為具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的雙氨酚化合物的例子，可舉出2，2，一雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一6，6，一雙一乙炔基一l，1，一聯(lián)萘以及2，2，一雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一6，6，一雙一苯基乙炔基一l，1'一聯(lián)萘等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一聯(lián)萘的雙氨酚化合物；1，5—雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一2,6—雙一乙炔基一萘、1，5—雙—(3—羥基一4一氨基苯氧基)—2，6—雙一苯基乙炔基一萘、1，5—雙一(3—羥基—4一氨基苯氧基)一2—苯基乙炔基萘以及1，5—雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一3—苯基乙炔基萘等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一萘的雙氨酚化合物；9，9一雙一4一(3—羥基一4一氨基苯氧基)苯基一2，7—雙一乙炔基一荷、9，9一雙一4一(3—羥基一4一氨基苯氧基)苯基一2，7—雙一苯基乙炔基一藥、9，9一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一2，7—雙一乙炔基一芴以及9，9一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一2，7—雙一苯基乙炔基一芴等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一芴的雙氨酚化合物；1，3—雙一(3—羥基—4一氨基苯氧基)一4一乙炔基一苯、1，3—雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一4一苯基乙炔基一苯、1，4一雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一3—乙炔基一苯以及1，4一雙一(3—羥基一4一氨基苯氧基)一3一苯基乙炔基一苯等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一苯的雙氨酚化合物；3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一2—苯基乙炔基一二苯基醚、3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一5—苯基乙炔基一二苯基醚以及3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一6—苯基乙炔基一二苯基醚等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一二苯基醚的雙氨酚化合物；3，3，一二氨基一4，4'一二羥基一2—苯基乙炔基一聯(lián)苯基、3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一5—苯基乙炔基一聯(lián)苯基以及3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一6—苯基乙炔基一聯(lián)苯基等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一聯(lián)苯基的雙氨酚化合物；3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一6，6，一二苯基乙炔基一二苯基砜、3，3，一二羥基一4，4，一二氨基一6，6，一二苯基乙炔基一二苯基砜以及3，3，一二氨基一4，4'_二羥基一2，2'—二苯基乙炔基一二苯基砜等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一二苯基砜的雙氨酚化合物；2，2—雙一(3—氨基一4一羥基一6—乙炔基一苯基)一丙垸、2，2_雙一(3—氨基一4一羥基一6—苯基乙炔基一苯基)一丙垸、2，2_雙_(3—羥基一4一氨基一6—苯基乙炔基一苯基)一丙垸以及2，2—雙一(3—氨基一4一羥基一2—苯基乙炔基一苯基)一丙烷等的具有乙炔基(苯基乙炔基)一苯基一丙垸的雙氨酚化合物；2，2—雙一(3一氨基一4一羥基一6—乙炔基一苯基)一六氟丙烷、2，2—雙一(3—氨基—4一羥基一6—苯基乙炔基一苯基)一六氟丙烷、2，2—雙一(3—羥基一4一氨基一6—苯基乙炔基一苯基)一六氟丙烷以及2，2_雙一(3—氨基一4一羥基一2—苯基乙炔基一苯基)一六氟丙垸等的具有乙炔基(苯基乙炔基)—苯基一六氟丙烷的雙氨酚化合物等，這些化合物即可單獨使用，也可并用兩種以上。其中，優(yōu)選由具有乙炔基(苯基乙炔基)一萘的雙氨酚化合物以及具有乙炔基(苯基乙炔基)一芴的雙氨酚化合物中選出的一種以上的具有官能團的雙氨酚化合物。由此，能夠提高聚苯并噁唑樹脂的高溫時的彈性系數(shù)。作為將鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團引入雙氨酚化合物的方法，例如，可舉出向鹵化化合物的偶合反應(yīng)的方法。具體地，以具有鄰羥基硝基苯結(jié)構(gòu)的卣化化合物與乙炔基苯的偶合反應(yīng)作為基礎(chǔ)，通過最合適的催化劑的選擇，不還原炔鍵地進行氨基化反應(yīng)而將官能團引入雙氨酚化合物。1一2—2不具有鉆石形結(jié)構(gòu)以及鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的雙氨酚化合物本發(fā)明中，雙氨酚化合物"不具有鉆石形結(jié)構(gòu)以及鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團"，是指(1)不含有鉆石形結(jié)構(gòu)；并且(2)不含有雙氨酚本質(zhì)上具有的氨基以及酚羥基以外的官能團。作為不具有鉆石形結(jié)構(gòu)以及鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的雙氨酚化合物的例子，可舉出3，4一二氨基一間苯二酚以及2，5—二氨基一1，4一二羥基苯等的具有二羥基苯的化合物；3，3'—二氨基一4，4，一二羥基一聯(lián)苯基以及3，3，一二羥基一4，4，一二氨基一聯(lián)苯基等的具有二羥基一聯(lián)苯基的化合物；3，3'—二氨基一4，4'一二羥基一二苯基醚等的具有二羥基一二苯基醚的雙氨酚化合物；9，9一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)芴以及9，9—雙(4一(4一氨基一3—羥基)一苯氧基一苯基)芴等的具有芴骨架的化合物；2，2'—雙_(4一氨基一3—羥基一苯氧基)一l，T一聯(lián)萘等的具有聯(lián)萘骨架的化合物；3，3，一二氨基一4，4，一二羥基一二苯基砜、雙(4—(4一氨基一3—羥基)一苯氧基一苯基)砜以及雙(4一(4一羥基一3—氨基)一苯氧基一苯基)砜等的具有砜基團的化合物；2，2—雙(3—氨基一4一羥基苯基)六氟丙烷等的具有氟或氟化垸基的化合物。這些雙氨酚化合物，可單獨使用，也可組合兩種以上使用。其中，優(yōu)選由具有二羥基苯的化合物、具有二羥基一二苯基醚的化合物、具有芴骨架的化合物、具有聯(lián)萘骨架的化合物中選出的一種以上的雙氨酚化合物。l一3具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸，沒有特別的限定，在分子內(nèi)具有上述鉆石形結(jié)構(gòu)的單元結(jié)構(gòu)。由此，能夠進一步提高聚苯并噁唑樹脂的彈性系數(shù)。1一3—1具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸本發(fā)明中，具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸，包括在二羧酸骨架內(nèi)具有鉆石形結(jié)構(gòu)的化合物以及在二羧酸骨架上直接或通過其它的原子與鉆石形結(jié)構(gòu)結(jié)合的化合物。作為具有鉆石形結(jié)構(gòu)且不具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的二羧酸的例子，例如，可舉出，1，3—金剛烷一二羧酸、2,2—金剛垸一二羧酸以及1，2—金剛垸一二羧酸等的金剛烷一二羧酸；1，6—二聯(lián)金剛垸二羧酸、4，9一二聯(lián)金剛烷二羧酸以及2，2—二聯(lián)金剛垸二羧酸等的二聯(lián)金剛垸二羧酸類；1，3—三聯(lián)金剛烷二羧酸以及1，6—三聯(lián)金剛烷二羧酸等的三聯(lián)金剛烷二羧酸類；1，3—四聯(lián)金剛垸一二羧酸、1,6—四聯(lián)金剛垸二羧酸以及1，8一四聯(lián)金剛烷二羧酸等的四聯(lián)金剛烷二羧酸類；3，3'—(1，1'一雙金剛垸)一二羧酸、3，5—(1，1，一雙金剛烷)一二羧酸、2，2—(1，1，一雙金剛烷)一二羧酸、2，2，一(1，1，一雙金剛烷)一二羧酸以及2，5一(1，1，一雙金剛烷)一二羧酸等的雙金剛烷一二羧酸類；1，3，，一(1，r，r，一三金剛烷)一二羧酸、2，2—(i，r，r，一三金剛烷)—二羧酸、2，，2，一(1，1，，1，，一三金剛烷)一二羧酸、3，5—(1，r，r，一三金剛烷)一二羧酸、3，，5，一(i，r，r，一三金剛垸)一二羧酸以及3，，5，，一(i，r，r，一三金剛烷)一二羧酸等的三金剛烷二羧酸類；1，3—雙(4一羧基一苯基)一金剛烷、1，3—雙(3一羧基一苯基)一金剛烷、1，3—雙(2—羧基一苯基)一金剛垸、雙(4一羧基一苯基)一二聯(lián)金剛烷、雙(3—羧基一苯基)一二聯(lián)金剛垸、雙(2—羧基一苯基)一二聯(lián)金剛烷、雙(4一羧基一苯基)一三聯(lián)金剛烷、雙(3—羧基一苯基)一三聯(lián)金剛垸、雙(2—羧基一苯基)一三聯(lián)金剛烷、雙(4一羧基一苯基)一四聯(lián)金剛垸、雙(3—羧基一苯基)一四聯(lián)金剛烷、雙(2—羧基一苯基)一四聯(lián)金剛垸、3—雙(4一羧基一苯氧基)一金剛垸、1，3—雙(3—羧基一苯氧基)一金剛烷、1，3—雙(2—羧基一苯氧基)_金剛烷、雙(4一羧基一苯氧基)一二聯(lián)金剛垸、雙(3-羧基一苯氧基)一二聯(lián)金剛垸、雙(2—羧基一苯氧基)一二聯(lián)金剛垸、雙(4一羧基一苯氧基)一三聯(lián)金剛垸、雙(3—羧基一苯氧基)一三聯(lián)金剛烷、雙(2—羧基一苯氧基)一三聯(lián)金剛烷、雙(4一羧基一苯氧基)一四聯(lián)金剛垸、雙(3—羧基一苯氧基)一四聯(lián)金剛垸、雙(2—羧基一苯氧基)一四聯(lián)金剛烷、1，3—雙(4一羧基一苯氧基一苯基)一金剛垸、1，3—雙(3—羧基一苯氧基一苯基)一金剛烷、1，3—雙(2—羧基一苯氧基一苯基)一金剛垸、雙(4一羧基一苯氧基一苯基)一二聯(lián)金剛垸、雙(3—羧基一苯氧基一苯基)一二聯(lián)金剛烷、雙(2—羧基一苯氧基一苯基)一二聯(lián)金剛烷、雙(4一羧基一苯氧基一苯基)一三聯(lián)金剛烷、雙(3—羧基一苯氧基一苯基)一三聯(lián)金剛垸、雙(2—羧基一苯氧基一苯基)一三聯(lián)金剛烷、雙(4一羧基一苯氧基一苯基)一四聯(lián)金剛烷、雙(3—羧基一苯氧基一苯基)一四聯(lián)金剛垸以及雙(2—羧基一苯氧基一苯基)一四聯(lián)金剛烷等的具有鉆石形結(jié)構(gòu)的多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的雙安息香酸；雙(4一羧基一苯基)一l，1，一雙金剛垸、雙(3—羧基一苯基)一l，1，一雙金剛垸、雙(2—羧基一苯基)一l，1，一雙金剛烷、雙(4—羧基一苯基)一l,1，，1，，一三金剛烷、雙(3—羧基—苯基)一l，1，，1，，一三金剛垸、雙(2—羧基—苯基)一l，1，，1，，一三金剛烷、雙(4一羧基一苯基)一i，r，r，，r，，一四金剛烷、雙(3—羧基一苯基)—i，r，r，，r，，一四金剛烷、雙(2—羧基一苯基)一i，r，r，，r，，一四金剛烷、雙(4一羧基一苯氧基)一i，r一雙金剛烷、雙(3—羧基一苯氧基)一i，r一雙金剛烷、雙(2—羧基一苯氧基)一i，r一雙金剛烷、雙(4一羧基一苯氧基)一i，r,r，一三金剛烷、雙(3—羧基一苯氧基)一i，r，r，一三金剛垸、雙(2—羧基一苯氧基)一i，r，r，一三金剛烷、雙(4一羧基一苯氧基)一i，r，r，，r，，一四金剛垸、雙(3—羧基一苯氧基)一i，r，r，，r，，一四金剛烷、雙(2—羧基一苯氧基)一1，r，r，，r，，一四金剛垸、雙(4—羧基一苯氧基一苯基)一i，r一雙金剛垸、雙(3—羧基一苯氧基一苯基)一i，i'一雙金剛垸、雙(2—羧基一苯氧基一苯基)一i，r一雙金剛垸、雙(4一羧基一苯氧基一苯基)—1，r，r，一三金剛垸、雙(3—羧基一苯氧基一苯基)一i，r，r，一三金剛烷、雙(2—羧基一苯氧基一苯基)一l，i，，i，，一三金剛烷、雙(4一羧基一苯氧基一苯基)一i，i，，i'，，r，，一四金剛垸、雙G—羧基一苯氧基一苯基)一i，i，，r，，r，，一四金剛烷以及雙(2—羧基一苯氧基一苯基)一i，i，，i，，，i，，，一四金剛垸等的具有低聚金剛烷結(jié)構(gòu)或金剛烷基數(shù)更多的高聚金剛烷結(jié)構(gòu)的安息香酸；進一步地，也可如3，3'一雙[4一(3—羧基一6—金剛垸基一苯氧基)一苯基]一l，1，—雙金剛烷、3，3，—雙[4一(3—羧基一6—(3—金剛垸基一金剛垸基)—苯氧基)一苯基]一l，1，一雙金剛垸、3，3，一雙[4一(4一羧基一6—四聯(lián)金剛烷基一苯氧基)一苯基]一l，1'一雙金剛烷等的在側(cè)鏈上也具有金剛烷基結(jié)構(gòu)的主鏈上具有金剛烷結(jié)構(gòu)的化合物等，但并不限定于此。另外，也可舉出，具有五聯(lián)金剛垸基、六聯(lián)金剛烷基、七聯(lián)金剛烷基、八聯(lián)金剛垸基、九聯(lián)金剛烷基、十聯(lián)金剛垸基、十一聯(lián)金剛垸基、六金剛烷基、五金剛烷基、六金剛烷基、七金剛垸基、八金剛浣基、九金剛垸基、十金剛烷基以及十一金剛垸基等的二羧酸類等。另外，作為上述具有含有多個具有多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團的低聚結(jié)構(gòu)的化合物，例如，可舉出，1，1，一雙(二聯(lián)金剛垸)一6，6，一二羧酸、6，6'—雙(4一羧基一苯基)一l,1'一雙(二聯(lián)金剛烷)、6，6'一雙(4一羧基一苯氧基)一l，1，一雙(二聯(lián)金剛垸)、6，6，一雙[4一(4一羧基一苯氧基)一苯基]一l，1'一雙(二聯(lián)金剛垸)等，但只要是屬于鉆石形結(jié)構(gòu)的定義內(nèi)的結(jié)構(gòu)即可，并沒有特別限定。另外，對具有多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團的結(jié)合位置，也同樣沒有特別的限定。上述二羧酸化合物中的具有金剛烷結(jié)構(gòu)的基團，也可與甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基以及叔丁基等的垸基；氟甲基、氟乙基、氟丙基以及氟丁基等的氟烷基等結(jié)合。作為這些化合物的例子，可舉出，3，3'一(5，5，，7，7，一四甲基一l，1，一雙金剛垸)一二羧酸、3，3，一(5，5，，7，7，一四乙基一l，1，一雙金剛烷)一二羧酸、3，3，一(5，5，，7，7，一四丁基一l，1'一雙金剛垸)一二羧酸、3，3，一(5，5'—二甲基一l,1，一雙金剛烷)—二羧酸、3，3，一(5，5，一二乙基一1，1，一雙金剛垸)一二羧酸、3,3'—(5，5，一二丁基一l，1，一雙金剛垸)一二羧酸、3，3，一雙(4一羧基一苯基)一(5,5，，7，7，一四甲基)一l，1，一雙金剛烷、3，3，—雙[4一(4一羧基—苯氧基)一苯基]一(5，5，，7，7，)—1，1，一雙金剛烷、3，3，—雙[4一(4一羧基一6—(3,5—二甲基金剛烷基)一苯氧基)一苯基]一(5，5'，7，7'—四甲基)雙金剛烷、3，3，一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一(5，5，一二丁基)—1，1，一雙金剛烷等，但并不限于此。上述中，優(yōu)選金剛烷二羧酸、雙金剛垸二羧酸、四金剛垸二羧酸，作為其具體實例，優(yōu)選金剛烷一l，3—二羧酸、1，1'一雙金剛烷一3，3'—二羧酸、5，7—二甲基一金剛烷一1，3—二羧酸、5，5，，7，7，一四甲基一1，1，一雙金剛烷一3，3，一二羧酸、四金剛烷二羧酸等，更優(yōu)選雙金剛烷二羧酸。這些二羧酸中的具有金剛烷結(jié)構(gòu)的基團，也可與甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基以及叔丁基(具體地限定)等的烷基；氟甲基、氟乙基、氟丙基以及氟丁基等的氟烷基等結(jié)合。上述的二羧酸可單獨使用，也可混合兩種以上使用。作為將具有鉆石形結(jié)構(gòu)的官能團引入上述二羧酸化合物的方法，例如，可由二溴代金剛烷與溴代苯的弗里德-克拉夫茨反應(yīng)(Friedel-craftsreaction)合成雙一(4一羥基一苯基)一l，3—金剛烷，將溴基團用烷基鋰陰離子化，通過碳酸氣體、酸處理，合成雙一(4一羧基一苯基)一l，3—金剛烷。另外，可通過使雙一(4一羥基一苯基)一l，3—金剛烷與4一溴代安息香酸甲酯進行醚化反應(yīng)，然后通過脫酯還原反應(yīng)，從而合成雙一[4一(4一羧基一苯氧基)苯基]一l，3—金剛垸。l一3—2鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團中具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸本發(fā)明中，二羧酸"在鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團中具有鉆石形結(jié)構(gòu)"是指在二羧酸骨架上通過其它的原子結(jié)合鉆石形結(jié)構(gòu)的化合物。作為在該二羧酸中通過乙炔基而具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸的例子，例如，可舉出，3—金剛烷基乙炔基鄰苯二甲酸、4一金剛烷基乙炔基鄰苯二甲酸、5—金剛烷基乙炔基間苯二甲酸等的乙炔基間苯二甲酸、2—金剛垸基乙炔基對苯二甲酸以及3—金剛垸基乙炔基對苯二甲酸等的乙炔基對苯二甲酸等的乙炔基苯二甲酸；2—金剛烷基乙炔基一1，5—萘二羧酸以及3—金剛垸基乙炔基一l，5—萘二羧酸等的乙炔基一萘二羧酸；4，4，一雙金剛烷基乙炔基一2，2，一聯(lián)苯基二羧酸以及5，5，一雙金剛垸基乙炔基一2，2，_聯(lián)苯基二羧酸等的二乙炔基一聯(lián)苯基二羧酸；2，2—雙(2—羧基一3—金剛垸基乙炔基苯基)丙垸以及2，2—雙(2—羧基一4一金剛垸基乙炔基苯基)丙烷等的雙(羧基一乙炔基苯基)丙烷；2，2—雙(2—羧基一4一金剛垸基乙炔基苯基)六氟丙垸以及2，2_雙(3—羧基一5—金剛垸基乙炔基苯基)六氟丙烷等的雙(羧基—乙炔基苯基)六氟丙垸；4一金剛垸基乙炔基一1，3一二羧基環(huán)丙垸、5—金剛烷基乙炔基一2，2—二羧基環(huán)丙烷、1，3_雙(4一羧基一苯氧基)一5—金剛垸塞乙炔基一苯的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體、1，3—雙(4一羧基一苯基)一5—金剛烷基乙炔基一苯的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體以及5—(3—金剛垸基乙炔基一苯氧基)一間苯二甲酸等的(乙炔基一苯氧基)間苯二甲酸；2一(l一金剛烷基乙炔基一苯氧基)對苯二甲酸等的(乙炔基一苯氧基)對苯二甲酸等的(乙炔基一苯氧基)苯二甲酸等，但其中的二羧酸中的金剛烷基乙炔基部位也可以是二聯(lián)金剛垸基乙炔基、三聯(lián)金剛垸基乙炔基、四聯(lián)金剛烷基乙炔基、五聯(lián)金剛烷基乙炔基、六聯(lián)金剛烷基乙炔基、七聯(lián)金剛烷基乙炔基、八聯(lián)金剛垸基乙炔基、九聯(lián)金剛烷基乙炔基、十聯(lián)金剛垸基乙炔基以及十一聯(lián)金剛烷基乙炔基等的基團；二金剛烷基乙炔基、三金剛烷基乙炔基、四金剛烷基乙炔基、五金剛垸基乙炔基、六金剛烷基乙炔基、七金剛烷基乙炔基、八金剛烷基乙炔基、九金剛垸基乙炔基、十金剛烷基乙炔基以及十一金剛垸基乙炔基等的基團；金剛烷基苯基乙炔基、二聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、三聯(lián)金剛垸基苯基乙炔基、四聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、五聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、六聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、七聯(lián)金剛垸基苯基乙炔基、八聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基、九聯(lián)金剛垸基苯基乙炔基、十聯(lián)金剛烷基苯基乙炔基以及十一聯(lián)金剛垸基苯基乙炔基等的基團；雙金剛烷基苯基乙炔基、三金剛烷基苯基乙炔基、四金剛垸基苯基乙炔基、五金剛烷基苯基乙炔基、六金剛烷基苯基乙炔基、七金剛烷基苯基乙炔基、八金剛烷基苯基乙炔基、九金剛烷基苯基乙炔基、十金剛烷基苯基乙炔基以及十一金剛烷基苯基乙炔基等的基團；金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、二聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、三聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、四聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、五聯(lián)金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、六聯(lián)金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、七聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、八聯(lián)金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、九聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、十聯(lián)金剛垸基苯氧基苯基乙炔基以及十一聯(lián)金剛烷基苯氧基苯基乙炔基等的基團；雙金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、三金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、四金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、五金剛垸基苯氧基苯基乙炔基、六金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、七金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、八金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、九金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、十金剛烷基苯氧基苯基乙炔基以及十一金剛烷基苯氧基苯基乙炔基等的基團。其中，更優(yōu)選金剛烷基苯基乙炔基、雙金剛烷基苯基乙炔基、金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、雙金剛烷基苯氧基苯基乙炔基等。另夕卜，也優(yōu)選5—苯基乙炔基一金剛垸一1，3—二羧酸、5—乙炔基一金剛烷一l，3—二羧酸、5—苯基乙炔基一1，1，一雙金剛烷一3，3，一二羧酸、5—乙炔基一1，1，一雙金剛垸一3，3，一二羧酸等的羧酸結(jié)合到金剛烷結(jié)構(gòu)上的化合物。這些二羧酸即可單獨使用，也可組合兩種以上使用。上述二羧酸中的具有金剛烷結(jié)構(gòu)的基團，也可與甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基以及叔丁基等的垸基；氟甲基、氟乙基、氟丙基以及氟丁基等的氟烷基等結(jié)合。其中，特別地，優(yōu)選二甲基金剛烷基苯基乙炔基、三甲基金剛烷基苯基乙炔基、四甲基雙金剛烷基苯基乙炔基、五甲基雙金剛烷基苯基乙炔基、二甲基金剛垸基苯基乙炔基、三甲基金剛垸基苯基乙炔基、四甲基雙金剛烷基苯氧基苯基乙炔基、五甲基雙金剛垸基苯氧基苯基乙炔基等。1一4不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸1一4一1具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的二羧酸作為具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的二羧酸，例如，可以舉出，3—乙炔基鄰苯二甲酸、4一乙炔基鄰苯二甲酸、5—乙炔基間苯二甲酸等的乙炔基間苯二甲酸、2—乙炔基對苯二甲酸以及3—乙炔基對苯二甲酸等的乙炔基對苯二甲酸等的乙炔基苯二甲酸；2—乙炔基一1，5—萘二羧酸以及3—乙炔基一l，5—萘二羧酸等的乙炔基一萘二羧酸；4，4，一二乙炔基一2，2，一聯(lián)苯基二羧酸以及5，5'—二乙炔基一2，2，一聯(lián)苯基二羧酸等的二乙炔基一聯(lián)苯基二羧酸；2，2—雙(2—羧基一3—乙炔基苯基)丙垸以及2，2—雙(2一羧基一4一乙炔基苯基)丙烷等的雙(羧基一乙炔基苯基)丙烷；2，2—雙(2—羧基一4一乙炔基苯基)六氟丙烷以及2，2—雙(3—羧基一5—乙炔基苯基)六氟丙烷等的雙(羧基一乙炔基苯基)六氟丙烷；4一乙炔基一1，3—二羧基環(huán)丙垸、5—乙炔基一2，2—二羧基環(huán)丙烷、1，3—雙(4一羧基一苯氧基)一5—乙炔基一苯的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體、1，3—雙(4一羧基一苯基)一5—乙炔基一苯的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體、5—(4一乙炔基一苯氧基)一間苯二甲酸以及5—(3—乙炔基一苯氧基)一間苯二甲酸等的(乙炔基一苯氧基)間苯二甲酸；2—(l一乙炔基一苯氧基)對苯二甲酸等的(乙炔基一苯氧基)對苯二甲酸等的(乙炔基一苯氧基)苯二甲酸；5—(l一乙炔基一苯基)一間苯二甲酸等的(乙炔基一苯基)一間苯二甲酸、2—(l一乙炔基一苯基)一對苯二甲酸等的(乙炔基一苯基)一對苯二甲酸的(乙炔基一苯基)一苯二甲酸；3—苯基乙炔基鄰苯二甲酸以及5—苯基乙炔基間苯二甲酸等的苯基乙炔基鄰苯二甲酸、2—苯基乙炔基對苯二甲酸以及3—苯基乙炔基對苯二甲酸等的苯基乙炔基對苯二甲酸等的苯基乙炔基對苯二甲酸；2—苯基乙炔基一1，5—萘二羧酸等的苯基乙炔基一萘二羧酸；3，3，一二苯基乙炔基一2，2'一聯(lián)苯基二羧酸等的二苯基乙炔基一聯(lián)苯基二羧酸以及2，2—雙(2—羧基一3—苯基乙炔基苯基)丙烷等的雙(羧基一苯基乙炔基苯基)丙烷；2，2_雙(2—羧基一4一苯基乙炔基苯基)六氟丙垸等的雙(羧基一苯基乙炔基苯基)六氟丙烷；5—(l一苯基乙炔基一苯氧基)間苯二甲酸、5—(2—苯基乙炔基一苯氧基)間苯二甲酸以及5—(3—苯基乙炔基一苯氧基)間苯二甲酸等的(苯基乙炔基一苯氧基)一間苯二甲酸；2—(l一苯基乙炔基一苯氧基)對苯二甲酸等的(苯基乙炔基一苯氧基)對苯二甲酸等的(苯基乙炔基一苯氧基)苯二甲酸等具有苯基乙炔基骨架的二羧酸；3—己炔基鄰苯二甲酸、2—己炔基對苯二甲酸、2—己炔基一1，5—萘二羧酸、3，3，一二己炔基一2，2'—聯(lián)苯基二羧酸、2，2—雙(2—羧基一3—己炔基苯基)丙烷、2，2—雙(3—羧基一5—己炔基苯基)六氟丙烷、4一己炔基一1，3—二羧基環(huán)丙垸、1，3—雙(4一羧基一苯氧基)一5—己炔基一苯的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體以及5_(3—己炔基一苯氧基)一間苯二甲酸等的具有烷基炔基的二羧酸；4，4，一二苯乙炔二羧酸以及3，4，一二苯乙炔二羧酸等的二苯乙炔二羧酸等的分子內(nèi)具有炔鍵骨架的二羧酸；1，2—聯(lián)亞苯基二羧酸以及1，3—聯(lián)亞苯基二羧酸等的具有聯(lián)亞苯基骨架的二羧酸等，這些化合物可單獨使用，也可并用兩種以上。其中，優(yōu)選從乙炔基間苯二甲酸、(乙炔基一苯氧基)間苯二甲酸、苯基乙炔基一間苯二甲酸以及(苯基乙炔基一苯氧基)間苯二甲酸選出的一種以上的二羧酸。由此，能夠更加提高最終所得到的聚苯并噁唑樹脂的交聯(lián)密度。作為將鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團引入上述二羧酸的方法，例如，可舉出JP特開2002—20U58號公報中記載的方法。即，可使用鹵化的二羧酸酯或引入羥基的二羧酸酯而引入官能團。更具體地，作為起始原料，使用鹵化的二羧酸酯，通過與苯基乙炔發(fā)生偶合反應(yīng)，得到苯基乙炔一二羧酸酯，通過用堿式水解進行脫酯，可獲得苯基乙炔一二羧酸。另外，上述二苯乙炔二羧酸，例如可通過，從安息香酸酯衍生物制作芪，然后制作合成二苯乙炔骨架的方法，以及通過使用赫克反應(yīng)(Heckreaction)由安息香酸酯衍生物與苯基乙炔基衍生物引入二苯乙炔骨架而合成的方法等。另外，上述具有聯(lián)亞苯基骨架的二羧酸，例如，可舉出JournalofPolymerScience:PolymerLettersEdition,Vol.16，653-656(9178)中記載的方法。具體地，通過4，4'一聯(lián)苯基一二羧酸二甲基的碘化、脫碘而引起的聯(lián)亞苯基化，然后通過脫脂反應(yīng)，可得到2，7—聯(lián)亞苯基二羧酸。l一4一2不具有鉆石形結(jié)構(gòu)以及鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的二羧酸本發(fā)明中，二羧酸"不具有鉆石形結(jié)構(gòu)以及鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團"，是指(1)不含有鉆石形結(jié)構(gòu)；并且(2)不含有二羧酸本質(zhì)上具有的羧基以外的官能團。作為該二羧酸的例子，例如，可舉出間苯二甲酸、對苯二甲酸、2—氟代間苯二甲酸以及2，3，5，6—四氟代對苯二甲酸等的苯二甲酸；4，4，一聯(lián)苯基二羧酸、3，4'一聯(lián)苯基二羧酸、3，3'—聯(lián)苯基二羧酸、4，4'一雙(4一羧基苯氧基)聯(lián)苯基以及4，4'一雙(3—羧基苯氧基)聯(lián)苯基等的聯(lián)苯基二羧酸；1，4一萘二羧酸、2，3—萘二羧酸以及2，6—萘二羧酸等萘二羧酸；4，4，一磺酰雙安息香酸、3，4，一磺酰雙安息香酸、3，3，一磺酰雙安息香酸、4，4'一氧代雙安息香酸、3，4'一氧代雙安息香酸、3，3'一氧代雙安息香酸等的雙安息香酸；2，2—雙(4一羧基苯基)丙垸、2，2一雙(3—羧基苯基)丙烷、2，2—雙(4一羧基苯基)六氟丙垸以及2，2一雙(3—羧基苯基)六氟丙烷等的雙羧基苯基一丙垸(六氟丙烷)；9，9一雙(4一(4一羧基苯氧基)苯基)芴、9，9一雙(4一(3—羧基苯氧基)苯基)芴、9，9—雙(2—羧基一苯基)芴以及9，9一雙(3—羧基一苯基)芴等的具有芴骨架的二羧酸；4，4，一雙(4一羧基苯氧基)一對聯(lián)三苯以及4，4，一雙(4一羧基苯氧基)一間聯(lián)三苯等的雙一羧基苯基一聯(lián)三苯等，這些化合物即可單獨使用，也可并用兩種以上。1一5具有第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造方法具有第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，可通過上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)、上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)、或上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)而得到，作為該反應(yīng)方法，例如，可舉出酸氯化物法。具體地，在N，N'—二甲基甲酰胺等的催化劑存在下，使上述二羧酸與過量的氯化亞硫酰在室溫13(TC左右反應(yīng)，通過加熱減壓蒸餾除去過量的氯化亞硫酰后，將殘渣用己烷等的溶劑重結(jié)晶得到二羧酸氯化物。接下來，將該二羧酸氯化物與上述雙氨酚化合物溶解在N—甲基一2—吡咯烷酮、N，N'—二甲基乙酰胺等的極性溶劑中，在吡啶等的受酸劑存在下，使其在一3(TC室溫左右的條件下反應(yīng)，由此可得到具有第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體(在側(cè)鏈具有官能團的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體)。上述第一重復(fù)單元的重復(fù)單元數(shù)，沒有特別的限定，優(yōu)選為21000,特別優(yōu)選為5100。重復(fù)單元數(shù)在上述范圍內(nèi)，則作業(yè)性特別是溶解性優(yōu)異。另外，也可以用活性酯法代替酸氯化物法。在活性酯法中，例如，通過上述二羧酸氯化物與l一羥基苯并三唑的反應(yīng)制造苯并三氨基酯(^y、/卜IJ7^》工7亍，)，與上述方法同樣地操作使該酯與上述雙氨酚在室溫或以上的溫度下進行反應(yīng)即可。在上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造中，在通過上述交聯(lián)劑使得到的樹脂交聯(lián)時，只要使用在上述雙氨酚化合物、二羧酸化合物或兩者中具有能與上述交聯(lián)劑交聯(lián)的基團的化合物即可。2.具有第二重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體上述具有第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，也可進一步含有上述第二重復(fù)單元。上述第二重復(fù)單元，可通過使不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)而得到。上述具有第二重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，是形成不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的聚苯并噁唑樹脂的前驅(qū)體。上述第一重復(fù)單元與第二重單元，可以共聚物形式也可以單純的混合物的形式構(gòu)成苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。進一步地，在共聚物的情形下，上述第一重復(fù)單元與第二重復(fù)單元可為無規(guī)共聚物、交互共聚物或嵌段共聚物中的任一種。作為具有第二重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體中使用的不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物以及不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物，可使用上述具有第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體中使用的l一2)中記載的不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物、以及1一4)中記載的不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物。2—1具有第二重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物的反應(yīng)，可舉出上述的酸氯化物法。其結(jié)果是，可得到在側(cè)鏈上不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。上述第二重復(fù)單元的重復(fù)單元數(shù)，沒有特別的限定，優(yōu)選為21000，特別優(yōu)選為5100。重復(fù)單元數(shù)在上述范圍內(nèi)，則作業(yè)性特別是溶解性優(yōu)異。另外，也可以用活性酯法代替酸氯化物法。在活性酯法中，例如，通過上述二羧酸氯化物與l一羥基苯并三唑的反應(yīng)制造苯并三氨基酯，與上述方法同樣地操作使該酯與上述雙氨酚在室溫或以上的溫度下進行反應(yīng)即可。3.具有第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體進一步地對本發(fā)明中使用的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體進行詳細地說明，則其含有上述通式(1)表示的第三重復(fù)單元。上述具有第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，是含有來自雙氨酚化合物的鉆石形結(jié)構(gòu)的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。由此，在制成聚苯并噁唑樹脂時，可提高彈性系數(shù)。提高彈性系數(shù)，則可提高制作半導體裝置的工序中的加工性能。上述第三重復(fù)單元的重復(fù)單元數(shù)(k),沒有特別的限定，優(yōu)選為21000的整數(shù)，特別優(yōu)選為5100的整數(shù)，最優(yōu)選為1080的整數(shù)。重復(fù)單元數(shù)在上述范圍內(nèi)，則將苯并噁唑樹脂前驅(qū)體溶解到溶劑中時的作業(yè)性優(yōu)異。3—1具有第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造作為上述具有第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造方法，可使雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而合成，例如，可使上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與不具有上述官能團的二羧酸化合物反應(yīng)、上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的二羧酸化合物反應(yīng)、或上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與上述不具有上述官能團的二羧酸化合物與上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的二羧酸化合物，通過上述的酸氯化物法反應(yīng)的方法，其中，該雙氨酚化合物用下述通式(18)表示，該式中的&為具有選自上述通式(2—1)、(2—2)及(3)表示的基團中的基團，該二羧酸化合物用下述通式(19)表示，該式中的Yi為具有選自上述通式(4)、(6—1)、(6—2)、(7—1)、(7—2)、(8)及(9)表示的基團中的基團。對于上述組合，可根據(jù)目的特性(例如介電常數(shù))自由地進行選擇，但從在樹脂膜中得到更低的介電常數(shù)方面考慮，優(yōu)選制成具有微孔的樹脂膜，在該情形下，更優(yōu)選上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與上述具有官能團的二羧酸的組合。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage63</formula>式(1S)式(18)中的^及R2，分別獨立地表示氫原子或有機基團，作為上述有機基團，例如，可舉出，甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基等的碳原子數(shù)為120的烷基；具有—C(=0)—O—鍵的碳原子數(shù)為120的垸基；具有一(0=)C—鍵的碳原子數(shù)為120的烯基。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage63</formula>另外，也可以用活性酯法代替酸氯化物法。在活性酯法中，例如，通過上述二羧酸氯化物與i一羥基苯并三唑的反應(yīng)制造苯并三氨基酯，與上述方法同樣地操作使該酯與上述雙氨酚在室溫或以上的溫度下進行反應(yīng)即可。4.具有第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體本發(fā)明中使用的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，具有用上述通式(10)表示的重復(fù)單元。上述具有第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，沒有特別的限制，優(yōu)選為具有用上述通式(10)表示的第四重復(fù)單元。上述第四重復(fù)單元的重復(fù)單元數(shù)(m)，沒有特別的限定，優(yōu)選為21000的整數(shù)，特別優(yōu)選為5600的整數(shù)，最優(yōu)選為1080的整數(shù)。重復(fù)單元數(shù)在上述范圍內(nèi)，則將苯并噁唑樹脂前驅(qū)體溶解到溶劑中時的作業(yè)性優(yōu)汁。上述第三重復(fù)單元與第四重復(fù)單元，可以共聚物形式也可以單純的混合物的形式構(gòu)成苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。進一步地，在共聚物的情形下，上述第三重復(fù)單元與第四重復(fù)單元可為無規(guī)共聚物、交互共聚物或嵌段共聚物中的任一種。4一1具有第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造作為上述具有第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造方法，可使雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而合成，例如，可使上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物，通過上述的酸氯化物法反應(yīng)的方法，其中，該雙氨酚化合物用上述通式(18)表示，該式中的X,為具有選自上述通式(2—1)、(2—2)及(3)表示的基團中的基團，該二羧酸化合物用下述通式(20)表示，該式中的Y2為具有選自上述通式m一nMl—2)、(12—1)及(12—2)表示的基團中的基團。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage64</formula>(幼另外，也可以用活性酯法代替酸氯化物法。在活性酯法中，例如，通過上述二羧酸氯化物與i一羥基苯并三唑的反應(yīng)制造苯并三氨基酯，與上述方法同樣地操作使該酯與上述雙氨酚在室溫或以上的溫度下進行反應(yīng)即可。5.具有第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體本發(fā)明中使用的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，具有用上述通式(13)表示的重復(fù)單元。上述具有第三重復(fù)單元及第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，沒有特別的限制，優(yōu)選具有用上述通式(13)表示的第五重復(fù)單元。上述第五重復(fù)單元的重復(fù)單元數(shù)(m),沒有特別的限定，優(yōu)選為21000的整數(shù)，特別優(yōu)選為5600的整數(shù)，最優(yōu)選為1080的整數(shù)。重復(fù)單Y元數(shù)在上述范圍內(nèi)，則將苯并噁唑樹脂前驅(qū)體溶解到溶劑中時的作業(yè)性優(yōu)升°上述第三重復(fù)單元及第四重復(fù)單元與第五重復(fù)單元，可以共聚物形式也可以單純的混合物的形式構(gòu)成苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。進一步地，在共聚物的情形下，上述第三重復(fù)單元及/或第四重復(fù)單元與第五重復(fù)單元可為無規(guī)共聚物、交互共聚物或嵌段共聚物中的任一種。5_1具有第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造作為上述具有第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造方法，可使雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而合成，例如，可使上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物及/或上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的基團的雙氨酚化合物與上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物，通過上述的酸氯化物法反應(yīng)的方法，其中，該雙氨酚化合物用下述通式(21)表示，該式中的X3為具有選自上述通式(14)及(15)表示的基團中的基團，該二羧酸化合物用上述通式(20)表示，該式中的Y2為具有選自上述通式(ll一l)、(11一2)、(12—1)及(12—2)表示的基團中的基團。對于上述組合，可根據(jù)目的特性(例如介電常數(shù))自由地進行選擇，但從在樹脂膜中得到更低的介電常數(shù)方面考慮，優(yōu)選制成具有微孔的樹脂膜，在該情形下，更優(yōu)選上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的雙氨酚化合物與上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸的組合。HN、,NH—式(21)R'0'0R2式(21)中的Rt及R2，分別獨立表示氫原子或有機基團，作為上述有機基團，例如，可舉出，甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基等的碳原子數(shù)為120的烷基；具有一C(=0)—O—鍵的碳原子數(shù)為120的垸基；具有_(0=)C—鍵的碳原子數(shù)為120的烯基。另外，也可以用活性酯法代替酸氯化物法。在活性酯法中，例如，通過上述二羧酸氯化物與1—羥基苯并三唑的反應(yīng)制造苯并三氨基酯，與上述方法同樣地操作使該酯與上述雙氨酚在室溫或以上的溫度下進行反應(yīng)即可。6.具有第六重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體上述具有第三重復(fù)單元、第四重復(fù)單元及第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，沒有特別的限制，優(yōu)選具有用上述通式(17)表示的第六重復(fù)單元。上述第六重復(fù)單元的重復(fù)單元數(shù)(n)，沒有特別的限定，但優(yōu)選為21000的整數(shù)，特別優(yōu)選為5100的整數(shù)。重復(fù)單元數(shù)在上述范圍內(nèi)，則將苯并噁唑樹脂前驅(qū)體溶解到溶劑中時的作業(yè)性優(yōu)異。上述第三重復(fù)單元、第四重復(fù)單元及/或第五重復(fù)單元與第六重復(fù)單元，可以共聚物形式也可以單純的混合物的形式構(gòu)成苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。進一步地，在共聚物的情形下，上述第三重復(fù)單元、第四重復(fù)單元及/或第五重復(fù)單元與第六重復(fù)單元可為無規(guī)共聚物、交互共聚物或嵌段共聚物中的任一種。6—1具有第六重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造作為上述具有第六重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造方法，可使雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而合成，例如，可使上述不具有官能團的雙氨酚化合物與上述不具有官能團的二羧酸及/或上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的基團的二羧酸化合物、上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團的雙氨酚化合物與上述不具有官能團的二羧酸及/或上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)以外的基團的二羧酸化合物，通過上述的酸氯化物法反應(yīng)的方法，其中，該雙氨酚化合物用上述通式(21)表示，該式中的X3為具有選自上述通式(14)及(15)表示的基團中的基團，該二羧酸化合物用上述通式(19)表示，該式中的K為具有選自上述通式(4)、(6—1)、(6—2)、(7—1)、(7—2)、(8)及(9)表示的基團中的基團。另外，也可以用活性酯法代替酸氯化物法。在活性酯法中，例如，通過上述二羧酸氯化物與l一羥基苯并三唑的反應(yīng)制造苯并三氨基酯，與上述方法同樣地操作使該酯與上述雙氨酚在室溫或以上的溫度下進行反應(yīng)即可。根據(jù)使雙氨酚化合物與二羧酸反應(yīng)的摩爾比，也可使用一官能的羧酸衍生物、酸酐、或一官能的鄰氨基酚、胺衍生物使末端反應(yīng)，對末端進行封端。7.苯并噁唑樹脂前驅(qū)體組合物本發(fā)明中，分別混合具有用上式(1)表示的第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、具有用上式(10)表示的第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、具有用上式(13)表示的第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及具有用上式(17)表示的第六重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體作為苯并噁唑樹脂前驅(qū)體組合物使用的情形，為以具有用上式(1)表示的第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、具有用上式(10)表示的第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、具有用上式(13)表示的第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體作為必須成分，含有從該具有第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、該具有第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、該具有第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及具有用上式(17)表示的第六重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體中選出的兩種以上的樹脂前驅(qū)體的組合物，從可得到本發(fā)明的目的的耐熱性及低介電常數(shù)優(yōu)異的樹脂及由此得到的樹脂膜方面考慮，是優(yōu)選的。另外，從能夠賦予高彈性系數(shù)方面考慮，優(yōu)選第四重復(fù)單元，從能夠賦予密接性方面考慮，優(yōu)選第六重復(fù)單元，但上述每一方均可在不損害本發(fā)明的目的特性的程度下使用。8.聚苯并噁唑樹脂接下來，對聚苯并噁唑樹脂進行說明。本發(fā)明中，聚苯并噁唑樹脂，通過脫水閉環(huán)反應(yīng)如上述的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體而得到。上述反應(yīng)例如為縮合反應(yīng)以及交聯(lián)反應(yīng)。為了得到聚苯并噁唑樹脂，例如，可舉出在150425°CX5(分鐘)24(小時)的條件下使上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體反應(yīng)的方法、紫外線照射的方法、電子射線照射的方法等。將上述的聚苯并噁唑樹脂作為后述的層間絕緣膜使用時，可使用使其與具有可與上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的羧基、氨基或羥基反應(yīng)的取代基的具有熱分解性的反應(yīng)性低聚物反應(yīng)而得到的樹脂。另外，也可使高溫分解或飛散的有機化合物反應(yīng)或與其混合來使用。由此，在由聚苯并噁唑樹脂形成層間絕緣膜時容易形成納米泡沫。作為上述可與羧基反應(yīng)的取代基，例如，可舉出氨基、羥基、異氰酸酯基等。作為上述可與氨基反應(yīng)的取代基，例如，可舉出羧基、異氰酸酯基、縮水甘油基、馬來酸酐基、馬來酸酐縮亞胺基、酸酐基、丙烯酸酯基等。作為上述可與羥基反應(yīng)的取代基，例如，可舉出酸酐基、羧基、縮水甘油基等。作為上述反應(yīng)性低聚物的基體樹脂，例如，可舉出聚氧垸撐、聚甲基丙烯酸甲酯、聚a—甲基苯乙烯、聚苯乙烯、聚酯、聚醚酯、聚己內(nèi)酰胺、聚氨酯、聚碳酸酯等。其中，優(yōu)選聚氧垸撐或聚碳酸酯。由此，特別能夠形成微細的納米泡沫。上述反應(yīng)性低聚物的數(shù)均分子量，沒有特別的限定，優(yōu)選為10040000，特別優(yōu)選為20020000。數(shù)均分子量在上述范圍內(nèi)，則納米泡沫難以凝聚，能夠形成微細的均勻的納米泡沫。上述聚苯并噁唑樹脂的玻璃轉(zhuǎn)移溫度，沒有特別的限定，優(yōu)選為40(TC以上，特別優(yōu)選為42(TC以上，最優(yōu)選為45050(TC。玻璃轉(zhuǎn)移溫度在上述范圍內(nèi)，則能夠降低由苯并噁唑樹脂得到的樹脂膜的線膨脹系數(shù)。9.交聯(lián)劑接下來，對交聯(lián)劑進行說明。本發(fā)明中使用的交聯(lián)劑，只要是一個分子中具有2個以上的產(chǎn)生交聯(lián)反應(yīng)的基團即可，例如，可以舉出一個分子中有2個以上IO個以下的交聯(lián)基的化合物。作為上述交聯(lián)基，例如，可以舉出具有炔鍵的官能團、具有烯鍵的官能團、聯(lián)亞苯基、氰酸根基、馬來酸酐縮亞胺基、納迪克亞酰胺(nadiimide)基、乙烯基以及環(huán)戊二烯基等。其中，優(yōu)選具有炔鍵的官能團。作為上述具有炔鍵的的官能團，具體地，可舉出乙炔基；苯基乙炔基、萘基乙炔基、蒽基乙炔基、3—苯基一2—丙炔基、4一苯基一3—丁炔基、6—苯基一5—己炔基以及8—苯基一7—辛炔基等的芳香族取代炔基；喹啉基乙炔基以及喹喔啉乙炔基等的含氮芳香族取代乙炔基；l一丙炔基、l一丁炔基、2—丁炔基、1一己炔基、2—己炔基、3—己炔基以及4一己炔基等的烷炔基等的鏈狀脂肪族取代炔基；環(huán)己基乙炔基、雙環(huán)[2，2，l]庚基乙炔基、金剛烷基乙炔基、3—環(huán)己基一2—丙炔基、4一環(huán)己基一3—丁炔基、6—環(huán)己基一5—己炔基以及8—環(huán)己基一7—辛炔基等的環(huán)狀脂肪族取代炔基；丙炔醚基、2—丙炔氧基、2—丁炔氧基、3—丁炔氧基、2—己炔氧基、3—己炔氧基、4一己炔氧基、5—己炔氧基、2—庚炔氧基、3—庚炔氧基、4一庚炔氧基、5—庚炔氧基以及6—庚炔氧基等的烷炔氧基；丁二烯基；以及苯基丁二烯基、1，3—戊二烯基、4一環(huán)己基一1，3—丁二烯基以及2，4一戊二烯氧基等的取代二烯基等。另外，上述具有炔鍵的基團中的氫原子也可被氟原子、甲基、甲氧基以及三氟甲基等的基團取代。其中，優(yōu)選從乙炔基、苯基乙炔基、(4一甲基苯基)乙炔基、萘乙炔基、苯基丁二烯基、叔丁基乙炔基、金剛烷基乙炔基以及3，5—二甲基金剛烷基乙炔基中選出的交聯(lián)基團。一分子內(nèi)的多個交聯(lián)基團可以相同也可以相異。作為交聯(lián)反應(yīng)的方法，可舉出加熱的方法；照射微波、可見光、紫外線以及X射線等的具有活性能的光線以及電子射線等的活性放射線的方法等。本發(fā)明中，交聯(lián)基團通過加熱的方法以及照射微波、可見光、紫外線以及X射線等的具有活性能的光線以及電子射線等的活性放射線的方法等的方法產(chǎn)生交聯(lián)反應(yīng)，由此，可提高使上述具有交聯(lián)基團的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體發(fā)生交聯(lián)而得到的聚苯并噁唑樹脂的交聯(lián)密度，提高耐熱性。進一步地，在使用該聚苯并噁唑形成納米泡沫而得到層間絕緣膜的情形下，提高聚苯并噁唑樹脂的交聯(lián)密度，可使納米泡沫不發(fā)生凝集而保持其本來形狀。由此，能夠降低層間絕緣膜的介電常數(shù)。作為上述交聯(lián)劑的具體實例，可舉出具有用下式(22)表示的結(jié)構(gòu)的交聯(lián)劑等。A-(B)p式(22)式中，A為有機基團。另外，B為上述交聯(lián)劑中的交聯(lián)基團，p為2以上的整數(shù)，優(yōu)選為2以上10以下的整數(shù)。作為上式(22)中的A的有機基團，可舉出聯(lián)萘基、萘基、芴基、苯基、二苯醚基、聯(lián)苯基、二苯基砜基、二苯基丙烷基以及二苯基六氟丙烷基等的芳香族基；金剛烷基、3、5—二苯基金剛垸基、3，5，7—三苯基金剛、3，5，7，9一四苯基金剛烷基、1，1，一雙金剛烷基、1，2，一雙金剛烷基、2，2'—雙金剛垸基以及3，3，一二苯基一l，1，一雙金剛烷基、3，3，，5，5，一四苯基一l，1，一雙金剛烷基以及3，3，，5，5，，7，7，一六苯基一1，1'一雙金剛烷基等的具有多環(huán)式骨架結(jié)構(gòu)的基團等，但并不限定于此。上述有機基團中的氫原子，也可被氟原子、甲基、甲氧基以及三氟甲基等取代?？膳e出具有用下式(23)(25)表示的結(jié)構(gòu)的交聯(lián)劑。R4-A，一Rg式(23)R7——A2—Rg式(24)IReR10-A3-R，i式(25)式中的A、A2、A3分別為有機基團。另夕卜，R3Ru分別為有機基團，R3R6中至少兩個基團為交聯(lián)基團，R7R9中至少兩個基團為交聯(lián)基團，Ru)及Ru為交聯(lián)基團。作為上述A,A3的有機基團，可舉出聯(lián)萘基、萘基、荷基、苯基、二苯醚基、聯(lián)苯基、二苯基砜基、二苯基丙垸基以及二苯基六氟丙垸基等的芳香族基等，但并不限定于此。這些基團也可具有鉆石形結(jié)構(gòu)。作為上述R3Rn的有機基團，可舉出乙炔基、苯基乙炔基、萘基乙炔基、蒽基乙炔基、喹啉基乙炔基、喹喔啉乙炔基、垸炔基、丙炔醚基、苯基丁二烯基、聯(lián)亞苯基、氰酸根基、馬來酸酐縮亞胺基、納迪克亞酰胺(nadiimide)基、乙烯基以及環(huán)戊二烯基等，但并不限定于此。本發(fā)明中，也可使用，使用雙官能團以上優(yōu)選為三官能團以上的交聯(lián)劑，使交聯(lián)劑彼此之間反應(yīng)，形成網(wǎng)目結(jié)構(gòu)的樹脂。10.樹脂組合物本發(fā)明的樹脂組合物可通過混合上述成分而得到，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體與交聯(lián)劑的比例為，相對于ioo重量份的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體，交聯(lián)劑優(yōu)選為1100重量份，進一步優(yōu)選為550重量份。本發(fā)明的樹脂組合物中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體可使用具有可與上述交聯(lián)劑交聯(lián)結(jié)合的官能團的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體與不具有上述官能團的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的組合物，進一步，也可使用通過上述三官能團以上的交聯(lián)劑構(gòu)成的樹脂進行混合。本發(fā)明的樹脂組合物中，在上述成分以外，根據(jù)需要，還可以使用表面活性劑、以硅烷類為代表的偶合劑、通過加熱產(chǎn)生氧自由基或硫自由基的自由基引發(fā)劑、二硫化物類等的催化劑類等的添加劑。另外，在上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體及雙氨酚化合物中，作為通式(1)、(10)、(13)、(17)以及(20)中的R!及R2，至少一方具有氫原子的情形，通過一起使用作為感光劑的萘醌二疊氮化物，可作為正型的感光性樹脂組合物使用，另外，作為R,及R2，至少一方具有含有甲基丙烯酰基等的光交聯(lián)性基團的基團的情形，通過使用光引發(fā)劑，可作為負型感光性樹脂使用。另夕卜，作為Ri及R2，至少一方具有碳原子數(shù)為120的烷基、含有一C(二O)—O—鍵的碳原子數(shù)為120的烷基的情形，能夠提高向清漆的溶解性。11.清漆上述樹脂組合物，在制作樹脂膜等時，優(yōu)選通過使其溶解或分散在可使其溶解或分散的有機溶劑中，制成清漆，用于樹脂膜等的制造。作為上述有機溶劑，例如，可舉出，N—甲基一2—吡咯烷酮、Y—丁內(nèi)酯、N，N—二甲基乙酰胺、二甲基亞砜、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇二丁基醚、丙二醇單甲基醚、二丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚醋酸酯、乳酸甲基、乳酸乙基、乳酸丁基、甲基一l，3—丁二醇醋酸酯、1，3—丁二醇一3—單甲基醚、丙酮酸甲基、丙酮酸乙基、甲基一3—甲氧基丙酸酯、甲基乙基酮、甲基異丁基銅、環(huán)戊酮、環(huán)己酮、四氫呋喃、甲苯、二甲苯、均三甲苯等，即使為上述范圍以外的溶劑，只要其為可溶解或分散上述樹脂組合物即可使用。這些有機溶劑，即可使用一種，也可混合使用兩種以上。另外，上述樹脂組合物與上述有機溶劑的比例，只要其為完全溶解或分散樹脂組合物即可，沒有特別的限制，可根據(jù)其用途進行適當?shù)卣{(diào)整，通常，清漆中的溶劑的含量優(yōu)選為7095重量％左右。12.樹脂成型可使用本發(fā)明的樹脂組合物或清漆，適宜地使用公知的方法例如射出成型法、移送成型法、壓縮成型法、擠出成型法、鑄塑成型法、涂布法等，制成成型品。其形態(tài)可為任何形態(tài)，也可為將上述樹脂組合物制成最終成型品前的中間成型品的形態(tài)或最終成型品的形態(tài)的任一種，例如，可以為形成樹脂膜但發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)之前的中間成型品或使其固化后的成型品。本發(fā)明中，上述成型品，可使具有交聯(lián)基團的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體或其樹脂與交聯(lián)劑發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)，制成最終成型品。作為上述交聯(lián)反應(yīng)的方法，可舉出加熱的方法；照射微波、可見光、紫外線以及X射線等的具有活性能的光線以及電子射線等的活性放射線的方法等。13.樹脂膜接下來，對樹脂膜進行說明。本發(fā)明的樹脂膜，是用上述的樹脂組合物形成的樹脂膜。由此，其密接性及尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異。作為上述樹脂膜，例如，可舉出半導體用的層間絕緣膜或表面保護模、多層電路的層間絕緣膜、撓性覆銅板的覆蓋涂層、焊劑抗蝕膜、液晶配向膜、蝕刻保護膜(蝕刻阻止膜)、粘接劑等。其中，優(yōu)選作為半導體用的層間絕緣膜、表面保護膜以及蝕刻保護膜使用。樹脂膜為上述半導體用的層間絕緣膜的情形，對該層間絕緣膜沒有特別的限制，例如，希望更低的介電常數(shù)的情形，優(yōu)選具有微孔(納米泡沫)。上述納米泡沫的平均孔徑?jīng)]有特別的限定，優(yōu)選為10nm以下，更優(yōu)選為6nm以下，最優(yōu)選為3nm以下。平均孔徑在上述范圍內(nèi)，則特別是工序中的適合性高，在圖案形成時的介電特性優(yōu)異。作為上述平均孔徑的測定方法，可舉出小角X射線散射法、陽電子消滅法、氣體吸附法以及橢圓測量孔隙度法等。在樹脂膜形成納米泡沫的半導體用的層間絕緣膜的情形時，在上述樹脂組合物中，在構(gòu)成該樹脂組合物的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體中，優(yōu)選使用與具有可與上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的羧基、氨基或羥基反應(yīng)的取代基的反應(yīng)性低聚物反應(yīng)而得到的物質(zhì)。由此，能夠容易地在層間絕緣膜上形成納米泡沫。另外，使高溫下分解或飛散的有機物反應(yīng)或與其混合能夠形成納米泡沫。另外，也可往上述樹脂組合物中添加形成納米泡沫的發(fā)泡劑(成孔劑(porogen)、致孑L齊!j(poregenerater))。作為上述發(fā)泡劑，例如，可舉出，具有中空結(jié)構(gòu)的碳納米管或富勒烯、籠型乙基硅倍半環(huán)丙烷、環(huán)糊精、熔點高的有機化合物、揮發(fā)性低的有機化合物、表面活性劑、重氮化合物、有機化酸化物、樹枝狀聚合物(dendrimer)、多支鏈聚合物等。其中，優(yōu)選表面活性劑、多支鏈聚合物、熔點高的有機化合物或揮發(fā)性低的有機化合物。由此，可使發(fā)泡劑在聚苯并噁唑樹脂中均勻地分散。發(fā)泡劑能夠均勻地分散，則通過進一步加熱、提取處理，能夠得到微細的納米泡沫。上述層間絕緣膜的空隙率，沒有特別的限定，優(yōu)選為570%，特別優(yōu)選為750%。空隙率不足上述下限值，則有時不能得到充分的介電常數(shù)的降低，超過上述上限值，則有時膜的機械強度降低，彈性系數(shù)或粘接性降低。上述層間絕緣膜的厚度，沒有特別的限定，優(yōu)選為0.0120um，特別優(yōu)選為0.0510um，最優(yōu)選為0.10.7um。厚度在上述范圍內(nèi)，則工序適用性優(yōu)異。在得到上述層間絕緣膜時，例如，通過將上述含有苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的樹脂組合物溶解在N—甲基一2—吡咯烷酮等的有機溶劑中，制成清漆，將該清漆涂布到適當?shù)闹С畜w例如硅晶片或陶瓷基板等上，形成涂膜。作為涂布方法，可舉出使用旋轉(zhuǎn)器的旋轉(zhuǎn)涂布、使用噴射涂布器的噴霧涂布、浸漬、印刷、輥涂布等。然后，干燥涂膜，進行加熱處理，繼續(xù)除去溶劑，使進行縮合反應(yīng)以及交聯(lián)反應(yīng)，制成聚苯并噁唑樹脂，可制成用含有該樹脂的樹脂組合物構(gòu)成的層間絕緣膜。另外，如果上述苯并噁唑樹脂前軀體變化成的樹脂溶于有機溶劑，則預(yù)先制成苯并噁唑樹脂，然后制作清漆，通過同樣的方法，可制得層間絕緣膜。此時，在涂膜的加熱處理中，不需要將苯并噁唑樹脂前驅(qū)體變換為樹脂的工序，因而可縮短加熱處理時間。進一步地，在形成納米泡沫的情形，通過進一步加熱處理上述層間絕緣膜，可制成具有微孔的層間絕緣膜。樹脂膜作為上述半導體用的保護膜的情形，也與層間絕緣膜同樣地，將上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體溶解在例如碳酸丙烯、二丙酮醇、N—甲基一2—吡咯烷酮等的有機溶劑中，制成清漆，將該清漆涂布到適當?shù)闹С畜w例如硅晶片或陶瓷基板等上。作為涂布方法，可舉出使用旋轉(zhuǎn)器的旋轉(zhuǎn)涂布、使用噴射涂布器的噴霧涂布、浸漬、印刷、輥涂布等。然后，干燥涂膜，進行加熱處理，繼續(xù)除去溶劑，使進行縮合反應(yīng)以及交聯(lián)反應(yīng)，制成聚苯并噁唑樹脂，可制成用含有該樹脂的樹脂組合物構(gòu)成的保護膜。上述保護膜的厚度，沒有特別的限定，優(yōu)選為0.0570um，特別優(yōu)選為0.150pm。厚度在上述范圍內(nèi)，則特別是半導體元件的保護特性及加工性兩方面均優(yōu)異。14.半導體裝置接下來，根據(jù)合適的實施方式對半導體裝置進行說明。圖1是示意性地表示本發(fā)明的半導體裝置的一例的剖面圖。半導體裝置100，具有形成有元件的半導體基板1、在半導體基板1的上側(cè)(圖1上側(cè))設(shè)置的氮化硅膜2、氮化硅膜2上設(shè)置的用層間絕緣膜3以及絕緣層6覆蓋的銅配線層4。層間絕緣膜3上，形成對應(yīng)于需要配線的圖案的凹部，在該凹部內(nèi)設(shè)置有銅配線層4。層間絕緣膜3形成有納米泡沫(微孔)(未圖示)。在層間絕緣膜3與銅配線層4之間設(shè)置有改性處理層5。在層間絕緣膜3的上側(cè)(與氮化硅2相對的一側(cè))上，形成硬掩模層7。本實施方式中，在層間絕緣膜3上形成有納米泡沬，但本發(fā)明并不限定于此。另外，在本實施方式中，對使用層間絕緣膜3的半導體裝置100進行了說明，但本發(fā)明并不限定于此。本發(fā)明的半導體裝置，由于使用如上述的層間絕緣膜，其尺寸精度優(yōu)異，能夠充分發(fā)揮絕緣性，因而，連接可靠性優(yōu)異。如上述的層間絕緣膜，與配線層的密接性優(yōu)異，因而，能夠進一步提高半導體裝置的連接可靠性。另夕卜，如上述的層間絕緣膜，介電特性優(yōu)異，因而，能夠降低半導體裝置的信號損失。另夕卜，如上述的層間絕緣膜，介電特性優(yōu)異，因而，能夠降低配線延遲。實施例下面，按照實施例及比較例對本發(fā)明進行詳細地說明，但本發(fā)明并不限定于此。本發(fā)明中所得到的化合物的鑒定，使用下述方法。1.核磁共振波譜分析('H—NMR、13C(H)—NMR):使用日本電子制造的JNM—GSX400型進行測定。在'H—NMR的共振波數(shù)為400MHz、13C(111)—NMR的共振波數(shù)為lOOMHz的條件下，分別進行測定。測定介質(zhì)為重氫化溶劑重氫二甲基亞砜DMSO_d6或CDC13。2.紅外分光分析(IR):使用PERKINELMER社制造的1640型，通過KBr片劑法進行測定。3.質(zhì)譜分析(MS):使用日本電子(株)制造的JMS—700型通過場解吸(FD)法進行測定。實施例11)具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物的合成通過下述的三工序，得到l，3—雙_(3—氨基一4一羥基一苯基)一金l一l)1，3—雙一(4一羥基一苯基)一金剛垸(第一中間體的合成)將具有溫度計、攪拌機、回流管、氮氣導入管以及通向加入30%氫氧化鈉水溶液的冷凝器的排氣管的500ml的5口燒瓶冷卻到冰浴中，往該燒瓶中加入l，3—二溴代一金剛烷6.47gC0.022mo1)、苯酚200ml、三溴化鋁2.6g(O.Olmol)，在0"C下攪拌6小時。然后，在6(TC下加熱4小時使其反應(yīng)。將反應(yīng)物注入酸性的冰水2000L中，將冰融化后，取出有機層，用純水、飽和氯化鈉水溶液清洗后，注入甲醇中，析出生成物。通過減壓干燥得到的生成物，得到3.5g生成物。通過IR分析可知，在35503200cm^處有羥基吸收，質(zhì)量分析得知分子量為320，由此，可示出了生成物為第一中間體。l一2)1,3—雙一(3—硝基一4一羥基一苯基)一金剛烷(第二中間體的合成)往具有溫度計、攪拌機、回流管的500ml的4口燒瓶中加入20%硝酸水溶液200ml(0.64mol)，邊激烈攪拌邊少量逐漸添加重復(fù)上述操作得到的1，3—雙一(4一羥基一苯基)一金剛烷35g(O.llmol)。添加時，內(nèi)溫保持在2030°C。添加結(jié)束后，溫度不上升，則繼續(xù)反應(yīng)1小時。然后，注入約500ml冷水中，過濾粗生成物，用純水洗滌、干燥。然后，通過熱乙醇將粗生成物重結(jié)晶。通過減壓干燥得到的重結(jié)晶物，得到生成物30g。通過IR分析可知，在1500cm—1附近以及1370cnT1附近有硝基的吸收，質(zhì)量分析得知分子量為410，由此，可示出了生成物為第二中間體。l一3)1，3—雙一(3—氨基一4一羥基一苯基)一金剛垸的合成往具有溫度計、迪姆羅冷卻管以及氮氣導入管的200ml的4口燒瓶中加入20ml濃鹽酸以及30ml乙醇，然后邊攪拌邊添加上述第二中間體8.6g(0.021mol)，使其浮游。在30。C以下的溫度下花費1小時加入將氯化亞錫(II)二水化和物15g溶入到乙醇20ml中的混合物。12小時后，過濾析出的結(jié)晶，用乙醇一鹽酸混合液進行重結(jié)晶。用水使得到的鹽酸鹽水解，通過乙醇進行重結(jié)晶，進行減壓干燥，得到生成物6.7g。通過NMR分析可知，在8.89.5ppm處有OH的質(zhì)子吸收，在44.5ppm處有NH2基團的質(zhì)子吸收，質(zhì)量分析得知分子量為350，由此，可示出了生成物為1，3—雙一(3—氨基一4一羥基一苯基)一金剛烷(具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物)。2)具有官能團的二羧酸通過下述的工序，得到具有官能團的二羧酸5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物。2—1)5—溴代間苯二甲酸的合成(第一中間體)往具有溫度計、攪拌機以及滴下漏斗的1L的4口燒瓶中加入5—氨基間苯二甲酸99.18g(0.55mol)、48重量％的氫溴酸165ml、蒸餾水150ml，進行攪拌。將燒瓶冷卻到5。C以下，花費1小時往其中滴下將亞硝酸鈉39.4g(0.57mol)溶入蒸餾水525ml中的混合物，得到重氮鹽水溶液。往具有溫度計、迪姆羅冷卻管、滴下漏斗以及攪拌機的3L的4口燒瓶中加入溴化亞銅94.25g(0.66mol)與48重量％的氫溴酸45ml，進行攪拌。將燒瓶冷卻到O"以下，花費2小時往其中滴下上述的重氮鹽水溶液。滴下結(jié)束后，在室溫下攪拌30分鐘，接下來回流30分鐘。放冷后，過濾析出物，用蒸餾水2L清洗2次后，將得到的白色固體在5(TC下減壓干燥2天，得到粗生成物117g。不進行精制，直接用于下一反應(yīng)。2—2)5—溴代間苯二甲酸二甲酯的合成(第二中間體)往具有攪拌機以及迪姆羅冷卻管的500ml燒瓶中加入110g上述第一中間體(5—溴代間苯二甲酸)、甲醇500ml、濃硫酸10g，回流6小時。放冷后，滴下蒸餾水1L，用5重量％碳酸氫鈉水溶液將其中和。過濾析出物，用蒸餾水2L清洗2次后，將得到的白色固體在5(TC下減壓干燥2天，得到5一溴代間苯二甲酸二甲酯109g(0.4mol)(收率89%)。2—3)5—苯基乙炔基間苯二甲酸二甲酯的合成(第三中間體)往具有溫度計、迪姆羅冷卻管、氮氣導入管以及攪拌機的1L的4口燒瓶中加入上述第二中間體(5—溴代間苯二甲酸二甲酯)99.7g(0.365mol)、三苯基膦l.lg(0.00419mol)、碘化銅0.275g(0麓44mo1)、苯基乙炔41.0gC0.401mo1)，通氮氣。加入脫水三乙基胺375ml以及脫水吡啶200ml，攪拌溶解。持續(xù)通1小時氮氣后，盡快添加二氯雙(三苯基膦)鈀0.3g(0.000427mol)，用油浴加熱回流1小時。然后，減壓蒸去三乙基胺以及吡啶，得到粘稠的褐色溶液。將其注入水500ml中，過濾析出的固體物，然后用水500ml、5mol/L濃鹽酸500ml、水500ml各清洗兩次。在5(TC下減壓干燥該固體物，得到5—苯基乙炔基間苯二甲酸二甲酯80.6g(收率75%)。2—4)5—苯基乙炔基間苯二甲酸二鉀的合成(第四中間體)往具有溫度計、迪姆羅冷卻管以及攪拌機的5L的4口燒瓶中加入正丁醇3L、氫氧化鉀(85%)180g(2.72mol)，加熱回流使其溶解。往其中加入上述第三中間體(5—苯基乙炔基間苯二甲酸二甲酯)80g(0.272mol)，加熱回流30分鐘。將其用冰浴冷卻，過濾析出的結(jié)晶。將該結(jié)晶用1L乙醇清洗2次，在60。C下減壓干燥，得到5—苯基乙炔基間苯二甲酸二鉀90.35g。2—5)5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物的合成往具有溫度計、迪姆羅冷卻管以及攪拌機的2L的4口燒瓶中加入5—苯基乙炔基間苯二甲酸二鉀82.1g(0.24mol)、1，2—二氯乙烷400ml，冷卻到0。C。在5。C以下花費1小時往其中滴下氯化亞硫酰391g(4.5mol)。然后，添加二甲基甲酰胺4ml、對苯二酚4g，在455(TC下攪拌3小時。冷卻后，過濾除去結(jié)晶，用三氯甲烷150ml清洗結(jié)晶。合并濾液與清洗液，在40。C下減壓濃縮，將得到的殘渣用二乙基醚200ml提取過濾2次。從提取液減壓蒸去二乙基醚，得到半固體的生成物。將其用干燥的正己垸清洗，接下來用二乙基醚重結(jié)晶，得到13.8g的5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物(具有官能團的二羧酸)(收率19%)。3)苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造在通氮氣下，將l，3—雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一金剛烷31.5g(0.09mol)溶解到干燥的N—甲基—2—吡咯烷酮200g中，添加吡啶17.4g(0.22mol)后，冷卻至一15。C，少量逐漸添加5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)。滴下結(jié)束后，在一15'C下，攪拌1小時后，返回至室溫，在室溫下攪拌5小時。然后，將反應(yīng)液以小的液滴滴下至蒸餾水4L中，收集沉淀物并干燥，得到具有鉆石形結(jié)構(gòu)的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。使用東V株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為20000。4)外部交聯(lián)劑9，9一雙{3—(4一苯基乙炔基安息香酸酰胺)一4一羥基苯基}荷的合成在通氮氣的條件下，將9，9一雙(3—氨基一4一羥基苯基)芴37.8g(O.lmol)溶解在脫水N—甲基一2—吡咯烷酮200g中后，冷卻至一15。C，在攪拌的條件下，以少量逐漸添加4一苯基乙炔基安息香酸二氯化物53.0g(0.22mol)。攪拌1小時后，返回至室溫，在室溫下攪拌5小時。然后，將反應(yīng)液以少量逐漸滴下至蒸餾水4L中，收集沉淀物。將該沉淀物用甲醇清洗，用真空干燥機干燥24小時。通過&一NMR、IR、MS測定得到的生成物，可確認9，9—雙{3—(4一苯基乙炔基安息香酸酰胺)一4一羥基苯基)芴的合成。5)樹脂膜的制造將上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g與外部交聯(lián)劑2g溶解在N—甲基一2—吡咯垸酮90g中，用亍7口y(特富龍，注冊商標)過濾器過濾，得到涂布用清漆。將該清漆用旋轉(zhuǎn)涂布器涂布到硅晶片上。然后，在氮氣環(huán)境的烘箱中，按照90。C/1分鐘、250°C/1小時、330°C/1小時的加熱順序加熱，得到樹脂膜。實施例21)樹脂膜的制造除使用3，3，一雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一5，5，，7，7，一四甲基_1，1，一雙金剛烷48.7g(0.09mol)代替1，3—雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一金剛烷31.5g(0.09mol)、3，3，一(5，5'，7，7'—四甲基一l，1，一雙金剛烷)二羧酸二氯化物45.1g(O.lOmol)代替5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)以外，與實施例1的3)同樣地進行反應(yīng)，得到苯并噁唑樹脂前驅(qū)體；除使用上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。使用東y株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為16000。實施例31)樹脂膜的制造除使用3，3，一雙[3—氨基一4—羥基一5—(l一(3，5—二甲基金剛烷基))苯基]一5，5，，7，7，一四甲基一l，1，—雙金剛烷77.9g(0.09mol)代替1，3—雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一金剛垸31.5g(0.09mol)、3，3，一(5，5，，7，7，一四甲基一1，1，一雙金剛垸)二羧酸二氯化物45.1g(O.lOmol)代替5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)以夕卜，與實施例1的3)同樣地進行反應(yīng)，得到苯并噁唑樹脂前驅(qū)體；除使用上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。使用東乂株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為17000。實施例41)樹脂膜的制造除使用3，3，一雙[3—氨基_4—羥基一5—(3—(5，5，，7，7，一四甲基一l，T—雙金剛垸))苯基]一5，5，，7，7，一四甲基一l，1，一雙金剛烷107.1g(0.09mol)代替1，3-雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一金剛烷31.5gC0.09mo1)、3，3，一(5，5，，7，7，一四甲基一l，1，一雙金剛垸)二羧酸二氯化物45.1g(O.lOmol)代替5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)以外，與實施例1的3)同樣地進行反應(yīng)，得到苯并噁唑樹脂前驅(qū)體；除使用上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。使用東乂株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為15000。實施例51)樹脂膜的制造除使用2，2—雙[3—氨基一4一羥基一5—(l一(3，5—二甲基金剛烷基))苯基]金剛烷60.8g(0.09mol)代替1，3—雙(3—氨基一4—羥基一苯基)一金剛烷31.5g(0.09mol)、3，3，一(5，5，，7，7，一四甲基一l，1，一雙金剛垸)二羧酸二氯化物45.1g(O.lOmol)代替5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)以外，與實施例1的3)同樣地進行反應(yīng)，得到苯并噁唑樹脂前驅(qū)體；除使用上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。使用東乂株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為15000。實施例61)樹脂膜的制造除使用2，2—雙[3—氨基一4—羥基_5—(3—(5，5，，7,7，一四甲基一l，1，一雙金剛烷基))苯基]金剛垸90.0g(0.09mol)代替1，3—雙(3—氨基一4一羥基—苯基)一金剛烷31.5g(0.09mol)、3，3，_(5，5，，7，7'_四甲基一1，1，一雙金剛烷)二羧酸二氯化物45.1g(O.lOmol)代替5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)以夕卜，與實施例1的3)同樣地進行反應(yīng)，得到苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g;除使用上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。使用東乂株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為15000。實施例71)樹脂膜的制造除使用9，9—雙(3—氨基—4-羥基一苯基)芴34.2g(0.09mol)代替1，3_雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一金剛烷31.5g(0.09mol)、3，3，一(5,5'，7，7'—四甲基一1，1，一雙金剛烷)二羧酸二氯化物45.1g(O.lOmol)代替5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)以夕卜，與實施例1的3)同樣地進行反應(yīng)，得到苯并噁唑樹脂前驅(qū)體；除使用上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。使用東y株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為15000。實施例81)樹脂膜的制造除使用3，3，一雙[3—氨基一4一羥基一5—(l—(3，5—二甲基金剛烷基))苯基]—5，5，，7,7，一四甲基一l，1，一雙金剛垸77.9g(0.09mol)代替1，3—雙(3—氨基一4一羥基一苯基)一金剛烷31.5g(0.09mol)、5一苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物15.2g(0.05mol)以及3，3，一(5，5，，7，7，一四甲基一1，1，—雙金剛垸)二羧酸二氯化物22.6g(0.05md)代替5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)以外，與實施例1的3)同樣地進行反應(yīng)，得到苯并噁唑樹脂前驅(qū)體；除使用上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。使用東y株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為18000。實施例91)樹脂膜的制造在實施例1的5)中，除使用實施例1的3)得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體5g以及實施例3得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體5g代替苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g以夕卜，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。實施例101)樹脂膜的制造在實施例1的5)中，除使用實施例3得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g代替苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g、7，7，一雙(3，5—二乙炔基一l一苯基)_3，3，，5，5，一四甲基一1，1，—雙金剛垸2g代替外部交聯(lián)劑9，9一雙{3—(4一苯基乙炔基安息香酸酰胺)一4一羥基苯基)芴2g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。實施例111)外部交聯(lián)劑7，7，一雙(3，5—二乙炔基苯基)一3，3，，5，5，一四甲基一l，1'一雙金剛烷聚合物的合成在通氮氣的條件下，將7，7'—雙(3，5—二乙炔基苯基)一3，3'，5，5，一四甲基一l，1，一雙金剛烷57.5g(O.lmol)添加到脫水N—甲基一2—吡咯烷酮200g中，攪拌下，在150'C下加熱4小時。返回至室溫，攪拌1小時。然后，將反應(yīng)液以少量逐漸滴下至甲醇4L中，收集沉淀物。將該沉淀物用甲醇清洗，用真空干燥機干燥24小時。得到7，7'—雙(3,5—二乙炔基苯基)一3，3，，5，5，一四甲基一l，1'一雙金剛烷聚合物。2)樹脂膜的制造在實施例1的5)中，除使用實施例3得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g代替苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g、上述7，7，一雙(3，5—二乙炔基一1—苯基)一3，3，，5，5，一四甲基一l，1'一雙金剛烷聚合物2g代替外部交聯(lián)劑9，9_雙{3—(4—苯基乙炔基安息香酸酰胺)一4一羥基苯基)芴2g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。實施例121)樹脂膜的制造在實施例1的5)中，除使用實施例3得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g代替苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g、3,3，，5，5，一四乙炔基一l，1，一雙金剛烷2g代替外部交聯(lián)劑9，9一雙(3—(4一苯基乙炔基安息香酸酰胺)一4一羥基苯基)芴2g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。實施例131)樹脂膜的制造在實施例1的5)中，除使用實施例3得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g代替苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g、7，7，一二乙炔基一3，3，，5，5，一四甲基_1，1，一雙金剛烷2g代替外部交聯(lián)劑9，9一雙(3—(4—苯基乙炔基安息香酸酰胺)一4一羥基苯基)芴2g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。實施例141)外部交聯(lián)劑7，7，一二乙炔基一3，3，，5，5，一四甲基一l，1，一雙金剛垸聚合物的合成在實施例11的1)中，除使用7，7，一二乙炔基一3,3',5，5，_四甲基一l，1，一雙金剛烷37.5g(O.lmol)代替7，7，一雙(3，5—二乙炔基苯基)一3，3，，5，5，一四甲基一l，1，一雙金剛烷57.5g(O.lmol)以外，與實施例11的1)同樣地進行，得到外部交聯(lián)劑7，7'—二乙炔基一3，3，，5，5，一四甲基一l，1，一雙金剛烷聚合物。2)樹脂膜的制造在實施例1的5)中，除使用實施例3得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g代替苯并噁唑樹脂前驅(qū)體10g、上述7，7，一二乙炔基一3，3，，5，5，一四甲基一1，1，一雙金剛烷聚合物2g代替外部交聯(lián)劑9，9_雙{3—(4一苯基乙炔基安息香酸酰胺)一4一羥基苯基)芴2g以外，與實施例1的5)同樣地進行，得到樹脂膜。比較例11)不具有官能團的雙氨酚化合物作為不具有官能團的雙氨酚化合物，使用3，3'—二羥基一4，4'一二氨基一聯(lián)苯基(東京化成制造)。2)不具有官能團的二羧酸作為不具有官能團的二羧酸，使用間苯二甲酸二氯化物(東京化成制造)。3)苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的制造除使用3，3，一二羥基一4，4，一二氨基一聯(lián)苯基19.5g(0.09mol)代替1，3_雙(3—氨基—4一羥基一苯基)—金剛烷31.5g(0.09mol)、間苯二甲酸二氯化物20.3g(O.lOmol)代替5—苯基乙炔基間苯二甲酸二氯化物30.3g(O.lOmol)以外，與實施例1的3)同樣地進行反應(yīng)，得到苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。使用東乂株式會社制造的GPC，采用聚苯乙烯換算求出上述得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體的數(shù)均分子量(Mn)，為17000。對于實施例114以及比較例1所得到的樹脂膜進行下述的評價。將評價項目與評價方法一起示出。將得到的結(jié)果示于表l。1.溶解性用具塞玻璃制樣品容器精稱聚苯并噁唑樹脂前驅(qū)體lg與N—甲基_2_吡咯垸酮3g，用攪拌子攪拌l小時后，判斷有無不溶物。2.耐熱性用玻璃轉(zhuǎn)移溫度及熱分解溫度評價耐熱性。玻璃轉(zhuǎn)移溫度通過下述方法測定使用動態(tài)粘彈性測定裝置(DMS6100，3—Yy7、乂/V;^乂、乂(株)制造)在氮氣流速為300ml/min.、升溫速度為3°C/min.、頻率為1Hz的條件下，測定所得到的樹脂膜，tanS的峰值溫度為玻璃轉(zhuǎn)移溫度。另外，熱分解溫度通過下述方法測定使用TG/DTA測定裝置(TG/DTA220，irY〕一O只、乂^乂乂，(株)制造)在氮氣流速為200ml/min.、升溫速度為1(TC/min.的條件下，測定所得到的樹脂膜，重量減少達到5%時的溫度為熱分解溫度。3.比介電常數(shù)按照JIS—K6911，在頻率100kHz下，使用匕二一k:y卜八°、7力一K社制造的HP-4284APrecisionLCR測量儀測定半導體用粘接膜的容量，通過下述計算式算出比介電常數(shù)。比介電常數(shù)=(容量測定值X膜的厚度)/(真空介電常數(shù)X測定面積)表l<table>tableseeoriginaldocumentpage85</column></row><table>由表1可知，實施例114，其玻璃轉(zhuǎn)移溫度以及熱分解溫度都高，耐熱性優(yōu)異。另外，實施例114，可溶解到溶劑中，并且介電常數(shù)低，顯示出了優(yōu)異的作業(yè)性及介電特性。另外，比較例1溶解性差，不能制作樹脂膜，因而不能測定玻璃轉(zhuǎn)移溫度、熱分解溫度、介電常數(shù)。接下來，對層間絕緣膜以及半導體裝置進行說明。實施例15涂布用清漆以及半導體裝置的制造將實施例1中得到的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體溶解到N—甲基一2—吡咯烷酮中，用亍7口y(特富龍，注冊商標)過濾器過濾，得到涂布用清漆。在半導體基板上形成氮化硅層，在該氮化硅層上涂布上述得到的涂布用清漆，在25(TC下加熱處理1小時以及在42(TC下加熱處理1小時，形成厚度為0.3um的層間絕緣膜。接下來，在上述層間絕緣膜上形成金屬配線以形成規(guī)定的圖案，得到半導體裝置。對于得到的層間絕緣膜以及半導體裝置，進行與對上述樹脂膜的評價相同的評價，其結(jié)果示于表2。表2實施例15<table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table>由表2可知，實施例15，其玻璃轉(zhuǎn)移溫度以及熱分解溫度都高，耐熱性優(yōu)異。另外，實施例15，可溶解到溶劑中，并且介電常數(shù)低，顯示出了優(yōu)異的作業(yè)性及介電特性。接下來，對得到的半導體裝置進行了配線延遲速度的評價。比較下述半導體裝置的配線延遲的程度，即，使用實施例15的層間絕緣膜得到的半導體裝置、與該半導體裝置同樣的結(jié)構(gòu)的具有Si02絕緣膜的半導體裝置。評價的基準是，采用從環(huán)形(電路)振蕩器('J>夕'才->-^一夕)發(fā)送信號頻率進行換算而求出的信號延遲時間。比較兩者的結(jié)果，可確認，本發(fā)明得到的半導體裝置的配線延遲少，實施例15中的速度提高約10%。權(quán)利要求1.一種樹脂組合物，其包括具有由雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而得到的第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及交聯(lián)劑，其特征在于，上述雙氨酚化合物與二羧酸化合物中至少一種具有鉆石形結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂組合物，其中，上述交聯(lián)劑具有鉆石形結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體還具有由不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)而得到的第二重復(fù)單元。4.根據(jù)權(quán)利要求13中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述鉆石形結(jié)構(gòu)具有除該鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團。5.根據(jù)權(quán)利要求14中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物及/或不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物具有上述鉆石形結(jié)構(gòu)以外的官能團。6.根據(jù)權(quán)利要求15中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述鉆石形結(jié)構(gòu)為選自由金剛烷基、二聯(lián)金剛垸基、三聯(lián)金剛垸基、四聯(lián)金剛垸基、五聯(lián)金剛垸基、六聯(lián)金剛烷基、七聯(lián)金剛烷基、八聯(lián)金剛烷基、九聯(lián)金剛垸基、十聯(lián)金剛垸基、十一聯(lián)金剛垸基、雙金剛烷基、三金剛垸基、四金剛烷基、五金剛浣基、六金剛烷基、七金剛垸基、八金剛垸基、九金剛烷基、十金剛垸基、以及十一金剛烷基所組成的組中的至少一種基團7.根據(jù)權(quán)利要求16中任一項所述的樹脂組合物結(jié)構(gòu)具有烷基及/或氟垸基。8.根據(jù)權(quán)利要求47中任一項所述的樹脂組合物結(jié)構(gòu)以外的官能團具有形成交聯(lián)鍵的官能團。9.根據(jù)權(quán)利要求47中任一項所述的樹脂組合物結(jié)構(gòu)以外的官能團具有炔鍵。10.根據(jù)權(quán)利要求19中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸為金剛垸二羧酸、雙金剛烷二羧酸及/或四金剛垸二羧酸。11.根據(jù)權(quán)利要求310中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述苯并，其中，上述鉆石形，其中，上述鉆石形，其中，上述鉆石形噁唑樹脂前驅(qū)體由上述第一重復(fù)單元與第二重復(fù)單元共聚而成。12.—種樹脂組合物，其包括具有用下式(1)表示的第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及交聯(lián)劑，式(1)中的Ri及R2分別獨立地表示氫原子或有機基團；k為21000之間的整數(shù)；&選自由下式(2—1)、下式(2—2)以及下式(3)所表示的基團所組成的組中的至少一種；式(1)中的Y,選自由下式(4)、下式(6—1)、下式(6—2)、下式(7—1)、下式(7—2)、下式(8)及下式(9)所表示的基團所組成的組中的至少一種；X,及Y,中所包含的碳環(huán)上的氫原子被烷基及/或氟烷基取代或不被取代，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage0</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>式(2—1)、(2—2)中的Adm表示以金剛垸結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的鉆石形結(jié)構(gòu)單元；a為212，p為l12，i為l12;r為0或l，(Adm)p(X2)q(Z)—Ar一(Z)(X2)q-(Adm)p式(3沖的Adm表示以金剛烷結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的鉆石形結(jié)構(gòu)單元;p為1~12;X2為乙炔基或丙炔醚基；Z為一O—、一S02—、一CH2—、一C(CH3)2—、一C(CF3)2—、或芳香族基團；Ar為3價以上的芳香族基團；r為O或l;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>式)13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的樹脂組合物，其中，上述交聯(lián)劑具有鉆石<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>形結(jié)構(gòu)。14.一種樹脂組合物，其包括具有用下式(10)表示的第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及交聯(lián)劑，式(IO)中的R,及R2分別獨立地表示氫原子或有機基團；m為21000之間的整數(shù)；X、選自由上式(2—1)、上式(2—2)以及上式(3)所表示的基團所組成的組中的至少一種；式(10)中的Y2選自由下式(ll一l)、下式Ul—2)、下式(12—1)、下式(12—2)所表示的基團所組成的組中的至少一種；X,及Y2中所包含的碳環(huán)上的氫原子被垸基及/或氟垸基取代或未被取代，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>式(ll一l)、(11—2)、(12—1)及(12—2)中的Adm表示以金;結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的鉆石形結(jié)構(gòu)單元；p為112，i為112。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體還具有上述第三重復(fù)單元。16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的樹脂組合物，其中，上述交聯(lián)劑具有鉆石形結(jié)構(gòu)。17.—種樹脂組合物，其包括具有用下式(13)表示的第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及交聯(lián)劑，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>式03)式(13)中的R^及R2分別獨立地表示氫原子或有機基團；n為21000之間的整數(shù)；X3選自由下式(14)、下式(15)所表示的基團所組成的組中的至少一種；式(13)中的Y2選自上式(ll一l)、上式(11—2)、上式(12—1)以及上式(12—2)所表示的基團中的至少一種；X3及Y2中所包含的碳環(huán)上的氫原子被垸基及/或氟烷基取代或未被取代，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>式(14)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>式(14)中的X2為乙炔基或丙炔醚基；Z為一0_、一S02—、一CH2—、—C(CH3)2—、—C(CF3)2—、或芳香族基團；Ar為3價以上的芳香族基團；R為氫或有機基團；r為0或l;q為l4的整數(shù)，式(15)中的X4為選自由下式(16)所表示的基團中的至少一種，18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體還具有上述第三重復(fù)單元及/或第四重復(fù)單元。19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的樹脂組合物，其中，上述交聯(lián)劑具有鉆石形結(jié)構(gòu)。20.根據(jù)權(quán)利要求1219中任一項所述的樹脂組合物，其中，上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體還具有用下式(17)表示的第六重復(fù)單元，式(17)中的^及R2分別獨立地表示氫原子或有機基團；n為21000之間的整數(shù)；X3選自由上式(14)、上式(15)所表示的基團中的至少一種;式(17)中的Y,選自由上式(4)、上式(6—1)、上式(6—2)、上式(7一l)、上式(7—2)、上式(8)及上式(9)所表示的基團中的至少一種；乂3及^中所包含的碳環(huán)上的氫原子被烷基及/或氟垸基取代或未被取代。21.根據(jù)權(quán)利要求120中的任一項所述的樹脂組合物，其中，含有使上述苯并噁唑樹脂前驅(qū)體發(fā)生脫水閉環(huán)反應(yīng)而得到的聚苯并噁唑樹脂。22.—種樹脂組合物，其包括苯并噁唑樹脂前驅(qū)體組合物以及交聯(lián)劑，該苯并噁唑樹脂前驅(qū)體組合物以具有用上式(1)表示的第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、具有用上式(10)表示的第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體或具有用上式(13)表示的第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體作為必要成分，含有兩種以上的從該具有第三重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、該具有第四重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體、該具有第五重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及具有用上式(17)表示的第六重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體中選出的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體。23.—種清漆，其特征在于，其包括權(quán)利要求122中任一項所述的樹脂組合物、以及可使這些樹脂組合物溶解或分散的有機溶劑。24.—種樹脂膜，其特征在于，其由權(quán)利要求122中任一項所述的樹脂組合物構(gòu)成。25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的樹脂膜，其中，上述樹脂膜具有平均孔徑為10nm以下的微孔。26.根據(jù)權(quán)利要求24或25所述的樹脂膜，其中，上述樹脂膜選自由半導體用層間絕緣膜、半導體用保護膜以及蝕刻保護膜所組成的組中的一種膜。27.—種半導體裝置，其特征在于，其具有權(quán)利要求2426中的任一項所述的樹脂膜。全文摘要本發(fā)明提供一種樹脂組合物以及由該組合物形成的樹脂膜，該樹脂組合物包括具有由雙氨酚化合物與二羧酸化合物反應(yīng)而得到的第一重復(fù)單元的苯并噁唑樹脂前驅(qū)體以及交聯(lián)劑，其特征在于，上述雙氨酚化合物與二羧酸化合物，至少一方具有鉆石形結(jié)構(gòu)，該苯并噁唑樹脂前驅(qū)體還具有由不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的雙氨酚化合物與不具有鉆石形結(jié)構(gòu)的二羧酸化合物反應(yīng)而得到的第二重復(fù)單元。文檔編號C08G73/22GK101268119SQ200680034838公開日2008年9月17日申請日期2006年9月21日優(yōu)先權(quán)日2005年9月21日發(fā)明者沖博美,和泉篤士,小野幸治,榎尚史,藤田一義申請人:住友電木株式會社