一種蒸鍍載板及蒸鍍裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及有機(jī)發(fā)光器件制備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍載板及蒸鍍裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在有機(jī)發(fā)光器件的制備過程中，對玻璃基板的蒸鍍是有機(jī)發(fā)光器件制備過程中一個(gè)重要的工藝流程。
[0003]對有機(jī)發(fā)光器件的玻璃基板進(jìn)行蒸鍍的蒸鍍裝置包括蒸鍍腔體、位于蒸鍍腔體內(nèi)的蒸鍍源和用于承載玻璃基板的蒸鍍載板。目前，在對有機(jī)發(fā)光器件的玻璃基板進(jìn)行蒸鍍作業(yè)時(shí)一般采用玻璃基板的蒸鍍面向下、且蒸鍍源向上的蒸鍍方式進(jìn)行蒸鍍，進(jìn)而能夠避免蒸鍍腔室內(nèi)落下的粒子對器件本身造成影響；即，采用蒸鍍裝置對玻璃基板進(jìn)行蒸鍍時(shí)，蒸鍍載板的玻璃承載面朝向蒸鍍源，且蒸鍍載板上設(shè)有用于針腳穿過的針腳孔，當(dāng)玻璃基板蒸鍍完成后翻轉(zhuǎn)蒸鍍載板，使蒸鍍載板的玻璃承載面向上，然后控制針腳裝置的針腳自蒸鍍載板的針腳孔穿過以將玻璃基板頂起，以使玻璃基板與蒸鍍載板的玻璃承載面分離。
[0004]但是，由于蒸鍍載板上設(shè)置有針腳孔，在蒸鍍裝置的蒸鍍腔體中對玻璃基板進(jìn)行蒸鍍時(shí)，蒸鍍源發(fā)射的輻射信號經(jīng)過蒸鍍腔體的上壁反射后會透過蒸鍍載板的針腳孔照射在玻璃基板上，進(jìn)而使得玻璃基板上的溫度不均勻，最終導(dǎo)致有機(jī)發(fā)光器件顯示時(shí)與針腳孔對應(yīng)的位置產(chǎn)生黑色斑塊不良，降低了有機(jī)發(fā)光器件的質(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供了一種蒸鍍載板及蒸鍍裝置，該蒸鍍載板能夠提高蒸鍍后的玻璃基板的質(zhì)量，進(jìn)而提高有機(jī)發(fā)光器件的產(chǎn)品質(zhì)量。
[0006]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案:
[0007]一種蒸鍍載板，包括載板本體，所述載板本體上形成玻璃承載面、且設(shè)有多個(gè)用于針腳穿過的針腳孔，所述載板本體背離所述玻璃承載面的一側(cè)表面上設(shè)有當(dāng)玻璃承載面朝向蒸鍍源時(shí)覆蓋各所述針腳孔的蓋板機(jī)構(gòu)。
[0008]上述蒸鍍載板中，當(dāng)將承載有玻璃基板的載板蒸鍍載板放入蒸鍍裝置的蒸鍍腔體中時(shí)，載板本體的玻璃承載面朝向位于蒸鍍腔體中的蒸鍍源，此時(shí)，蒸鍍載板具有的蓋板機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑤d板本體設(shè)有的針腳孔覆蓋，進(jìn)而能夠防止輻射信號穿過針腳孔照射至貼附在載板本體的玻璃承載面上的玻璃基板朝向載板本體的一面上，進(jìn)而使得玻璃基板受熱均勻，提尚玻璃基板蒸鍛作業(yè)時(shí)的良率，進(jìn)而提尚有機(jī)發(fā)光器件的廣品質(zhì)量。
[0009]優(yōu)選地，所述蓋板機(jī)構(gòu)包括多個(gè)子蓋板，每一個(gè)所述子蓋板的一個(gè)側(cè)邊通過樞轉(zhuǎn)軸安裝于所述載板本體。
[0010]優(yōu)選地，每一個(gè)所述子蓋板可繞所述樞轉(zhuǎn)軸軸心線旋轉(zhuǎn)的角度小于90度。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述蓋板機(jī)構(gòu)還包括:
[0012]驅(qū)動各所述子蓋板翻轉(zhuǎn)的驅(qū)動裝置。
[0013]優(yōu)選地，所述驅(qū)動裝置為伺服馬達(dá)、氣缸、或者驅(qū)動電機(jī)。
[0014]優(yōu)選地，所述多個(gè)子蓋板中，每一個(gè)所述子蓋板用于當(dāng)所述載板本體的玻璃承載面朝向蒸鍍源時(shí)覆蓋一個(gè)針腳孔。
[0015]優(yōu)選地，所述多個(gè)子蓋板中，至少一個(gè)所述子蓋板用于當(dāng)所述載板本體的玻璃承載面朝向蒸鍍源時(shí)覆蓋至少兩個(gè)針腳孔。
[0016]優(yōu)選地，所述載板上設(shè)置的針腳孔陣列分布，當(dāng)所述載板本體的玻璃承載面朝向蒸鍍源時(shí)，每一個(gè)所述子蓋板覆蓋一行所述針腳孔、或者每一個(gè)所述子蓋板覆蓋一列所述針腳孔。
[0017]優(yōu)選地，當(dāng)所述載板本體的玻璃承載面朝向蒸鍍源、每一個(gè)所述子蓋板覆蓋一行所述針腳孔時(shí)，每一個(gè)所述子蓋板的所述樞轉(zhuǎn)軸的延伸方向與所述針腳孔的行方向平行。
[0018]優(yōu)選地，當(dāng)所述載板本體的玻璃承載面朝向蒸鍍源、每一個(gè)所述子蓋板覆蓋一列所述針腳孔時(shí)，每一個(gè)所述子蓋板的所述樞轉(zhuǎn)軸的延伸方向與所述針腳孔的列方向平行。
[0019]優(yōu)選地，所述蓋板機(jī)構(gòu)包括與所述針腳孔一一對應(yīng)的彈性墊，每一個(gè)所述彈性墊與所述針腳孔正對的部位包括多個(gè)拼接瓣；當(dāng)所述針腳穿過所述針腳孔時(shí)所述彈性墊的各所述拼接瓣在針腳的作用下發(fā)生彈性變形以使針腳穿過所述針腳孔，當(dāng)所述針腳不穿過所述針腳孔時(shí)所述彈性墊的各拼接瓣相互拼接以覆蓋所述針腳孔。
[0020]另外，本實(shí)用新型還提供了一種蒸鍍裝置，包括蒸鍍腔室、安裝于所述蒸鍍腔室內(nèi)的蒸鍍源，所述蒸鍍腔室內(nèi)設(shè)有用于支撐蒸鍍載板的支撐機(jī)構(gòu)，上述蒸鍍裝置還包括上述技術(shù)方案中提供的任意一種蒸鍍載板。
【附圖說明】
[0021]圖1為本實(shí)用新型一種實(shí)施例提供的蒸鍍載板的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為圖1所示結(jié)構(gòu)的蒸鍍載板中玻璃基板蒸鍍完成且針腳將玻璃基板頂離載板的玻璃承載面時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為本實(shí)用新型提供的一種蒸鍍載板中一種蓋板機(jī)構(gòu)蓋合載板的針腳孔時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4為圖3所示結(jié)構(gòu)的蒸鍍載板中蓋板機(jī)構(gòu)打開載板的針腳孔時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖5為本實(shí)用新型提供的一種蒸鍍載板中另一種蓋板機(jī)構(gòu)蓋合載板的針腳孔時(shí)的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0026]圖6為圖5所示結(jié)構(gòu)的蒸鍍載板中蓋板機(jī)構(gòu)打開載板的針腳孔時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0028]請參考圖1和圖2，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的蒸鍍載板包括載板本體3，載板本體3上形成玻璃承載面31、且設(shè)有多個(gè)用于針腳5穿過的針腳孔33，載板本體3背離玻璃承載面31的一側(cè)表面32上設(shè)有當(dāng)玻璃承載面31朝向蒸鍍源2時(shí)覆蓋各針腳孔33的蓋板機(jī)構(gòu)34。
[0029]如圖1所示，在對貼附于玻璃承載面31上的玻璃基板進(jìn)行蒸鍍時(shí)，載板本體3需要放入蒸鍍裝置的蒸鍍腔室I內(nèi)，并且載板本體3形成的玻璃承載面31朝向蒸鍍源2，此時(shí)，蓋板機(jī)構(gòu)34能夠?qū)⑤d板本體3設(shè)有的針腳孔33覆蓋，進(jìn)而能夠防止輻射信號穿過針腳孔33照射至貼附在載板本體3的玻璃承載面31上的玻璃基板4朝向載板本體3的一面上，進(jìn)而使得玻璃基板4受熱均勻，提高玻璃基板4蒸鍍作業(yè)時(shí)的良率；當(dāng)玻璃基板4蒸鍍完成后，如圖2所示，將玻璃承載面31貼附有玻璃基板4的載板本體3取出蒸鍍裝置的蒸鍍腔室1，并且將載板本體3進(jìn)行反轉(zhuǎn)以使載板本體3的玻璃承載面31朝向，蓋板機(jī)構(gòu)34打開各針腳孔33，針腳5可以穿過針腳孔33將玻璃基板4頂離載板本體3。
[0030]因此，使用上述蒸鍍載板承載玻璃基板4時(shí)，對玻璃基板4進(jìn)行蒸鍍時(shí)玻璃基板4受熱均勻，能夠提高蒸鍍之后的玻璃基板4的質(zhì)量，進(jìn)而提高了使用該玻璃基板4制備的有機(jī)發(fā)光器件的產(chǎn)品質(zhì)量。
[0031]優(yōu)選地，上述蒸鍍載板中，蓋板機(jī)構(gòu)34可以包括多個(gè)子蓋板，每一個(gè)子蓋板的一個(gè)側(cè)邊通過樞轉(zhuǎn)軸安裝于載板本體3。
[0032]一種優(yōu)選實(shí)施方式中，上述蓋板機(jī)構(gòu)34中，每一個(gè)