一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種石英坩堝系統(tǒng)領(lǐng)域，特別是涉及一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]真空電弧法生產(chǎn)石英坩堝設(shè)備是目前世界上生產(chǎn)坩堝最先進的技術(shù)設(shè)備。它以電弧為熱源，離心成型的工藝制造坩堝。其特點是設(shè)備可操作性強，工藝成熟，產(chǎn)品利潤空間大，市場前景廣闊。石英玻璃坩堝是單晶硅生產(chǎn)中的關(guān)鍵必需品，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的龍頭產(chǎn)業(yè)。廣泛應(yīng)用于電子、化工等諸多行業(yè)。用電弧法制的半導(dǎo)體半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今，世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。主要是采用電弧為熱源，離心成型為基礎(chǔ)，融化預(yù)先成型的高純石英粉料，通過抽真空制造高純度內(nèi)層透明，外層乳白的石英坩堝裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的是提供一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統(tǒng)，包括主控制器以及與主控制器連接的繼電器1、驅(qū)動電路1、驅(qū)動電路II和繼電器II;所述繼電器I與驅(qū)動電路I相連，所述驅(qū)動電路I與電機I相連，所述電機I帶動電極上下運動；所述繼電器II與驅(qū)動電路II相連，所述驅(qū)動電路II與電機II相連，所述電機II帶動電極左右運動。
[0004]所述主控制器為PLC可編程邏輯控制器。
[0005]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點:
[0006]1.本發(fā)明設(shè)計合理、結(jié)構(gòu)簡單且電路部分連線簡單；
[0007]2.本系統(tǒng)的熔融裝置由加熱電極的打開、閉合及上升、下降二部分組成。電極的開閉和升降分別由二臺伺服電機控制，可在操作臺和機旁操作箱二處用按鈕點動操作。電極下降設(shè)有限位開關(guān)保護。便于操作和精確定位。
【附圖說明】
[0008]圖1為本發(fā)明的示意圖。
【具體實施方式】
[0009]參照圖1中，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統(tǒng)，包括主控制器以及與主控制器連接的繼電器1、驅(qū)動電路1、驅(qū)動電路II和繼電器II;所述繼電器I與驅(qū)動電路I相連，所述驅(qū)動電路I與電機I相連，所述電機I帶動電極上下運動；所述繼電器II與驅(qū)動電路II相連，所述驅(qū)動電路II與電機II相連，所述電機II帶動電極左右運動。
[0010]所述主控制器為PLC可編程邏輯控制器。
[0011]以上所述，僅是本發(fā)明的實施例，并非對本發(fā)明作任何限制，凡是根據(jù)本發(fā)明技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統(tǒng)，其特征在于:包括主控制器以及與主控制器連接的繼電器1、驅(qū)動電路1、驅(qū)動電路II和繼電器II;所述繼電器I與驅(qū)動電路I相連，所述驅(qū)動電路I與電機I相連，所述電機I帶動電極上下運動；所述繼電器II與驅(qū)動電路II相連，所述驅(qū)動電路II與電機II相連，所述電機II帶動電極左右運動。
2.如權(quán)利要求1所述一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統(tǒng)，其特征在于:所述主控制器為PLC可編程邏輯控制器。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統(tǒng)，包括主控制器以及與主控制器連接的繼電器I、驅(qū)動電路I、驅(qū)動電路II和繼電器II；所述繼電器I與驅(qū)動電路I相連，所述驅(qū)動電路I與電機I相連，所述電機I帶動電極上下運動；所述繼電器II與驅(qū)動電路II相連，所述驅(qū)動電路II與電機II相連，所述電機II帶動電極左右運動。本發(fā)明采用采用兩組電機分別帶動電極的上下左右移動，采用PLC可編程邏輯控制器可以準(zhǔn)確的控制電機的運動，以實現(xiàn)電極的精確移動。
【IPC分類】C30B15-20, G05B19-05
【公開號】CN104651925
【申請?zhí)枴緾N201310579586
【發(fā)明人】祝軍武, 高喜梅, 張新麗
【申請人】西安艾力特電子實業(yè)有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2013年11月16日