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一種帶有熱反射屏的坩堝的制作方法

文檔序號:11372004閱讀:457來源:國知局
一種帶有熱反射屏的坩堝的制造方法與工藝

本實用新型涉及碳化硅生產設備技術領域,具體涉及一種帶有熱反射屏的坩堝。



背景技術:

現(xiàn)有的液相法生長碳化硅晶體技術,都是通過加熱的方式將硅在高純石墨坩堝中融化,形成碳在硅中的溶液,再將頭部貼付有籽晶的石墨軸伸入到溶液中進行生長;

為了使上述反應有一個穩(wěn)定的溫度條件,可以在坩堝內設置熱反射屏,這樣可以將向外輻射的熱量反射回熔融體系中,降低反應的能耗,但是現(xiàn)有技術中的熱反射屏需要在坩堝內設置對應的支架才能實現(xiàn),但是該支架必須在制備時與坩堝置為一體,這樣就無法實現(xiàn)位置的可調,這就導致了在不同的晶體生長調節(jié)下,熱反射屏的位置是固定的,不利于熱量的反射,無法起到更好的節(jié)能和穩(wěn)定反應溫度的作用,因此如何解決這一問題成為現(xiàn)有技術中的難題。



技術實現(xiàn)要素:

本實用新型針對現(xiàn)有技術的不足,提供了一種帶有熱反射屏的坩堝,該坩堝包括坩堝體和坩堝蓋,所述坩堝體內壁圓周方向上均勻設置有4個插孔,垂直方向上設置有3組,且每組間距相同;通過插孔連接有支撐架,所述支撐架包括基座和與基座連接的伸縮桿,所述伸縮桿前端通過石墨托連接有支撐盤,所述支撐盤上設置有熱反射屏,所述熱反射屏中心設置通孔;采用這種結構的坩堝,使用時可以根據(jù)不同晶體生長的需要確定熱反射屏在坩堝體內的高度,然后將支撐架插入對應水平位置的插孔內,調節(jié)伸縮桿位置使反射屏更加穩(wěn)定,之后將熱反射屏放置在上述四個支撐架上即可,改變了現(xiàn)有技術中熱反射屏位置不可調,無法適應生產需求的弊端,實現(xiàn)了坩堝用途的多樣化。

本實用新型的具體技術方案是:

一種帶有熱反射屏的坩堝,該坩堝包括坩堝體和坩堝蓋,所述坩堝體內壁圓周方向上均勻設置有4個插孔,垂直方向上設置有3組,且每組間距相同;通過插孔連接有支撐架,所述支撐架包括基座和與基座連接的伸縮桿,所述伸縮桿前端通過石墨托連接有支撐盤,所述支撐盤上設置有熱反射屏,所述熱反射屏中心設置通孔;

所述的基座與插孔的孔徑配合,方便基座可以穩(wěn)固的插入插孔中,確保使用過程中不發(fā)生位移;由于采用了伸縮桿的設計,使得支撐盤的位置可以隨之調節(jié),這樣當熱反射屏放置在支撐盤上時,可以調節(jié)其接觸位置使熱反射屏更加穩(wěn)定;所述的支撐架由石墨材質制備而成;

為了避免對坩堝的過度侵蝕,所述的最底層插孔高于坩堝內的最高承載液面位置;這樣即使達到坩堝的最大承載液位,熔融液體也不會進入插孔內腐蝕插孔,從而減少其使用壽命,進而減少坩堝的使用壽命;

采用這種結構的坩堝,使用時可以根據(jù)不同晶體生長的需要確定熱反射屏在坩堝體內的高度,然后將支撐架插入對應水平位置的插孔內,這樣共4個支撐架彼此之間呈90度分布,之后調節(jié)伸縮桿位置使反射屏放置到上面后會更加穩(wěn)定,之后將熱反射屏放置在上述四個支撐架上即可,然后將上蓋扣好后即可開始晶體的生長;采用這種模式,可以方便的實現(xiàn)熱反射屏在坩堝內位置的垂直調整,較之現(xiàn)有固定式的熱反射屏效果更好,可以適應不同晶體生長的需要。

所述熱反射屏中心設置有通孔,其直徑大于籽晶軸直徑,這樣可以方便籽晶軸的進出;

綜上所述,采用這種結構的坩堝,使用時可以根據(jù)不同晶體生長的需要確定熱反射屏在坩堝體內的高度,然后將支撐架插入對應水平位置的插孔內,調節(jié)伸縮桿位置使反射屏更加穩(wěn)定,之后將熱反射屏放置在上述四個支撐架上即可,改變了現(xiàn)有技術中熱反射屏位置不可調,無法適應生產需求的弊端,實現(xiàn)了坩堝用途的多樣化。

附圖說明

圖1為本實用新型所述坩堝使用時的結構剖視圖;

圖2為本實用新型所述坩堝的結構剖視圖;

圖3為圖2中A-A剖視圖;

圖4為本實用新型所述支撐架的結構示意圖;

圖5為本實用新型所述熱反射屏的俯視圖;

圖中1為坩堝體,2為插孔,3為基座,4為支撐盤,5為石墨托,6為伸縮桿,7為坩堝蓋,8為支撐架,9為熱反射屏,10為通孔。

具體實施方式

一種帶有熱反射屏的坩堝,該坩堝包括坩堝體1和坩堝蓋7,所述坩堝體1內壁圓周方向上均勻設置有4個插孔2,垂直方向上設置有3組,且每組間距相同;通過插孔2連接有支撐架8,所述支撐架8包括基座3和與基座3連接的伸縮桿6,所述伸縮桿6前端通過石墨托5連接有支撐盤4,所述支撐盤4上設置有熱反射屏9,所述熱反射屏9中心設置通孔10;

為了避免對坩堝的過度侵蝕,所述的最底層插孔高于坩堝內的最高承載液面位置;

所述支撐架8采用石墨材料制成。

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