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一種氧化鋁的多晶坩堝及制備法的制作方法

文檔序號:11768188閱讀:828來源:國知局

本發(fā)明涉及一種坩堝,具體是一種氧化鋁的多晶坩堝及制備法。



背景技術:

單晶硅多用直拉法(cz)制備,其工藝需用坩堝做盛裝硅熔體的容器。過去,全世界無一例外,均采用電弧法熔制的石英玻璃坩堝,做拉制單晶硅盛硅熔體的容器。

石英玻璃坩堝的軟化點遠低于硅熔體的溫度,故用石英玻璃做拉制單晶硅的坩堝高溫時變形大,石英還易被熔硅浸蝕,故壽命不長?,F(xiàn)多為一個坩堝拉兩根單晶。

數(shù)十年來,一直有人企圖用其它陶瓷坩堝代換石英玻璃坩堝。

但現(xiàn)有的陶瓷坩堝的材性不夠好,不能同時滿足多次拉晶的需要。

單晶、多晶、玻璃和陶瓷的坩堝因系脆性材料,其在熱循環(huán)過種程中的破壞多為突然發(fā)生,即是配用現(xiàn)有的炭材防護堝幫,因尺寸不吻合,不易共同受力,也極難預防此突然產生的破裂。

現(xiàn)實的狀況是:石英玻璃坩堝的歷史悠久,制備技術十分成熟,產能龐大得過剩,單價己近觸底,坩堝費用在整個成本中佔的比例己不算大;單晶硅要進一步降低成本,只有走連續(xù)拉晶這一條路。多年來,人們未找到石英坩堝的替代物,只好僅限在延長石英坩堝的壽命上努力;但是采用石英玻璃坩堝無法實現(xiàn)連續(xù)拉制單晶硅。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明目的,是要解決采用現(xiàn)有石英玻璃坩堝時,因坩堝壽命短,導致無法連續(xù)拉制單晶硅;同時解決陶瓷等坩堝易碎等問題,從而提供一種長壽命、用于 生長單晶硅的坩堝及其制備方法。

本發(fā)明氧化鋁的多晶坩堝,由熔融的氧化硅多晶堝坯和c/c增強層組成,所述的c/c增強層包覆在前述堝坯的外表面上;

所述堝坯的厚度為:1mm~30mm;優(yōu)選厚度為5mm~15mm;

所述c/c增強層的厚度為1mm~15mm,優(yōu)選厚度為3mm~5mm;

所述的熔融的氧化硅多晶堝坯,用現(xiàn)有的電弧法石英坩堝機制備;其步驟為:1、將氧化鋁粉添加到坩堝的石墨模具的模腔中;2、轉動模具;3、人工用成型棒將轉動模具中的氧化鋁粉攤成所需形狀;4、將電弧加熱用的放電極移入模具的模腔中;5、電極通電,起??;6、電弧發(fā)出的輻射直接熔融氧化鋁粉體;7、熔融的氧化鋁在轉動產生的離心力作用下,緊貼模腔壁;8、氧化鋁粉體完全熔融后,逐漸停??;9、氧化鋁融熔體完全凝固后,模具停止轉動;10、冷卻后,從模腔中取出氧化鋁堝坯;11、對堝坯退火,機械整形。

所述的c/c增強層,可在堝坯上敷設;也可先制備成c/c托盤,氧化鋁多晶堝坯直接在托盤上成型。

本發(fā)明的優(yōu)點:

一、本發(fā)明的坩堝,它的堝坯不用石英玻璃,也不選燒結成型、有孔的陶瓷材料;而采用不與熔硅反應,但與石英玻璃一樣可以直接熔融成型、孔隙率為0的氧化鋁多晶做堝坯。它與石英相比,氧化鋁本身不與熔硅反應;它與陶瓷材料相比,其純度可很高,且無因孔隙引起熔硅滲入而破壞的可能。加之堝坯的外側有c/c增強層共同受力,防止開裂。用此坩堝做盛熔硅的容器,除不污染單晶外,壽命很長。

二、用石英玻璃坩堝機成型石英坩堝,是已有十分成熟的技術;利用此設備和技術,制備氧化鋁多晶堝坯,除因原料的熔點高一些,需對工藝參數(shù)作調整外, 均可直接利用。

本坩堝含c/c增強層后,特別適用于多次直拉單晶硅的盛硅器。

具體實施

本發(fā)明的坩堝,由熔融的氧化硅多晶堝坯和c/c增強層組成,所述的c/c增強層包覆在前述堝坯的外表面上;

所述堝坯的厚度為:1mm~30mm;優(yōu)選厚度為5mm~15mm;

所述c/c增強層的厚度為1mm~15mm,優(yōu)選厚度為3mm~5mm;

所述的熔融的氧化硅多晶堝坯,用現(xiàn)有的電弧法石英坩堝機制備。其步驟為:1、將氧化鋁粉添加到坩堝的石墨模具的模腔中;2、轉動模具;3、人工用成型棒將轉動模具中的氧化鋁粉攤成所需形狀;4、將電弧加熱用的放電極移入模具的模腔中;5、電極通電,起?。?、電弧發(fā)出的輻射直接熔融氧化鋁粉體;7、熔融的氧化鋁在轉動產生的離心力作用下,緊貼模腔壁;8、氧化鋁粉體完全熔融后,逐漸?;?;9、氧化鋁融熔體完全凝固后,模具停止轉動;10、冷卻后,從模腔中取出氧化鋁堝坯;11、對堝坯退火,機械整形。

所述的c/c增強層,可在堝坯上敷設;也可先制備成c/c托盤,氧化鋁多晶堝坯直接在托盤上成型。

當坩堝直徑較小,或在氧化氣氛中使用時,可不另設c/c層。



技術特征:

技術總結
一種氧化鋁的多晶坩堝及制備法,本坩堝由融熔成型的氧化鋁多晶堝坯和C/C增強層組成;所述的C/C增強層包覆在前述堝坯的外表面上;堝坯在現(xiàn)有的電弧法石英玻璃坩堝制備機上制備而成。本堝坯耐熔融硅浸蝕,壽命長且減少晶體含氧量;而緊貼在一起的C/C增強層能有效的防止陶瓷突然碎裂而漏硅的問題。

技術研發(fā)人員:張洪齊
受保護的技術使用者:羅萬前
技術研發(fā)日:2016.04.07
技術公布日:2017.10.20
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