一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)，通過設(shè)置進料管線和卸料管線，并借助真空泵，將三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉輸送至分離器中，一方面，實現(xiàn)了廢硅粉的封閉式回收，避免了硅粉與空氣中氧氣和水分接觸，保證的硅粉的活性，也降低了閃爆的危險，提高安全性；另一方面，降低人工勞動強度，保護了職工身體健康；通過分離器對廢硅粉中的大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵進行分離，將大顆粒的硅粉輸回收至三氯氫硅合成爐內(nèi)，避免將失去活性的小顆粒硅塵帶入三氯氫硅合成爐內(nèi)，能夠延長三氯氫硅合成爐的檢修周期；該廢硅粉回收系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，易于操作。
【專利說明】一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及三氯氫硅生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]三氯氫硅合成是通過工業(yè)級硅粉與氯化氫在三氯氫硅合成爐內(nèi)進行反應(yīng)生成的，并在三氯氫硅合成爐內(nèi)形成流化床層，由于硅粉及氯化氫氣體中的水分不能完全除去，部分水分被帶入三氯氫硅合成爐中與硅粉相互作用，導致反應(yīng)過程中一部分小顆粒的硅粉失去活性。當三氯氫硅合成爐運行一段時間以后，由于流化床層內(nèi)失去活性的小顆粒硅粉逐漸積累，導致流化床層內(nèi)的有效硅粉含量減少，三氯氫硅合成爐內(nèi)流化床層兩側(cè)的壓差變大，流化效果變差，三氯氫硅轉(zhuǎn)化率降低，導致局部過熱，出現(xiàn)燒毀風帽，爐體局部燒紅的現(xiàn)象。因此需要定期對三氯氫硅合成爐進行停爐檢修，將爐內(nèi)的廢硅粉泄出。
[0003]現(xiàn)有的廢硅粉回收方案是:三氯氫硅合成爐停爐后，先用氮氣將合成爐內(nèi)殘余的氯硅烷、氯化氫等氣體置換到廢氣淋洗裝置，再用堿液吸收后放空。置換合格后，再由人工將廢硅粉經(jīng)由三氯氫硅合成爐卸料閥泄出并裝袋，然后，將廢硅粉直接加入三氯氫硅合成爐內(nèi)，繼續(xù)與氯化氫反應(yīng)生產(chǎn)三氯氫硅，以循環(huán)利用。
[0004]該廢硅粉回收方案存在以下技術(shù)缺點:
[0005]1、需要人工將三氯氫硅合成爐內(nèi)的硅粉泄出裝袋，不但費時費力，而且還會對人員身體健康造成損害；
[0006]2、在人工將三氯氫娃合成爐內(nèi)的娃粉泄出裝袋的過程中，一方面，娃粉與空氣中的氧氣和水分接觸，會進一步導致硅粉失去活性，降低硅粉的回收利用率；另一方面，硅粉表面上附著有氯硅烷、氯化氫等有毒易燃物質(zhì)，容易發(fā)生閃爆，危險性高；
[0007]3、未對廢硅粉中失去活性的小顆粒硅粉進行分離，而是將全部廢硅粉回收使用，加劇了失去活性的小顆粒硅塵在三氯氫硅合成爐內(nèi)積累，使得三氯氫硅合成爐的檢修周期變短，檢修任務(wù)加重。
[0008]因此，亟需一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)以解決上述技術(shù)問題。實用新型內(nèi)容
[0009]本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)，用以解決三氯氫硅合成爐檢修周期變短、人力成本高、硅粉回收利用率低、安全性差的問題。
[0010]本實用新型為解決上述技術(shù)問題，采用如下技術(shù)方案:
[0011]本實用新型提供一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)，包括:分離器、三氯氫硅合成爐和真空泵，分離器分別與真空泵和三氯氫硅合成爐相連，分離器的排料口與三氯氫硅合成爐的進料口相連，分離器的進料口與進料管線的一端相連，三氯氫硅合成爐的出料口與卸料管線的一端相連，卸料管線的另一端與進料管線的另一端相連；
[0012]分離器能夠在真空泵的作用下形成負壓，將三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉經(jīng)由卸料管線和進料管線輸送至分離器內(nèi)，以及能夠?qū)U硅粉中大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵分離，并在三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉全部被輸送出之后，將大顆粒的硅粉輸送至三氯氫硅合成爐內(nèi)。
[0013]優(yōu)選的，所述卸料管線為金屬軟管。
[0014]進一步的，所述系統(tǒng)還包括氣體輸送管線，氣體輸送管線與三氯氫硅合成爐的椎體相連，能夠在三氯氫娃合成爐停爐后，向三氯氫娃合成爐內(nèi)輸送氮氣；
[0015]所述系統(tǒng)還包括調(diào)節(jié)閥、可編程中斷控制器PIC和用于檢測三氯氫硅合成爐頂端的壓力的第一壓力變送器，調(diào)節(jié)閥設(shè)置在氣體輸送管線上，第一壓力變送器設(shè)置于三氯氫硅合成爐的頂端；
[0016]第一壓力變送器、PIC和調(diào)節(jié)閥形成串級回路，PIC能夠根據(jù)第一壓力變送器檢測到的三氯氫硅合成爐頂端的壓力，控制調(diào)節(jié)閥的開度，以保證三氯氫硅合成爐頂端的壓力在預(yù)設(shè)的壓力范圍之內(nèi)；
[0017]分離器能夠?qū)⑷葰涔韬铣蔂t內(nèi)的廢硅粉和氮氣經(jīng)由卸料管線和進料管線輸送至分離器內(nèi)。
[0018]優(yōu)選的，三氯氫娃合成爐頂端的壓力為O?20kpa。
[0019]進一步的，所述系統(tǒng)還包括硅粉干燥罐，分離器的排料口和三氯氫硅合成爐的進料口通過硅粉干燥罐相連；硅粉干燥罐能夠在真空泵的作用下形成負壓，且能夠存儲并干燥大顆粒的硅粉，并在三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉全部被輸送出之后，將干燥后的大顆粒娃粉輸送至三氯氫娃合成爐內(nèi)。
[0020]進一步的，所述系統(tǒng)還包括硅粉過濾器，硅粉過濾器的入口與分離器的排氣口相連，硅粉過濾器的出口與真空泵的入口相連；
[0021]硅粉過濾器能夠在真空泵的作用下形成負壓，借助該負壓將分離器內(nèi)的氮氣和小顆粒的硅塵吸入硅粉過濾器內(nèi)，并過濾小顆粒的硅塵，且能夠?qū)⒌獨廨斔椭琳婵毡脙?nèi)，以使真空泵將氮氣放空。
[0022]優(yōu)選的，所述真空泵為水環(huán)真空泵，水環(huán)真空泵的入口的壓力為-60?lOOkpa。
[0023]優(yōu)選的，所述分離器、硅粉干燥罐和硅粉過濾器內(nèi)的負壓為-20?_60kpa。
[0024]優(yōu)選的，所述硅粉過濾器為布袋式硅粉過濾器。
[0025]優(yōu)選的，所述分離器為旋風分離器。
[0026]本實用新型具有如下有益效果:
[0027]本實用新型通過設(shè)置進料管線和卸料管線，并借助真空泵，將三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉輸送至分離器中，一方面，實現(xiàn)了廢硅粉的封閉式回收，避免了硅粉與空氣中氧氣和水分接觸，保證的硅粉的活性，也降低了閃爆的危險，提高安全性；另一方面，降低人工勞動強度，保護了職工身體健康；通過分離器對廢硅粉中的大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵進行分離，將大顆粒的硅粉輸回收至三氯氫硅合成爐內(nèi)，避免將失去活性的小顆粒硅塵帶入三氯氫硅合成爐內(nèi)，能夠延長三氯氫硅合成爐的檢修周期；該廢硅粉回收系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，易于操作。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1為本實用新型實施例提供的一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖。
[0029]圖例說明:
[0030]1、分離器2、三氯氫硅合成爐 3、真空泵
[0031]4、可編程中斷控制器5、第一壓力變送器 6、硅粉干燥罐
[0032]7、硅粉過濾器8、排水溝9、硅粉池
[0033]10、第二壓力變送器 11、分離器的排料口 12、分離器的進料口
[0034]13、分離器的排氣口 21、三氯氫硅合成爐的進料口
[0035]22、三氯氫硅合成爐的出料口23、椎體
[0036]61、調(diào)節(jié)閥101、進料管線102、卸料管線
[0037]103、氣體輸送管線 104、氣體輸出管線 111、第一閥門
[0038]112、第二閥門113、第三閥門114、第四閥門

【具體實施方式】
[0039]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細描述。
[0040]以下結(jié)合圖1詳細說明本實用新型的一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)。如圖1所示，該三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)包括:分離器1、三氯氫硅合成爐2和真空泵3，分離器I分別與真空泵3和三氯氫硅合成爐2相連，分離器的排料口 11與三氯氫硅合成爐的進料口 21相連，分離器的進料口 12與進料管線101的一端相連，三氯氫硅合成爐的出料口 22與卸料管線102的一端相連，卸料管線102的另一端與進料管線101的另一端相連。其中，分離器的排料口 11設(shè)置在分離器I的底端，分離器I的進料口 12設(shè)置在分離器I的中間部分。三氯氫硅合成爐的進料口 21設(shè)置在三氯氫硅合成爐的中間部分，三氯氫娃的出料口 22設(shè)置在三氯氫娃合成爐的底端。
[0041]分離器I能夠在真空泵3的作用下形成負壓，將三氯氫硅合成爐2內(nèi)的廢硅粉經(jīng)由卸料管線102和進料管線101輸送至分離器I內(nèi)，以及能夠?qū)U硅粉中大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵分離，并在三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉全部被輸送出之后，將大顆粒的硅粉輸送至三氯氫娃合成爐2內(nèi)。
[0042]如圖1所示，進料管線101是三氯氫硅生產(chǎn)過程中用于從硅粉池9中吸取硅粉原料并傳送至分離器I的管線。在進料管線101上設(shè)置有第一閥門111，卸料管線102與進料管線101的連接端可以設(shè)置在第一閥門111的上端。
[0043]優(yōu)選的，卸料管線102上還可以設(shè)置有第四閥門114，用以控制卸料管線102的通斷。卸料管線102可以選用金屬軟管，一旦發(fā)生磨損，金屬軟管拆卸方便，便于更換。
[0044]進一步的，該三氯氫硅停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)還可以包括氣體輸送管線103，氣體輸送管線103與三氯氫娃合成爐2的椎體23相連,能夠在三氯氫娃合成爐2停爐后，向三氯氫娃合成爐2內(nèi)輸送氮氣。輸送氮氣主要的目的有2個,一是置換三氯氫娃合成爐2內(nèi)殘留的氯硅烷和氯化氫氣體，保證廢硅粉回收的安全性；二是在三氯氫硅生產(chǎn)過程中，廢硅粉逐漸積累在三氯氫硅合成爐的進料口 21與三氯氫硅的出料口 22之間的位置，形成流化床層，通過向三氯氫硅合成爐內(nèi)通入氮氣，可以將流化床層的廢硅粉吹起并使其均勻分布，方便廢硅粉能夠順利從三氯氫硅合成爐的出料口排出。
[0045]在三氯氫硅合成爐2的頂部連接有氣體輸出管線104，氣體輸出管線104用于將置換的氯硅烷和氯化氫氣體從三氯氫硅合成爐2中輸出。需要說明的是，氣體輸出管線104在置換完成之后便關(guān)閉，在廢硅粉回收過程中，氮氣可以與廢硅粉一同經(jīng)由三氯氫硅合成爐的出料口 22輸送至卸料管線102。
[0046]進一步的，該三氯氫硅停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)還可以包括調(diào)節(jié)閥61、可編程中斷控制器PIC4用于檢測三氯氫硅合成爐頂端的壓力的第一壓力變送器5，調(diào)節(jié)閥61設(shè)置在氣體輸送管線103上,第一壓力變送器5設(shè)置于三氯氫娃合成爐2的頂端。
[0047]第一壓力變送器5、PIC4和調(diào)節(jié)閥61可以形成串級回路，PIC4能夠根據(jù)第一壓力變送器5檢測到的三氯氫硅合成爐頂端的壓力，控制調(diào)節(jié)閥61的開度，以保證在廢硅粉回收過程中三氯氫硅合成爐2頂端的壓力處于預(yù)設(shè)的壓力范圍之內(nèi)。優(yōu)選的，三氯氫硅合成爐2頂端的壓力可以為O?20kpa(即預(yù)設(shè)的壓力范圍)。將三氯氫硅合成爐2頂端的壓力控制在O?20kpa，可以避免三氯氫硅合成爐2內(nèi)氣流流速過高，使得后續(xù)分離器I能夠順利分離廢硅粉中的大顆粒的硅粉和小顆粒的硅塵。
[0048]分離器I能夠借助真空泵在分離器I內(nèi)形成的負壓，將三氯氫硅合成爐2內(nèi)的廢硅粉和氮氣經(jīng)由卸料管線102和進料管線101輸送至分離器I內(nèi)。
[0049]進一步的，該三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)還可以包括硅粉干燥罐6，分離器的排料口 11和三氯氫硅合成爐的進料口 21通過硅粉干燥罐6相連，即硅粉干燥罐6設(shè)置在分離器I與三氯氫硅合成爐2之間的連接管線上。硅粉干燥罐6也能夠在真空泵3的作用下形成負壓，且能夠存儲并干燥大顆粒的硅粉，并在三氯氫硅合成爐2內(nèi)的廢硅粉全部被輸送出之后，將干燥后的大顆粒硅粉輸送至三氯氫硅合成爐2內(nèi)。其中，在硅粉干燥罐6與三氯氫硅合成爐的進料口 21相連的管線上設(shè)置有閥門(圖中未繪示)，當真空泵3將分離器I和娃粉干燥罐6內(nèi)抽成負壓時,該設(shè)置在娃粉干燥罐6與三氯氫娃合成爐的進料口 21相連的管線上的閥門關(guān)閉；在三氯氫硅合成爐2內(nèi)的廢硅粉全部被輸送出之后，該閥門開啟，存儲在干燥罐6內(nèi)的干燥后的大顆粒硅粉則可以輸送至三氯氫硅合成爐2內(nèi)。
[0050]通過向硅粉干燥罐6內(nèi)通入熱的氮氣，例如400°C的氮氣，對大顆粒的硅粉進行干燥,還可以借助熱的氮氣將附著在大顆粒的硅粉表面的氯硅烷和氯化氫氣體分離出來。分離出的氯硅烷和氯化氫氣體可以被輸送至到廢氣淋洗裝置(圖中未繪示)，用堿液進行吸收后放空。這樣可以免在泄硅粉過程中將氯硅烷和氯化氫氣體排入大氣，減少了環(huán)境污染，改善了廠區(qū)的生產(chǎn)環(huán)境，更為環(huán)保。
[0051]進一步的，該三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)還可以包括硅粉過濾器7，硅粉過濾器7的入口與分離器的排氣口 13相連，硅粉過濾器7的出口與真空泵3的入口相連。如圖1所示，在硅粉過濾器7與真空泵3相連的管線上，設(shè)置有第二閥門112，在硅粉過濾器7與分離器I相連的管線上設(shè)置有第三閥門113。
[0052]硅粉過濾器7能夠在真空泵3的作用下形成負壓，借助該負壓將分離器I內(nèi)的氮氣和小顆粒的硅塵吸入硅粉過濾器7內(nèi)，并過濾小顆粒的硅塵，且能夠?qū)⒌獨廨斔椭琳婵毡?內(nèi)，以使真空泵3將氮氣放空。
[0053]具體的，氮氣和從廢硅粉中分離出的小顆粒硅塵經(jīng)由分離器的排氣口 13進入硅粉過濾器7，由硅粉過濾器7對小顆粒的硅塵進行過濾，并將氮氣輸送至真空泵3內(nèi)。真空泵3的出口可以與排水溝8相通，通過將氮氣排入排水溝8放空。
[0054]由于可能存在硅粉過濾器7對小顆粒的硅塵過濾不徹底，使得一部分小顆粒的硅塵被帶入真空泵3內(nèi)，因此，真空泵3優(yōu)選選用水環(huán)真空泵，以減小設(shè)備損壞的幾率。
[0055]水環(huán)真空泵的入口的壓力必須適中，若壓力過大，則會將大顆粒的硅粉也吸入至硅粉過濾器7和水環(huán)真空泵內(nèi)，若壓力過小，則無法將小顆粒的硅塵吸入至硅粉過濾器7內(nèi)，影響分離器I的分離效果。優(yōu)選的，水環(huán)真空泵的入口的壓力可以為-60?lOOkpa。水環(huán)真空泵的入口的壓力可以根據(jù)水環(huán)真空泵的進水閥門的開度和水環(huán)真空泵的入口閥門的開度來調(diào)節(jié)。
[0056]優(yōu)選的，分離器1、娃粉干燥罐6和娃粉過濾器7內(nèi)的負壓可以為-20?_60kpa,也就是說，可以利用真空泵3將分離器1、硅粉干燥罐6和硅粉過濾器7內(nèi)的壓力抽成-20?-60kpa的負壓。當?shù)谝婚y門111、第四閥門114和設(shè)置于娃粉干燥罐6與三氯氫硅合成爐的進料口 21相連的管線上的閥門關(guān)閉，且第二閥門112和第三閥門113開啟時，真空泵3可以將分離器1、硅粉干燥罐6和硅粉過濾器7內(nèi)的壓力抽成-20?-60kpa的負壓。
[0057]優(yōu)選的，硅粉過濾器7可以為布袋式硅粉過濾器，分離器I可以為旋風分離器。
[0058]如圖1所示，所述三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)還可以包括主控制器(圖中未繪示)和用于檢測三氯氫硅合成爐底端的壓力的第二壓力變送器10。第二壓力變送器10與三氯氫硅合成爐的花盤相連，主控制器分別與第一壓力變送器5、第二壓力變送器10和PIC4相連，能夠在第一壓力變送器5檢測到的三氯氫硅合成爐頂端的壓力與第二壓力變送器10檢測到的三氯氫硅合成爐底端的壓力之差為零時，控制真空泵3停止工作，并控制所有閥門(即第一閥門111、第二閥門112、第三閥門113、第四閥門114、設(shè)置在硅粉干燥罐6與三氯氫硅合成爐的進料口 21相連的管線上的閥門以及調(diào)節(jié)閥61)關(guān)閉。也就是說，當三氯氫硅合成爐頂端與底端的壓力差為O時，說明爐內(nèi)的廢硅粉已抽完，廢硅粉回收過程結(jié)束。
[0059]為了清楚說明本實用新型的技術(shù)方案，以下結(jié)合圖1，對本實用新型的三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)的工作過程進行詳細說明。
[0060]如圖1所示，當三氯氫硅合成爐2停爐后，開啟調(diào)節(jié)閥61，利用氮氣對三氯氫硅合成爐內(nèi)殘余的氯硅烷和氯化氫氣體進行置換，以使氯硅烷和氯化氫氣體通過氣體輸出管線104輸送到廢氣淋洗裝置，用堿液進行吸收后放空。
[0061]置換完成后，通過氣體輸出管線104上的閥門(圖中未繪示)，將三氯氫硅合成爐I內(nèi)的壓力(即三氯氫硅合成爐頂端的壓力)降至某一壓力閾值，該閾值的范圍為O?20kpa，并將該壓力閾值設(shè)置在PIC4上。
[0062]先開啟第二閥門112和第三閥門113，并關(guān)閉第一閥門111、第四閥門114和硅粉干燥罐6與三氯氫硅合成爐的進料口 21相連的管線上設(shè)置的閥門，啟動真空泵3，將硅粉干燥罐6，分離器1，硅粉過濾器7內(nèi)抽成-20?-60kpa的負壓。然后再開啟第四閥門114，在壓差的作用下，廢硅粉經(jīng)由三氯氫硅合成爐的出料口 22輸送至卸料管線102和進料管線101，并進入分離器I內(nèi)進行分離。其中，分離出的氮氣及小顆粒的硅塵由分離器的排氣口13進入硅粉過濾器7，硅粉過濾器7將小顆粒的硅塵進行過濾，并將氮氣輸送至真空泵3，經(jīng)過真空泵3進行放空，其中，將真空泵3的入口的壓力控制在-60?lOOkpa。分離出的大顆粒的硅粉由分離器的排料口 11進入硅粉干燥罐6進行干燥并存儲在硅粉干燥罐6內(nèi)。在三氯氫娃合成爐2內(nèi)的廢娃粉全部被輸送出之后，開啟設(shè)置在娃粉干燥罐6與三氯氫娃合成爐的進料口 21相連的管線上的閥門，將干燥后的大顆粒的硅粉經(jīng)由三氯氫硅合成爐的進料口 21輸送至三氯氫硅合成爐2內(nèi)，從而實現(xiàn)廢硅粉回收利用。
[0063]在回收廢硅粉的過程中，PIC4可以根據(jù)第一壓力變送器5調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)閥61的開度，從而保證三氯氫硅合成爐2頂端的壓力保持在壓力閾值以下。一旦第一壓力變送器5檢測到三氯氫硅合成爐2內(nèi)的壓力大于該壓力閾值，則PIC4控制調(diào)節(jié)閥61減小其閥門開度。
[0064]當主控制器判斷出第一壓力變送器5檢測到的三氯氫硅合成爐頂端的壓力與第二壓力變送器10檢測到的三氯氫硅合成爐底端的壓力之差為零時，控制真空泵3停止工作，并控制上述閥門關(guān)閉，廢硅粉回收過程結(jié)束。
[0065]本實用新型通過設(shè)置進料管線和卸料管線，并借助真空泵，將三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉輸送至分離器中，一方面，實現(xiàn)了廢硅粉的封閉式回收，避免了硅粉與空氣中氧氣和水分接觸，保證的硅粉的活性，也降低了閃爆的危險，提高安全性；另一方面，降低人工勞動強度，保護了職工身體健康；通過分離器對廢硅粉中的大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵進行分離，將大顆粒的硅粉輸回收至三氯氫硅合成爐內(nèi)，避免將失去活性的小顆粒硅塵帶入三氯氫硅合成爐內(nèi)，能夠延長三氯氫硅合成爐的檢修周期；該廢硅粉回收系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，易于操作。
[0066]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種三氯氫硅合成爐停爐后廢硅粉回收系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括:分離器、三氯氫硅合成爐和真空泵，分離器分別與真空泵和三氯氫硅合成爐相連，分離器的排料口與三氯氫硅合成爐的進料口相連，分離器的進料口與進料管線的一端相連，三氯氫硅合成爐的出料口與卸料管線的一端相連，卸料管線的另一端與進料管線的另一端相連； 分離器能夠在真空泵的作用下形成負壓，將三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉經(jīng)由卸料管線和進料管線輸送至分離器內(nèi)，以及能夠?qū)U硅粉中大顆粒的硅粉與小顆粒的硅塵分離，并在三氯氫娃合成爐內(nèi)的廢娃粉全部被輸送出之后，將大顆粒的娃粉輸送至三氯氫娃合成爐內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述卸料管線為金屬軟管。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括氣體輸送管線，氣體輸送管線與三氯氫娃合成爐的椎體相連，能夠在三氯氫娃合成爐停爐后，向三氯氫娃合成爐內(nèi)輸送氮氣; 所述系統(tǒng)還包括調(diào)節(jié)閥、可編程中斷控制器PIC和用于檢測三氯氫硅合成爐頂端的壓力的第一壓力變送器，調(diào)節(jié)閥設(shè)置在氣體輸送管線上，第一壓力變送器設(shè)置于三氯氫硅合成爐的頂端； 第一壓力變送器、Pic和調(diào)節(jié)閥形成串級回路，PIC能夠根據(jù)第一壓力變送器檢測到的三氯氫硅合成爐頂端的壓力，控制調(diào)節(jié)閥的開度，以保證三氯氫硅合成爐頂端的壓力在預(yù)設(shè)的壓力范圍之內(nèi)； 分離器能夠?qū)⑷葰涔韬铣蔂t內(nèi)的廢硅粉和氮氣經(jīng)由卸料管線和進料管線輸送至分離器內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，三氯氫硅合成爐頂端的壓力為O?20kpa。
5.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括硅粉干燥罐，分離器的排料口和三氯氫硅合成爐的進料口通過硅粉干燥罐相連；硅粉干燥罐能夠在真空泵的作用下形成負壓，且能夠存儲并干燥大顆粒的硅粉，并在三氯氫硅合成爐內(nèi)的廢硅粉全部被輸送出之后，將干燥后的大顆粒硅粉輸送至三氯氫硅合成爐內(nèi)。
6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括硅粉過濾器，硅粉過濾器的入口與分離器的排氣口相連，硅粉過濾器的出口與真空泵的入口相連； 硅粉過濾器能夠在真空泵的作用下形成負壓，借助該負壓將分離器內(nèi)的氮氣和小顆粒的硅塵吸入硅粉過濾器內(nèi)，并過濾小顆粒的硅塵，且能夠?qū)⒌獨廨斔椭琳婵毡脙?nèi)，以使真空泵將氮氣放空。
7.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述真空泵為水環(huán)真空泵，水環(huán)真空泵的入口的壓力為-60?lOOkpa。
8.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述分離器、硅粉干燥罐和硅粉過濾器內(nèi)的負壓為-20?_60kpa。
9.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述硅粉過濾器為布袋式硅粉過濾器。
10.如權(quán)利要求1-9任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述分離器為旋風分離器。
【文檔編號】C01B33/107GK204111335SQ201420631029
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年10月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月28日
【發(fā)明者】武珠峰, 吳昌勇 申請人:新特能源股份有限公司