專利名稱：一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種濕法除塵裝置，特別是一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置， 屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
[0002]在改良西門子法多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中，三氯氫硅是重要的生產(chǎn)原料，為了最大限度的利用資源，節(jié)約生產(chǎn)成本，減少環(huán)境污染，一般都設(shè)置有配套的三氯氫硅合成和四氯化硅氫化系統(tǒng)，以合成三氯氫硅和循環(huán)利用多晶硅還原工序中產(chǎn)生的四氯化硅。[0003]三氯氫硅合成工序中，在合成塔內(nèi)流化狀態(tài)的硅粉和氯化氫反應(yīng)生成三氯氫硅， 合成塔出來的混合氣中含有三氯氫娃，四氯化娃，二氯二氫娃，氯化氫、氫氣、少量娃粉及高聚物等組分，合成氣首先經(jīng)過旋風(fēng)分離器和網(wǎng)袋過濾器可以除去合成氣中絕大部分硅粉， 然后再通過濕法除塵裝置除去微量硅粉及高聚物。[0004]傳統(tǒng)的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置是通過塔頂冷凝器冷凝下來的氯硅烷液體自然回流至塔內(nèi)對合成氣進(jìn)行洗滌，由于自然回流量不易控制且受系統(tǒng)波動影響大，固體雜質(zhì)及高聚物在洗滌塔塔體內(nèi)不能得到有效洗滌而隨上升氣流夾帶至冷凝器內(nèi)，在冷凝過程中，雜質(zhì)不斷地殘留在冷凝器列管內(nèi)，堵塞氣流通道、減少有效換熱面，降低換熱效率；堵塞到一定程度后導(dǎo)致系統(tǒng)憋壓而不得不減量運(yùn)行，嚴(yán)重的將堵死冷凝器的列管，導(dǎo)致合成系統(tǒng)被迫停車檢修，使得生產(chǎn)系統(tǒng)中存在安全隱患，甚至發(fā)生嚴(yán)重的安全事故；不僅如此， 含有固體雜質(zhì)的合成氣體在后續(xù)的合成尾氣回收工序中，還容易對尾氣回收工序的換熱器和過濾器等設(shè)備造成堵塞，影響整個多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。發(fā)明內(nèi)容[0005]本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對上述存在的問題，提供一種新型的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，該除塵裝置能有效的除去合成氣中的固體雜質(zhì)及高聚物，以降低因冷凝器及管線堵塞停車檢修的頻率，保證裝置長周期、穩(wěn)定地運(yùn)行。[0006]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下[0007]—種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，包括塔體、塔底的再沸器和塔頂?shù)睦淠鳎涮卣髟谟谒隼淠髦了w的回流管道上，設(shè)置有回流槽和回流泵，且所述回流泵位于回流槽的出口。[0008]所述回流管道上還設(shè)置有過濾器，且所述過濾器位于回流槽與回流泵之間。[0009]所述過濾器的個數(shù)為至少2個，且相互并聯(lián)。[0010]所述回流管道上還設(shè)置有控制閥，且所述控制閥位于回流泵與塔體之間。[0011]本實(shí)用新型的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，所述塔體上部設(shè)置的氣體出口管道連接冷凝器，冷凝器還設(shè)置有氣體出口和冷凝液出口，冷凝液出口通過回流管道回流至塔頂進(jìn)行合成氣的洗滌，合成氣的進(jìn)口設(shè)置在塔體的中部，塔體底部的洗滌后帶雜質(zhì)的冷凝液通過再沸器蒸發(fā)濃縮后，從塔體底部的殘液采出口排出，本實(shí)用新型采用在回流管道上3設(shè)置回流槽和回流泵的方式建立回流，回流槽能夠存儲一定量的回流液體，能夠?yàn)榛亓鞅玫奶峁┓€(wěn)定的液體流量；過濾器能進(jìn)一步的過濾除去在冷凝液中的固體雜質(zhì)；兩個以上的過濾器則為裝置預(yù)留了備用的過濾器，以便于生產(chǎn)中對過濾器進(jìn)行維護(hù)和更換清洗；回流泵與塔體間的回流管道上的控制閥能夠相當(dāng)方便的調(diào)節(jié)回流泵出口的流量，以保證除塵裝置工況的穩(wěn)定調(diào)節(jié)。[0012]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是該三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置設(shè)計(jì)巧妙，回流管道的流量穩(wěn)定，易于控制，裝置操作穩(wěn)定，使得洗滌效果大大加強(qiáng)，能有效的除去合成氣中固體雜質(zhì)及高聚物，降低因冷凝器及管線堵塞停車檢修的頻率，保證裝置長周期運(yùn)行，為產(chǎn)品產(chǎn)量及質(zhì)量提供了保障。


[0013]圖I是本實(shí)用新型的裝置連接示意圖。[0014]圖中標(biāo)記1_塔體、2-再沸器、3-冷凝器、4-回流管道、5-回流槽、6-過濾器、7-回流泵、8-控制閥。
具體實(shí)施方式
[0015]
以下結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作詳細(xì)的說明。[0016]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。實(shí)施例[0017]本實(shí)用新型的一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，如圖I所示，塔體I的下部設(shè)置再沸器2，上部設(shè)置冷凝器3，塔體I的中部還設(shè)置有進(jìn)氣口，底部設(shè)置有殘液采出口，所述冷凝器3采用雙管程的立式列管冷凝器，上部的封頭一側(cè)的進(jìn)口與塔體I的頂部出氣口連接，另一側(cè)的出口與合成尾氣干法回收管道連接，冷凝器3底部封頭的冷凝液出口設(shè)置回流管道4至塔體I頂部，回流管道4上依次設(shè)置回流槽5和回流泵7，所述回流槽5和回流泵7間的回流管道4上，設(shè)置2個相并列的過濾器6，回流泵7和塔體I間的回流管道4上， 設(shè)置控制閥8，所述控制閥8選用氣動控制閥，本實(shí)用新型的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置中，所述塔體I、再沸器2、冷凝器3、回流槽5和過濾器6，還包括除塵裝置中的其他組件以及連接管道和閥門，均采用不銹鋼制成，所述回流泵7采用屏蔽泵。[0018]本實(shí)用新型的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置設(shè)計(jì)巧妙，回流管道的流量穩(wěn)定，易于控制，裝置操作穩(wěn)定，使得洗滌效果大大加強(qiáng)，能有效的除去合成氣中固體雜質(zhì)及高聚物，降低因冷凝器及管線堵塞停車檢修的頻率，保證裝置長周期運(yùn)行，為產(chǎn)品產(chǎn)量及質(zhì)量提供了保障。[0019]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，包括塔體(I)、塔底的再沸器(2)和塔頂?shù)睦淠?3)，其特征在于所述冷凝器(3)至塔體(I)的回流管道(4)上，設(shè)置有回流槽(5)和回流泵(7)，且所述回流泵(7)位于回流槽(5)的出口。
2.如權(quán)利要求I所述的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，其特征在于所述回流管道(4)上還設(shè)置有過濾器(6 )，且所述過濾器(6 )位于回流槽(5 )與回流泵(7 )之間。
3.如權(quán)利要求2所述的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，其特征在于所述過濾器(6)的個數(shù)為至少2個，且相互并聯(lián)。
4.如權(quán)利要求I或2或3所述的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，其特征在于所述回流管道(4 )上還設(shè)置有控制閥(8 )，且所述控制閥(8 )位于回流泵(7 )與塔體(I)之間。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種濕法除塵裝置，特別是一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，本實(shí)用新型的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置包括塔體、冷凝器和再沸器，所述冷凝器的回流管道設(shè)置有回流槽和回流泵，通過所述回流槽和回流泵為塔體建立穩(wěn)定的回流，保證回流管道的流量穩(wěn)定，本除塵裝置操作穩(wěn)定，易于控制，使得洗滌效果大大加強(qiáng)，能有效的除去合成氣中固體雜質(zhì)及高聚物，降低因冷凝器及管線堵塞停車檢修的頻率，保證裝置長周期運(yùn)行，為產(chǎn)品產(chǎn)量及質(zhì)量提供了保障。
文檔編號C01B33/107GK202808382SQ201220428230
公開日2013年3月20日 申請日期2012年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月28日
發(fā)明者羅邦彥 申請人:四川瑞能硅材料有限公司