一種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的載板及加熱裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制備領(lǐng)域，尤其涉及一種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的載板及加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]異質(zhì)結(jié)太陽能電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池，相對傳統(tǒng)單/多晶硅電池，有更高的發(fā)電效率，更好的穩(wěn)定性和更低的成本。其PN結(jié)制備工序是采用板式PECVD制成，在PECVD制程中用到一種工裝夾具-載板。如圖1A所示，常規(guī)載板，是在一整塊金屬板或非金屬板200 (如CFC板)上開槽和或孔201，制成大載板200A，在槽和或孔201中放置硅片。如圖1B所示，在PECVD中載板200A放置在加熱板300上工作，由于載板200A較大，容易變形，使得載板200A和加熱板300之間產(chǎn)生間隙，導(dǎo)致放置載板200A上的硅片溫差較大，且使得等離子體變得不均勻，容易產(chǎn)生輝光放電，嚴(yán)重影響PN結(jié)的制備質(zhì)量。因此，設(shè)計一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的載板，對于提高異質(zhì)結(jié)太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率，降低生產(chǎn)成本有著重大意義和應(yīng)用前景。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，提供一種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的載板及加熱裝置，其可以有效較少加熱時硅片受到載板的變形的影響，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下設(shè)計方案:
[0005]—種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的載板，其包括框架、底板，所述框架設(shè)有至少一個開孔，所述開孔的內(nèi)邊設(shè)有臺階形邊槽，所述底板設(shè)有至少一個開孔，底板上的開孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的開孔內(nèi)，卡設(shè)在開孔內(nèi)邊的臺階形邊槽上。
[0006]優(yōu)選的，所述載板可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0007]—種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的加熱裝置，其包括載板、加熱板，所述載板放置在加熱板上，所述載板包括框架、底板，所述框架設(shè)有至少一個開孔，所述開孔的內(nèi)邊設(shè)有臺階形邊槽，所述底板設(shè)有至少一個開孔，底板上的開孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的開孔內(nèi)，并卡設(shè)在開孔內(nèi)邊的臺階形邊槽上。
[0008]優(yōu)選的，所述載板可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0009]本實用新型采用以上設(shè)計方案，通過框架托起底板，放置到加熱板上，當(dāng)放下框架時底板先被放置到加熱板上，經(jīng)過一定距離后，框架才被放置到加熱板上，此時框架和底板之間有一定間隙，由于底板尺寸較小，相對變形也小，框架由于尺寸大，變形也大，但是兩者之間有一定間隙，框架的變形不會影響到載板，所以放置到底板上的硅片受到載板的變形的影響減少很多，更好的穩(wěn)定了等離子體，提高HIT太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
【附圖說明】
[0010]圖1A為傳統(tǒng)載板不意圖；
[0011 ]圖1B為傳統(tǒng)載板放置到PECVD加熱板上的示意圖；
[0012]圖2A為本實用新型載板的框架示意圖；
[0013]圖2B為本實用新型載板的底板不意圖；
[0014]圖2C為本實用新型載板的組裝平面示意圖；
[0015]圖2D為本實用新型載板的組裝側(cè)面示意圖。
[0016]圖2E為本實用新型加熱裝置的剖視圖。
【具體實施方式】
[0017]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0018]本實用新型公開了一種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的載板及加熱裝置，如圖2A、2B、2C所示，所述載板700A包括框架500A和底板600A，所述框架500A為在一金屬板或非金屬板500 (如:CFC板)上開一個或多個內(nèi)邊具有臺階形邊槽502的孔501，形成框架500A ;所述底板600A為在一塊較小的金屬板或非金屬版600上開槽和或孔601形成底板600A，所述底板600A用來放置硅片；如圖2C所示，所述載板700A為把底板600A放置到框架500A的內(nèi)邊具有臺階形邊槽502的孔501內(nèi)組合形成載板700A ;如圖2D所示，由于框架500A上的孔501具有臺階形邊槽502，底板600A放到孔501里面時，底板600A會向下凸起；如圖2E所示，框架500A托起底板600A，放置到PECVD加熱板300上面，當(dāng)放下框架500A時底板600A先被放置到加熱板上，經(jīng)過一定距離后，框架500A才被放置到加熱板300上，此時框架500A和底板600A之間有一定間隙700，由于底板600A尺寸較小，相對變形也小，框架500A由于尺寸大，變形也大，但是兩者之間有一定間隙，框架500A的變形不會影響到載板600A，所以放置到載板700A上的硅片受到載板700A的變形的影響減少很多，更好的穩(wěn)定了等離子體，提高HIT太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
[0019]本實施例只是示意性的表示出了可以放置4X4個底板及6X6片硅片，實際情況根據(jù)需要制成可以放置N X N個底板的框架，以及放置及N X N片硅片的底板，也可以制成NXN載板拼接而成。
[0020]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的載板，其特征在于:包括框架、底板，所述框架設(shè)有至少一個開孔，所述開孔的內(nèi)邊設(shè)有臺階形邊槽，所述底板設(shè)有至少一個開孔，底板上的開孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的開孔內(nèi)，并卡設(shè)在開孔內(nèi)邊的臺階形邊槽上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作太陽能電池片時用于硅片沉積的載板，其特征在于:所述載板可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。3.一種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的加熱裝置，其特征在于:包括載板、加熱板，所述載板放置在加熱板上，所述載板包括框架、底板，所述框架設(shè)有至少一個開孔，所述開孔的內(nèi)邊設(shè)有臺階形邊槽，所述底板設(shè)有至少一個開孔，底板上的開孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的開孔內(nèi)，并卡設(shè)在開孔內(nèi)邊的臺階形邊槽上。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制作太陽能電池片時用于硅片沉積的加熱裝置，其特征在于:所述載板可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡1，B彡10
【專利摘要】本實用新型公開了一種制作太陽能電池片時用于硅片沉積的載板和加熱裝置，其中所述載板包括框架、底板，所述框架設(shè)有至少一個開孔，所述開孔的內(nèi)邊設(shè)有臺階形邊槽，所述底板設(shè)有至少一個開孔，底板上的開孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的開孔內(nèi)，并卡設(shè)在開孔內(nèi)邊的臺階形邊槽上。所述加熱裝置包括載板、加熱板，所述載板放置在加熱板上。本實用新型通過框架托起底板，放置到加熱板上，當(dāng)放下框架時底板先被放置到加熱板上，經(jīng)過一定距離后，框架才被放置到加熱板上，兩者之間有一定間隙，框架的變形不會影響到底板，硅片受到載板的變形的影響減少很多，更好穩(wěn)定了等離子體，提高HIT太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
【IPC分類】C23C16/458, C23C16/46
【公開號】CN204874731
【申請?zhí)枴緾N201520490975
【發(fā)明人】楊與勝, 王樹林, 倪鵬玉, 莊輝虎
【申請人】鈞石(中國)能源有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年7月9日