一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于磁控濺射鍍膜領(lǐng)域，具體涉及到一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶。
【背景技術(shù)】
[0002]在磁控濺射鍍膜過程中，磁場由于各種原因在使用的過程中會衰減，這樣會導(dǎo)致產(chǎn)品的廢品率提高。因此需要經(jīng)常調(diào)整磁場強度。目前使用的調(diào)節(jié)方法非常不方便，需要拆卸靶材和導(dǎo)磁板，調(diào)節(jié)墊片的高度，再安裝導(dǎo)磁板和靶板，然后再測量磁場，如果磁場不合格還需要進(jìn)行反復(fù)裝拆，直到合格位置，需要兩人以上合力才能完成，所以工作時間長，勞動強度大，難于控制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的通過對原始的磁控濺射靶的結(jié)構(gòu)改造，提供一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶，解決上述磁場強度調(diào)整過程的不足。
[0004]本發(fā)明是通過以下方式實現(xiàn)的一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶，主要包括靶體和導(dǎo)磁體，所述的靶體下端設(shè)有四個通孔，每兩個通孔是相對的，在靶體內(nèi)設(shè)有調(diào)節(jié)軸，調(diào)節(jié)軸的下端位于通孔內(nèi)，每一個通孔對應(yīng)一個調(diào)節(jié)軸，鎖緊螺母通過壓套III安裝在通孔內(nèi)且與調(diào)節(jié)軸的下端固定，通過旋轉(zhuǎn)鎖緊螺母從而帶動調(diào)節(jié)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述的調(diào)節(jié)軸上設(shè)有壓套I和壓套II，壓套I是將調(diào)節(jié)軸進(jìn)行定位的，壓套I和壓套II之間設(shè)有O型密封圈且壓套I位于壓套II的上方，通過O型密封圈和壓套II可以將靶體內(nèi)部的液體很好的密封起來，不會出現(xiàn)在調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)軸的時候出現(xiàn)漏液問題，壓套I通過螺栓固定在靶體內(nèi)，壓套I與靶體之間設(shè)有O型密封圈，導(dǎo)磁體的四端通過螺栓固定在可調(diào)支撐板上，則該導(dǎo)磁體通過可調(diào)支撐板安裝在調(diào)節(jié)軸上，這樣一來可以通過可調(diào)支撐板對導(dǎo)磁體進(jìn)行上下調(diào)節(jié)。
[0005]所述的可調(diào)節(jié)支撐板使用的是不銹鋼材質(zhì)，這樣不會出現(xiàn)生銹問題；同時可調(diào)節(jié)支撐板和調(diào)節(jié)軸之間采用螺紋咬合安裝，便于上下調(diào)節(jié)。
[0006]本發(fā)明的有益效果減少了以往因為磁場強度不均勻需要調(diào)節(jié)的反復(fù)拆裝問題，通過結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以不必拆裝就能進(jìn)行磁場強度大小的調(diào)節(jié)，減少了人工的同時，也降低了勞動強度。
【附圖說明】
[0007]圖1為整體示意圖；
[0008]圖2為局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖3為側(cè)視圖；
[0010]如圖1至圖3所述，靶體(I)，導(dǎo)磁體(2 )，通孔(3 )，調(diào)節(jié)軸(4)，鎖緊螺母(5 )，壓套III (6 )，壓套I (7 )壓套II (8 )，O型密封圈(9 )，可調(diào)支撐板(10 )，螺栓(11)，螺柱(12)，螺母(13)。
【具體實施方式】
[0011 ] 一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶，主要包括靶體(I)和導(dǎo)磁體(2)，所述的靶體(I)下端設(shè)有四個通孔(3)，每兩個通孔(3)是相對的，在靶體(I)內(nèi)設(shè)有調(diào)節(jié)軸(4)，調(diào)節(jié)軸(4 )的下端位于通孔(3 )內(nèi)，每一個通孔(3 )對應(yīng)一個調(diào)節(jié)軸(4 )，鎖緊螺母(5 )通過壓套111(6)安裝在通孔(3)內(nèi)且與調(diào)節(jié)軸(4)的下端固定，通過旋轉(zhuǎn)鎖緊螺母(5)從而帶動調(diào)節(jié)軸(4)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述的調(diào)節(jié)軸(4)上設(shè)有壓套I (7)和壓套II (8)，壓套I (7)是將調(diào)節(jié)軸
(4)進(jìn)行定位的，壓套I (7)和壓套II (8)之間設(shè)有O型密封圈(9)且壓套I (7)位于壓套II (8)的上方，通過O型密封圈(9)和壓套II (8)可以講靶體(I)內(nèi)部的溶液很好的密封起來，不會出現(xiàn)在調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)軸(4)的時候出現(xiàn)漏液問題，壓套I (7)通過螺栓(11)固定在靶體
(I)內(nèi)，壓套I (7)與靶體(I)之間設(shè)有O型密封圈(9)，導(dǎo)磁體(2)的四端通過螺柱(12)安裝在所述的可調(diào)支撐板(10)上并且通過螺母(13)將其固定，可調(diào)節(jié)支撐板(10)使用的是不銹鋼材質(zhì)，這樣不會出現(xiàn)生銹問題，則該導(dǎo)磁體(2)通過可調(diào)支撐板(10)安裝在調(diào)節(jié)軸
(4)上，可調(diào)節(jié)支撐板(10)和調(diào)節(jié)軸(4)采用螺紋咬合安裝，這樣一來可以通過可調(diào)支撐板
(10)對導(dǎo)磁體(2)進(jìn)行上下調(diào)節(jié)。
[0012]工作原理:將可調(diào)節(jié)的磁控濺射靶放入磁控濺射設(shè)備當(dāng)中，此時可調(diào)節(jié)的磁控濺射靶的靶體(I)內(nèi)會注滿液體，通過壓套I (7 )、壓套II (8 )、壓套III (6 )以及O型密封圈(9 )的密閉，防止液體外漏，靶體(I)內(nèi)的導(dǎo)磁體(2 )的磁場強度低于要求是，通過旋轉(zhuǎn)通孔(3 )內(nèi)的鎖緊螺母(5)，通過鎖緊螺母(5)帶動可調(diào)軸(4)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，可調(diào)軸(4)通過螺紋咬合來帶動可調(diào)節(jié)支撐板(10)進(jìn)行上下運動，此時，固定在可調(diào)節(jié)支撐板(10)上的導(dǎo)磁體(2)也隨之上下調(diào)整，從而達(dá)到要求的磁力強度。
【主權(quán)項】
1.一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶，主要包括靶體(I)和導(dǎo)磁體(2)，其特征在于，所述的靶體(I)下端設(shè)有通孔(3)，在靶體(I)內(nèi)設(shè)有調(diào)節(jié)軸(4)，調(diào)節(jié)軸(4)的下端位于通孔(3)內(nèi)，鎖緊螺母(5)通過壓套111(6)安裝在通孔(3)內(nèi)且與調(diào)節(jié)軸(4)的下端固定，所述的調(diào)節(jié)軸(4)上設(shè)有壓套I (7)和壓套II (8)，壓套I (7)和壓套II (8)之間設(shè)有O型密封圈(9)且壓套I (7)位于壓套II (8)的上方，壓套I (7)通過螺栓(11)固定在靶體(I)內(nèi)，壓套I (7)與靶體(I)之間設(shè)有O型密封圈(9)，導(dǎo)磁體(2)通過可調(diào)支撐板(10)安裝在調(diào)節(jié)軸(4)上，所述的導(dǎo)磁體(2)通過螺柱(12)安裝在所述的可調(diào)支撐板(10)上并且通過螺母(13)將其固定。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶，其特征在于，所述的通孔(3)個數(shù)為四個，且兩兩相對；所述的調(diào)節(jié)軸(4)數(shù)量為四個，并且每個調(diào)節(jié)軸(4)都與一個通孔(3)對應(yīng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶，其特征在于，所述的可調(diào)支撐板(10)的材質(zhì)為不銹鋼材質(zhì)。
【專利摘要】一種可外調(diào)節(jié)磁場的磁控濺射靶，屬于磁控濺射鍍膜領(lǐng)域，主要包括靶體和導(dǎo)磁體，以及在靶體內(nèi)部設(shè)有可調(diào)軸和壓套，通過O型密封圈進(jìn)行密封設(shè)計，減少了以往因為磁場強度不均勻需要調(diào)節(jié)的反復(fù)拆裝問題，通過結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以不必拆裝就能進(jìn)行磁場強度大小的調(diào)節(jié)，減少了人工的同時，也降低了勞動強度。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號】CN204849010
【申請?zhí)枴緾N201520470579
【發(fā)明人】彭林, 劉敏, 金云華, 李撫龍
【申請人】愛藍(lán)天高新技術(shù)材料(大連)有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年7月3日