一種pecvd設備的爐門結(jié)構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及PECVD設備，尤其涉及該設備的爐門結(jié)構。
【背景技術】
[0002]等離子體增強型化學氣相沉積(PECVD)是當前薄膜太陽能電池的關鍵制備技術之一，如何實現(xiàn)大面積沉膜的均勻性，提高薄膜電池的效率及穩(wěn)定性，是PECVD未來發(fā)展的重要方向。而大面積電容耦合PECVD影響沉膜均勻性的關鍵因素是:電場、溫度場、流體場。隨著技術發(fā)展，對產(chǎn)品的效率要求越來越高，出現(xiàn)了超大產(chǎn)能的PECVD設備。設備產(chǎn)能加大及石英管內(nèi)部體積變大，所以電場、溫度場、流體場都會更難保證穩(wěn)定。
[0003]而就流體場而言，如圖1、圖2所示，目前現(xiàn)有的爐門結(jié)構包括一進氣法蘭I以及固定在進氣法蘭上的爐門2，該爐門結(jié)構直接將一個Y型進氣嘴3設置在進氣法蘭I上，然后硅烷和氨氣分別從Y型進氣嘴3的兩個進氣管中進入至石英管4內(nèi)混合，這樣會導致石英管內(nèi)的兩種氣體混合得不夠均勻，而且混合后的反應氣體在石英管內(nèi)部也是不均勻的，從而載片裝置5上的硅片的沉膜均勻性也會受到影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的是針對上述現(xiàn)有技術存在的缺陷，提供一種PECVD設備的爐門結(jié)構，包括設置在石英管一端的進氣法蘭，以及固定在進氣法蘭上的爐門，進氣法蘭與爐門之間設有一具有進氣端和出氣端的腔體，所述進氣端設計為Y型進氣結(jié)構，所述出氣端設有一均氣裝置。
[0005]在本實施例中，均氣裝置包括一環(huán)形腔和設于環(huán)形腔一端的均氣板，所述均氣板上設有若干個均氣孔。均氣板可以為一平板或朝向石英管內(nèi)凸出的一弧形板。
[0006]本實用新型通過改進進氣法蘭與爐門的結(jié)構，并且增加均氣裝置，使得反應氣體可以在進氣法蘭與爐門形成的腔室內(nèi)充分混合，然后再經(jīng)過均氣板均勻的噴入石英管的反應腔室內(nèi)，使反應腔室內(nèi)氣場更均勻、穩(wěn)定。根據(jù)設計好的檢驗方案，對采用本實用新型的技術方案做出來的硅片進行檢測，得出:本實用新型做出來的硅片色差很小，膜厚基本一致，均勻性很好。
【附圖說明】
[0007]圖1是現(xiàn)有技術的結(jié)構示意圖；
[0008]圖2是圖1的剖視圖；
[0009]圖3是本實用新型的結(jié)構示意圖；
[0010]圖4是圖3的剖視圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步進行說明。
[0012]如圖3、圖4所示，本實用新型提出的PECVD設備的爐門結(jié)構，包括進氣法蘭1、爐門2、均氣裝置6。
[0013]其中，進氣法蘭I設置在石英管4的一端，爐門2固定在進氣法蘭I上，與進氣法蘭I配合封閉石英管4，并且該進氣法蘭I與爐門2之間形成一腔體，該腔體具有一進氣端和一出氣端，進氣端設計為Y型進氣結(jié)構3，硅烷和氨氣分別從Y型進氣結(jié)構的兩個入氣口輸入，腔體的出氣端處設置了一均氣裝置6，本實施例中，均氣裝置6包括一環(huán)形腔和設于環(huán)形腔一端的均氣板，環(huán)形腔和均氣板配合法蘭構成了第二個混合腔室，使得反應氣體可以進一步混合均勻，該均氣板上設有若干個緊密排布的均氣孔。
[0014]使用時，硅烷和氨氣分別從Y型進氣結(jié)構3的兩個入氣口進入，在進氣法蘭I與爐門2之間形成腔體內(nèi)進行第一次充分反應，形成反應氣體，然后從出氣端輸出至均氣裝置6中，在均氣裝置6與進氣法蘭I形成的第二混合腔室內(nèi)，再一次進行充分反應，然后通過均氣板上的均氣孔進入到石英管內(nèi)，由于均氣板的外徑稍小于石英管的內(nèi)徑，所以可以確保石英管內(nèi)的反應氣體是均勻的，從而使得載片裝置上的硅片可以得到均勻充分地反應。
[0015]以上的具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的構思，本領域的普通技術人員在本實用新型的構思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種PECVD設備的爐門結(jié)構，包括設置在石英管一端的進氣法蘭，以及固定在進氣法蘭上的爐門，其特征在于:所述進氣法蘭與爐門之間設有一具有進氣端和出氣端的腔體，所述進氣端設計為Y型進氣結(jié)構，所述出氣端設有一均氣裝置。
2.如權利要求1所述的爐門結(jié)構，其特征在于:所述均氣裝置包括一環(huán)形腔和設于環(huán)形腔一端的均氣板，所述均氣板上設有若干個均氣孔。
3.如權利要求2所述的爐門結(jié)構，其特征在于:所述均氣板為一平板或朝向石英管內(nèi)凸出的一弧形板。
【專利摘要】本實用新型公開了一種PECVD設備的爐門結(jié)構，包括設置在石英管一端的進氣法蘭，以及固定在進氣法蘭上的爐門，進氣法蘭與爐門之間設有一具有進氣端和出氣端的腔體，所述進氣端設計為Y型進氣結(jié)構，所述出氣端設有一均氣裝置。本實用新型可以確保PECVD設備的流體場穩(wěn)定、均勻，而且本實用新型結(jié)構比較簡單，改造成本低，十分適合推廣。
【IPC分類】C23C16-455
【公開號】CN204490990
【申請?zhí)枴緾N201420862300
【發(fā)明人】羅偉斌, 周湘源
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2015年7月22日
【申請日】2014年12月31日