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一種涌動式電極制作系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:9628430閱讀:575來源:國知局
一種涌動式電極制作系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電極制備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種涌動式電極制作系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]作為目前最為主流的觸摸屏制作工藝,黃光制程被普遍應(yīng)用在觸摸屏廠商的生產(chǎn)過程中。黃光制程主要采用噴淋化學(xué)液的工作方式完成曝光、顯影、蝕刻和脫膜等工序,而在整個工藝過程中,各段的噴頭必須要保持暢通,不能有堵塞現(xiàn)象,同時,各段噴射溶液、噴淋水和噴射壓力需要精確控制。液體噴淋時,從噴頭噴出的液體產(chǎn)生一定的沖擊力,直接作用于觸摸屏的電極表面,在生產(chǎn)電極尤其是極細網(wǎng)格線條(寬度為1-10 μπι)的電極結(jié)構(gòu)時對顯影、蝕刻、脫膜等工序的產(chǎn)品非常容易造成損壞,降低了產(chǎn)品良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本發(fā)明提供了一種可有效避免電極的網(wǎng)格結(jié)構(gòu)損壞的涌動式電極制作系統(tǒng),可用于電極線路的制備。
[0004]為了實現(xiàn)上述的目的,本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案:
[0005]—種涌動式電極制作系統(tǒng),包括反應(yīng)系統(tǒng)和循環(huán)系統(tǒng),所述反應(yīng)系統(tǒng)包括外槽、設(shè)于所述外槽內(nèi)的內(nèi)槽和涌動裝置,所述循環(huán)系統(tǒng)包括穿過所述外槽后連通所述內(nèi)槽底部的進液管、連通所述外槽底部的出液管以及連接在所述進液管和所述出液管之間的動力裝置;所述涌動裝置設(shè)于所述內(nèi)槽內(nèi),包括用于在所述內(nèi)槽內(nèi)的液體沒過電極后自所述出液管一側(cè)朝所述進液管一側(cè)傳送電極的搬運裝置。
[0006]進一步地,所述涌動裝置還包括連接所述進液管的輸送管,所述輸送管豎直設(shè)于所述內(nèi)槽內(nèi)靠近所述進液管側(cè)且頂端高于所述搬運裝置。
[0007]進一步地,所述涌動裝置還包括連接所述輸送管并朝所述進液管側(cè)延伸的支管。
[0008]進一步地,所述支管上連接有至少一根分支的動力管。
[0009]進一步地,所述支管的管壁上開設(shè)有多個通孔。
[0010]進一步地,所述支管為多根,間隔地連接在所述輸送管的側(cè)壁的多個部位。
[0011 ] 進一步地,所述的涌動式電極制作系統(tǒng)還包括廢液排放系統(tǒng),所述廢液排放系統(tǒng)連接在所述外槽底部。
[0012]進一步地,所述內(nèi)槽與所述外槽的底面間隔設(shè)置,所述外槽的底面和所述內(nèi)槽底部同時連接所述廢液排放系統(tǒng)。
[0013]進一步地,所述循環(huán)系統(tǒng)還包括連接在所述出液管和所述動力裝置之間的循環(huán)箱。
[0014]進一步地,所述循環(huán)箱的底部與所述廢液排放系統(tǒng)連接。
[0015]本發(fā)明的電極制作系統(tǒng)并不使用傳統(tǒng)的噴頭對電極表面噴射化學(xué)液,而是將液體浸過電極產(chǎn)品并利用不斷循環(huán)涌動的液體對電極表面進行比較平和的處理,可以實現(xiàn)顯影、蝕刻和脫膜各階段的制作過程,可以用于極細的銅網(wǎng)格線條的制作而不易損壞,很好的提尚了廣品的良率。
【附圖說明】
[0016]圖1為本發(fā)明實施例的涌動式電極制作系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0017]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實施例,對本發(fā)明進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。
[0018]參閱圖1,本發(fā)明實施例的涌動式電極制作系統(tǒng)包括反應(yīng)系統(tǒng)1和循環(huán)系統(tǒng)2,反應(yīng)系統(tǒng)1用于放置電極產(chǎn)品并進行顯影、蝕刻和脫膜各個制程,包括外槽11、設(shè)于外槽11內(nèi)的內(nèi)槽12和涌動裝置13,而循環(huán)系統(tǒng)2包括進液管21、出液管22和動力裝置23,進液管21穿過外槽11后連接在內(nèi)槽12的底部,出液管22連接在外槽11的底部,且與進液管21在不同側(cè)。動力裝置23包括動力栗,連接在進液管21和出液管22之間,用于為循環(huán)系統(tǒng)2提供動力,使液體自進液管21流入內(nèi)槽12,并對內(nèi)槽12內(nèi)的電極產(chǎn)品進行處理,液體液位達到一定高度后自內(nèi)槽12溢出,并流入外槽11后自出液管22流出,實現(xiàn)液體的循環(huán)和反復(fù)利用;涌動裝置13設(shè)于內(nèi)槽12內(nèi),包括用于在內(nèi)槽12內(nèi)的液體沒過電極后自出液管22 一側(cè)朝進液管21 —側(cè)傳送電極的搬運裝置131,這里,搬運裝置131優(yōu)選為水平布置的若干傳送輥,放置在傳送輥上的電極產(chǎn)品的兩面都可以由內(nèi)槽12內(nèi)的液體浸潤,在液體的涌動下完成各項制程。
[0019]在外槽11和內(nèi)槽12的側(cè)壁之間還分別安裝有一組風(fēng)刀10,每組風(fēng)刀10上下相對設(shè)置在電極產(chǎn)品的兩側(cè),其中一組風(fēng)刀10 (靠近出液管22—側(cè)的風(fēng)刀10)將電極產(chǎn)品兩側(cè)吹干后,電極產(chǎn)品被搬運裝置131送入內(nèi)槽12內(nèi)由液體浸泡并進行涌動處理,完成顯影、蝕刻和脫膜,然后經(jīng)過外槽11內(nèi)另一組風(fēng)刀10 (靠近進液管21 —側(cè)的風(fēng)刀10)烘干后送出。同時,由于內(nèi)槽12靠近電極產(chǎn)品的搬運入口和出口處都會有液體溢出,為防止液體沿搬運裝置131溢出至外槽11外,內(nèi)槽12兩側(cè)的風(fēng)刀10工作過程中還可形成兩道屏障,將溢出的液體阻擋在兩道屏障內(nèi),避免液體沿搬運裝置131溢出至外槽11夕卜。
[0020]具體地,涌動裝置13包括搬運裝置131、輸送管132和支管133,輸送管132連接進液管21,且豎直設(shè)于內(nèi)槽12內(nèi)相比出液管22更靠近進液管21的一側(cè),若干條支管133間隔地連接在輸送管132的多個部位上并朝進液管21側(cè)延伸,輸送管132的頂端高于搬運裝置131,保證了最上方的支管133流出的液體可以自上而下涌動,搬運裝置131下方的支管133流出的液體可以自下而上涌動,使得電極表面受力充分而平緩。在其他實施方式中,輸送管132的頂部也可以開孔,液體自其頂端流出。
[0021]在每根支管133的管壁上下還可開設(shè)有多個通孔(圖未示),液體可自管壁的各個方向流出,同時,每根支管133內(nèi)還設(shè)有至少一根分支的動力管133a,優(yōu)選動力管133a為多個,間隔地連接在每根支管133的管壁,垂直于相應(yīng)的支管133并平行于內(nèi)槽12底部(即水平設(shè)置),每根動力管133a上也可以開設(shè)有供液體流出的通孔,這樣液體的流出部位更多,提高了液體的涌動效果。
[0022]動力裝置23的動力
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