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一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù)的制作方法

文檔序號:9589023閱讀:334來源:國知局
一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),屬于太陽能硅晶片后加工領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著人類對能源需求的加大,太陽能硅晶片成為一種新興能源出現(xiàn)人們的面前,而太陽能硅晶片線切割加工技術(shù)并非合格率百分之百,在切割過程中會有少量的邊緣缺陷晶片產(chǎn)生,此類硅晶片僅在外觀上略遜于正常硅片,其他功能與正常硅晶片都相同,若棄用會造成大量資源和成本浪費,若不棄用又難以滿足市場需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),通過對具有缺陷的硅片再次加工磨邊使這部分硅片達(dá)到硅晶片A類標(biāo)準(zhǔn),使用最直接、簡便、有效的方法修復(fù)硅片外觀缺陷。
[0004]本發(fā)明是通過如下的技術(shù)方案予以實現(xiàn)的:
一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),其技術(shù)方法如下:
(1)制作特制工裝
制作裝夾硅片的特制工裝,所述特制工裝包括側(cè)板、底板、連接塊和螺母,所述側(cè)板有兩塊,所述側(cè)板為矩形結(jié)構(gòu),且四角處設(shè)有連接孔組,所述連接孔組包括第一連接孔和第二連接孔,所述側(cè)板的兩側(cè)分別設(shè)有第一凹槽和第二凹槽,所述第一凹槽和第二凹槽同軸設(shè)置,且均于兩組連接孔組之間,所述側(cè)板底部設(shè)有第三凹槽和第一安裝孔,所述第一安裝孔有兩個,且分別位于第三凹槽兩側(cè),所述側(cè)板頂部設(shè)有第二安裝孔,所述第二安裝孔有兩個,且分別與第一安裝孔位置對應(yīng)設(shè)置,所述側(cè)板表面設(shè)有若干定位孔;
所述底板為鐵制鍍鋅板,且具有第三安裝孔,通過螺母穿過第三安裝孔和第一安裝孔或第二安裝孔實現(xiàn)底板與側(cè)板相連,所述連接塊有四個,且具有連接通孔組,通過螺母穿過側(cè)板的連接孔組和連接通孔組實現(xiàn)側(cè)板和連接塊相連;
(2)裝夾娃片
①將具有缺陷的硅片疊放,所述缺陷統(tǒng)一在一個方向,所述缺陷的深度小于等于0.25mm ;
②特制工裝的底板與側(cè)板底部安裝相連時,將經(jīng)步驟(2)①疊放好的硅片置于兩塊側(cè)板之間,硅片的缺陷抵于底板,隨后在硅片兩側(cè)填充平整的頭尾片實現(xiàn)硅片夾緊,并以螺母穿過若干定位孔實現(xiàn)娃片定位;
③將特制工裝的底板從側(cè)板底部拆卸下,并與側(cè)板頂部安裝相連;
(3)砂輪打磨
①將經(jīng)步驟(2)③的特制工裝連同硅片整體置于磨床上,開啟磨床的磁體功能,實現(xiàn)特制工裝的底板與磨床固定;
②運(yùn)行磨床,使磨床砂輪按橫向、下降深度0.0lmm每分鐘的速度對硅片進(jìn)行打磨,打磨同時開啟噴射潤滑油,打磨至0.25mm處設(shè)備自動停止,此時修復(fù)結(jié)束得產(chǎn)品。
[0005]上述一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),其中,所述特制工裝的側(cè)板四角均為圓角,所述第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽與側(cè)板的銜接面均為圓弧面,所述側(cè)板為四氟材料材質(zhì)。
[0006]上述一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),其中,所述特制工裝的側(cè)板定位孔數(shù)目為十二個,所述十二個定位孔呈四行排為三列。
[0007]本發(fā)明的有益效果為:
本發(fā)明所述的邊緣缺陷硅片修整技術(shù),其修整原理是將原有缺陷部分通過砂輪在不影響硅片尺寸的情況進(jìn)行設(shè)備邊緣打磨至0.25_深度,表面看起來毫無異常,僅從側(cè)面看出有輕微磨痕,對硅片的后續(xù)使用不產(chǎn)生任何影響;通過此加工將原有缺陷硅片的邊緣缺陷部分打磨達(dá)到硅片A級品標(biāo)準(zhǔn),同時又不改變硅片原有性質(zhì),使用最直接、簡便、有效的方法修復(fù)硅片外觀缺陷。
[0008]本發(fā)明特制工裝的底板與側(cè)板底部安裝相連時,底板作為硅片缺陷對齊的基準(zhǔn)線作用;當(dāng)特制工裝的底板從側(cè)板底部拆卸下,并與側(cè)板頂部安裝相連時,實現(xiàn)與磨床的磁體功能配合安裝固定作用。
[0009]本發(fā)明中硅片兩側(cè)填充平整的頭尾片實現(xiàn)硅片夾緊,防止打磨過程中硅片受傷損壞。
【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明特制工裝的部分剖視主視圖。
[0011]圖2為本發(fā)明特制工裝的左視圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】作進(jìn)一步說明:
一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),其技術(shù)方法如下:
(I)制作特制工裝
制作裝夾硅片的特制工裝,所述特制工裝包括側(cè)板1、底板2、連接塊3和螺母4,所述側(cè)板I有兩塊,所述側(cè)板I為四氟材料材質(zhì),所述側(cè)板I為矩形結(jié)構(gòu),側(cè)板I四角均為圓角5,且四角處設(shè)有連接孔組6,所述連接孔組6包括第一連接孔7和第二連接孔8,所述側(cè)板I的兩側(cè)分別設(shè)有第一凹槽9和第二凹槽10,所述第一凹槽9和第二凹槽10同軸設(shè)置,且均于兩組連接孔組6之間,所述側(cè)板I底部設(shè)有第三凹槽11和第一安裝孔12,所述第一凹槽9、第二凹槽10和第三凹槽11與側(cè)板I的銜接面均為圓弧面13,所述第一安裝孔12有兩個,且分別位于第三凹槽11兩側(cè),所述側(cè)板I頂部設(shè)有第二安裝孔14,所述第二安裝孔14有兩個,且分別與第一安裝孔12位置對應(yīng)設(shè)置,所述側(cè)板I表面設(shè)有十二個定位孔15,所述十二個定位孔15呈四行排為三列;
所述底板2為鐵制鍍鋅板,且具有第三安裝孔16,通過螺母4穿過第三安裝孔16和第一安裝孔12或第二安裝孔14實現(xiàn)底板2與側(cè)板I相連,所述連接塊3有四個,且具有連接通孔組17,通過螺母4穿過側(cè)板的連接孔組6和連接通孔組17實現(xiàn)側(cè)板I和連接塊3相連; (2)裝夾娃片
①將具有缺陷的硅片疊放,所述缺陷統(tǒng)一在一個方向,所述缺陷的深度小于等于0.25mm ;
②特制工裝的底板2與側(cè)板I底部安裝相連時,將經(jīng)步驟(2)①疊放好的硅片置于兩塊側(cè)板I之間,硅片的缺陷抵于底板2,隨后在硅片兩側(cè)填充平整的頭尾片實現(xiàn)硅片夾緊,并以螺母穿過十二個定位孔15實現(xiàn)娃片定位;
③將特制工裝的底板2從側(cè)板I底部拆卸下,并與側(cè)板I頂部安裝相連;
(3)砂輪打磨
①將經(jīng)步驟(2)③的特制工裝連同硅片整體置于磨床上,開啟磨床的磁體功能,實現(xiàn)特制工裝的底板2與磨床固定;
②運(yùn)行磨床,使磨床砂輪按橫向、下降深度0.0lmm每分鐘的速度對硅片進(jìn)行打磨,打磨同時開啟噴射潤滑油,打磨至0.25mm處設(shè)備自動停止,此時修復(fù)結(jié)束得產(chǎn)品。
[0013]本發(fā)明所述的邊緣缺陷硅片修整技術(shù),其修整原理是將原有缺陷部分通過砂輪在不影響硅片尺寸的情況進(jìn)行設(shè)備邊緣打磨至0.25_深度,表面看起來毫無異常,僅從側(cè)面看出有輕微磨痕,對硅片的后續(xù)使用不產(chǎn)生任何影響;通過此加工將原有缺陷硅片的邊緣缺陷部分打磨達(dá)到硅片A級品標(biāo)準(zhǔn),同時又不改變硅片原有性質(zhì),使用最直接、簡便、有效的方法修復(fù)硅片外觀缺陷。
[0014]以上所公開的發(fā)明實施方式,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員能夠在不脫離本發(fā)明原理下進(jìn)行改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也視為落在本發(fā)明的權(quán)利要求所要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),其特征為,其技術(shù)方法如下: (1)制作特制工裝 制作裝夾硅片的特制工裝,所述特制工裝包括側(cè)板、底板、連接塊和螺母,所述側(cè)板有兩塊,所述側(cè)板為矩形結(jié)構(gòu),且四角處設(shè)有連接孔組,所述連接孔組包括第一連接孔和第二連接孔,所述側(cè)板的兩側(cè)分別設(shè)有第一凹槽和第二凹槽,所述第一凹槽和第二凹槽同軸設(shè)置,且均于兩組連接孔組之間,所述側(cè)板底部設(shè)有第三凹槽和第一安裝孔,所述第一安裝孔有兩個,且分別位于第三凹槽兩側(cè),所述側(cè)板頂部設(shè)有第二安裝孔,所述第二安裝孔有兩個,且分別與第一安裝孔位置對應(yīng)設(shè)置,所述側(cè)板表面設(shè)有若干定位孔; 所述底板為鐵制鍍鋅板,且具有第三安裝孔,通過螺母穿過第三安裝孔和第一安裝孔或第二安裝孔實現(xiàn)底板與側(cè)板相連,所述連接塊有四個,且具有連接通孔組,通過螺母穿過側(cè)板的連接孔組和連接通孔組實現(xiàn)側(cè)板和連接塊相連; (2)裝夾娃片 ①將具有缺陷的硅片疊放,所述缺陷統(tǒng)一在一個方向,所述缺陷的深度小于等于0.25mm ; ②特制工裝的底板與側(cè)板底部安裝相連時,將經(jīng)步驟(2)①疊放好的硅片置于兩塊側(cè)板之間,硅片的缺陷抵于底板,隨后在硅片兩側(cè)填充平整的頭尾片實現(xiàn)硅片夾緊,并以螺母穿過若干定位孔實現(xiàn)娃片定位; ③將特制工裝的底板從側(cè)板底部拆卸下,并與側(cè)板頂部安裝相連; (3)砂輪打磨 ①將經(jīng)步驟(2)③的特制工裝連同硅片整體置于磨床上,開啟磨床的磁體功能,實現(xiàn)特制工裝的底板與磨床固定; ②運(yùn)行磨床,使磨床砂輪按橫向、下降深度0.0lmm每分鐘的速度對硅片進(jìn)行打磨,打磨同時開啟噴射潤滑油,打磨至0.25mm處設(shè)備自動停止,此時修復(fù)結(jié)束得產(chǎn)品。2.如權(quán)利要求1所述的一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),其特征為,所述特制工裝的側(cè)板四角均為圓角,所述第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽與側(cè)板的銜接面均為圓弧面,所述側(cè)板為四氟材料材質(zhì)。3.如權(quán)利要求1所述的一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),其特征為,所述特制工裝的側(cè)板定位孔數(shù)目為十二個,所述十二個定位孔呈四行排為三列。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種新式的硅片缺陷的修整技術(shù),其技術(shù)方法如下:(1)制作特制工裝,(2)裝夾硅片,(3)砂輪打磨,將原有缺陷部分通過砂輪在不影響硅片尺寸的情況進(jìn)行設(shè)備邊緣打磨至0.25mm深度,表面看起來毫無異常,僅從側(cè)面看出有輕微磨痕,對硅片的后續(xù)使用不產(chǎn)生任何影響;通過此加工將原有缺陷硅片的邊緣缺陷部分打磨達(dá)到硅片A級品標(biāo)準(zhǔn),同時又不改變硅片原有性質(zhì),使用最直接、簡便、有效的方法修復(fù)硅片外觀缺陷。
【IPC分類】B24B9/06, B24B41/06
【公開號】CN105345621
【申請?zhí)枴緾N201510708720
【發(fā)明人】翟彩虹, 王祿堡, 陸繼波
【申請人】鎮(zhèn)江環(huán)太硅科技有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年10月28日
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