一種切割用分線網(wǎng)的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001]本實用新型涉及多晶硅切片技術(shù)領域，具體涉及一種切割用分線網(wǎng)。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅片多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進的硅片加工技術(shù)，它的原理是通過高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對硅棒進行摩擦，從而達到切割效果。在該工藝中，切割線被纏繞在兩個導向輪上，形成線網(wǎng)，可以同時進行幾百、幾千個切割，獲得幾百、幾千個切片。
[0003]受多晶硅棒生產(chǎn)技術(shù)的限制，目前的生產(chǎn)水平只能產(chǎn)出長度在400mm左右的多晶硅棒，而現(xiàn)有多線切割技術(shù)可一次性切割800mm或1000mm長度的硅棒。為了達到一次性可多片切割的技術(shù)效果，通常都會將多段硅棒進行拼接使硅棒的總長度達到800mm或1000mm后進行一次性切割，使切片產(chǎn)能合理最大化。但是，由于超長硅棒是由幾段短棒拼接而成，每段硅棒之間必然有間隙，且硅棒端面有不同程度的傾斜，從而使得切割時拼接端面之處鋼線受力不均，加大了斷線和硅片厚度變化的風險?，F(xiàn)有的多線切割方法，切片的成品率、開機率都會受硅棒之間間隙的影響而大大降低，切片斷線的概率極大。而斷線對于切片而言，會嚴重影響生產(chǎn)效率和產(chǎn)品合格率。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種結(jié)構(gòu)設計簡單合理的專門用于多晶切片的分線網(wǎng)。本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0005]—種切割用分線網(wǎng)，包括導線輪與切割線網(wǎng)，所述切割線網(wǎng)設置在所述導線輪上，所述切割線網(wǎng)分為多段，在所述相鄰兩端切割線網(wǎng)之間設置有切割線網(wǎng)間隙。
[0006]進一步的，處于所述切割線網(wǎng)間隙的鋼線設置在所述導線輪的下方。
[0007]進一步的，所述切割線網(wǎng)間隙與欲切割的相鄰硅棒之間的間隙位置相對應。
[0008]進一步的，所述的欲切割的相鄰硅棒之間的間隙不超過3mm。
[0009]進一步的，所述切割線網(wǎng)間隙大于所述欲切割的兩塊硅棒之間的間隙。
[0010]進一步的，所述切割線網(wǎng)間隙不超過5_。
[0011]本實用新型的有益效果是:
[0012]本實用新型公開的一種切割用分線網(wǎng)，通過在分線網(wǎng)中設置切割線網(wǎng)間隙，有效避免了由于在硅棒拼接處鋼線受力不均而產(chǎn)生的斷線或硅片厚度變化等諸多問題，極大的降低了硅棒端面損失和斷線損失，使斷線率降低50%，硅棒利用率提高1.5% ;使用分線網(wǎng)切害J，使切割線網(wǎng)直接越過拼接縫進行切割，切割時將兩端多余的部分切除，有效地避免了硅棒兩端的斜面問題；使硅片質(zhì)量有明顯改善，切片成品率由89%提高到92%，降低了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型公開的一種切割用分線網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖進一步詳細描述本實用新型的技術(shù)方案。
[0015]—種切割用分線網(wǎng)，包括導線輪4與切割線網(wǎng)3，所述切割線網(wǎng)3設置在所述導線輪4上，所述切割線網(wǎng)3分為多段，在所述相鄰兩端切割線網(wǎng)3之間設置有切割線網(wǎng)間隙2，處于所述切割線網(wǎng)間隙2的鋼線1設置在所述導線輪4的下方。所述切割線網(wǎng)間隙2與欲切割的相鄰硅棒5之間的間隙6位置相對應，所述的欲切割的相鄰硅，5之間的間隙6的長度d為3mm，所述切割線網(wǎng)間隙2大于所述欲切割的兩塊硅棒5之間的間隙6，在本例中，所述切割線網(wǎng)間隙2的長度D為5_。
[0016]在制作切割用分線網(wǎng)時，首先，根據(jù)兩塊兩塊硅棒5之間的縫隙6的位置，分別記錄下每個縫隙6在導線輪4上的投影位置。然后從導輪4的進線端開始排布切割線網(wǎng)3，在導輪4上編織切割線網(wǎng)3至第一個縫隙6投影位置為1_時，停止布切割線網(wǎng)3 ;剪去兩塊硅棒5之間縫隙6投影位置的切割線網(wǎng)，使切割線網(wǎng)間隙2寬度為5_，綁好剪去切割線網(wǎng)3后的產(chǎn)生的兩個線頭，打上線結(jié)；打結(jié)后的鋼線1，在切割線網(wǎng)3上是一根不平行的斜線，必須將其放置于導線輪4的下方。按上述步驟繼續(xù)編織切割線網(wǎng)3，將剩下的縫隙位置都形成間隔的切割線網(wǎng)，最后將線結(jié)繞到收線軸；分線網(wǎng)排布好，檢查分線部位是否將硅棒的縫隙全部覆蓋，確保無誤后，進行后續(xù)的切片操作。
[0017]最后應說明的是:以上所述僅為說明本實用新型的實施方式，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術(shù)人員來說，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種切割用分線網(wǎng)，包括導線輪與切割線網(wǎng)，所述切割線網(wǎng)設置在所述導線輪上，其特征在于:所述切割線網(wǎng)分為多段，在所述相鄰兩端切割線網(wǎng)之間設置有切割線網(wǎng)間隙。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割用分線網(wǎng)，其特征在于:處于所述切割線網(wǎng)間隙的鋼線設置在所述導線輪的下方。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割用分線網(wǎng)，其特征在于:所述切割線網(wǎng)間隙與欲切割的相鄰硅棒之間的間隙位置相對應。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種切割用分線網(wǎng)，其特征在于:所述的欲切割的相鄰硅棒之間的間隙不超過3_。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種切割用分線網(wǎng)，其特征在于:所述切割線網(wǎng)間隙大于所述欲切割的兩塊硅棒之間的間隙。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種切割用分線網(wǎng)，其特征在于:所述切割線網(wǎng)間隙不超過5mm ο
【專利摘要】本實用新型公開了一種切割用分線網(wǎng)，包括導線輪與切割線網(wǎng)，所述切割線網(wǎng)設置在所述導線輪上，所述切割線網(wǎng)分為多段，在所述相鄰兩端切割線網(wǎng)之間設置有切割線網(wǎng)間隙。本實用新型公開的一種切割用分線網(wǎng)，通過在分線網(wǎng)中設置切割線網(wǎng)間隙，有效避免了由于在硅棒拼接處鋼線受力不均而產(chǎn)生的斷線或硅片厚度變化等諸多問題，極大的降低了硅棒端面損失和斷線損失，使斷線率降低50%，硅棒利用率提高1.5%；使用分線網(wǎng)切割，使切割線網(wǎng)直接越過拼接縫進行切割，切割時將兩端多余的部分切除，有效地避免了硅棒兩端的斜面問題；使硅片質(zhì)量有明顯改善，切片成品率由89%提高到92%，降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】B28D5/04
【公開號】CN205033405
【申請?zhí)枴緾N201520797985
【發(fā)明人】劉耀峰
【申請人】無錫榮能半導體材料有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年10月16日