專利名稱：橫管中心靶臥式真空涂膜機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種真空涂膜機(jī)。
目前市場上銷售和使用的用于板材涂復(fù)的真空鍍膜機(jī)均為立式型，需較高大的廠房才能安裝和使用，且這些涂膜機(jī)的工作室內(nèi)壁上設(shè)置了多個(gè)蒸發(fā)源和引弧裝置，其缺點(diǎn)是故障多，密封性差，檢修困難，維修費(fèi)用高。
本實(shí)用新型的目的是要提供一種橫管中心靶臥式真空涂膜機(jī)，該涂膜機(jī)具有對廠房要求低，故障率低，密封性好，維修方便等特點(diǎn)。
其技術(shù)方案是這樣的，該機(jī)由臥式工作室(1)、通過管道相連的真空系統(tǒng)(4)和工作架小車(15)及坐放在工件架小車(15)上的工件架(14)構(gòu)成。工件架小車(15)的中心軸位置上裝有橫管中心靶(11)，其前端板(19)上安裝有集電器(9)、引弧裝置(10)。工作室(1)的后蓋(20)上安裝有轟擊源(3)、偏壓源(22)、弧電源(6)和引弧電源(7)的接線柱。
本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)是在真空室后蓋(20)上安裝電機(jī)(2)，將工件架小車(15)兩端板間的連接桿改為傳動(dòng)桿(18)和(17)，這樣還可涂復(fù)管材工件。
工作時(shí)將橫管中心靶(11)穿過工作架(14)安裝在工件架小車(15)的兩端板上，橫管中心靶(11)的材料可視被加工工件涂層的要求采用銅、鋁、鈦等材料。在橫管中心靶(11)的兩端安裝有可變電磁線圈(13)，其內(nèi)部安裝有永久磁鐵(12)。將要涂復(fù)的板材工件環(huán)裝在工件架(14)的內(nèi)周或?qū)⒁繌?fù)的管材沿圓周掛在工件架(14)上，將工件架小車(15)推進(jìn)工作室(1)內(nèi)，并使四只集電器(9)和轟擊源(3)，偏壓源(22)、弧電源(6)和引弧電源(7)的接線柱相接，傳動(dòng)軸(18)上的離合齒輪(21)和電機(jī)(2)上的離合齒輪(5)相嚙合，合上工作室端蓋(16)。起動(dòng)軸真空系統(tǒng)(4)向工作室(1)抽真空，其時(shí)接通電源，轟擊源(3)對工件進(jìn)行電子轟擊清洗，偏壓源(22)給工件提供一個(gè)負(fù)偏壓，弧電源(6)通過集電器(9)提供橫管中心靶(11)低電壓，大電流，在工藝要求的真空條件下，通過后蓋(20)上的進(jìn)氣口(8)送入適量的按不同涂層色彩要求選用的反應(yīng)氣體。引弧電源(7)接通后，引弧裝置(10)在電磁鐵的作用下，與靶材瞬間短路產(chǎn)生電弧使靶材蒸發(fā)電離，產(chǎn)生很強(qiáng)的離子流，靶材與工作室(1)之間形成穩(wěn)定的自持放電，在靶材周圍產(chǎn)生飛速運(yùn)動(dòng)的陰極斑，陰極斑在靶材內(nèi)永久磁鐵(12)及靶端可變電磁線圈(13)的強(qiáng)磁場作用下，環(huán)繞橫管路心靶(11)加速運(yùn)動(dòng)，進(jìn)一步使靶材電離，大大減少了鍍膜蒸汽等離子體中微粒大、多和霧滴的現(xiàn)象。如果涂復(fù)管材只要起動(dòng)電機(jī)(2)、電機(jī)(2)帶動(dòng)傳動(dòng)桿(18)，從而帶動(dòng)工作架(14)轉(zhuǎn)動(dòng)，管材工件隨工件架(14)而運(yùn)動(dòng)，并得到充分的涂復(fù)。全離化金屬等離子體對工件轟擊加熱，轟擊源清洗沉積成膜，一弧三用，膜層結(jié)合牢固，膜層質(zhì)量好。
本實(shí)用新型由于工作室采用臥式結(jié)構(gòu)，適用于鍍大面積板材和超長管材，且廠房要求不高，操作簡便，由于只有一個(gè)靶材蒸發(fā)源只需一個(gè)引弧裝置，結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維修方便。


圖1為本實(shí)用新型的俯視圖。
圖2為工件架和工件架小車放大結(jié)構(gòu)圖。
圖3為圖2之A向視圖。
圖4為工作室(1)的放大主視圖。
權(quán)利要求1.一種橫管中心靶臥式真空鍍膜機(jī)，由工作室(1)和通過管道連接的抽真空系統(tǒng)(4)、工件架小車(15)及坐放其上的工件架(14)構(gòu)成，其特征是工件架小車(15)兩端板上安裝有橫管中心靶(11)，橫管中心靶(11)兩端安裝有可變電磁線圈(13)，其內(nèi)部安裝有永久磁鐵(12)，工件架小車(15)的前端板(19)上還安裝有集電器(9)和引弧裝置(10)，在工件室后蓋(20)上安裝有轟擊源(3)，偏壓源(22)、弧電源(6)和引弧電源(22)的接線柱。
2.一種按照權(quán)利要求1所述的橫管中心靶臥式真空鍍膜機(jī)，其特征是在工件架小車(15)兩端板間連接有傳動(dòng)桿(18)和(17)，在工作室后蓋(20)上安裝有電機(jī)(2)。
專利摘要本實(shí)用新型屬于一種臥式真空涂膜機(jī)，該涂膜機(jī)由工作室，抽真空系統(tǒng)，工件架小車和工件架構(gòu)成，其特征是工件架兩端裝有一根作為靶源的橫管中心靶，且僅有一個(gè)引弧裝置，故該直空涂膜機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維修方便，涂膜質(zhì)量高等特點(diǎn)。
文檔編號C23C14/30GK2220476SQ9424299
公開日1996年2月21日 申請日期1994年12月2日 優(yōu)先權(quán)日1994年12月2日
發(fā)明者王敬達(dá), 闕少咎, 王榮金 申請人:王平安