本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，特別涉及一種加熱燈和化學(xué)氣相沉積設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體加工過程中，需要使用加熱燈對晶圓進(jìn)行加熱以使晶圓處于適宜反應(yīng)的溫度，在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，與晶圓相對設(shè)置有多個加熱燈以對晶圓進(jìn)行加熱，現(xiàn)有的多個加熱燈在對晶圓進(jìn)行加熱的過程中，在晶圓表面容易出現(xiàn)受熱不均勻的問題，進(jìn)而導(dǎo)致晶圓表面的反應(yīng)速率不一致，對晶圓的加工產(chǎn)生影響。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是提供一種加熱燈和化學(xué)氣相沉積設(shè)備，具有對晶圓表面各處加熱均勻度高的優(yōu)點。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種加熱燈，其包含：

3、中段加熱管；

4、第一連接管和第二連接管，所述第一連接管和所述第二連接管的底端分別連接于所述中段加熱管的兩端，所述第一連接管和所述第二連接管的管體自所述中段加熱管朝向同一方向延伸；

5、燈絲，所述燈絲設(shè)置于所述中段加熱管內(nèi)并延伸至所述第一連接管內(nèi)和/或所述第二連接管內(nèi)；

6、燈絲支撐部，所述燈絲支撐部設(shè)置于所述第一連接管和所述第二連接管內(nèi)，所述燈絲支撐部用于支撐所述燈絲以避免所述燈絲和所述第一連接管或所述第二連接管的管壁接觸。

7、可選的，所述燈絲包括設(shè)置在所述中段加熱管內(nèi)的中段加熱段，所述中段加熱段與所述中段加熱管的軸線重合或平行。

8、可選的，所述第一連接管包括互相連接的第一直管段和第一連接段，所述第二連接管包括互相連接的第二直管段和第二連接段，所述第一連接段和所述第二連接段分別連接于所述中段加熱管的兩端；所述燈絲還包括至少具有弧形段的第一延伸段，所述第一延伸段的一端與所述中段加熱段連接，所述第一延伸段位于所述第一連接段內(nèi)，且與所述第一連接段的中心線重合或平行。

9、可選的，所述燈絲還包括至少具有弧形段的第二延伸段，所述第二延伸段的一端與所述中段加熱段連接，所述第二延伸段位于所述第二連接段內(nèi)，且與所述第二連接段的中心線重合或平行。

10、可選的，所述第一連接段內(nèi)設(shè)置至少一個燈絲支撐部，所述第二連接段內(nèi)設(shè)置至少一個燈絲支撐部。

11、可選的，所述中段加熱管內(nèi)間隔設(shè)置多個所述燈絲支撐部。

12、可選的，所述燈絲支撐部上設(shè)有牽引絲，所述牽引絲的兩端分別連接于所述燈絲和所述燈絲支撐部。

13、可選的，所述中段加熱管為直管，所述中段加熱管的直徑為2-20mm，所述第一連接管和所述第二連接管的中心距為所述中段加熱管直徑的4-10倍。

14、可選的，所述加熱燈還包括氣體沖灌口，所述氣體沖灌口設(shè)置于所述第一連接管或所述第二連接管上。

15、可選的，所述加熱燈還包括氣體沖灌口，所述氣體沖灌口設(shè)置于所述中段加熱管上，且所述氣體沖灌口位于所述中段加熱管遠(yuǎn)離被所述燈絲照射的物體一側(cè)。

16、可選的，所述第一連接管、第二連接管和所述中段加熱管采用石英制成。

17、可選的，所述第一連接管、所述第二連接管分別焊接于所述中段加熱管的兩端。

18、本實用新型還提供一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括：

19、腔體；

20、晶圓基座，所述晶圓基座設(shè)置于所述腔體內(nèi)，所述晶圓基座用于承載晶圓；

21、燈座組件，所述燈座組件設(shè)置于所述腔體外；

22、多個如上述的加熱燈，多個所述加熱燈安裝于所述燈座組件，所述加熱燈用于加熱所述晶圓基座上的晶圓。

23、綜上所述，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的加熱燈和化學(xué)氣相沉積設(shè)備，具有如下有益效果：

24、本實用新型的加熱燈，通過將燈絲設(shè)置為自中段加熱段延伸至第一連接管和/或第二連接管內(nèi)，使得相鄰兩個加熱燈之間位置所對應(yīng)的晶圓也可以被加熱，從而提高晶圓表面加熱后各處溫度的均勻性。

技術(shù)特征：

1.一種加熱燈，其特征在于，所述加熱燈包括：

2.如權(quán)利要求1所述的加熱燈，其特征在于，所述燈絲包括設(shè)置在所述中段加熱管內(nèi)的中段加熱段，所述中段加熱段與所述中段加熱管的軸線重合或平行。

3.如權(quán)利要求2所述的加熱燈，其特征在于，所述第一連接管包括互相連接的第一直管段和第一連接段，所述第二連接管包括互相連接的第二直管段和第二連接段，所述第一連接段和所述第二連接段分別連接于所述中段加熱管的兩端；所述燈絲還包括至少具有弧形段的第一延伸段，所述第一延伸段的一端與所述中段加熱段連接，所述第一延伸段位于所述第一連接段內(nèi)，且與所述第一連接段的中心線重合或平行。

4.如權(quán)利要求3所述的加熱燈，其特征在于，所述燈絲還包括至少具有弧形段的第二延伸段，所述第二延伸段的一端與所述中段加熱段連接，所述第二延伸段位于所述第二連接段內(nèi)，且與所述第二連接段的中心線重合或平行。

5.如權(quán)利要求3或4所述的加熱燈，其特征在于，所述第一連接段內(nèi)設(shè)置至少一個燈絲支撐部，所述第二連接段內(nèi)設(shè)置至少一個燈絲支撐部。

6.如權(quán)利要求5所述的加熱燈，其特征在于，所述中段加熱管內(nèi)間隔設(shè)置多個所述燈絲支撐部。

7.如權(quán)利要求6所述的加熱燈，其特征在于，所述燈絲支撐部上設(shè)有牽引絲，所述牽引絲的兩端分別連接于所述燈絲和所述燈絲支撐部。

8.如權(quán)利要求1所述的加熱燈，其特征在于，所述中段加熱管為直管，所述中段加熱管的直徑為2-20mm，所述第一連接管和所述第二連接管的中心距為所述中段加熱管直徑的4-10倍。

9.如權(quán)利要求1所述的加熱燈，其特征在于，所述加熱燈還包括氣體沖灌口，所述氣體沖灌口設(shè)置于所述第一連接管或所述第二連接管上。

10.如權(quán)利要求1所述的加熱燈，其特征在于，所述加熱燈還包括氣體沖灌口，所述氣體沖灌口設(shè)置于所述中段加熱管上，且所述氣體沖灌口位于所述中段加熱管遠(yuǎn)離被所述燈絲照射的物體一側(cè)。

11.如權(quán)利要求1所述的加熱燈，其特征在于，所述第一連接管、第二連接管和所述中段加熱管采用石英制成。

12.如權(quán)利要求11所述的加熱燈，其特征在于，所述第一連接管、所述第二連接管分別焊接于所述中段加熱管的兩端。

13.一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種加熱燈和化學(xué)氣相沉積設(shè)備，加熱燈包括中段加熱管、第一連接管、第二連接管、燈絲和燈絲支撐部。第一連接管和第二連接管連接于中段加熱管的兩端；第一連接管和第二連接管的管體自中段加熱管朝向同一方向延伸；燈絲設(shè)置于中段加熱管內(nèi)并延伸至第一連接管內(nèi)和/或第二連接管內(nèi)；燈絲支撐部設(shè)置于第一連接管和第二連接管內(nèi)，燈絲支撐部用于支撐燈絲以避免燈絲和第一連接管或第二連接管的管壁接觸。本技術(shù)的加熱燈，通過將燈絲設(shè)置為自中段加熱段延伸至第一連接管和/或第二連接管內(nèi)，使得相鄰兩個加熱燈之間位置所對應(yīng)的晶圓也可以被加熱，從而提高晶圓表面加熱后各處溫度的均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：張海龍,徐義,尹志堯,叢海
受保護的技術(shù)使用者：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231218
技術(shù)公布日：2025/1/9