本實(shí)用新型涉及硅片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種高效硅片拋光機(jī)。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，企業(yè)在對(duì)硅片進(jìn)行拋光加工時(shí)所采用的拋光機(jī)一次只能拋光一塊硅片，這種方式的拋光效率非常低，不適合當(dāng)今快節(jié)奏的生產(chǎn)模式，尤其是大批量快速生產(chǎn)，限制了企業(yè)的生產(chǎn)效率，存在不足。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種高效硅片拋光機(jī)，為克服上述的不足，采用雙硅片同時(shí)拋光的方式，將拋光效率提高一倍，有利于當(dāng)今快節(jié)奏的生產(chǎn)模式，提高企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案：

一種高效硅片拋光機(jī)，包括機(jī)體、第一電機(jī)、第一主動(dòng)帶輪、一級(jí)傳動(dòng)帶、一級(jí)帶輪、二級(jí)傳動(dòng)帶、二級(jí)帶輪、彈簧罩、彈簧、固定塊；其中：機(jī)體與第一電機(jī)固定連接，第一電機(jī)與第一主動(dòng)帶輪固定連接，第一主動(dòng)帶輪通過(guò)一級(jí)傳動(dòng)帶與一級(jí)帶輪連接，一級(jí)帶輪通過(guò)二級(jí)傳動(dòng)帶與二級(jí)帶輪連接，一級(jí)帶輪、二級(jí)帶輪均與彈簧罩固定連接，彈簧罩內(nèi)部設(shè)有彈簧，彈簧與固定塊連接，第二電機(jī)與第二主動(dòng)帶輪固定連接，第二主動(dòng)帶輪通過(guò)第二傳動(dòng)帶與第二從動(dòng)帶輪連接，第二從動(dòng)帶輪通過(guò)中空管與磨盤(pán)連接，磨盤(pán)底部設(shè)有磨齒，拋光液箱通過(guò)管道與噴頭連通。

一種高效硅片拋光機(jī)，其中：磨盤(pán)內(nèi)部設(shè)有進(jìn)液管。

一種高效硅片拋光機(jī)，其中：第二從動(dòng)帶輪內(nèi)部設(shè)有進(jìn)液口。

一種高效硅片拋光機(jī)，其中：固定塊的數(shù)量為2。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：本裝置采用雙硅片同時(shí)拋光的方式，將拋光效率提高一倍，有利于當(dāng)今快節(jié)奏的生產(chǎn)模式，提高企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖。

附圖標(biāo)記：機(jī)體1、第一電機(jī)2、第一主動(dòng)帶輪3、一級(jí)傳動(dòng)帶4、一級(jí)帶輪5、二級(jí)傳動(dòng)帶6、二級(jí)帶輪7、彈簧罩8、彈簧9、固定塊10、第二電機(jī)11、第二主動(dòng)帶輪12、第二傳動(dòng)帶13、拋光液箱14、管道15、噴頭16、進(jìn)液口17、第二從動(dòng)帶輪18、中空管19、進(jìn)液管20、磨盤(pán)21、磨齒22。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1、一種高效硅片拋光機(jī)，包括機(jī)體1、第一電機(jī)2、第一主動(dòng)帶輪3、一級(jí)傳動(dòng)帶4、一級(jí)帶輪5、二級(jí)傳動(dòng)帶6、二級(jí)帶輪7、彈簧罩8、彈簧9、固定塊10；其中：機(jī)體1與第一電機(jī)2固定連接，第一電機(jī)2與第一主動(dòng)帶輪3固定連接，第一主動(dòng)帶輪3通過(guò)一級(jí)傳動(dòng)帶4與一級(jí)帶輪5連接，一級(jí)帶輪5通過(guò)二級(jí)傳動(dòng)帶6與二級(jí)帶輪7連接，一級(jí)帶輪5、二級(jí)帶輪7均與彈簧罩8固定連接，彈簧罩8內(nèi)部設(shè)有彈簧9，彈簧9與固定塊10連接，第二電機(jī)11與第二主動(dòng)帶輪12固定連接，第二主動(dòng)帶輪12通過(guò)第二傳動(dòng)帶13與第二從動(dòng)帶輪18連接，第二從動(dòng)帶輪18通過(guò)中空管19與磨盤(pán)21連接，磨盤(pán)21底部設(shè)有磨齒22，拋光液箱14通過(guò)管道15與噴頭16連通。

實(shí)施例2、一種高效硅片拋光機(jī)，其中：磨盤(pán)21內(nèi)部設(shè)有進(jìn)液管20，有利于快速冷卻，防止硅片受熱變形。其余同實(shí)施例1。

實(shí)施例3、一種高效硅片拋光機(jī)，其中：第二從動(dòng)帶輪18內(nèi)部設(shè)有進(jìn)液口17，方便拋光液進(jìn)入，提高拋光效率。其余同實(shí)施例1。

實(shí)施例4、一種高效硅片拋光機(jī)，其中：固定塊10的數(shù)量為2，將拋光效率提高一倍，有利于當(dāng)今快節(jié)奏的生產(chǎn)模式，提高企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。其余同實(shí)施例1。

工作原理：

第一電機(jī)2帶動(dòng)第一主動(dòng)帶輪3旋轉(zhuǎn)，第一主動(dòng)帶輪3通過(guò)一級(jí)傳動(dòng)帶4帶動(dòng)一級(jí)帶輪5旋轉(zhuǎn)，一級(jí)帶輪5通過(guò)二級(jí)傳動(dòng)帶6帶動(dòng)二級(jí)帶輪7旋轉(zhuǎn)，一級(jí)帶輪5與二級(jí)帶輪7均帶動(dòng)彈簧罩8旋轉(zhuǎn)，彈簧罩8帶動(dòng)固定塊10旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，彈簧9通過(guò)彈力將固定塊10頂出，進(jìn)而將硅料推向磨盤(pán)21，此時(shí)，第二電機(jī)11帶動(dòng)第二主動(dòng)帶輪12旋轉(zhuǎn)，第二主動(dòng)帶輪12通過(guò)第二傳動(dòng)帶13帶動(dòng)第二從動(dòng)帶輪18旋轉(zhuǎn)，第二從動(dòng)帶輪18通過(guò)中空管19帶動(dòng)磨盤(pán)21轉(zhuǎn)動(dòng)，磨盤(pán)21帶動(dòng)磨齒22轉(zhuǎn)動(dòng)，拋光液由拋光液箱14流出，并通過(guò)管道15與噴頭16噴向進(jìn)液口17內(nèi)，最終由中空管19與進(jìn)液管20流向硅料表面，實(shí)現(xiàn)拋光加工，當(dāng)固定塊10的數(shù)量為2時(shí)，不僅確保了設(shè)備的結(jié)構(gòu)緊湊，同時(shí)一次可以加工兩個(gè)產(chǎn)品，將生產(chǎn)效率提高了一倍，動(dòng)作結(jié)束。