本實(shí)用新型涉及一種傳動(dòng)裝置，特別是沉積類金剛石膜的均勻傳動(dòng)及夾持裝置。

背景技術(shù)：

采用磁過濾真空陰極弧沉積類金剛石膜，能使工件具有極高性能表面，如：膜層厚度均勻、摩擦系數(shù)小。在機(jī)械、石化、航空航天、軍工、汽車等行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。

陰極電弧沉積是在真空腔體內(nèi)使靶表面產(chǎn)生一個(gè)電弧。電弧由石墨陰極匹配的一個(gè)觸發(fā)電極引起，由于接觸點(diǎn)電流密度大，使石墨陰極熔化，向外發(fā)射電子，同時(shí)大量陰極材料離子被蒸發(fā)出來形成離子氣體，隨即被電場(chǎng)加速的電子碰撞離化，形成等離子體，通過弧形彎管磁場(chǎng)引導(dǎo)等離子體向一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，在運(yùn)動(dòng)過程中，大顆粒離子和中性離子飛濺到管壁上，從而過濾后的小顆粒離子向工件所在位置運(yùn)動(dòng)，濺射到工件表面，形成均勻分布的原子團(tuán)，原子團(tuán)吸收原子或離子長(zhǎng)大達(dá)到飽和，原子團(tuán)通過合并而擴(kuò)大，完成膜的生成。目前國內(nèi)一般采用是圓形的真空腔體，同時(shí)沿真空腔體圓周相差120°方向均勻分布這樣3個(gè)同樣的磁彎管。

若圓柱形工件在真空腔體內(nèi)中固定不動(dòng)，等離子體的方向也是不變的，工件面向等離子體運(yùn)動(dòng)的表面沉積的等離子數(shù)量遠(yuǎn)大于背向等離子的表面，鍍膜層的厚度將很不均勻，工件表面的摩擦系數(shù)將較大。對(duì)于尺寸精度要求較高零件，不僅要控制表面機(jī)械強(qiáng)度性能，還要控制表面類金剛石膜層厚度。就有必要設(shè)計(jì)開發(fā)一套使等離子體在圓柱形表面均勻沉積的裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供一種裝置，能實(shí)現(xiàn)使工件沉積的類金剛石膜膜層厚度均勻。

本實(shí)用新型的方案為：一種沉積類金剛石膜的均勻傳動(dòng)裝置工裝，包括中心輪、固定軸、支承系桿、回轉(zhuǎn)軸、行星輪和立桿，中心輪固定，中心輪的中心有固定軸，固定軸與支承系桿固定連接，固定軸下端安裝的齒輪可在電機(jī)帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，并帶動(dòng)支承系桿繞固定軸旋轉(zhuǎn)，回轉(zhuǎn)軸與支承系桿通過固定銷固定在一起，行星輪通過軸承安裝在回轉(zhuǎn)軸上。

工裝的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了行星輪系傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，中心輪固定，固定軸與支承系桿通過固定銷固裝在一起，固定軸下端的齒輪在電機(jī)帶動(dòng)下做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。支承系桿在固定軸作用下轉(zhuǎn)動(dòng)，回轉(zhuǎn)軸與支承系桿通過固定銷固定在一起，隨支承系桿做同向轉(zhuǎn)動(dòng)。安裝在回轉(zhuǎn)軸上的行星輪也將隨支承系桿轉(zhuǎn)動(dòng)(稱之為公轉(zhuǎn))，由于行星輪與中心輪的外齒嚙合傳動(dòng)，使其繞回轉(zhuǎn)軸，即自身軸線，旋轉(zhuǎn)稱之為自轉(zhuǎn)。

為便于裝夾工件，本實(shí)用新型的行星輪沿圓周有一定數(shù)量的螺紋圓孔，小直徑的立桿與行星輪圓孔連接，立桿上端有小孔。有空工件可直接套在立桿上進(jìn)行相關(guān)表面處理，無孔工件通過鋼絲、立桿上端小孔固定。

為進(jìn)一步為保證類金剛石膜膜層厚度均勻，采用電機(jī)與固定軸外齒嚙合傳動(dòng)，確保支承系桿均勻轉(zhuǎn)動(dòng)，工件轉(zhuǎn)動(dòng)均勻。

本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)：

實(shí)現(xiàn)工件的類金剛石膜膜層厚度均勻，表面改性層附著力高，膜層摩擦系數(shù)小的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1 本實(shí)用新型的俯視圖；

圖2 本實(shí)用新型的正視圖；

圖3 本實(shí)用新型的仰視圖；

圖4 本實(shí)用新型的立桿示意圖。

具體實(shí)施方式

見圖1至圖3，本工裝的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了行星輪系傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，中心輪3固定，不做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，固定軸2與支承系桿l通過固定銷6安裝在一起，固定軸2下端的齒輪在電機(jī)帶動(dòng)下做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，支承系桿在固定軸2作用下，以圖示位置和方向繞固定軸2做逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，回轉(zhuǎn)軸4與支承系桿1通過固定銷6固定在一起，隨支承系桿做同向轉(zhuǎn)動(dòng)，安裝在回轉(zhuǎn)軸4上的行星輪5也將隨之逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)(稱之為公轉(zhuǎn))。由于行星輪5與中心輪3的外齒嚙合傳動(dòng)，使其繞回轉(zhuǎn)軸(自身軸線)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)(稱之為自轉(zhuǎn))。因此。行星輪5的運(yùn)動(dòng)是繞固定軸2公轉(zhuǎn)和繞回轉(zhuǎn)軸4自轉(zhuǎn)的復(fù)合運(yùn)動(dòng)。行星輪5沿圓周有一定數(shù)量的螺紋圓孔。由此實(shí)現(xiàn)，裝夾在行星輪5上的工件自轉(zhuǎn)與旋轉(zhuǎn)，使電極上濺射出的離子均勻的沉積在工件表面。

見圖4，小直徑的立桿7（與行星輪螺紋圓孔連接），立桿7上端有小孔。有孔工件可直接套在立桿上進(jìn)行處理，立桿7上端小孔固定鋼絲，鋼絲捆扎固定好無孔工件，無孔工件也可進(jìn)行相關(guān)的鍍膜處理。