本發(fā)明涉及一種cvd(化學(xué)氣相沉積)或pvd(物理氣相沉積)覆層裝置，其具有殼體、固定在殼體上的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)、具有固定在殼體的上部區(qū)段上的固持裝置，所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)具有具備排氣口的排氣面，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)在多個懸掛位置上固定在所述固持裝置上。

背景技術(shù)：

在ep1815493b1中描述了這種類型的覆層裝置，其示出覆層裝置的殼體，在殼體內(nèi)安置有固持裝置，該固持裝置固持進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。類似的設(shè)備在us2008/0317973a1中描述。

這種類型的覆層裝置具有用于容納待覆層的基板的基座和承擔(dān)氣體分配器作用的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)，處理氣體通過進(jìn)氣機(jī)構(gòu)可以被導(dǎo)入處理室內(nèi)，處理室在氣體分配器的下側(cè)和基座之間延伸。氣體分配器在其下側(cè)具有多個排氣口，處理氣體通過排氣口可以進(jìn)入處理室內(nèi)。在氣體分配器的內(nèi)部，用于分配處理氣體的腔室位于排氣口上。這種類型的氣體分配器例如在de102013101534a1內(nèi)描述。

為了沉積oled，在被加熱的氣體分配器內(nèi)借助運(yùn)載氣體輸入氣態(tài)的有機(jī)的初始材料。氣態(tài)的初始材料穿過排氣口進(jìn)入處理室內(nèi)，以便在基板上冷凝，基板為此放置在被冷卻的基座上?；蹇梢跃哂写笥?m²的表面。隨之要求制造具有2m至3m的基座對角線的cvd或pvd反應(yīng)器。因?yàn)檫M(jìn)氣機(jī)構(gòu)必須在基座的整個表面上延伸，所以需要提供具有2m至3m的對角線的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。處理室具有數(shù)厘米的處理室高度。為了在整個基板表面上可以沉積相同的層厚度和相同的層質(zhì)量，要求處理室高度在較小的公差范圍內(nèi)在整個處理室之上具有恒定的值。沉積過程在低壓范圍內(nèi)開始，也就是在這個范圍內(nèi)大氣壓對殼體壁施加非常高的變形力。無法避免的是，殼體在壓力下降時發(fā)生變形。此外，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)被加熱，使得相對于機(jī)械力附加地要考慮熱膨脹現(xiàn)象。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，如此改進(jìn)這種類型的覆層裝置，使得在整個基座面之上的或者在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的排氣面上的處理室高度僅在較小公差范圍內(nèi)變化。

所述技術(shù)問題通過在權(quán)利要求中提供發(fā)明解決，其中，每個權(quán)利要求原則上示出技術(shù)問題的獨(dú)立的解決方案。

組件固定在殼體的上部區(qū)段上。所述組件包括帶有配備排氣口的排氣面的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。排氣面沿尤其水平的排氣平面延伸。組件在多個懸掛位置上固定在殼體上。設(shè)置調(diào)溫件，利用所述調(diào)溫件能夠?qū)⑦M(jìn)氣機(jī)構(gòu)從基本上與殼體溫度相當(dāng)?shù)牡谝粶囟日{(diào)溫至與殼體的溫度不同的第二溫度。這可以通過對進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的加熱實(shí)現(xiàn)，為此進(jìn)氣機(jī)構(gòu)設(shè)置有加熱設(shè)備。在未加熱的狀態(tài)下，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)具有殼體的溫度。在加熱狀態(tài)下，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)比殼體具有更高的溫度。然而還可以實(shí)現(xiàn)的是，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)能夠利用冷卻裝置被冷卻至低于殼體溫度的溫度。調(diào)溫件可以是進(jìn)氣機(jī)構(gòu)中的通道，調(diào)溫的、也即熱的或冷的液體穿流過所述通道。通過所述調(diào)溫和由此導(dǎo)致的組件的部件的溫度變化，組件的尺寸發(fā)生變化。至少基于熱膨脹使進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的尺寸發(fā)生變化。固定件設(shè)計為，固定件在組件的這種尺寸變化時變形，或具有在尺寸變化時相互移動的元件。為此固定件具有力傳遞件，所述力傳遞件將組件的重力傳遞至殼體。力傳遞件是尤其可彈性變形的或具有優(yōu)選能夠無磨損地相互移動的元件。固定件優(yōu)選僅固定在組件的外部的水平邊緣上，并且尤其僅固定在固持裝置上。力傳遞件優(yōu)選可以僅沿水平向運(yùn)動/變形，而不沿豎向運(yùn)動/變形。優(yōu)選在多角形的角上完成固定。多角形涉及虛擬的多角形，所述多角形定義了多個布置在固持裝置的邊緣上的水平面中的角點(diǎn)。在虛擬的多角形的角點(diǎn)上進(jìn)行固定。多角形可以涉及三角形或四角形。例如可以將兩個固定點(diǎn)配置于固持裝置的角點(diǎn)，例如配置于窄邊的兩個角點(diǎn)。第三固定點(diǎn)可以布置在與所述窄邊對置的窄邊的中心。然而固定點(diǎn)也可以在位置上配屬于寬邊角或?qū)掃?。力傳遞件可以分別涉及彎曲元件。彎曲元件連接殼體側(cè)的固定元件和組件側(cè)的固定元件。可以涉及矩形的薄板。布置在角區(qū)域中的彎曲板相對于組件或固持裝置定向?yàn)?，組件或固持裝置可以不僅沿寬側(cè)延伸方向而且還沿窄側(cè)延伸方向擴(kuò)展。優(yōu)選地，彎曲彈性的板位于垂直面中并且具有面法向，所述面法向沿著窄側(cè)的側(cè)壁與固持裝置或組件的寬側(cè)所成的夾角的角平分線延伸。面法向優(yōu)選指向組件的幾何重心、優(yōu)選組件的位于水平面中的面重心，從而使組件在固定位置上的熱膨脹方向與力傳遞件的主彎曲方向一致。在具有正方形基礎(chǔ)面的固持裝置或組件中，彎曲板由此優(yōu)選以相對于寬側(cè)或窄側(cè)45°的角度延伸。兩個分別布置在相鄰的角上的彎曲板由此分別在平面中延伸，其中，兩個豎直面以90°的角度相交。第三彎曲板在與所述兩個固定點(diǎn)相對置的側(cè)壁上大體布置在該側(cè)壁的中心。同樣沿豎直面延伸的彎曲板平行于固持裝置或組件的側(cè)壁延伸。在非正方形的基礎(chǔ)面的情況下，力傳遞件的主彎曲方向、也即尤其扁平的彎曲元件的面法向朝向組件的、尤其進(jìn)氣機(jī)構(gòu)或其固持裝置的重心。此外還可以設(shè)置橫向于彎曲移動方向的浮動式支承。為此優(yōu)選設(shè)置銷釘，所述銷釘通過水平的運(yùn)動間隙伸入開口中。尤其設(shè)置固定銷，力傳遞件、尤其彎曲板利用所述固定銷固定在固定件上，其中，固定銷具有軸承側(cè)邊，所述軸承側(cè)邊支承在滑動元件上，所述滑動元件位于支承面上，從而使固定軸能夠橫向于彎曲元件的主變形方向相對于支承面移動。此外還可以設(shè)置保險設(shè)備，所述保險設(shè)備在力傳遞件可能發(fā)生斷裂、尤其彎曲元件斷裂時避免組件、尤其進(jìn)氣機(jī)構(gòu)脫落。為此，保險設(shè)備以豎直的和/或水平的運(yùn)動間距貫穿保險孔。在熱膨脹時保險栓可以自由地穿過保險孔運(yùn)動。在固持裝置或組件的角區(qū)域中布置的固定件可以通過沿豎向延伸的桿件或纜索構(gòu)成，然而固定件也可以固定在固持裝置或組件的側(cè)向壁部上的兩個角點(diǎn)之間。實(shí)心的或中空的桿件僅具有上端部和下端部，所述上端部優(yōu)選固定在殼體上，所述下端部優(yōu)選固定在固持裝置或組件上。然而呈實(shí)心或中空的桿件形式的彎曲元件也可以布置在組件的側(cè)壁上。然而彎曲元件也可以具有其他設(shè)計。有利的是，彎曲元件允許組件或固持裝置以最小摩擦水平運(yùn)動?？梢苑謩e通過角元件實(shí)現(xiàn)固定。在角區(qū)域中布置的固定件還可以借助橫梁固定在殼體上。在本發(fā)明的一種變型方案中，固定元件具有相互滾動的元件。第一元件可以牢固地固定在殼體上。第二元件可以牢固地固定在組件上或固持裝置上，并且第三元件可以使第一和第二元件相連。還可以設(shè)置兩個或多個元件，所述元件將牢固地固定在殼體上和牢固地固定在組件上的固定元件相連。在此優(yōu)選涉及鏈節(jié)。在滾動式固定元件的布置方面可以援引針對彎曲元件的實(shí)施方式。這尤其適用于由滾動式固定元件所實(shí)現(xiàn)的運(yùn)動方向。

組件優(yōu)選具有固持裝置，所述固持裝置固定在殼體的上部區(qū)段上。其涉及一種可穩(wěn)定溫度的且機(jī)械穩(wěn)定的固持裝置。在這種形狀穩(wěn)定的固持裝置上進(jìn)氣機(jī)構(gòu)固定在多個懸掛位置上。懸掛位置基本上均勻地在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的整個延伸面內(nèi)分布。懸掛位置的相互距離小于進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的對角線延伸長度的至少3倍、但優(yōu)選4倍或5倍。還可行的是，兩個相鄰的懸掛位置的最大間距等于進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的對角線延伸長度的最大十分之一。為了機(jī)械穩(wěn)定性，固持裝置可以具有機(jī)械的穩(wěn)定元件。該機(jī)械的穩(wěn)定元件可以由垂直壁構(gòu)成。固持裝置優(yōu)選由桁架構(gòu)成，該桁架由交叉的豎直壁構(gòu)成。兩個豎直的且必要時也相互平行延伸的豎直壁的間距比進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的對角線長度小最少3倍、4倍、優(yōu)選5倍。沿豎向延伸的柱形的腔室設(shè)計有基礎(chǔ)面，該基礎(chǔ)面優(yōu)選最大等于進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)面的百分之一并且可以具有棋盤形狀或蜂巢形狀的輪廓。固持裝置優(yōu)選僅通過水平邊緣固定在殼體上。固持裝置的水平邊緣與殼體固定。固持裝置的整個中央的面區(qū)域沒有覆蓋進(jìn)氣機(jī)構(gòu)，但是在多個基本上均勻地在面上分布的位置上具有與進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的牢固連接。固持裝置是溫度穩(wěn)定的。為此可以設(shè)有主動或被動的溫度穩(wěn)定裝置。固持裝置被如此穩(wěn)定溫度，使得當(dāng)相對于進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的溫度差變化時，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的溫度既不會在水平方向上，也不會在豎直方向上出現(xiàn)明顯的改變。優(yōu)選地，在整體由固持裝置構(gòu)成的部件的內(nèi)部的溫度、優(yōu)選在桁架內(nèi)的溫度在+/-5度內(nèi)變化。最冷點(diǎn)和最熱點(diǎn)的溫度差優(yōu)選最大等于5度。為了被動地穩(wěn)定溫度可以設(shè)有熱屏蔽件、例如其具有反射的表面或絕熱體。為了主動地穩(wěn)定溫度，可以使用控溫介質(zhì)，例如控溫液體，其流動穿過調(diào)溫通道。調(diào)溫通道可以布置在固持裝置內(nèi)。但是，調(diào)溫通道優(yōu)選設(shè)在固持裝置的上部或下部。因?yàn)檫M(jìn)氣機(jī)構(gòu)的溫度在覆層過程中保持在較高的溫度，所以固持裝置必須為了控溫而被冷卻，則優(yōu)選使用主動調(diào)溫件，其安置在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)和固持裝置之間的區(qū)域內(nèi)。固持裝置的蜂巢形狀或盒子形狀的結(jié)構(gòu)賦予固持裝置桁架的形狀，這還實(shí)現(xiàn)了機(jī)械的穩(wěn)定性。這還使得在內(nèi)壓力改變時可能待調(diào)節(jié)的殼體上部的形狀改變不會影響固持裝置的形狀。固定件涉及所謂的彈性固定件，固持裝置的邊緣區(qū)域借助固定件固定在殼體上。在優(yōu)選的設(shè)計方案中，在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)和固持裝置之間延伸有豎直的間隔空間。為了將進(jìn)氣機(jī)構(gòu)固定在固持裝置上使用多個懸吊件。懸吊件可以涉及長形延伸的金屬的或陶瓷的拉伸元件，其通過它的上端部固定在固持裝置上并且通過它的下端部固定在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的固定位置上。懸吊件可以是高度可調(diào)節(jié)的。由此，在每個懸掛位置上均可調(diào)節(jié)排氣面和基座上側(cè)之間的距離、也就是處理室高度。優(yōu)選由具有較低熱膨脹系數(shù)的材料制造懸吊件。進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的壁設(shè)有調(diào)溫通道。尤其進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的構(gòu)成排氣面的壁、但也包括從排氣面遠(yuǎn)離的壁具有多個通道，調(diào)溫劑、例如較熱的液體可以流動穿過這些通道。為了穩(wěn)定固持裝置的溫度，不僅其形狀發(fā)揮作用。固持裝置設(shè)計為輕質(zhì)構(gòu)件。采取措施用于主動地避免從進(jìn)氣機(jī)構(gòu)至固持裝置的熱傳導(dǎo)，這些措施可以包括在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)和固持裝置之間的間隔空間內(nèi)安置一個或多個隔熱件。隔熱件涉及面狀物體，其平行于進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的面延伸。隔熱件的表面可以是高反射性的。備選地，也可以在間隔空間內(nèi)安置絕熱體。至少一個隔熱件可以是主動冷卻的。主動冷卻的隔熱件優(yōu)選與固持裝置直接相鄰。主動冷卻的隔熱件可以涉及板件，該板件的延伸面大約相應(yīng)于固持裝置的延伸面或進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的延伸面。在板件的內(nèi)部流動著冷卻劑通道，冷卻劑可以流動穿過冷卻劑通道。由此，固持裝置可以保持在恒定的溫度。如果進(jìn)氣機(jī)構(gòu)被加熱，則固持裝置基本上保持它的溫度。在設(shè)備運(yùn)行時可以改變的處理室高度的距離在1mm以下。殼體的表面溫度大約處于30℃。固持裝置的溫度可以穩(wěn)定在50℃。為此，主動隔熱件將溫度冷卻到大約50℃。構(gòu)成為噴淋頭的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)在例如450℃的溫度下運(yùn)行，并且基板被冷卻到20℃。通過一個或多個安裝在主動隔熱件和進(jìn)氣機(jī)構(gòu)之間的被動隔熱件，從進(jìn)氣機(jī)構(gòu)至主動冷卻的隔熱件的熱流被減小。直接鄰接進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的隔熱件例如可以具有350℃的表面溫度。隔熱件可以由金屬或陶瓷材料構(gòu)成。在被動隔熱件和主動隔熱件之間可以安置另外的被動隔熱件，該另外的被動隔熱件同樣由金屬板或陶瓷板構(gòu)成。它們的溫度在運(yùn)行時大約為270℃。也可以在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)和主動冷卻的隔熱件之間設(shè)置兩個以上的被動隔熱件。隔熱件的表面可以具有較低的光輻射度。這種表面可以是被研磨的、反射的表面?？梢允褂脩业跫?，用于固定隔熱件。但也可以規(guī)定，懸吊件僅穿過隔熱件的開口，使得隔熱件的變形在空間上不會影響進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的位置。按照本發(fā)明，固持裝置針對變形是穩(wěn)定的。在此涉及由于溫度改變和/或壓力改變而導(dǎo)致的變形。隔熱件可以懸掛在獨(dú)立的懸吊裝置上，該懸吊裝置或者固定在殼體蓋上或者固定在固持裝置上。本發(fā)明還涉及一種運(yùn)行這種設(shè)備的方法。

附圖說明

以下借助附圖結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行更詳盡的闡述。在附圖中：

圖1示出沿圖2的剖切線i-i剖切示意示出的pvd覆層設(shè)備的剖面圖，

圖2示出覆層設(shè)備的俯視圖，

圖3示出根據(jù)圖1的剖切線iii-iii所得的剖面圖，

圖4示出第二實(shí)施例的pvd反應(yīng)器的殼體上部的基本根據(jù)圖1的剖面圖，

圖5示出根據(jù)圖4剖切的殼體上部的立體圖，

圖6示出根據(jù)圖3視圖方式的本發(fā)明的第三實(shí)施例，

圖7示出根據(jù)圖6的剖切線vii-vii的剖視圖，

圖8示出根據(jù)圖6的剖切線viii-viii的剖視圖，

圖9示出作為第四實(shí)施例的另一固定件的立體圖，

圖10示出作為第五實(shí)施例的另一固定件的立體圖，

圖11示出作為第六實(shí)施例的另一固定件的立體圖，

圖12示出根據(jù)圖11中xii的細(xì)節(jié)圖，

圖13a-d示出用于將固定件13在組件23上的布置的變型方案，

圖14以類似圖6的視圖示出另一實(shí)施例，

圖15示出由圖14的固定件13.2的俯視圖，

圖16示出根據(jù)圖15中的剖切線xvi-xvi的剖視圖，

圖17示出根據(jù)圖16中的剖切線xvii-xvii的剖視圖，

圖18示出根據(jù)圖16中的剖切線xviii-xviii的剖視圖，

圖19示出根據(jù)圖16中的剖切線ixx-ixx的剖視圖，

圖19a示出圖19中ixxa的放大剖視圖，

圖20示出由圖14的固定件13.1，

圖21示出根據(jù)圖20中的剖切線xxi-xxi的剖視圖，

圖22示出根據(jù)圖21中的剖切線xxii-xxii的剖視圖，

圖23示出根據(jù)圖21中的剖切線xxiii-xxiii的剖視圖，

圖24示出根據(jù)圖21中的剖切線xxiv-xxiv的剖視圖，和

圖24a示出圖24中xxiva的放大剖視圖。

具體實(shí)施方式

圖1至3所示的設(shè)備是用于對大面積的基板進(jìn)行有機(jī)層覆層的pvd設(shè)備?；蹇梢跃哂芯匦涡螤?，其具有大于1m的對角線，尤其大約2m或3m。殼體下部2支承著用于放置基板的基座15。所述基座15具有多個冷卻通道16，冷卻劑通過冷卻通道16可以被布置在處理室內(nèi)。基座借助冷卻劑保持在大約20℃的溫度下。

殼體的上部1具有殼體蓋，該殼體蓋通過肋條結(jié)構(gòu)17、18被機(jī)械地穩(wěn)定。殼體下部2具有類似的肋條結(jié)構(gòu)，用于機(jī)械地穩(wěn)定殼體底板。在殼體蓋內(nèi)可以布置調(diào)溫劑通道，液態(tài)的調(diào)溫劑流動穿過調(diào)溫劑通道，用于將殼體蓋保持在預(yù)設(shè)的溫度。

在殼體蓋的邊緣上和殼體上部1的側(cè)壁的邊緣上設(shè)有固定件13、14。這涉及彈性的固定件13、14，固持裝置3通過固定件在其水平的邊緣上固定在殼體上部1上。

固持裝置3是桁架形式或蜂窩結(jié)構(gòu)的輕質(zhì)構(gòu)件。該輕質(zhì)構(gòu)件具有多個沿豎向連接線相互連接的面狀元件4、5。所述面狀元件4、5構(gòu)成豎向壁。在實(shí)施例中，固持裝置3設(shè)計為由交叉的豎向壁4、5構(gòu)成的固持架，該固持架通過其邊緣3’借助固定件13、14固定在殼體1上。因?yàn)楣坛盅b置3僅在其邊緣3’上與殼體固定，所以當(dāng)在殼體1、2內(nèi)部出現(xiàn)壓力變化時無法避免的殼體蓋的扭曲不會導(dǎo)致固持裝置3在殼體1、2內(nèi)部明顯的位置變化。整體被邊緣3’圍繞的固持裝置3的中央的平面區(qū)域沒有承受與之平行延伸的殼體上部1的蓋壁的應(yīng)力。固定件13、14在殼體上部1的蓋壁的邊緣上固定。固持裝置3構(gòu)成開放的或封閉的腔室結(jié)構(gòu)，其中，腔室的水平的面比固持裝置3的水平的面小至少100倍。面的豎向高度可以處在腔室的水平面的等量圓對角線的數(shù)量級內(nèi)。

涉及空腔體的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的壁板具有調(diào)溫通道9，該進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7沿豎向安置在基座15的上方。進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的構(gòu)成排氣面7’的下側(cè)與基座15的上側(cè)的間距等于數(shù)厘米。排氣面7’具有多個噴淋頭形狀布置的排氣口8，來自進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的空腔內(nèi)的處理氣體通過排氣口可以流到處理室內(nèi)，該處理室由基座15的上側(cè)和進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的下側(cè)構(gòu)成。進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7將溫度控制在大約450℃。

進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7通過機(jī)械的固定元件6固定在固持裝置3上。機(jī)械的固定元件6基本上均勻地在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的整個延伸面內(nèi)分布。相鄰的固定元件6的相互距離顯著地小于進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的邊棱長度或?qū)蔷€。優(yōu)選地，兩個相鄰的固定元件6的最大間距小于進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的等量圓對角線的十分之一。

機(jī)械的固定元件是懸吊件6，該懸吊件通過頭部6’固定在固持裝置3上并且在至進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的豎向間隙內(nèi)延伸。在此，懸吊件6在懸掛位置6’上通過其腳部固定在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7上。進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7具有兩個相互平行延伸的壁，這些壁分別具有調(diào)溫劑通道9。固定位置6’可以設(shè)在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的上壁上。但在實(shí)施例中，固定位置6’也可以設(shè)在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的具有排氣口8的壁上。懸吊件6的腳部在此則固定在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的下壁上。

懸吊件6的頭部6”支承在固持裝置3的上側(cè)的開口或缺口19內(nèi)。頭部6”可以由螺栓構(gòu)成，該螺栓旋入螺紋內(nèi)，使得通過頭部6”的旋轉(zhuǎn)改變懸吊件6的長度或改變懸掛位置6’的豎向位置。但是，頭部6”也可以由螺母或其它調(diào)節(jié)件構(gòu)成，借此局部調(diào)節(jié)進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的高度位置。由此，處理室的高度可以局部地預(yù)設(shè)。懸吊件6優(yōu)選由具有較低熱膨脹系數(shù)的材料構(gòu)成，使得對懸吊件6的加熱不會影響處理室的局部高度。

在優(yōu)選的設(shè)計方案中，其也在圖1和3所示的實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)，固持裝置3不僅涉及機(jī)械穩(wěn)定的固持框架，也涉及溫度穩(wěn)定的固持框架。為此，主動控溫的隔熱件11直接位于固持裝置3的下方。隔熱件11涉及由金屬或陶瓷構(gòu)成的、具有冷卻劑通道12的板件。通過該冷卻劑通道12導(dǎo)引穿流冷卻劑，這使得主動冷卻的隔熱板11將溫度置于大約50℃。然而固持裝置也可以直接冷卻。

在主動冷卻的隔熱件11和進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7之間可以安置一個或多個被動隔熱件。在實(shí)施例中設(shè)計被動隔熱件，其同樣可以涉及金屬板或陶瓷板。被動隔熱件具有一個溫度，該溫度在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的溫度和主動隔熱件的溫度之間的范圍內(nèi)。被動隔熱件的溫度可以在400℃至200℃之間的范圍內(nèi)。在使用多個相互平行布置的被動隔熱件的情況下，各個隔熱件可以具有270℃或350℃的溫度。固持裝置的溫度由此保持在大約50℃。殼體溫度則處于大約30℃。被動隔熱件10優(yōu)選是具有高反射表面的金屬板。其發(fā)射系數(shù)小于0.2。

圖4和5示出殼體上部1的第二實(shí)施例同樣具有設(shè)計為輕質(zhì)構(gòu)件的固持框架3，其由框架形式的隔間結(jié)構(gòu)構(gòu)成，其中，豎向的隔間壁4、5在豎向連接線上相互連接。隔間壁4、5在此也可以設(shè)計為薄的金屬板。在此附加地，固持框架3還具有水平延伸的上水平壁20和下水平壁21。

即便在該實(shí)施例中，僅僅固持裝置3的豎向延伸的邊緣3’與殼體1相連。與之相關(guān)的固定件13可以是彈性的固定件。固持裝置3的所有的壁板由最薄的面狀材料構(gòu)成，如板材。這構(gòu)成了開放腔室的或封閉腔室形式的空間結(jié)構(gòu)。固持裝置3固定在殼體上部1的蓋板的邊緣上。然而還可行的是，固持裝置3整體式地構(gòu)成，例如由實(shí)心錠銑削而成的桁架。

具有多個排氣口的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7通過多個在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的延展面上基本均勻布置的固定位置6’固定在固持裝置3上。進(jìn)氣機(jī)構(gòu)連接機(jī)械的固定元件6，該固定元件6在此也由懸吊件構(gòu)成。懸吊件6’的頭部與固持裝置3相連。懸吊件6的腳部在固定位置6’上與進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7相連。在此在固持裝置3和進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7之間的豎向間隔空間內(nèi)也設(shè)有多個熱屏蔽件10、11。在此也設(shè)有至少一個主動冷卻的熱屏蔽件11，其直接安置在固持裝置的下方并且平行于固持裝置3的下側(cè)延伸。在主動冷卻的隔熱件11和進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7的上側(cè)之間延伸有多個相互平行延伸的被動熱屏蔽件10。

在該實(shí)施例中，熱屏蔽件與懸吊件6相連。懸吊件6由此不僅將進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7固持在固持裝置3上，而且也將熱屏蔽件10、11固定在其豎向位置上。熱屏蔽件10、11也可以通過獨(dú)立的懸吊件固定在固持裝置3上。它們具有高反射的表面。安置在固持裝置3的下方的板件11在固持裝置3的整個延展面上延伸，該板件11具有冷卻劑通道12，冷卻水通過該冷卻通道被導(dǎo)引穿流。

在未示出的實(shí)施例中可以規(guī)定，熱屏蔽件10、11的豎向位置基本上是不重要的，熱屏蔽件10、11通過獨(dú)立的懸吊裝置直接固定在殼體1上。與之相關(guān)的懸吊裝置可以設(shè)在熱屏蔽件10、11的邊緣上。但是，懸吊裝置也可以設(shè)在熱屏蔽件10、11的中央的面區(qū)域內(nèi)并且例如穿過固持裝置3的通孔，用于固定在殼體上部1的蓋子上。

在殼體上部1的蓋區(qū)段內(nèi)在加強(qiáng)肋條17、18之間的區(qū)域內(nèi)設(shè)有可關(guān)閉的開口22。通過打開該開口22可以到達(dá)固持裝置3的上側(cè)或者到達(dá)上部水平壁20。開口19處在上述位置，懸吊件6的頭部6”在開口19內(nèi)延伸。頭部6”可以由螺紋件構(gòu)成，使得通過頭部6”的轉(zhuǎn)動影響懸吊件6的有效長度。懸吊件的頭部6”由此構(gòu)成調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，用于局部影響處理室的高度，即進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7與基座15的距離。

應(yīng)用前述裝置用于在大面積的基板上沉積oled。在該方法中，固體的、粉末形狀的初始材料通過蒸發(fā)器轉(zhuǎn)變?yōu)闅怏w形式。由此構(gòu)成的有機(jī)蒸汽借助運(yùn)載氣體被輸送到進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7內(nèi)，在那里蒸汽從排氣口7’排出，以便在位于基座15上的基板的表面上冷凝。

在上述實(shí)施例中，固持裝置3連同進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7一起構(gòu)成組件23，所述組件借助固定件13、14固定在殼體1的上部區(qū)段上。

在圖6至8所示的實(shí)施例中僅示出組件23的固持裝置3。固持裝置3在此也是輕質(zhì)結(jié)構(gòu)體，例如通過桁架構(gòu)成的框架。該框架具有矩形的基礎(chǔ)面，其帶有四個角和連接所述角的側(cè)壁。在兩個通過側(cè)壁相連的角上具有固定件13.1。在相對置的側(cè)壁的中心具有另一個固定件13.2，從而固定件13.1、13.2布置在等腰三角形的角點(diǎn)上。

固定件13.1、13.2基本上由三個固定元件組成。固定件分別具有固定元件24.1、24.2，利用所述固定元件將固定件13.1、13.2固定在殼體上部1上。另一個固定元件25.1、25.2固定在固持裝置3上。固定元件25.1是角狀元件，所述角狀元件包圍固持裝置3的角區(qū)域并且具有角邊，所述角邊面狀地與固持裝置3的側(cè)壁相連。固定元件25.2具有在一個平面內(nèi)延伸的固定側(cè)，所述固定側(cè)大體固定在固持裝置3的側(cè)壁的中心。

兩個固定元件24.1或24.2和25.1或25.2分別借助中間元件26.1、26.2相連。中間元件26.1、26.2用于力傳遞，利用所述中間元件將固定件25.1、25.2的重力傳遞至固定元件24.1、24.2。中間元件26.1、26.2由此涉及力傳遞件，所述力傳遞件在圖6至8的實(shí)施例中分別具有矩形板的形狀。彎曲元件26.1、26.2的上部區(qū)段分別與殼體側(cè)的固定元件24.1、24.2相連。中間元件26.1、26.2的下部區(qū)段分別與組件側(cè)的固定元件25.1、25.2相連。彎曲元件26.1、26.2具有沿豎向延伸的彎曲面，從而使面法向朝向水平方向。彎曲元件26.1的面法向指向固持裝置3的在角點(diǎn)上相交的兩個側(cè)壁的角等分線的方向。在一種優(yōu)選的變型方案中，彎曲元件26.1的面法向則指向固持裝置3的幾何重心m的方向，從而在固定點(diǎn)上的熱膨脹方向h與彎曲元件26.1的面法向一致。彎曲元件26.2的面法向沿橫向于固持裝置的側(cè)壁的方向延伸。在固持裝置3熱膨脹時，固持裝置在水平面內(nèi)膨脹。在此可以使固持裝置3的各個角的間距擴(kuò)大或縮小。固持裝置3的這種尺寸變化導(dǎo)致面狀的彎曲元件26.1、26.2的盡可能小的扭曲。

彎曲元件也可以涉及彎曲板，所述彎曲板具有相互平行的邊棱，所述邊棱分別利用固定鉗口固定在殼體或固持裝置的固定元件24.1、24.2、25.1、25.2上。根據(jù)本發(fā)明的力傳遞件這樣設(shè)計且固定在固定元件上，從而使力傳遞件允許組件23、尤其進(jìn)氣機(jī)構(gòu)僅在水平面中偏移運(yùn)動。因此彎曲元件的移動位移比彎曲元件的彎曲區(qū)段的長度小至少一個數(shù)量級(十倍)。

圖9示出固定元件13.4的一種變型方案。彎曲彈性的中間元件26.4可以是實(shí)心或中空的桿件的形式，所述中間元件借助上部的固定元件24.4與殼體1相連并且借助下部的固定元件25.4與固持裝置3相連。然而也可以使用纜索，而非桿件。桿件和纜索是力傳遞件，利用所述力傳遞件將固持裝置3或進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的重力傳遞至殼體。固定元件24.1、25.4可以涉及角元件。中間元件26.1優(yōu)選和中間元件26.1、26.2一樣由金屬制成。桿件26.4沿豎向延伸。然而也可以相對于豎向傾斜地延伸。桿件具有矩形的橫截面，然而也可以具有其他、例如多邊形橫截面。

在圖10中所示的實(shí)施例基本上與圖6至8所示的角固持部相當(dāng)。然而示出了設(shè)計為橫梁的殼體側(cè)的固定元件24.1，所述固定元件利用螺栓固定在殼體上部1的內(nèi)部側(cè)壁上。組件側(cè)的固定元件25.1具有兩個相互成沿90°角的角邊，所述角邊同樣借助螺栓與組件23相固定。分別相對于固定元件25.1的角邊以45°錯移的側(cè)面與彎曲彈性的中間元件26.1相連。中間元件26.1和中間元件26.1同樣涉及力傳遞件。

在圖11和圖12中所示的實(shí)施例示出了橫梁30的連接，所述橫梁被兩個殼體側(cè)的固定元件24.3、24.4支承，并且通過四個鏈節(jié)27、28、29與殼體側(cè)的固定元件25.3相連，所述殼體側(cè)的固定元件是角元件。上部鏈接27通過橫梁30的固定銷固持并且為此插進(jìn)橫梁30的開槽中。下部鏈節(jié)29固持在固定元件25.3的兩個固定臂之間，并且同樣被固定銷貫穿。設(shè)置兩個中間鏈節(jié)28，所述中間鏈節(jié)將上部鏈節(jié)27與下部鏈節(jié)29相連。鏈節(jié)27、28、29構(gòu)成力傳遞件，以便傳遞重力。

如同圖6所示的實(shí)施例，在此還可以角區(qū)域中實(shí)現(xiàn)相對于組件23的側(cè)壁斜向的偏移運(yùn)動，其中，鏈節(jié)27、28、29相互滾動。鏈節(jié)27和29的開口以90°相互錯移。鏈節(jié)27、28、29是分別在平面內(nèi)延伸的、分別以90°角錯移地相互嚙合的圓形物體。

通過與圖6所示實(shí)施例類似的方式，可以在與兩個角區(qū)域相對置的側(cè)壁的中心設(shè)置未示出的第三固定件，所述第三固定件同樣具有多個相互嚙合的鏈節(jié)27、28、29，從而使在此處的窄壁能夠沿橫向于其延展方向的方向偏移。

圖13a示意性示出固定件13在組件23的兩個角區(qū)域和相對置的側(cè)壁的中心上的布置，從而使固定件13布置在等腰三角形的角點(diǎn)上。

圖13b示出固定件13在具有矩形基礎(chǔ)面的組件的四個角點(diǎn)上的布置，其中，此處的固定件13布置在四角形的角點(diǎn)上。

圖13c示出另一種變型方案，其中，固定件13大體布置在組件23的相互垂直的側(cè)壁的中央。在此涉及彎曲元件，所述彎曲元件具有垂直于側(cè)壁的延展方向的彎曲方向。彎曲元件構(gòu)成為，組件23即使沿位于彎曲元件的面內(nèi)的方向也能膨脹。為此彎曲元件不構(gòu)成為面狀體，而是例如梳齒狀構(gòu)成或具有輻條。

在圖13d中所示的實(shí)施例示出在利用四個固定件13的情況下對組件23的固定，其中，分別兩個固定件13固定在組件23的相互對置的側(cè)壁上。固定件13在此與角點(diǎn)相間隔并且配屬于較長的側(cè)壁。彎曲元件在此可以通過桿件構(gòu)成，所述桿件利用上端部位置固定地固定在殼體上，從而使固定在組件23上的下端部能夠沿水平面彎曲彈性地移動。

圖14至24a示出特別優(yōu)選的實(shí)施例，其中，組件23固定在殼體上的三個固定位置上，所述組件可以涉及固持件3連同固定在固持件上的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7或僅涉及進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。為此設(shè)置三個固定件13.1、13.2，所述固定件作用在組件23的水平邊緣上并且相對于此構(gòu)成組件側(cè)的固定元件25.1和25.2。組件23具有非正方形的矩形基礎(chǔ)面。在矩形的較短側(cè)的兩個角上固定兩個組件側(cè)的固定元件25.1。兩個組件側(cè)的固定元件25.1的每一個都與固定在殼體上的殼體側(cè)的固定元件24.1相連，在與該較短的矩形邊相對置的較短的矩形邊上在其中心具有第三固定件13.1，所述第三固定件同樣具有組件側(cè)的固定元件25.2和殼體側(cè)的固定元件24.2。

由圖16至21和圖中所示的剖視圖可知，每個組件側(cè)的固定元件25.1、25.2利用中間元件26.1、26.2與殼體側(cè)的固定元件24.1、24.2相連。中間元件26.1、26.2涉及呈彎曲板形式的力傳遞件。彎曲板具有大體上矩形的橫截面也即在其上側(cè)和下側(cè)上的材料加厚部。中間元件26.1、26.2的上部的材料加厚部具有螺栓孔，固定螺栓旋擰穿過所述螺栓孔，利用所述螺栓孔將中間元件26.1、26.2旋擰在殼體側(cè)的固定元件24.1、24.2上。為此殼體側(cè)的固定元件24.1、24.2具有可垂直移動的校準(zhǔn)體14，力傳遞件固定在所述校準(zhǔn)體上。借助支承有校準(zhǔn)體41的校準(zhǔn)螺栓42可以對校準(zhǔn)體進(jìn)行高度調(diào)整，以便調(diào)整進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7相對于基座15的間距。

中間元件26.1、26.2的下部的材料加厚部具有支承孔36。支承孔36被固定軸32貫穿，所述固定軸與組件側(cè)的固定元件25.1、25.2牢固地相連。組件側(cè)的固定元件25.1、25.2為此具有豎直延伸的開槽，中間元件26.1、26.2的下部的材料加厚部插入所述開槽中。所述開槽與固定孔35相交，固定軸32(銷釘31的部分)插入所述固定孔中。

固持孔36具有沿水平方向延伸的支承面40，滑動元件39位于所述支承面上。在滑動元件39上支承固定軸32的支承側(cè)邊38，從而使支承側(cè)邊38相對于支承面40沿水平方向盡可能小地移動。由此可以補(bǔ)償熱膨脹運(yùn)動的運(yùn)動分量，熱膨脹運(yùn)動沿構(gòu)成為彎曲元件的中間元件26.1、26.2的主彎曲方向的方向延伸。

針對中間元件26.1、26.2可能會斷裂的情況設(shè)置保險裝置34、33。保險設(shè)備涉及保險栓3，所述保險栓與兩個組件24、25中的一個牢固地固定并且所述保險栓嵌合進(jìn)相應(yīng)另一個固定元件的開孔34中。在該實(shí)施例中，保險栓33位置固定地配屬于組件側(cè)的固定元件25.1、25.2。具體來說，保險栓33通過所述銷釘31構(gòu)成。保險開孔通過位于殼體側(cè)的固定元件24.1、24.2的突伸部上的保險孔34構(gòu)成。

保險孔34的直徑大于保險栓33的直徑，從而使保險栓33自由地伸入開孔34中。保險栓33的周向面在其整個周向上具有與保險孔34的內(nèi)壁的間距，從而使保險栓33自由且無接觸地伸入保險孔34中。

如果彎曲彈性的力傳遞件應(yīng)該出現(xiàn)斷裂，則組件23僅向下掉落至保險栓33碰觸開孔34的壁部為止。

根據(jù)本發(fā)明的保險設(shè)備具有以全部方向上的間距嵌合進(jìn)保險孔34中的保險栓33，其中，保險栓33要么配屬于殼體側(cè)要么配屬于組件側(cè)的固定元件，并且保險孔34分別配屬于另一個固定元件，其中，組件側(cè)的固定元件和殼體側(cè)的固定元件否則將僅通過實(shí)現(xiàn)水平偏移運(yùn)動的中間元件相互連接。

前述實(shí)施方式用于闡述本申請整體包含的發(fā)明，所述發(fā)明至少通過以下特征組合也分別獨(dú)立地改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)，即：

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，所述固定件13、14具有力傳遞件26.1、26.2、26.3、26.4；27、28、29，當(dāng)由于調(diào)溫導(dǎo)致組件23的尺寸發(fā)生變化時，所述力傳遞件發(fā)生變形或相對移動。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，所述組件23僅在其水平邊緣3’上固定在所述殼體1、2上。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，所述組件23通過可彈性變形的力傳遞件26.1、26.2、26.4固定在所述殼體1、2上，所述力傳遞件具有主變形方向，所述主變形方向指向組件23的水平的面重心m。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7借助多個在水平的延伸面上分散布置的懸吊件6固定在組件23的利用固定件13、14固定在殼體上的固持裝置3上，其中，懸吊件6沿豎向從懸掛位置6’延伸至固持裝置3，并且在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)7與固持裝置3之間的豎向間距中布置有調(diào)溫裝置11、12和/或一個或多個隔熱件10、11。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，固定件13、14、13.1、13.2、13.3、13.4在具有矩形基礎(chǔ)面的組件23的邊緣上布置在多角形、尤其三角形或四角形的角點(diǎn)上。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，至少一個力傳遞件是可彈性變形的彎曲元件26.1、26.2、26.4。

一種cvd或pvc覆層裝置，其特征在于，力傳遞件26.1、26.2是矩形板，或彎曲元件26.4是實(shí)心或中空的桿件，或彎曲元件是纜索。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，至少一個力傳遞件13.3具有相互滾動的元件27、28、29。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，在相互滾動的元件中的第一元件27牢固地固定在殼體1、2上，第二元件29牢固地固定在組件上，并且至少一個第三元件28將第一和第二元件27、29相連。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，相互滾動的元件27、29是鏈節(jié)。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，力傳遞件是中間元件26.1、26.3、26.4，利用所述中間元件至少一個尤其布置在角區(qū)域中的固定元件24.1、24.2、24.3、24.4固定在被緊固在組件23上的固定元件25.1、25.3、25.4上。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，彎曲元件26.4利用其固定在組件側(cè)的固定元件25.4上的端部能夠在水平面中相對于其固定在殼體側(cè)的固定元件24.4上的端部彎曲彈性地移動。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，殼體側(cè)的固定元件24.1-24.3大致處于相同的豎直高度上，如同所對應(yīng)的組件側(cè)的固定元件25.1-25.3一樣。

一種cvd或pvd覆層裝置，其特征在于，設(shè)有保險設(shè)備，其在力傳遞件26.1、26.2、26.3、26.4斷裂時相互作用，用于將組件23固持在殼體1上，尤其用于將組件側(cè)的固定元件25.1-25.4固持在殼體側(cè)的固定元件24.1、24.2、24.3、24.4上，其中尤其，保險栓33無接觸地嵌合在保險孔34中。

所有公開的特征(本身及其相互組合)都有發(fā)明意義或發(fā)明價值。在本申請的公開文件中，所屬/附屬的優(yōu)先權(quán)文本(在先申請文件)的公開內(nèi)容也被完全包括在內(nèi)，為此也將該優(yōu)先權(quán)文本中的特征納入本申請的權(quán)利要求書中。從屬權(quán)利要求的特征都是對于現(xiàn)有技術(shù)有獨(dú)立發(fā)明意義或價值的改進(jìn)設(shè)計，尤其可以這些從屬權(quán)利要求為基礎(chǔ)提出分案申請。

附圖標(biāo)記清單

1殼體上部

2殼體上部

3固持裝置

3組件的邊緣

4垂直壁

5垂直壁

6懸吊件

6’固定元件

7進(jìn)氣機(jī)構(gòu)

8排氣口

9調(diào)溫通道

10被動的隔熱件

11主動的隔熱件

12卻冷劑通道

13固定件

13.1固定件

13.2固定件

13.3固定件

13.4固定件

14固定件

15基座

16冷卻劑通道

17肋條

18肋條

19開孔

20上部的水平壁

21下部的水平壁

22開孔

23組件

24.1殼體側(cè)的固定元件

24.2殼體側(cè)的固定元件

24.3殼體側(cè)的固定元件

24.4殼體側(cè)的固定元件

25.1組件側(cè)的固定元件

25.2組件側(cè)的固定元件

25.3組件側(cè)的固定元件

25.4組件側(cè)的固定元件

26.1中間元件

26.2中間元件

26.3中間元件

26.4中間元件

27鏈節(jié)，殼體側(cè)

28鏈節(jié)，中部

29鏈節(jié)，組件側(cè)

30橫梁

31銷釘

32固定銷

33保險栓

34保險孔

35固定孔

36固持孔

38支承側(cè)邊

39滑動元件

40支承面

41校準(zhǔn)體

42校準(zhǔn)螺栓