一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置制造方法
【專利摘要】一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置,機(jī)主體上部設(shè)有儲(chǔ)液槽,機(jī)主體中部設(shè)有防沉淀裝置;防沉淀裝置包括圓桶,齒圈托架設(shè)置在圓桶內(nèi)部,齒圈托架內(nèi)上部設(shè)有磨盤托架,磨盤托架上部安裝有磨盤,齒圈托架下端安裝有刮刷片,儲(chǔ)液槽通過(guò)軟管與磨盤連通;磨盤包括上磨盤與下磨盤,上磨盤與下磨盤壓合處設(shè)有過(guò)油槽,圓桶底部設(shè)有出口。通過(guò)在機(jī)主體上安裝有防沉淀裝置,可有效的降低雙面研磨機(jī)磨削液沉淀,并在齒圈托架與磨盤托架表面均噴涂特氟龍涂層具有優(yōu)良的耐熱和耐低溫特性、具有顯著的熱穩(wěn)定性,生產(chǎn)操作時(shí)也不易沾溶液,提高了產(chǎn)品的加工效率和加工質(zhì)量,同時(shí)也降低了勞動(dòng)強(qiáng)度,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單使用方便。
【專利說(shuō)明】一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石(AL203)為六方對(duì)稱結(jié)構(gòu),它作為最硬的氧化物晶體,具備優(yōu)良的光化學(xué)和物理性能。機(jī)械強(qiáng)度高,耐化學(xué)腐蝕,有較好的導(dǎo)熱性、熱穩(wěn)定性,透光波段寬,是理想的窗口襯底基本材料,另外,它具有電絕緣性,化學(xué)性能穩(wěn)定,漏電容和寄生電容小,是極好的半導(dǎo)體、超導(dǎo)襯底材料。
[0003]作為襯底用的藍(lán)寶石晶體基片一般為2英寸,4英寸等。用作半導(dǎo)體襯底的光學(xué)藍(lán)寶石晶體基片對(duì)其表面有很高的要求,包括平面度,平行度達(dá)到0.005mm,光潔度達(dá)到0.5nm。
[0004]傳統(tǒng)的雙面拋光機(jī)其研磨原理是通過(guò)在上下磨盤中填加游離磨料,現(xiàn)比較常用的是碳化硼和碳化硅或金剛石等,同時(shí)上下磨盤做相反方向轉(zhuǎn)動(dòng),同時(shí)游星輪帶著藍(lán)寶石片,在兩磨盤中間做自轉(zhuǎn)和圍繞著主軸的公轉(zhuǎn),這樣游離磨料在藍(lán)寶石表面滾動(dòng)一壓痕作用或者刮擦一壓痕作用,實(shí)現(xiàn)材料的去除,由于磨料比藍(lán)寶石硬度要高,就可對(duì)其進(jìn)行研磨加工。
[0005]在研磨過(guò)程中,研磨液需要均勻的流入磨盤中,這樣加工出來(lái)的產(chǎn)品合格率才高,且此種研磨方式存在一個(gè)難題,由于游離磨料是固體溶液,非常容易沉淀,并吸附在零件表面,如果沉淀較多,研磨液中的游離磨料減少,就會(huì)影響到加工效率,且殘留在機(jī)器零件上的研磨液在加工結(jié)束后需要清洗干凈,以免影響下次的加工,機(jī)器難以清洗液也需要得到有效的解決。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]針對(duì)上述問(wèn)題中存在的不足之處,本實(shí)用新型提供一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀
>J-U ρ?α裝直。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置,包括:
[0008]機(jī)主體,所述機(jī)主體上部設(shè)有儲(chǔ)液槽,所述機(jī)主體中部設(shè)有防沉淀裝置;
[0009]所述防沉淀裝置包括圓桶,齒圈托架設(shè)置在所述圓桶內(nèi)部,所述齒圈托架內(nèi)上部設(shè)有磨盤托架,所述磨盤托架上部安裝有磨盤,所述齒圈托架下端安裝有刮刷片,所述儲(chǔ)液槽通過(guò)軟管與所述磨盤連通;
[0010]所述磨盤包括上磨盤與下磨盤,所述上磨盤與所述下磨盤壓合處設(shè)有過(guò)油槽,所述圓桶底部設(shè)有出口。
[0011]作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn),所述圓桶底部設(shè)有防堆積的斜面。
[0012]作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn),所述齒圈托架與所述磨盤托架表面均噴涂有特氟龍涂層。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果為:通過(guò)在機(jī)主體上安裝防沉淀裝置,可有效的降低雙面研磨機(jī)磨削液沉淀,其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維修便捷,并在齒圈托架與磨盤托架表面均噴涂特氟龍涂層具有優(yōu)良的耐熱和耐低溫特性、具有顯著的熱穩(wěn)定性,抗?jié)?、特氟龍涂膜表面不沾水和油質(zhì),生產(chǎn)操作時(shí)也不易沾溶液,提高了產(chǎn)品的加工效率和加工質(zhì)量,同時(shí)也降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖中:1、儲(chǔ)液槽;2、上磨盤;3、下磨盤;4、圓桶;5、齒圈托架;6、磨盤托架;7、軟管;8、刮刷片。
【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖1所示,本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置,包括:機(jī)主體,所述機(jī)主體上部設(shè)有儲(chǔ)液槽1,所述機(jī)主體中部設(shè)有防沉淀裝置;所述防沉淀裝置包括圓桶4,齒圈托架5設(shè)置在所述圓桶4內(nèi)部,所述齒圈托架5內(nèi)上部設(shè)有磨盤托架6,所述磨盤托架6上部安裝有磨盤,所述齒圈托架5下端安裝有刮刷片8,所述儲(chǔ)液槽I通過(guò)軟管7與所述磨盤連通;所述磨盤包括上磨盤2與下磨盤3,所述上磨盤2與所述下磨盤3壓合處設(shè)有過(guò)油槽,所述圓桶4底部設(shè)有出口,所述圓桶4底部設(shè)有防堆積的斜面,所述齒圈托架5與所述磨盤托架6表面均噴涂有特氟龍涂層。通過(guò)在機(jī)主體上安裝防沉淀裝置,可有效的降低用于雙面研磨機(jī)磨削液沉淀,其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維修便捷,并在齒圈托架與磨盤托架表面均噴涂特氟龍涂層具有優(yōu)良的耐熱和耐低溫特性、具有顯著的熱穩(wěn)定性,抗?jié)?、特氟龍涂膜表面不沾水和油質(zhì),生產(chǎn)操作時(shí)也不易沾溶液,提高了產(chǎn)品的加工效率和加工質(zhì)量,同時(shí)也降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。
[0017]具體使用時(shí):研磨液從進(jìn)口端泵進(jìn),從中路向上流動(dòng)到上端,再分成四路往下,流入儲(chǔ)液槽中,在從儲(chǔ)液槽均分導(dǎo)出若干個(gè)軟管出來(lái),插入上磨盤中,流入上磨盤和下磨盤之間,由于磨盤研磨面均勻分布著溝槽,這樣研磨液就可均布在磨盤之間,而后通過(guò)溝槽外流到圓桶中,最后從圓桶的出口流出,圓桶底部設(shè)計(jì)成30度斜面防沉積,同時(shí)在齒圈托架下端安裝有刮刷片,當(dāng)機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)齒圈托架就帶著刮刷片轉(zhuǎn)動(dòng),刮刷片圓桶底部的游離磨料防沉淀。同時(shí)磨盤托架與齒圈托架均采用特氟龍表面噴涂,特氟龍涂裝后,具有以下特性:1、不粘性。2、耐熱性:特氟龍涂膜具有優(yōu)良的耐熱和耐低溫特性。短時(shí)間可耐高溫到300°C,一般在240°C?260°C之間可連續(xù)使用,具有顯著的熱穩(wěn)定性,它可以在冷凍溫度下工作而不脆化,在高溫下不融化。3、滑動(dòng)性:特氟龍涂膜有較低的摩擦系數(shù)。負(fù)載滑動(dòng)時(shí)摩擦系數(shù)產(chǎn)生變化,但數(shù)值僅在0.05-0.15之間。4、抗?jié)裥?特氟龍涂膜表面不沾水和油質(zhì),生產(chǎn)操作時(shí)也不易沾溶液,如粘有少量污垢,簡(jiǎn)單擦拭即可清除。停機(jī)時(shí)間短,節(jié)省工時(shí)并能提高工作效率。5、耐磨損性:具備耐磨損和不粘附的雙重優(yōu)點(diǎn)。6、耐腐蝕性:特氟龍幾乎不受藥品侵蝕,可以保護(hù)零件免于遭受任何種類的化學(xué)腐蝕。因此表面特氟龍噴涂后即能防研磨液沉積,又能防研磨液對(duì)零件的磨損,還可防表面腐蝕后帶來(lái)的零件老化和銹潰污染等。
[0018]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置,其特征在于,包括: 機(jī)主體,所述機(jī)主體上部設(shè)有儲(chǔ)液槽(I),所述機(jī)主體中部設(shè)有防沉淀裝置; 所述防沉淀裝置包括圓桶(4),齒圈托架(5)設(shè)置在所述圓桶(4)內(nèi)部,所述齒圈托架(5)內(nèi)上部設(shè)有磨盤托架(6),所述磨盤托架(6)上部安裝有磨盤,所述齒圈托架(5)下端安裝有刮刷片(8),所述儲(chǔ)液槽(I)通過(guò)軟管(7)與所述磨盤連通; 所述磨盤包括上磨盤(2)與下磨盤(3),所述上磨盤(2)與所述下磨盤(3)壓合處設(shè)有過(guò)油槽,所述圓桶(4)底部設(shè)有出口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置,其特征在于:所述圓桶(4)底部設(shè)有防堆積的斜面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于雙面研磨機(jī)的防沉淀裝置,其特征在于:所述齒圈托架(5)與所述磨盤托架(6)表面均噴涂有特氟龍涂層。
【文檔編號(hào)】B24B57/00GK204053755SQ201420485616
【公開日】2014年12月31日 申請(qǐng)日期:2014年8月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月26日
【發(fā)明者】陳志嵩, 朱海劍, 楊華華, 殷華林, 李海寧, 戴安娜, 伊蓮娟, 毛可勇 申請(qǐng)人:常州貝斯塔德機(jī)械股份有限公司