一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于一種真空吸附裝置，具體涉及一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置。它包括平面帶孔工具板、真空腔體、真空發(fā)生器、氣管，平面帶孔工具板設(shè)置真空腔體上，通過(guò)氣管將真空發(fā)生器的進(jìn)氣口與壓縮氣體源連接，通過(guò)氣管將真空發(fā)生器的出氣口與真空腔體連接。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是，它解決了同盤腔平移鏡的待加工包絡(luò)面不在同一個(gè)平面上的問(wèn)題，防止已完成加工的超光滑球面的表面質(zhì)量被破壞。
【專利說(shuō)明】一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于一種真空吸附裝置，具體涉及一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在激光陀螺腔平移鏡(如圖1所示)的加工過(guò)程中，通常是采用在直徑D范圍內(nèi)拋光出超光滑球面，再在d?D范圍內(nèi)拋光出光滑平面的加工流程。目前在平面加工過(guò)程中，多是采用將腔平移鏡的背面粘接到平面工具板上的上盤方式，這種上盤方式的優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單易操作，缺點(diǎn)是難以保證同盤腔平移鏡的待加工包絡(luò)面在同一個(gè)平面上，從而導(dǎo)致已完成加工的超光滑球面的表面質(zhì)量被破壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種在進(jìn)行腔平移鏡平面加工時(shí)使用的真空吸附裝置，它能夠克服同盤腔平移鏡的待加工包絡(luò)面不在同一個(gè)平面上的問(wèn)題。
[0004]本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，它包括平面帶孔工具板、真空腔體、真空發(fā)生器、氣管，平面帶孔工具板設(shè)置真空腔體上，通過(guò)氣管將真空發(fā)生器的進(jìn)氣口與壓縮氣體源連接，通過(guò)氣管將真空發(fā)生器的出氣口與真空腔體連接。
[0005]所述的平面帶孔工具板采用光學(xué)石英玻璃制作，真空腔體采用金屬鋁制作。
[0006]所述的真空腔體壁的上沿帶有凹槽，墊圈位于凹槽內(nèi)，腔體壁上帶有一個(gè)螺紋孔。
[0007]平面帶孔工具板的外形尺寸為(M50mmX20mm，其通孔直徑及通孔數(shù)目應(yīng)根據(jù)腔平移鏡的外形尺寸確定，其上、下表面的平行度優(yōu)于0.0Olmm,工具板上表面的平面度優(yōu)于
0.001mm。
[0008]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是，它解決了同盤腔平移鏡的待加工包絡(luò)面不在同一個(gè)平面上的問(wèn)題，防止已完成加工的超光滑球面的表面質(zhì)量被破壞。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為激光陀螺腔平移鏡示意圖；
[0010]圖2為平面帶孔工具板的俯視圖；
[0011]圖3為真空腔體的剖面圖；
[0012]圖4為本發(fā)明所提供的一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置示意圖。
[0013]圖中，I平面帶孔工具板，2真空腔體，3真空發(fā)生器，4氣管。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)介紹:[0015]如圖4所示，一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置它包括平面帶孔工具板1、真空腔體2、真空發(fā)生器3、氣管4。真空腔體壁的上沿帶有凹槽，墊圈位于凹槽內(nèi)，平面帶孔工具板I放置在真空腔體2上，通過(guò)氣管將真空發(fā)生器3的進(jìn)氣口與壓縮氣體源連接，通過(guò)氣管4將真空發(fā)生器3的出氣口與真空腔體2連接。
[0016]其中平面帶孔工具板I采用光學(xué)石英玻璃制作，真空腔體2采用金屬鋁制作。
[0017]平面帶孔工具板I的外形尺寸為015OmmX2Omm，其通孔直徑及通孔數(shù)目應(yīng)根據(jù)腔平移鏡的外形尺寸確定。工具板上、下表面的平行度應(yīng)優(yōu)于0.001mm，工具板上表面的平面度應(yīng)優(yōu)于0.001mm。
[0018]真空腔體壁的上沿帶有凹槽，腔體壁上帶有一個(gè)螺紋孔。
[0019]在對(duì)腔平移鏡進(jìn)行球面拋光時(shí)，可采用的方法一般有兩種:①利用球面工具板和過(guò)渡片進(jìn)行球面拋光；②利用球面帶孔工具板進(jìn)行球面拋光。方法一的優(yōu)點(diǎn)是被加工腔平移鏡的面形精度高，缺點(diǎn)是過(guò)渡片的加工過(guò)程復(fù)雜。方法二的優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單易操作，缺點(diǎn)是被加工腔平移鏡的厚度一致性較差。建議采用方法一進(jìn)行腔平移鏡的球面拋光。
[0020]盤上檢驗(yàn)合格后，將腔平移鏡與過(guò)渡片分離轉(zhuǎn)入化學(xué)清洗工序進(jìn)行清洗。
[0021]在平面拋光過(guò)程中，共有六個(gè)工步，分別為:
[0022]①用脫脂棉蘸醇醚混合液擦凈平面帶孔工具板；
[0023]②將化學(xué)清洗后的腔平移鏡定位放置在平面帶孔工具板上，腔平移鏡的待加工面向下；
[0024]③將真空發(fā)生器的開關(guān)打開以吸附腔平移鏡；
[0025]④將涂抹熱粘接膠(松香與石蠟配制而成)的另一平面帶孔工具板定位放置在腔平移鏡的背面；
[0026]⑤待粘接膠冷卻后關(guān)閉真空發(fā)生器的開關(guān)，停止吸附；
[0027]⑥調(diào)整設(shè)備各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行拋光。研磨拋光機(jī)的壓力、主軸轉(zhuǎn)速、擺軸擺速要合理設(shè)置，在規(guī)定的拋光時(shí)間內(nèi)完成平面拋光，以免破壞腔平移鏡的球面質(zhì)量。
【權(quán)利要求】
1.一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于:它包括平面帶孔工具板(1)、真空腔體(2)、真空發(fā)生器(3)、氣管(4)，平面帶孔工具板(1)設(shè)置真空腔體(2)上，通過(guò)氣管將真空發(fā)生器(3)的進(jìn)氣口與壓縮氣體源連接，通過(guò)氣管(4)將真空發(fā)生器(3)的出氣口與真空腔體⑵連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于:所述的平面帶孔工具板(1)采用光學(xué)石英玻璃制作，真空腔體(2)采用金屬鋁制作。
3.如權(quán)利要求1所述的一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于:所述的真空腔體壁的上沿帶有凹槽，墊圈位于凹槽內(nèi)，腔體壁上帶有一個(gè)螺紋孔。
4.如權(quán)利要求1或2所述的一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于:平面帶孔工具板(1)的外形尺寸為Φ150_Χ20_，其通孔直徑及通孔數(shù)目應(yīng)根據(jù)腔平移鏡的外形尺寸確定，其上、下表面的平行度優(yōu)于0.001mm,工具板上表面的平面度優(yōu)于0.001mm。
【文檔編號(hào)】B24B13/005GK103737453SQ201310508493
【公開日】2014年4月23日 申請(qǐng)日期:2013年10月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月25日
【發(fā)明者】金玉竹, 童毅, 夏東棟, 吳東旭 申請(qǐng)人:中國(guó)航天科工集團(tuán)第三研究院第八三五八研究所