專利名稱:一種可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型屬于機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及ー種繃網(wǎng)裝置,特別涉及ー種可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置。
背景技術(shù):
有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器越來越普遍,在手機(jī)、媒體播放器及小型入門級(jí)電視等產(chǎn)品中猶為顯著,目前其正在往大尺寸顯示器進(jìn)軍。OLED無需背光源,可以自己發(fā)光,且可視度、亮度較高,而厚度更薄,結(jié)構(gòu)也相對(duì)簡(jiǎn)單,若采用可撓式基板,則可變化成不同形狀,被譽(yù)為“夢(mèng)幻顯示器”。由于OLED日益成熟,可將OLED照明應(yīng)用于建筑照明或液晶顯示器背光的用途,相較于傳統(tǒng)的照明解決方案,OLED為這兩種用途提供更低的耗電量及較高 的設(shè)計(jì)彈性。對(duì)于OLED技術(shù)而言,未來必然是一片光明,如果說LED (發(fā)光二極管)是業(yè)界未來的發(fā)展方向,那么OLED就是未來的未來。但目前OLED顯示器技術(shù)尚在起步階段,對(duì)于節(jié)能、提升OLED效率以及將整體解決方案尺寸降至最低等方面仍有許多改善空間,而制作高質(zhì)量的OLED顯示器需要高標(biāo)準(zhǔn)的把握其制作過程中的每個(gè)環(huán)。其中OLED蒸鍍技術(shù)作為制作OLED產(chǎn)品的關(guān)鍵技術(shù),蒸鍍質(zhì)量在很大程度上直接影響最終的產(chǎn)品性能,蒸鍍掩膜板在蒸鍍過程中對(duì)蒸鍍質(zhì)量有決定性的作用。目前蒸鍍掩膜板主要存在開ロ尺寸有偏差、開ロ有毛刺、對(duì)位偏移等問題。在將掩膜板固定在網(wǎng)框上時(shí),需要經(jīng)準(zhǔn)確的對(duì)位后方可固定,在實(shí)際操作中,在x-y平面上將掩膜板與網(wǎng)框進(jìn)行定位,x、y方向上定位相對(duì)比較容易實(shí)現(xiàn),但往往存在以下問題定位后掩膜板與網(wǎng)框在x-y平面上存在一定的旋轉(zhuǎn)角度。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的g在至少解決上述技術(shù)缺陷之一,特別是解決定位時(shí)掩膜板與網(wǎng)框之間的角度偏差問題。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型提出了ー種可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,所述繃網(wǎng)裝置將掩模板繃緊固定在網(wǎng)框上;繃網(wǎng)裝置包括繃?yán)瓩C(jī)構(gòu)、網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)。繃?yán)瓩C(jī)構(gòu)用以將掩膜板繃緊固定在ー個(gè)平面上;網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框的位置或/和角度,將網(wǎng)框固定在平面上的設(shè)定位置,且使得被固定的網(wǎng)框的上表面緊貼金屬掩膜板的下表面。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,所述網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)包括位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框在平面上的位置,將網(wǎng)框移動(dòng)至掩模板下的設(shè)定區(qū)域。優(yōu)選地,所述位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)將網(wǎng)框移動(dòng)至掩模板中央?yún)^(qū)域的下方。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,所述網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框的旋轉(zhuǎn)角度,使得網(wǎng)框所在平面平行于被固定的掩膜板所在平面;在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,所述網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)包括頂起機(jī)構(gòu),垂直于被固定的掩膜板或網(wǎng)框所在平面,用以頂起網(wǎng)框,實(shí)現(xiàn)掩膜板的下表面與網(wǎng)框的緊貼效果。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,所述繃?yán)瓩C(jī)構(gòu)包括控制系統(tǒng)及若干繃?yán)瓎卧?,各繃?yán)瓎卧植荚诰W(wǎng)板的周邊,控制系統(tǒng)控制各繃?yán)瓎卧膭?dòng)作;所述繃?yán)瓍g元包括動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、拉伸機(jī)構(gòu),所述動(dòng)力驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接拉伸機(jī)構(gòu);所述拉伸機(jī)構(gòu)設(shè)有與網(wǎng)板連接的連接機(jī)構(gòu),通過該連接機(jī)構(gòu)與網(wǎng)板連接。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,所述繃?yán)瓎卧€包括弾性機(jī)構(gòu),所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過彈性機(jī)構(gòu)連接拉伸機(jī)構(gòu)。優(yōu)選地,所述繃?yán)瓎卧€包括弾性形變獲取単元,用以感應(yīng)所述彈性機(jī)構(gòu)的彈性形變數(shù)據(jù);所述彈性形變獲取単元與所述控制系統(tǒng)連接,所述控制系統(tǒng)根據(jù)所述彈性形變獲取單元感應(yīng)的弾性形變數(shù)據(jù) ,控制所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供的動(dòng)カ大小,進(jìn)而控制動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)拉伸機(jī)構(gòu)的拉カ。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,所述繃?yán)瓎卧€包括引導(dǎo)機(jī)構(gòu);在動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)カ下,所述引導(dǎo)機(jī)構(gòu)引導(dǎo)拉伸機(jī)構(gòu)沿設(shè)定方向運(yùn)動(dòng);所述引導(dǎo)機(jī)構(gòu)包括ー軌道機(jī)構(gòu);所述拉伸機(jī)構(gòu)固定在該軌道機(jī)構(gòu)上,弾性機(jī)構(gòu)的彈性形變方向與軌道機(jī)構(gòu)的設(shè)置方向一致;該軌道機(jī)構(gòu)包括ー導(dǎo)軌、與該導(dǎo)軌配合的導(dǎo)槽;導(dǎo)槽設(shè)置在拉伸機(jī)構(gòu)下方,導(dǎo)軌設(shè)置在一基臺(tái)上;或者,導(dǎo)槽設(shè)置在基臺(tái)上,導(dǎo)軌設(shè)置在拉伸機(jī)構(gòu)下方。通過本實(shí)用新型提出的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,定位后的網(wǎng)框可準(zhǔn)確的與金屬掩膜板對(duì)位,如此對(duì)位后固定的掩膜板整體具有較高的精度,能更好的滿足高精度OLED蒸鍍等掩膜板的應(yīng)用。同時(shí),本實(shí)用新型設(shè)有多個(gè)繃?yán)瓍g元,分別通過控制系統(tǒng)控制,可以使繃網(wǎng)裝置作用在金屬掩模板邊緣的拉カ均勻一致。本實(shí)用新型附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。
本實(shí)用新型上述的和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從
以下結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解,其中圖I為可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置的細(xì)節(jié)示意圖;圖3為繃?yán)瓎卧慕Y(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例,所述實(shí)施例的示例在附圖中示出,其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的,僅用于解釋本實(shí)用新型,而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的描述中,需要理解的是,術(shù)語“上”、“下方”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,一體地連接,也可以是可拆卸連接;可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。本實(shí)用新型的主要?jiǎng)?chuàng)新之處在于,本實(shí)用新型創(chuàng)新地提出了ー種可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,定位后的網(wǎng)框可準(zhǔn)確的與金屬掩膜板對(duì)位。請(qǐng)參閱圖1,本實(shí)用新型可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置可將掩模板2繃緊固定在網(wǎng)框4上??嚲W(wǎng)裝置包括繃?yán)瓩C(jī) 構(gòu)I、網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)3???yán)瓩C(jī)構(gòu)I用以將掩膜板2繃緊固定在ー個(gè)平面上;網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)3用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框4的位置或/和角度,將網(wǎng)框4固定在平面上的設(shè)定位置,且使得被固定的網(wǎng)框4的上表面緊貼金屬掩膜板2的下表面。所述網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)包括位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)31、旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)32、頂起機(jī)構(gòu)33 ;位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)31可由線性電機(jī)引導(dǎo),旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)32可由轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)引導(dǎo)。位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)31用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框在x-y平面上的位置,將網(wǎng)框4移動(dòng)至掩模板2下的設(shè)定區(qū)域。優(yōu)選地,所述位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)31將網(wǎng)框4移動(dòng)至掩模板2中央?yún)^(qū)域的下方。旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)32用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框的旋轉(zhuǎn)角度,使得網(wǎng)框4所在平面平行于被固定的掩膜板2所在平面??赏ㄟ^旋轉(zhuǎn)等調(diào)節(jié)而使得被固定的網(wǎng)框4與被固定的金屬掩膜板2位置方向一致。頂起機(jī)構(gòu)33垂直于被固定的掩膜板2或網(wǎng)框4所在平面,用以頂起網(wǎng)框4,實(shí)現(xiàn)掩膜板2的下表面與網(wǎng)框4的緊貼效果。請(qǐng)參閱圖2,本實(shí)施例中,位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)31包括X軸方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)311、y軸方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)312、固定x-y調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(即X軸方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)311、y軸方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)312)的基臺(tái)313、支撐基臺(tái)313的支撐桿314。支撐桿314下端固定在頂起機(jī)構(gòu)33上,上端與基臺(tái)313接觸且相互之間可以相對(duì)移動(dòng)。所述繃?yán)瓩C(jī)構(gòu)I包括控制系統(tǒng)、基臺(tái)及若干繃?yán)瓎卧?,各繃?yán)瓎卧植荚诰W(wǎng)板2的周邊,控制系統(tǒng)控制各繃?yán)瓎卧膭?dòng)作。請(qǐng)參閱圖3,所述繃?yán)瓎卧▌?dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)21、彈性機(jī)構(gòu)23、拉伸機(jī)構(gòu)22,所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)21通過彈性機(jī)構(gòu)23連接拉伸機(jī)構(gòu)22 ;當(dāng)然,也可以不設(shè)置弾性機(jī)構(gòu)23,動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)21直接與拉伸機(jī)構(gòu)22相連。所述拉伸機(jī)構(gòu)22設(shè)有與網(wǎng)板12連接的連接機(jī)構(gòu),通過該連接機(jī)構(gòu)與網(wǎng)板連接。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式中,所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)21為電機(jī);當(dāng)然,也可以為液壓缸等動(dòng)カ機(jī)構(gòu)。本實(shí)施例中,所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)21為帶編碼的線性電機(jī),通過電機(jī)座固定在基臺(tái)上;所述控制系統(tǒng)通過線性電機(jī)編碼器的反饋信息及時(shí)給出相應(yīng)的指令。優(yōu)選地,所述繃?yán)瓎卧€包括弾性形變獲取単元,用以感應(yīng)所述彈性機(jī)構(gòu)23的彈性形變數(shù)據(jù);所述彈性形變獲取単元與所述控制系統(tǒng)連接,所述控制系統(tǒng)根據(jù)所述彈性形變獲取單元感應(yīng)的彈性形變數(shù)據(jù),控制所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)21提供的動(dòng)カ大小,進(jìn)而控制動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)21對(duì)拉伸機(jī)構(gòu)22的拉力??赏ㄟ^這種方式精確控制拉カ的大小。此外,所述繃?yán)瓎卧€包括引導(dǎo)機(jī)構(gòu);在動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)カ下,所述引導(dǎo)機(jī)構(gòu)引導(dǎo)拉伸機(jī)構(gòu)沿設(shè)定方向運(yùn)動(dòng)。如圖3所示,所述引導(dǎo)機(jī)構(gòu)包括ー軌道機(jī)構(gòu);所述拉伸機(jī)構(gòu)22固定在該軌道機(jī)構(gòu)上,弾性機(jī)構(gòu)23的弾性形變方向與軌道機(jī)構(gòu)的設(shè)置方向一致。該軌道機(jī)構(gòu)包括ー導(dǎo)軌241、與該導(dǎo)軌241配合的導(dǎo)槽242 ;導(dǎo)槽242設(shè)置在拉伸機(jī)構(gòu)22的下方,導(dǎo)軌241設(shè)置在基臺(tái)上;當(dāng)然,導(dǎo)槽242也可以設(shè)置在基臺(tái)上,導(dǎo)軌241設(shè)置在拉伸機(jī)構(gòu)22的下方。[0032]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3,所述拉伸機(jī)構(gòu)22包括ー拉板221,拉板221上設(shè)有直線排布的半圓柱形掛齒222。同時(shí),所述網(wǎng)板12設(shè)有與所述連接機(jī)構(gòu)掛齒222配合的若干邊孔,邊孔也可以呈半圓形。拉板221通過掛鉤222與金屬網(wǎng)板12的邊孔連接,繃?yán)瓎卧赏瑫r(shí)或者單獨(dú)通過拉板221對(duì)金屬網(wǎng)板12進(jìn)行繃?yán)?。?yōu)選地,所述網(wǎng)板12的邊緣均勻分布若干邊孔;各繃?yán)瓎卧鶆蚍植荚诰W(wǎng)板12的周邊,分別連接對(duì)應(yīng)的邊孔。此外,如圖3所示,所述繃?yán)瓍g元還可以包括限位開關(guān),所述限位開關(guān)可以為接觸式或非接觸式行程限位開關(guān);在本實(shí)施例中,限位開關(guān)采用非接觸式的感應(yīng)開關(guān)。限位開關(guān)由兩個(gè)開關(guān)主體251及開關(guān)觸發(fā)器252構(gòu)成,兩個(gè)開關(guān)主體251分別固定在基臺(tái)上,開關(guān)觸發(fā)器252固定在拉伸機(jī)構(gòu)22上。當(dāng)拉伸裝置啟動(dòng)時(shí),弾性機(jī)構(gòu)23的拉伸作用會(huì)使得拉伸機(jī)構(gòu)22有一定的位移,當(dāng)拉板上的觸發(fā)器252的特定部位移動(dòng)至觸發(fā)開關(guān)主體251的設(shè)定位置吋,動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)21立即停止動(dòng)作。且對(duì)于拉伸同一物體,弾性機(jī)構(gòu)23的拉升長(zhǎng)度與拉伸機(jī)構(gòu)22上的開關(guān)觸發(fā)器252的位移量存在某ー確定的關(guān)系,即可以通過控制拉伸機(jī)構(gòu)22上的限位開關(guān)觸發(fā)器252的位移量來控制彈性機(jī)構(gòu)23的拉伸長(zhǎng)度。盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,·可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同限定。
權(quán)利要求1.ー種可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在于,所述繃網(wǎng)裝置將掩模板繃緊固定在網(wǎng)框上;繃網(wǎng)裝置包括 繃?yán)瓩C(jī)構(gòu),用以將掩膜板繃緊固定在ー個(gè)平面上; 網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu),用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框的位置或/和角度,將網(wǎng)框固定在平面上的設(shè)定位置,且使得被固定的網(wǎng)框的上表面緊貼金屬掩膜板的下表面。
2.如權(quán)利要求I所述的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在于,所述網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)包括位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框在平面上的位置,將網(wǎng)框移動(dòng)至掩模板下的設(shè)定區(qū)域。
3.如權(quán)利要求2所述的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在于,所述位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)將網(wǎng)框移動(dòng)至掩模板中央?yún)^(qū)域的下方。
4.如權(quán)利要求I所述的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在于,所述網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框的旋轉(zhuǎn)角度,使得網(wǎng)框所在平面平行于被固定的掩膜板所在平面。
5.如權(quán)利要求I至3之一所述的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在于,所述網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)包括頂起機(jī)構(gòu),垂直于被固定的掩膜板或網(wǎng)框所在平面,用以頂起網(wǎng)框,實(shí)現(xiàn)掩膜板的下表面與網(wǎng)框的緊貼效果。
6.如權(quán)利要求I所述的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在于,所述繃?yán)瓩C(jī)構(gòu)包括控制系統(tǒng)及若干繃?yán)瓎卧?,各繃?yán)瓎卧植荚诰W(wǎng)板的周邊,控制系統(tǒng)控制各繃?yán)瓎卧膭?dòng)作; 所述繃?yán)瓎卧▌?dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、拉伸機(jī)構(gòu),所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接拉伸機(jī)構(gòu);所述拉伸機(jī)構(gòu)設(shè)有與網(wǎng)板連接的連接機(jī)構(gòu),通過該連接機(jī)構(gòu)與網(wǎng)板連接。
7.如權(quán)利要求6所述的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在干,所述繃?yán)瓎卧€包括彈性機(jī)構(gòu),所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過弾性機(jī)構(gòu)連接拉伸機(jī)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求7所述的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在于,所述繃?yán)瓎卧€包括彈性形變獲取単元,用以感應(yīng)所述彈性機(jī)構(gòu)的彈性形變數(shù)據(jù);所述彈性形變獲取単元與所述控制系統(tǒng)連接,所述控制系統(tǒng)根據(jù)所述彈性形變獲取單元感應(yīng)的彈性形變數(shù)據(jù),控制所述動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供的動(dòng)カ大小,進(jìn)而控制動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)拉伸機(jī)構(gòu)的拉力。
9.如權(quán)利要求6所述的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,其特征在于,所述繃?yán)瓎卧€包括引導(dǎo)機(jī)構(gòu);在動(dòng)カ驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)カ下,所述引導(dǎo)機(jī)構(gòu)引導(dǎo)拉伸機(jī)構(gòu)沿設(shè)定方向運(yùn)動(dòng);所述引導(dǎo)機(jī)構(gòu)包括ー軌道機(jī)構(gòu);所述拉伸機(jī)構(gòu)固定在該軌道機(jī)構(gòu)上,弾性機(jī)構(gòu)的彈性形變方向與軌道機(jī)構(gòu)的設(shè)置方向一致;該軌道機(jī)構(gòu)包括ー導(dǎo)軌、與該導(dǎo)軌配合的導(dǎo)槽;導(dǎo)槽設(shè)置在拉伸機(jī)構(gòu)下方,導(dǎo)軌設(shè)置在一基臺(tái)上;或者,導(dǎo)槽設(shè)置在基臺(tái)上,導(dǎo)軌設(shè)置在拉伸機(jī)構(gòu)下方。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,所述繃網(wǎng)裝置將掩模板繃緊固定在網(wǎng)框上;繃網(wǎng)裝置包括繃?yán)瓩C(jī)構(gòu)、網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)???yán)瓩C(jī)構(gòu)用以將掩膜板繃緊固定在一個(gè)平面上;網(wǎng)框固定機(jī)構(gòu)用以調(diào)節(jié)網(wǎng)框的位置或/和角度,將網(wǎng)框固定在平面上的設(shè)定位置,且使得被固定的網(wǎng)框的上表面緊貼金屬掩膜板的下表面。通過本實(shí)用新型提出的可準(zhǔn)確定位的繃網(wǎng)裝置,定位后的網(wǎng)框可準(zhǔn)確的與金屬掩膜板對(duì)位,如此對(duì)位后固定的掩膜板整體具有較高的精度,能更好的滿足高精度OLED蒸鍍等掩膜板的應(yīng)用。同時(shí),本實(shí)用新型設(shè)有多個(gè)繃?yán)瓎卧?,分別通過控制系統(tǒng)控制,可以使繃網(wǎng)裝置作用在金屬掩模板邊緣的拉力均勻一致。
文檔編號(hào)C23C14/04GK202434582SQ20122001020
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2012年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月11日
發(fā)明者張煒平, 高小平, 魏志凌 申請(qǐng)人:昆山允升吉光電科技有限公司