專利名稱：藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝是針對(duì)藍(lán)寶石單晶材料長(zhǎng)方體窗口工件進(jìn)行批量加工的工藝流程及加工方法。
背景技術(shù)：
藍(lán)寶石單晶材料在現(xiàn)代的光學(xué)及半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用廣泛。它具有許多優(yōu)良的特性，如硬度高、熔點(diǎn)高、透光性好、熱傳導(dǎo)和電絕緣性優(yōu)良、化學(xué)性能穩(wěn)定等在諸多的窗口中，選材時(shí)越來(lái)越青睞于藍(lán)寶石材料。但是由于藍(lán)寶石單晶材料本身的硬度極高(莫氏硬度9)加工起來(lái)難度較大，特別是長(zhǎng)方體或異性窗口材料一直是加工的大難題，要得到優(yōu)異的外形指標(biāo)和表面質(zhì)量難上加難。已有的加工工藝通過使用四軸機(jī)配合卡具的應(yīng)用對(duì)工件進(jìn)行加工，加工時(shí)間很長(zhǎng)，并且無(wú)法實(shí)現(xiàn)工件的批量加工。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是使用雙面研磨拋光設(shè)備通過卡具的配合和工藝工序的編排，解決長(zhǎng)方體窗口材料多面加工難度大、成本高、速度慢等問題，實(shí)現(xiàn)高效、批量的加工目標(biāo)，可大大降低生產(chǎn)成本，提供一種藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝。本發(fā)明藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝，是以藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口為工件；
第一步
對(duì)工件各個(gè)棱邊進(jìn)行保護(hù)性倒角，將工件放置在游星式卡具中，使用雙面研磨機(jī)對(duì)工件兩對(duì)稱大面進(jìn)行粗磨；粗磨過程中，使用W40碳化硼磨料，重量濃度3(T35wt%，用水調(diào)和；
第二步
將粗磨后的工件使用超聲波清洗，將清洗后的工件放入游星卡具中，使用雙面研磨機(jī)對(duì)對(duì)大面進(jìn)行細(xì)磨加工；細(xì)磨過程中，使用W7碳化硼磨料，重量濃度3(T35wt%，用水調(diào)和，加入0. oro. 02wt%的六片磷酸鈉對(duì)磨料進(jìn)行分散；
第三步
對(duì)細(xì)磨后的工件尺寸進(jìn)行測(cè)量，將尺寸相近的工件湊成一組，在加熱平臺(tái)用蠟粘接相鄰工件的大面將每組工件粘接成一體，構(gòu)成工件組，增大加工端面的受力面積；
第四步
把粘接好的工件組放置在游星式卡具中，使用雙面研磨機(jī)對(duì)工件工件組的四個(gè)端面進(jìn)行粗磨；粗磨過程中，使用W40碳化硼磨料，重量濃度3(T35wt%，用水調(diào)和；
第五步
粗磨后，對(duì)工件組進(jìn)行超聲的清洗，將清洗后的工件組放入游星卡具中，使用雙面研磨機(jī)對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行細(xì)磨加工；細(xì)磨過程中，使用W7碳化硼磨料，重量濃度30 35wt%，用水調(diào)和，加入0. oro. 02wt%的六片磷酸鈉對(duì)磨料進(jìn)行分散；
第六步
細(xì)磨后，對(duì)工件組進(jìn)行超聲波的清洗；清洗后放入卡具，使用粒徑80-100nm、PH值10-11的二氧化硅拋光液配合聚氨酯拋光墊對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行拋光；拋光前先使用拋光液對(duì)拋光墊進(jìn)行充分浸潤(rùn)；拋光時(shí)，逐漸提升拋光設(shè)備的轉(zhuǎn)速和壓力，拋光過程中控制溫度在3(T40°C之間；
第七步
拋光結(jié)束后，對(duì)粘接的工件組進(jìn)行加熱拆分工件，使用丙酮清洗劑去除殘留在工件的蠟潰；清洗干凈后，使用透明膠帶對(duì)工件拋光好的四個(gè)端面進(jìn)行粘接保護(hù)；
第八步
把保護(hù)好的工件放入游星卡具中，使用粒徑80-100nm、PH值10-11的二氧化硅拋光液配合聚氨酯拋光墊對(duì)工件的大面進(jìn)行拋光；拋光前先使用拋光液對(duì)拋光墊進(jìn)行充分浸潤(rùn)；拋光時(shí)，逐漸提升拋光設(shè)備的轉(zhuǎn)速和壓力，拋光過程中控制溫度在3(T40°C之間；
第九步
撕去拋光好工件端面的保護(hù)膠帶，把工件浸泡在汽油中，使用脫脂棉花輕輕擦拭，去除掉表面膠帶殘留物。本發(fā)明的藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工更具體的加工工藝，是以藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口為工件，
第一步對(duì)工件大面進(jìn)行粗磨
對(duì)藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口這種工件的各個(gè)棱邊適應(yīng)金剛石砂輪進(jìn)行保護(hù)性倒角。加工前，可先使用修正輪對(duì)雙面研磨拋光設(shè)備研磨盤進(jìn)行面型修正。將工件放置在游星式卡具中，把磨料均勻涂抹在工件表面。粗磨過程中，使用W40碳化硼磨料(重量濃度3(T35wt%，用水調(diào)和)，研磨前要攪拌攪拌均勻；可緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，設(shè)備壓力和轉(zhuǎn)數(shù)根據(jù)設(shè)備選用較于穩(wěn)定的參數(shù)進(jìn)行加工。 第二步對(duì)工件大面進(jìn)行細(xì)磨
將粗磨后的工件使用超聲波清洗，以免帶磨料進(jìn)入細(xì)磨車間。先使用修正輪對(duì)雙面研磨設(shè)備的研磨盤進(jìn)行面型修正，然后將清洗后的工件放入游星卡具中，把磨料均勻涂抹在工件表面上。細(xì)磨過程中，使用W7碳化硼磨料，(重量濃度3(T35wt%，用水調(diào)和，可加入0. oro. 02wt%的六片磷酸鈉對(duì)磨料進(jìn)行分散)，使用前要充分?jǐn)嚢?；要緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，設(shè)備壓力和轉(zhuǎn)數(shù)根據(jù)設(shè)備選用較于穩(wěn)定的參數(shù)進(jìn)行加工。第三步對(duì)工件分組粘接
對(duì)工件尺寸進(jìn)行測(cè)量，尺寸相近的湊成一組，使用加熱平臺(tái)和粘接蠟對(duì)工件進(jìn)行粘接，目的是為了增大端面加工的受力面積，并且增大一次加工量，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。把選取的一組工件共同加熱，用粘接蠟涂抹在工件大面表面，把工件粘合在一起，使用刀口尺和卡具來(lái)固定工件組，以免出現(xiàn)粘接的端面高低不平。第四步對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行粗磨
把粘接好的工件組，放入卡具中，依照大面粗磨工藝對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行粗磨。第五步對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行細(xì)磨
粗磨后，對(duì)工件組進(jìn)行超聲的清洗。依照大面細(xì)磨工藝進(jìn)行工件組的四個(gè)端面的細(xì)磨。
第六步對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行拋光
細(xì)磨后，對(duì)工件進(jìn)行超聲波的清洗。清洗后放入卡具，使用二氧化硅拋光液(粒徑80-100nm, PH值10-11)，配合聚氨酯拋光墊對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行拋光。拋光前先使用拋光液對(duì)拋光墊進(jìn)行充分浸潤(rùn)。拋光時(shí)，緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，拋光過程中要嚴(yán)格控制溫度在3(T40°C之間，以免溫度過高，導(dǎo)致粘接蠟層松動(dòng)。第七步拆分組合，去除粘接蠟，對(duì)拋光好的端面進(jìn)行保護(hù)
拋光結(jié)束后，對(duì)粘接組進(jìn)行加熱拆分，使用丙酮清洗劑去除殘留蠟潰。清洗干凈后，使用透明膠帶對(duì)工件拋光好的四個(gè)端面進(jìn)行粘接保護(hù)。第八步對(duì)工件大面進(jìn)行拋光
把保護(hù)好的工件放入游星卡具中，根據(jù)端面拋光工藝對(duì)大面進(jìn)行拋光。
第九步去除保護(hù)膠帶
撕去拋光好工件端面的保護(hù)膠帶，把工件浸泡在汽油中，使用脫脂棉花輕輕擦拭，去除掉表面膠帶殘留物。本發(fā)明的工藝對(duì)類似的六面體窗口的多面拋光進(jìn)行批量加工，生產(chǎn)效率高，產(chǎn)品一致性好，質(zhì)量?jī)?yōu)良并且各個(gè)工藝環(huán)節(jié)及質(zhì)量參數(shù)可控。拋光后的工件表面粗糙度小于0. 5nm，平行度小于10秒。
具體實(shí)施例方式 實(shí)施例一規(guī)格50 mmX39mmX IOmm的藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝
把規(guī)格50 mmX39mmX IOmm的藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口的六個(gè)面分別用以下名稱代替 50mmX 39mm的大面用符號(hào)S1代替，50mmX IOmm的端面用符號(hào)S2代替，39 mmX IOmm的
端面用符號(hào)S3代替。第一步對(duì)工件S1面進(jìn)行粗磨
對(duì)藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口各個(gè)棱邊適應(yīng)金剛石砂輪進(jìn)行保護(hù)性倒角。加工前，先使用修正輪對(duì)雙面研磨拋光設(shè)備研磨盤進(jìn)行面型修正。然后將工件放置在游星式卡具中，把磨料均勻涂抹在S1面的表面上。粗磨過程中，使用W40碳化硼磨料，(濃度30wt%，用水調(diào)和)研磨前要攪拌攪拌均勻；緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，設(shè)備壓力和轉(zhuǎn)數(shù)根據(jù)設(shè)備選用較于穩(wěn)定的參數(shù)進(jìn)行加工。第二步對(duì)工件S1面進(jìn)行細(xì)磨
將粗磨后的工件使用超聲波清洗，以免帶磨料進(jìn)入細(xì)磨車間。先使用修正輪對(duì)雙面研磨設(shè)備的研磨盤進(jìn)行面型修正，然后將清洗后的工件放入游星卡具中，把磨料均勻涂抹在S1面的表面上。細(xì)磨過程中，使用W7碳化硼磨料，濃度(3 lwt%,用水調(diào)和，可加入0. 0 lwt%的六片磷酸鈉對(duì)磨料進(jìn)行分散)使用前要充分?jǐn)嚢瑁灰徛嵘O(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，設(shè)備壓力和轉(zhuǎn)數(shù)根據(jù)設(shè)備選用較于穩(wěn)定的參數(shù)進(jìn)行加工。第三步對(duì)工件分組粘接
對(duì)工件尺寸進(jìn)行測(cè)量，尺寸相近的湊成一組，使用加熱平臺(tái)和粘接蠟對(duì)工件進(jìn)行粘接，目的是為了增大端面加工的受力面積，并且增大一次加工量，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。把選取的一組工件共同加熱，用粘接蠟均勻涂抹在工件S1面表面，把工件粘合在一起，使用刀口尺和卡具來(lái)固定工件組，以免出現(xiàn)粘接的端面高低不平。
第四步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行粗磨
把粘接好的工件組，放入卡具中，依照S1面的粗磨工藝對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行粗磨。第五步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行細(xì)磨
粗磨后，對(duì)工件組進(jìn)行超聲的清洗。依照S1面的細(xì)磨工藝進(jìn)行工件組S2和S3面的細(xì)磨。
第六步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行拋光
細(xì)磨后，對(duì)工件進(jìn)行超聲波的清洗。清洗后放入卡具，使用二氧化硅拋光液(粒徑80nm， PH值11)，配合聚氨酯拋光墊對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行拋光。拋光前先使用拋光液對(duì)拋光墊進(jìn)行充分浸潤(rùn)。拋光時(shí)，緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，拋光過程中要嚴(yán)格控制溫度在3(T40°C之間，以免溫度過高，導(dǎo)致粘接蠟層松動(dòng)。第七步拆分組合，去除粘接蠟，對(duì)拋光好的S2和S3面進(jìn)行保護(hù)
拋光結(jié)束后，對(duì)粘接組進(jìn)行加熱拆分，使用丙酮清洗劑去除殘留蠟潰。清洗干凈后，使用透明膠帶對(duì)工件拋光好的S2和S3面進(jìn)行粘接保護(hù)。第八步對(duì)工件S1面進(jìn)行拋光
把保護(hù)好的工件放入游星卡具中，根據(jù)S2和S3面的拋光工藝對(duì)S1面進(jìn)行拋光。第九步去除保護(hù)膠帶
撕去拋光好的S2和S3面的保護(hù)膠帶，把工件浸泡在汽油中，使用脫脂棉花輕輕擦拭，去除掉表面膠帶殘留物。經(jīng)檢測(cè)，工件表面粗糙度為0. 3nm,平行度為9秒。實(shí)施例二規(guī)格46 mmX39mmX8mm的藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝
把規(guī)格46 mmX39mmX 8mm的藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口的六個(gè)面分別用以下名稱代替 46mmX 39mm的大面用符號(hào)S1代替,46mmX 8mm的端面用符號(hào)S2代替，39 mmX 8mm的端
面用符號(hào)S3代替。第一步對(duì)工件S1面進(jìn)行粗磨
對(duì)藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口各個(gè)棱邊適應(yīng)金剛石砂輪進(jìn)行保護(hù)性倒角。加工前，先使用修正輪對(duì)雙面研磨拋光設(shè)備研磨盤進(jìn)行面型修正。然后將工件放置在游星式卡具中，把磨料均勻涂抹在S1面的表面上。粗磨過程中，使用W40碳化硼磨料，(濃度33wt%，用水調(diào)和)研磨前要攪拌攪拌均勻；緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，設(shè)備壓力和轉(zhuǎn)數(shù)根據(jù)設(shè)備選用較于穩(wěn)定的參數(shù)進(jìn)行加工。第二步對(duì)工件S1面進(jìn)行細(xì)磨
將粗磨后的工件使用超聲波清洗，以免帶磨料進(jìn)入細(xì)磨車間。先使用修正輪對(duì)雙面研磨設(shè)備的研磨盤進(jìn)行面型修正，然后將清洗后的工件放入游星卡具中，把磨料均勻涂抹在S1面的表面上。細(xì)磨過程中，使用W7碳化硼磨料，濃度(32wt%，用水調(diào)和，可加入0. 015wt%的六片磷酸鈉對(duì)磨料進(jìn)行分散)使用前要充分?jǐn)嚢?；要緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，設(shè)備壓力和轉(zhuǎn)數(shù)根據(jù)設(shè)備選用較于穩(wěn)定的參數(shù)進(jìn)行加工。第三步對(duì)工件分組粘接
對(duì)工件尺寸進(jìn)行測(cè)量，尺寸相近的湊成一組，使用加熱平臺(tái)和粘接蠟對(duì)工件進(jìn)行粘接，目的是為了增大端面加工的受力面積，并且增大一次加工量，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。把選取的一組工件共同加熱，用粘接蠟均勻涂抹在工件S1面表面，把工件粘合在一起，使用刀口尺和卡具來(lái)固定工件組，以免出現(xiàn)粘接的端面高低不平。第四步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行粗磨
把粘接好的工件組，放入卡具中，依照S1面的粗磨工藝對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行粗磨。第五步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行細(xì)磨
粗磨后，對(duì)工件組進(jìn)行超聲的清洗。依照S1面的細(xì)磨工藝進(jìn)行工件組S2和S3面的細(xì)磨。
第六步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行拋光
細(xì)磨后，對(duì)工件進(jìn)行超聲波的清洗。清洗后放入卡具，使用二氧化硅拋光液(粒徑80nm，PH值11)，配合聚氨酯拋光墊對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行拋光。拋光前先使用拋光液對(duì)拋光墊進(jìn)行充分浸潤(rùn)。拋光時(shí)，緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，拋光過程中要嚴(yán)格控制溫度在3(T40°C之間，以免溫度過高，導(dǎo)致粘接蠟層松動(dòng)。第七步拆分組合，去除粘接蠟，對(duì)拋光好的S2和S3面進(jìn)行保護(hù)
拋光結(jié)束后，對(duì)粘接組進(jìn)行加熱拆分，使用丙酮清洗劑去除殘留蠟潰。清洗干凈后，使用透明膠帶對(duì)工件拋光好的S2和S3面進(jìn)行粘接保護(hù)。第八步對(duì)工件S1面進(jìn)行拋光
把保護(hù)好的工件放入游星卡具中，根據(jù)S2和S3面的拋光工藝對(duì)S1面進(jìn)行拋光。第九步去除保護(hù)膠帶
撕去拋光好的S2和S3面的保護(hù)膠帶，把工件浸泡在汽油中，使用脫脂棉花輕輕擦拭，去除掉表面膠帶殘留物。經(jīng)檢測(cè)，工件表面粗糙度為0. 3nm,平行度為8秒。實(shí)施例三規(guī)格60 mmX59mmX 12mm的藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝
把規(guī)格60 _X59_X 12mm的藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口的六個(gè)面分別用以下名稱代替60mmX 59mm的大面用符號(hào)S1代替,60mmX 12mm的端面用符號(hào)S2代替，59 mmX 12mm的端面用符號(hào)S3代替。第一步對(duì)工件S1面進(jìn)行粗磨
對(duì)藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口各個(gè)棱邊適應(yīng)金剛石砂輪進(jìn)行保護(hù)性倒角。加工前，先使用修正輪對(duì)雙面研磨拋光設(shè)備研磨盤進(jìn)行面型修正。然后將工件放置在游星式卡具中，把磨料均勻涂抹在S1面的表面上。粗磨過程中，使用W40碳化硼磨料，(濃度35wt%，用水調(diào)和)研磨前要攪拌攪拌均勻；緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，設(shè)備壓力和轉(zhuǎn)數(shù)根據(jù)設(shè)備選用較于穩(wěn)定的參數(shù)進(jìn)行加工。第二步對(duì)工件S1面進(jìn)行細(xì)磨
將粗磨后的工件使用超聲波清洗，以免帶磨料進(jìn)入細(xì)磨車間。先使用修正輪對(duì)雙面研磨設(shè)備的研磨盤進(jìn)行面型修正，然后將清洗后的工件放入游星卡具中，把磨料均勻涂抹在S1面的表面上。細(xì)磨過程中，使用W7碳化硼磨料，濃度(35wt%，用水調(diào)和，可加入0. 02wt%的六片磷酸鈉對(duì)磨料進(jìn)行分散)使用前要充分?jǐn)嚢?；要緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，設(shè)備壓力和轉(zhuǎn)數(shù)根據(jù)設(shè)備選用較于穩(wěn)定的參數(shù)進(jìn)行加工。第三步對(duì)工件分組粘接對(duì)工件尺寸進(jìn)行測(cè)量，尺寸相近的湊成一組，使用加熱平臺(tái)和粘接蠟對(duì)工件進(jìn)行粘接，目的是為了增大端面加工的受力面積，并且增大一次加工量，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。把選取的一組工件共同加熱，用粘接蠟均勻涂抹在工件S1面表面，把工件粘合在一起，使用刀口尺和卡具來(lái)固定工件組，以免出現(xiàn)粘接的端面高低不平。第四步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行粗磨
把粘接好的工件組，放入卡具中，依照S1面的粗磨工藝對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行粗磨。第五步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行細(xì)磨
粗磨后，對(duì)工件組進(jìn)行超聲的清洗。依照S1面的細(xì)磨工藝進(jìn)行工件組S2和S3面的細(xì)
磨。 第六步對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行拋光
細(xì)磨后，對(duì)工件進(jìn)行超聲波的清洗。清洗后放入卡具，使用二氧化硅拋光液(粒徑lOOnm，PH值11)，配合聚氨酯拋光墊對(duì)工件組的S2和S3面進(jìn)行拋光。拋光前先使用拋光液對(duì)拋光墊進(jìn)行充分浸潤(rùn)。拋光時(shí)，緩慢提升設(shè)備轉(zhuǎn)速和壓力，拋光過程中要嚴(yán)格控制溫度在3(T40°C之間，以免溫度過高，導(dǎo)致粘接蠟層松動(dòng)。第七步拆分組合，去除粘接蠟，對(duì)拋光好的S2和S3面進(jìn)行保護(hù)
拋光結(jié)束后，對(duì)粘接組進(jìn)行加熱拆分，使用丙酮清洗劑去除殘留蠟潰。清洗干凈后，使用透明膠帶對(duì)工件拋光好的S2和S3面進(jìn)行粘接保護(hù)。第八步對(duì)工件S1面進(jìn)行拋光
把保護(hù)好的工件放入游星卡具中，根據(jù)S2和S3面的拋光工藝對(duì)S1面進(jìn)行拋光。第九步去除保護(hù)膠帶
撕去拋光好的S2和S3面的保護(hù)膠帶，把工件浸泡在汽油中，使用脫脂棉花輕輕擦拭，去除掉表面膠帶殘留物。經(jīng)檢測(cè)，工件表面粗糙度為0. 4nm,平行度為5秒。
權(quán)利要求
1.一種藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝，是以藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口為工件； 第一步 對(duì)工件各個(gè)棱邊進(jìn)行保護(hù)性倒角，將工件放置在游星式卡具中，使用雙面研磨機(jī)對(duì)工件兩對(duì)稱大面進(jìn)行粗磨；粗磨過程中，使用W40碳化硼磨料，重量濃度3(T35wt%，用水調(diào)和； 第二步 將粗磨后的工件使用超聲波清洗，將清洗后的工件放入游星卡具中，使用雙面研磨機(jī)對(duì)對(duì)大面進(jìn)行細(xì)磨加工；細(xì)磨過程中，使用W7碳化硼磨料，重量濃度3(T35wt%，用水調(diào)和，加入0. oro. 02wt%的六片磷酸鈉對(duì)磨料進(jìn)行分散； 第三步 對(duì)細(xì)磨后的工件尺寸進(jìn)行測(cè)量，將尺寸相近的工件湊成一組，在加熱平臺(tái)用蠟粘接相鄰工件的大面將每組工件粘接成一體，構(gòu)成工件組，增大加工端面的受力面積； 第四步 把粘接好的工件組放置在游星式卡具中，使用雙面研磨機(jī)對(duì)工件工件組的四個(gè)端面進(jìn)行粗磨；粗磨過程中，使用W40碳化硼磨料，重量濃度3(T35wt%，用水調(diào)和； 第五步 粗磨后，對(duì)工件組進(jìn)行超聲的清洗，將清洗后的工件組放入游星卡具中，使用雙面研磨機(jī)對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行細(xì)磨加工；細(xì)磨過程中，使用W7碳化硼磨料，重量濃度30 35wt%，用水調(diào)和，加入0. oro. 02wt%的六片磷酸鈉對(duì)磨料進(jìn)行分散； 第六步 細(xì)磨后，對(duì)工件組進(jìn)行超聲波的清洗；清洗后放入卡具，使用粒徑80-100nm、PH值10-11的二氧化硅拋光液配合聚氨酯拋光墊對(duì)工件組的四個(gè)端面進(jìn)行拋光；拋光前先使用拋光液對(duì)拋光墊進(jìn)行充分浸潤(rùn)；拋光時(shí)，逐漸提升拋光設(shè)備的轉(zhuǎn)速和壓力，拋光過程中控制溫度在3(T40°C之間； 第七步 拋光結(jié)束后，對(duì)粘接的工件組進(jìn)行加熱拆分工件，使用丙酮清洗劑去除殘留在工件的蠟潰；清洗干凈后，使用透明膠帶對(duì)工件拋光好的四個(gè)端面進(jìn)行粘接保護(hù)； 第八步 把保護(hù)好的工件放入游星卡具中，使用粒徑80-100nm、PH值10-11的二氧化硅拋光液配合聚氨酯拋光墊對(duì)工件的大面進(jìn)行拋光；拋光前先使用拋光液對(duì)拋光墊進(jìn)行充分浸潤(rùn)；拋光時(shí)，逐漸提升拋光設(shè)備的轉(zhuǎn)速和壓力，拋光過程中控制溫度在3(T40°C之間； 第九步 撕去拋光好工件端面的保護(hù)膠帶，把工件浸泡在汽油中，使用脫脂棉花輕輕擦拭，去除掉表面膠帶殘留物。
全文摘要
藍(lán)寶石單晶長(zhǎng)方體窗口多面拋光批量加工的加工工藝，是采用雙面研磨拋光設(shè)備對(duì)窗口工件進(jìn)行研磨拋光加工。工件把藍(lán)寶石六面體窗口，放置在游星輪卡具中，先對(duì)大面進(jìn)行研磨，使用環(huán)氧樹脂材料卡具，W40碳化硼進(jìn)行粗磨，W7碳化硼進(jìn)行細(xì)磨；之后按照規(guī)格對(duì)工件進(jìn)行分組粘接，對(duì)粘接后工件的四個(gè)端面進(jìn)行粗磨和細(xì)磨；研磨之后，使用二氧化硅拋光液(粒徑80-100nm，PH值10-11)對(duì)粘接后的端面進(jìn)行拋光；拋光后對(duì)工件進(jìn)行拆分，并對(duì)拋光后的單個(gè)工件的四個(gè)端面使用透明膠帶進(jìn)行保護(hù)，然后對(duì)窗口工件的大面進(jìn)行拋光。此工藝對(duì)類似的六面體窗口的多面拋光進(jìn)行批量加工，生產(chǎn)效率高，產(chǎn)品一致性好，質(zhì)量?jī)?yōu)良并且各個(gè)工藝環(huán)節(jié)及質(zhì)量參數(shù)可控。拋光后的工件表面粗糙度小于0.3nm，平行度小于10秒，光潔度最優(yōu)可達(dá)40-20。
文檔編號(hào)B24B9/16GK102729116SQ201210204720
公開日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2012年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月20日
發(fā)明者王晨宇, 鄭琛 申請(qǐng)人:大連淡寧實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司