專(zhuān)利名稱(chēng)：安裝沉積掩模的柔性框的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制作有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)工藝中通過(guò)沉積掩模把有機(jī)材料沉積在基板上的方法。
雖然曾經(jīng)制造了孔板掩模并在工業(yè)中長(zhǎng)時(shí)間被用于沉積材料，但用于有源矩陣有機(jī)發(fā)光器件(OLED)的可撕開(kāi)沉積掩模的應(yīng)用需要比先前的制造、應(yīng)用所需的更高精密度及準(zhǔn)確度。
用于制造可撕開(kāi)沉積掩模的工藝在底板上制成可撕開(kāi)的沉積掩模?？伤洪_(kāi)沉積掩模是用金屬化合物電沉積在底板上、然后用帶圖形的光阻技術(shù)進(jìn)行化學(xué)蝕刻而成的。然后從底板上手工取去可撕開(kāi)沉積掩模。除取工藝包括通過(guò)首先撕起一角把可撕開(kāi)沉積掩模從底板上撕開(kāi)和把電沉積材料拉離底板。所述工藝是按照人對(duì)人能完成的手工工藝進(jìn)行的?？伤洪_(kāi)沉積掩模是使它們易于變形的薄的韌性材料。由于撕開(kāi)工藝的拉動(dòng)方向的原因，可撕開(kāi)沉積掩模在被取去后會(huì)有結(jié)構(gòu)變形和翹曲?？伤洪_(kāi)沉積掩模還受到撕開(kāi)方向的不一致和可撕開(kāi)沉積掩模被撕離底板的任何角度變化的影響。
現(xiàn)在可撕開(kāi)沉積掩模必須被安裝在沉積工藝中使用的框上?？伤洪_(kāi)沉積掩模利用對(duì)準(zhǔn)裝置(共同受讓的US-A-6,475,287 B1)即時(shí)手工地安裝于所述框上。首先可撕開(kāi)沉積掩模必須手工地對(duì)準(zhǔn)框。其次，可撕開(kāi)沉積掩模利用校正板盡可能地保持平直。校正板設(shè)法使已經(jīng)翹曲及結(jié)構(gòu)變形的可撕開(kāi)沉積掩模盡可能地保持平直，并進(jìn)行把膠帶手工敷貼在可撕開(kāi)沉積掩模的外邊沿和沉積框上的工藝，同時(shí)把可撕開(kāi)沉積掩模連接于所述框。當(dāng)敷貼了各個(gè)膠帶時(shí)，定向應(yīng)力就被引入了可撕開(kāi)沉積掩模中。所述定向應(yīng)力引起了已安裝的可撕開(kāi)沉積掩模中的起伏和波浪(變形)。所述起伏(變形)對(duì)沉積工藝是有害的。在沉積工藝期間，為了準(zhǔn)確地沉積材料，可撕開(kāi)沉積掩模必須與基板盡可能地共平面。
在制作發(fā)光二極管器件(OLED)中有若干步驟，其中有機(jī)層被沉積在基板上面或上方。關(guān)鍵的是可撕開(kāi)沉積掩模要被對(duì)準(zhǔn)和被正確地安裝以產(chǎn)生精確的沉積?？伤洪_(kāi)沉積掩模板通常是由薄的韌性材料制成的精密掩模?？伤洪_(kāi)沉積掩模是帶有平板刻法圖案的，并因?yàn)樗《试S合適位置的有機(jī)材料被沉積在基板上面或上方?？伤洪_(kāi)沉積掩模應(yīng)該正確安裝和與基板對(duì)準(zhǔn)。下面是用于安裝和對(duì)準(zhǔn)可撕開(kāi)沉積掩模的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)的描述。先有技術(shù)通常是使用框并手工地使掩模相對(duì)于所述框定中心。膠帶常被用于把可撕開(kāi)沉積掩模固定在框上。具有已安裝的可撕開(kāi)沉積掩模的框以基板為基準(zhǔn)被置于真空室中。
本發(fā)明的目的是為從底板上取去可撕開(kāi)沉積掩模提供改進(jìn)的方法，同時(shí)在它從底板上取去后減小可撕開(kāi)沉積掩模中的起伏(變形)。
這個(gè)目的通過(guò)把沉積掩模安裝在柔性框上的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)，所述柔性框用于制造OLED中通過(guò)可撕開(kāi)掩模的材料真空沉積，所述方法包括各步驟(a)提供具有制成在其上的可撕開(kāi)沉積掩模的底板；(b)提供具有邊界部分的柔性框，這種邊界部分構(gòu)成框的開(kāi)口，所述框的開(kāi)口對(duì)應(yīng)于可撕開(kāi)沉積掩模上的邊界部分；(c)對(duì)準(zhǔn)柔性框邊界部分與可撕開(kāi)沉積掩模的邊界部分并然后固定它們，和從板上取去柔性框和已固定的可撕開(kāi)沉積掩模；和(d)安裝在支持件中的可撕開(kāi)沉積掩模與柔性框，在隨后的材料真空沉積期間，所述支持件保持可撕開(kāi)沉積掩模的平面性。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是當(dāng)可撕開(kāi)沉積掩模安裝在框上時(shí)減少了可撕開(kāi)掩模的起伏(變形)。
另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是在可撕開(kāi)沉積掩模從底板上取去之前，使得通過(guò)把框粘結(jié)固定在可撕開(kāi)沉積掩模上而使可撕開(kāi)沉積掩模安裝在框支持件上的方法更容易變得有效。


圖1是被取去之前在底板上的柔性框的等軸視圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明的可撕開(kāi)沉積掩模的柔性框及支持件的分解視圖；和圖3描繪從底板取去可撕開(kāi)沉積掩模期間的柔性框。
圖1是柔性框14的等軸視圖，柔性框14具有較好由鋁制成的邊界部分10和為允許沉積有機(jī)材料所需的中央矩形開(kāi)口36，握舌18位于矩形柔性框14的一個(gè)外邊角處。圖1描繪了在柔性框14的相對(duì)角處的兩個(gè)位置中有定位器孔20。定位器孔20用于兩個(gè)目的。如圖1所示，定位器孔20是作為可視的對(duì)準(zhǔn)孔，用于柔性框14與位于可撕開(kāi)沉積掩模12的相對(duì)角處的對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)物24手工對(duì)準(zhǔn)。本發(fā)明使柔性框14的邊界部分10與可撕開(kāi)沉積掩模12的邊界部分對(duì)準(zhǔn)并固定。這使柔性框14和已固定的可撕開(kāi)沉積掩模12容易從底板38取下。圖2顯示了柔性框14中的定位器孔20。在底板38上電鑄沉積了可撕開(kāi)沉積掩模12。
圖2描繪柔性框14的分解視圖，柔性框14具有粘結(jié)地連接及安裝于支持件26的可撕開(kāi)沉積掩模12?？伤洪_(kāi)沉積掩模12具有對(duì)準(zhǔn)孔22，通過(guò)粘膠層16在可撕開(kāi)沉積掩模12上安裝了柔性框14。柔性框14具有使可撕開(kāi)沉積掩模12容易取下的握舌18，這將在圖3中詳細(xì)討論。柔性框14具有定位器孔20，定位器孔20被描繪處于相對(duì)角處，它們被用來(lái)對(duì)準(zhǔn)可撕開(kāi)沉積掩模12?？伤洪_(kāi)沉積掩模12具有對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)物24，對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)物24位于可撕開(kāi)沉積掩模12的相對(duì)角處與柔性框14的對(duì)準(zhǔn)孔20相對(duì)應(yīng)。分解圖還描繪了具有兩個(gè)銷(xiāo)子28的支持件26，銷(xiāo)子28位于中央槽30的相對(duì)角處，它們與柔性框14的定位器孔20對(duì)準(zhǔn)。中央槽30被構(gòu)造成接納柔性框14的圖形，它在周邊上具有間隙公差以便不妨礙熱膨脹。支持件26被描繪成具有開(kāi)口36，開(kāi)口36位于支持件26邊界槽30的中央位置。這個(gè)安裝裝置在隨后的材料真空沉積期間保持可撕開(kāi)沉積掩模12的平面性。另外描繪了保持件32，保持件32提供了在支持件26中平面地包夾具有粘膠層16的柔性框14與可撕開(kāi)沉積掩模12的方法，其方式是不妨礙由熱膨脹引起的橫向移動(dòng)。熱膨脹產(chǎn)生于沉積工藝期間。應(yīng)懂得在通過(guò)可撕開(kāi)沉積掩模沉積有機(jī)材料而制成有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)時(shí)產(chǎn)生了溫度差。
圖3示出了從所述底板38上使用在柔性框14上的握舌18移走該可撕開(kāi)的沉積掩模，從而由手動(dòng)抬起該握舌18將所述可撕開(kāi)沉積掩模從所述板上剝落，該握舌18將使該柔性框14翹曲使得將所述可撕開(kāi)沉積掩模12從所述底板上剝落。該移走方法被完成，粘合連接的可撕開(kāi)沉積掩模12的柔性框現(xiàn)在能夠安裝到支持件30中。
權(quán)利要求
1.把沉積掩模安裝在柔性框上的一種方法，在制作有機(jī)發(fā)光二極管中所述方法應(yīng)用于通過(guò)可撕開(kāi)沉積掩模真空沉積材料，所述方包括步驟(a)提供具有制成在其上的可撕開(kāi)沉積掩模的底板；(b)提供具有邊界部分的柔性框，這種邊界部分構(gòu)成框的開(kāi)口，所述框的開(kāi)口與可撕開(kāi)沉積掩模上的邊界部分相對(duì)應(yīng)；(c)使柔性框的邊界部分與可撕開(kāi)沉積掩模的邊界部分對(duì)準(zhǔn)然后固定它們，和從底板上取去柔性框及已固定的可撕開(kāi)沉積掩模；和(d)把柔性框與可撕開(kāi)沉積掩模安裝在支持件中，所述支持件在隨后的真空沉積材料期間保持可撕開(kāi)沉積掩模的平面性。
2.如權(quán)利要求1的方法，還包括在柔性框上提供握舌，它讓使用者容易取去柔性框及已固定的可撕開(kāi)沉積掩模。
3.如權(quán)利要求1的方法，其特征在于利用框的對(duì)準(zhǔn)基點(diǎn)來(lái)制成可撕開(kāi)沉積掩模，而柔性框含有對(duì)應(yīng)于可撕開(kāi)沉積掩模上的所述基點(diǎn)的對(duì)準(zhǔn)孔，以便容易對(duì)準(zhǔn)。
4.如權(quán)利要求1的方法，其特征在于所述材料是有機(jī)的或無(wú)機(jī)的。
5.如權(quán)利要求1的方法，還提供保持件，所述保持件包夾在支持件中的柔性框和可撕開(kāi)沉積掩模，
全文摘要
把沉積掩模(12)安裝在柔性框(14)上的一種方法，該方法應(yīng)用于制作OLED中通過(guò)可撕開(kāi)沉積掩模的材料真空沉積，所述方法包含步驟提供具有制作在其上的可撕開(kāi)沉積掩模的底板(38)；提供具有邊界部分(10)的柔性框，這種邊界部分構(gòu)成框的開(kāi)口，所述框的開(kāi)口對(duì)應(yīng)于可撕開(kāi)沉積掩模的邊界部分；使柔性框的邊界部分與可撕開(kāi)沉積掩模的邊界部分對(duì)準(zhǔn)并然后固定它們，和從底板上取去柔性框及已固定的可撕開(kāi)沉積掩模；和把柔性框與可撕開(kāi)沉積掩模在支持件(26)中安裝起來(lái)，支持件(26)在隨后的材料真空沉積期間保持可撕開(kāi)沉積掩模的平面性。
文檔編號(hào)C23C14/04GK1732282SQ200380108073
公開(kāi)日2006年2月8日 申請(qǐng)日期2003年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月31日
發(fā)明者T·K·克拉克 申請(qǐng)人:伊斯曼柯達(dá)公司