專利名稱：激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激光加工裝置，更為詳細(xì)地來(lái)說(shuō)，涉及利用激光來(lái)加工在透明基板上成膜的功能層的激光加工裝置。
背景技術(shù)：
例如，太陽(yáng)電池基板在玻璃基板等透明基板上具有透明電極層、太陽(yáng)電池層、以及背面電極層等依次層疊起來(lái)的功能層。在這樣的太陽(yáng)電池基板的制造工序中，出于絕緣處理的目的，需要在功能層形成多條分離槽(加工線)。作為這樣的太陽(yáng)電池基板的加工技術(shù)，已知用于以使相鄰的加工線彼此不交叉的方式精度良好地形成各加工線的方法(例如參照專利文獻(xiàn)1)。在這樣的太陽(yáng)電池基板的制造工序中，用于除去功能層的激光加工裝置構(gòu)成為對(duì)功能層直接照射激光束。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2004-170455號(hào)公報(bào)然而，在上述的激光加工裝置中，對(duì)功能層直接照射激光束，為了使預(yù)定加工部分的功能層的從表面到與玻璃基板的界面為止的全部部分在高溫下蒸發(fā)，需要很高的能量， 存在使玻璃基板破損的可能性。由此，必須對(duì)激光加工裝置的激光束的強(qiáng)度等進(jìn)行微調(diào)，存在著無(wú)法高效地從玻璃基板除去功能層的預(yù)定加工部分的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于上述而完成的，其目的在于提供一種激光加工裝置，能夠高效地從透明基板除去形成于透明基板的功能層的預(yù)定加工部分。根據(jù)本發(fā)明，提供一種激光加工裝置，其具備非接觸支承構(gòu)件，所述非接觸支承構(gòu)件非接觸地支承工件，該工件由透明基板和層疊于該透明基板上的功能膜構(gòu)成；激光束照射構(gòu)件，所述激光束照射構(gòu)件向支承于所述非接觸支承構(gòu)件的工件照射激光束，所述激光束照射構(gòu)件具有激光振蕩器和物鏡，所述激光振蕩器振蕩出激光束，所述物鏡使從所述激光振蕩器振蕩出的激光束聚光，使聚光點(diǎn)從所述透明基板側(cè)對(duì)準(zhǔn)所述透明基板與所述功能膜的交界面；加工進(jìn)給構(gòu)件，所述加工進(jìn)給構(gòu)件使工件相對(duì)于所述激光束照射構(gòu)件相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給；以及加工屑吸引構(gòu)件，所述加工屑吸引構(gòu)件對(duì)通過(guò)來(lái)自所述激光束照射構(gòu)件的激光束的照射而加熱所述功能膜時(shí)產(chǎn)生的加工屑進(jìn)行吸引，該加工屑吸引構(gòu)件與所述物鏡對(duì)置地配設(shè)于所述工件的所述功能膜側(cè)。根據(jù)本發(fā)明，能夠從透明基板高效地除去形成于透明基板的功能層的預(yù)定加工部分。


圖1是示出本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的激光加工裝置的立體圖。圖2是圖1的II-II剖視圖。圖3是示出本第一實(shí)施方式涉及的激光加工裝置的架臺(tái)上表面的主要部分俯視
3圖。圖4-1是示出從太陽(yáng)電池基板的玻璃基板側(cè)開(kāi)始激光束的照射的狀態(tài)的剖視說(shuō)明圖。圖4-2是示出太陽(yáng)電池基板的功能層在預(yù)定加工部分處被除去的狀態(tài)的剖視說(shuō)明圖。圖5是示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的激光加工裝置的立體圖。圖6是圖5的VI-VI剖視圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明1 架臺(tái)；2:噴氣板；5:激光束照射構(gòu)件；6:加工屑吸引構(gòu)件；7:加工進(jìn)給構(gòu)件；8:太陽(yáng)電池基板；51 物鏡；53 激光振蕩器。
具體實(shí)施例方式下面，參照

本發(fā)明的各實(shí)施方式涉及的激光加工裝置。不過(guò)要注意的是， 附圖僅是示意性的，部件和基板的厚度以及其它尺寸的比例等與實(shí)際的情況是不同的。此外，附圖彼此之間也包括彼此的尺寸的關(guān)系和比例不同的部分。(第一實(shí)施方式)圖1 圖3示出了本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的激光加工裝置100的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施方式采用太陽(yáng)電池基板8作為工件。太陽(yáng)電池基板8在作為透明基板的玻璃基板81上形成有功能層82。對(duì)將本實(shí)施方式的激光加工裝置100應(yīng)用于沿太陽(yáng)電池基板8的預(yù)定加工線除去功能層82來(lái)形成分離槽的情況進(jìn)行說(shuō)明，然而工件并不限定為太陽(yáng)電池基板。如圖1所示，本實(shí)施方式的激光加工裝置100大致由以下部分構(gòu)成工作臺(tái)狀的架臺(tái)ι ；作為支承構(gòu)件的噴氣板2，所述噴氣板2配置于該架臺(tái)1上，并通過(guò)噴氣來(lái)非接觸地支承太陽(yáng)電池基板8 ；加工屑吸引構(gòu)件安裝框架4 ；激光束照射構(gòu)件5 ；加工屑吸引構(gòu)件6 ；以及加工進(jìn)給構(gòu)件7，所述加工進(jìn)給構(gòu)件7用于在χ方向搬送在噴氣板2上通過(guò)噴氣而浮起的太陽(yáng)電池基板8。如圖1和圖2所示，架臺(tái)1是具有頂板IA的長(zhǎng)方體形狀的大致箱狀體，在頂板IA 的上表面的y方向的兩側(cè)，各有一對(duì)導(dǎo)軌11彼此平行地沿χ方向延伸。在各個(gè)成對(duì)的導(dǎo)軌 11、11之間，分別沿χ方向配置有滾珠絲杠31。在滾珠絲杠31的χ方向的一側(cè)端部，在上表面IA設(shè)有驅(qū)動(dòng)該滾珠絲杠31旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)3。此外，滾珠絲杠31的χ方向的另一側(cè)端部由旋轉(zhuǎn)軸承32支承成能夠自如旋轉(zhuǎn)。另外，旋轉(zhuǎn)軸承32將滾珠絲杠31支承成在χ方向不移位。如圖2所示，在滾珠絲杠31螺合有移動(dòng)塊72，該移動(dòng)塊72隨著滾珠絲杠31的旋轉(zhuǎn)而移動(dòng)。該移動(dòng)塊72被固定于支承臂71。該支承臂71形成為對(duì)非接觸地支承于噴氣板2上的太陽(yáng)電池基板8的y方向的兩側(cè)部進(jìn)行支承。在支承臂71的χ方向的兩端部形成有向y方向內(nèi)側(cè)突出的前后支承部73。如圖3所示，在架臺(tái)1的頂板IA的中央，以遍及y方向的大致整個(gè)寬度范圍的方式形成有狹縫1B，具備物鏡51的激光束照射構(gòu)件5配置于該狹縫IB內(nèi)。此外，如圖1和圖2所示，配置于架臺(tái)1的頂板IA上的噴氣板2具有與被非接觸地支承的太陽(yáng)電池基板8的y方向的寬度尺寸相同程度的寬度尺寸。此外，噴氣板2的χ 方向的長(zhǎng)度在本實(shí)施方式中被設(shè)定為太陽(yáng)電池基板8的χ方向的長(zhǎng)度的兩倍左右的長(zhǎng)度。 如圖1和圖3所示，在該噴氣板2的χ方向的中央部形成有長(zhǎng)度在y方向遍及大致整個(gè)寬度范圍的狹縫22。該狹縫22以與形成于架臺(tái)1的頂板IA的狹縫IB大致重疊的方式配置。 因此，激光束照射構(gòu)件5配置于使形成于架臺(tái)1的頂板IA的狹縫IB和噴氣板2的狹縫22 連通的狹縫空間中。如圖1和圖2所示，噴氣板2內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，在上板2A大致均勻地配置有大量的噴氣孔21。并且，從未圖示的空氣供給裝置向噴氣板2的內(nèi)部空間以預(yù)定的壓力供給空氣，以便從各個(gè)噴氣孔21以預(yù)定的壓力噴出空氣。如圖2所示，激光束照射構(gòu)件5被設(shè)定為在由噴氣板2非接觸地將太陽(yáng)電池基板 8以玻璃基板81朝下的方式進(jìn)行支承時(shí)，通過(guò)物鏡51結(jié)成的圖中單點(diǎn)劃線所示的激光束的聚光點(diǎn)位于玻璃基板81與功能層82的交界面附近。另外，如圖2所示，各激光束照射構(gòu)件 5經(jīng)由光纖52與激光振蕩器53連接。并且，激光束照射構(gòu)件5形成為通過(guò)未圖示的滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠在上述狹縫IB和狹縫22的連通狹縫空間內(nèi)沿y方向移動(dòng)。另外，在本第一實(shí)施方式中，如圖1和圖3所示， 構(gòu)成為具備兩個(gè)激光束照射構(gòu)件5。另外，所述兩個(gè)激光束照射構(gòu)件5可以構(gòu)成為各自由單獨(dú)的未圖示的滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別驅(qū)動(dòng)，也可以構(gòu)成為對(duì)兩個(gè)激光束照射構(gòu)件5在保持預(yù)定的間隔的狀態(tài)下一體地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。如圖1所示，加工屑吸引構(gòu)件安裝框架4由以下部件構(gòu)成一對(duì)支柱部41，所述支柱部41在形成于架臺(tái)1的頂板IA的狹縫IB的側(cè)方從架臺(tái)1的側(cè)部豎立設(shè)置；以及第一梁部42和第二梁部43，所述第一梁部42和第二梁部43跨越所述支柱部41的上部之間地架設(shè)。在所述第一梁部42和第二梁部43之間設(shè)有未圖示的吸引構(gòu)件滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如圖1和圖2所示，加工屑吸引構(gòu)件6具備罩部61，所述罩部61向下開(kāi)口以從下部開(kāi)口進(jìn)行吸引；以及安裝部62，所述安裝部62與該罩部61的上部連通地與罩部61設(shè)置成一體，安裝部62由設(shè)于第一梁部42和第二梁部43之間的未圖示的吸引構(gòu)件滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在y方向進(jìn)行滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)。另外，安裝部62以連通的方式與未圖示的吸引裝置連結(jié)。另外，作為使安裝部62與未圖示的吸引裝置連通的方式，可以采用具有撓性的管等。另外，未圖示的吸引構(gòu)件滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被設(shè)定為使加工屑吸引構(gòu)件6的滑動(dòng)動(dòng)作與激光束照射構(gòu)件5的滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)同步地進(jìn)行。接著，對(duì)上述結(jié)構(gòu)的第一實(shí)施方式涉及的激光加工裝置100的作用、動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，向噴氣板2內(nèi)供給預(yù)定壓力的空氣，從各個(gè)噴氣孔21噴出預(yù)定壓力的空氣。 接著，如圖1所示，以玻璃基板81位于下側(cè)的方式將太陽(yáng)電池基板8配置于設(shè)在y方向的兩側(cè)的一對(duì)加工進(jìn)給構(gòu)件7的支承臂71彼此之間。其結(jié)果是，太陽(yáng)電池基板8借助空氣的壓力而浮起至預(yù)定的高度。在此，在太陽(yáng)電池基板8的下方均勻地配置有大量的噴氣孔21， 因此能夠防止太陽(yáng)電池基板8撓曲或者傾斜。此時(shí)，移動(dòng)的支承臂71的前后支承部73、73與太陽(yáng)電池基板8的兩側(cè)的前后方向 (X方向)的端部抵接。因此，在通過(guò)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)3旋轉(zhuǎn)使支承臂71與移動(dòng)塊72 —起在X 方向移動(dòng)的時(shí)候，太陽(yáng)電池基板8在與支承臂71之間不會(huì)發(fā)生晃動(dòng)。另外，將太陽(yáng)電池基板8配置到支承臂71彼此之間或者取出時(shí)，例如可以采用機(jī)器人或傳送帶方式等的搬送構(gòu)件。并且，在加工太陽(yáng)電池基板8的沿y方向的預(yù)定加工部分(預(yù)定加工線)S的時(shí)候，利用加工進(jìn)給構(gòu)件7進(jìn)行位置控制，以使太陽(yáng)電池基板8的預(yù)定加工部分S位于噴氣板 2的狹縫22的上方。接著，使激光束照射構(gòu)件5和加工屑吸引構(gòu)件6在工作的狀態(tài)下同步地沿y方向移動(dòng)。在加工沿y方向的其他預(yù)定加工部分S的時(shí)候，控制加工進(jìn)給構(gòu)件7以使接下來(lái)加工的預(yù)定加工部分S位于狹縫22的上方即可。此外，在加工太陽(yáng)電池基板8的沿χ方向的預(yù)定加工部分S的時(shí)候，首先，調(diào)整激光束照射構(gòu)件5和加工屑吸引構(gòu)件6的位置至沿χ方向的預(yù)定加工部分S的位置。然后， 通過(guò)使加工進(jìn)給構(gòu)件7以預(yù)定的速度在χ方向移動(dòng)，從而能夠進(jìn)行沿χ方向的預(yù)定加工部分S的加工。通過(guò)這樣進(jìn)行χ方向和y方向的加工，完成太陽(yáng)電池基板8的功能層82的分離加工。在激光加工裝置10的加工結(jié)束后，以與搬入、配置太陽(yáng)電池基板8時(shí)相反的動(dòng)作將太陽(yáng)電池基板8搬出。另外，太陽(yáng)電池基板8的配置位置和搬出位置可以是相同部位，也可以是不同部位。在本實(shí)施方式中，從玻璃基板81側(cè)照射激光束(以單點(diǎn)劃線示出)，并使得激光束在玻璃基板81與功能層82的交界面附近聚光，因此，首先如圖4-1所示，預(yù)定加工部分S 的功能層82的與玻璃基板81相接觸的部分急劇地膨脹氣化，瞬時(shí)形成壓力較高的空洞部 82A。另外，在太陽(yáng)電池基板8中形成的功能層82的厚度例如是2 3μπι左右。接著，不必以激光束將功能層82的預(yù)定加工部分S整體加熱，如圖4-2所示，很快空洞就破裂，加工屑82Β向上方飛濺，形成分離槽。此時(shí)，由于以加工屑吸引構(gòu)件6吸引加工屑82Β，因此加工屑82Β不會(huì)飛濺，能夠高效地推進(jìn)預(yù)定加工部分S的加工。這樣，在本實(shí)施方式中，也可以不用激光束來(lái)加熱功能層82的預(yù)定加工部分S整體，因此能夠進(jìn)行節(jié)省能量的加工，加熱量較少，所以不必?fù)?dān)心會(huì)損傷到玻璃基板81。此外，由于不必使預(yù)定加工部分S的功能層82全部蒸發(fā)，因此能夠進(jìn)行速度快的加工。進(jìn)而，根據(jù)本實(shí)施方式，也可以采用輸出低的激光。以上，對(duì)本實(shí)施方式涉及的激光加工裝置100進(jìn)行了說(shuō)明，在本實(shí)施方式中，能夠?qū)⑻?yáng)電池基板8的功能層82的一部分(預(yù)定加工部分幻高效地從玻璃基板81除去。特別是在本實(shí)施方式中，由于設(shè)有兩對(duì)激光束照射構(gòu)件5和加工屑吸引構(gòu)件6所組成的對(duì)，因此能夠加快對(duì)一枚太陽(yáng)電池基板8的加工處理速度。此外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)從均勻地形成于噴氣板2的大量的噴氣孔21噴氣來(lái)非接觸地支承太陽(yáng)電池基板8，因此能夠防止太陽(yáng)電池基板8發(fā)生撓曲和傾斜。因此，激光束光點(diǎn)的照射位置更準(zhǔn)確，能夠進(jìn)行精度高的加工。(第二實(shí)施方式)
接下來(lái)，采用圖5和圖6說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的激光加工裝置100A。本實(shí)施方式涉及的激光加工裝置100A的特征在于，在噴氣板2的上方具備與噴氣板2相比在χ方向上較短的矩形形狀的上側(cè)噴氣板9。另外，本實(shí)施方式涉及的激光加工裝置100A的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式涉及的激光加工裝置100大致相同，對(duì)相同部分標(biāo)以相同標(biāo)號(hào)并省略其結(jié)構(gòu)的說(shuō)明。如圖6所示，上側(cè)噴氣板9與配置于下側(cè)的噴氣板2的結(jié)構(gòu)大致相同，在上側(cè)噴氣板9的下板9A形成有噴氣孔91。此外，上側(cè)噴氣板9被設(shè)定為與噴氣板2相比在χ方向上較短，如圖5所示，上側(cè)噴氣板9在χ方向的一側(cè)端部對(duì)齊配置。并且，如圖5所示，在本實(shí)施方式中，激光加工裝置100A的搬入太陽(yáng)電池基板8的位置配置成靠近χ方向的另一側(cè)端部，在加工進(jìn)給構(gòu)件7配置于該配置位置的狀態(tài)下，進(jìn)行太陽(yáng)電池基板8的搬入和搬出。另外，如圖6所示，該上側(cè)噴氣板9以與配置于下側(cè)的噴氣板2保持預(yù)定的間隔 (插入太陽(yáng)電池基板8的空間尺寸)地平行的方式安裝在激光加工裝置100A的主體側(cè)。如圖5所示，在如此配置上側(cè)噴氣板9的狀態(tài)下，在上側(cè)噴氣板9的、與配置于噴氣板2側(cè)的激光束照射構(gòu)件5對(duì)應(yīng)的位置處，形成有狹縫92。另外，上側(cè)噴氣板9被設(shè)定為夾著狹縫 92的χ方向兩側(cè)的矩形部分具有大致相同的大小。并且，上側(cè)噴氣板9的夾著狹縫92的兩側(cè)的各個(gè)矩形部分被設(shè)定為俯視觀察完全覆蓋太陽(yáng)電池基板8的大小。在本實(shí)施方式中， 由于需要將加工屑吸引構(gòu)件6A插入配置到上側(cè)噴氣板9的狹縫92，因此罩部61A的直徑尺寸被設(shè)定為比較細(xì)。根據(jù)本實(shí)施方式涉及的激光加工裝置100A，在上述第一實(shí)施方式的效果的基礎(chǔ)上，即使浮在噴氣板2上的太陽(yáng)電池基板8原本存在翹曲，也能夠通過(guò)從上方利用上側(cè)噴氣板9以均勻的壓力的空氣進(jìn)行推壓，來(lái)在矯正了太陽(yáng)電池基板8的翹曲的狀態(tài)下進(jìn)行加工。 由此，能夠使照向太陽(yáng)電池基板8的激光束的聚光點(diǎn)正確地位于玻璃基板81與功能層82 的交界面，能夠切實(shí)地進(jìn)行加工。(其他實(shí)施方式)以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，然而并不通過(guò)對(duì)上述實(shí)施方式的公開(kāi)的一部分的論述和附圖來(lái)限定本發(fā)明。根據(jù)該公開(kāi)，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，各種代替實(shí)施方式、實(shí)施例和應(yīng)用技術(shù)是顯而易見(jiàn)的。例如，在上述第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，應(yīng)用太陽(yáng)電池基板8作為工件來(lái)進(jìn)行了說(shuō)明，然而例如也可以對(duì)在有機(jī)EL顯示面板、無(wú)機(jī)EL顯示面板、等離子顯示器、場(chǎng)致發(fā)光顯示面板等透明基板的表面形成有功能層的各種工件進(jìn)行激光加工。在上述第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，采用了大致箱狀的架臺(tái)1，然而不限定于此，只要是能夠配置非接觸地支承太陽(yáng)電池基板8的支承結(jié)構(gòu)的構(gòu)造即可。在上述第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，采用了噴氣板2，然而并不限定于此，只要是能夠?qū)μ?yáng)電池基板8均勻地噴出空氣的結(jié)構(gòu)即可。在上述第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，采用了光纖52，然而當(dāng)然也可以是通過(guò)反射鏡將激光束傳遞至物鏡51的結(jié)構(gòu)。在上述第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，將加工屑吸引構(gòu)件6設(shè)于加工屑吸引構(gòu)件安裝框架4，然而只要是使加工屑吸引構(gòu)件6沿y方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，當(dāng)然也可以是未設(shè)置加工屑吸引構(gòu)件安裝框架4的結(jié)構(gòu)。
在上述第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，采用了兩對(duì)激光束照射構(gòu)件5和加工屑吸引構(gòu)件6所組成的對(duì)，然而也可以是一對(duì)，也可以是三隊(duì)以上。在上述第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，將激光束照射構(gòu)件5配置在下側(cè)，將加工屑吸引構(gòu)件6配置在上側(cè)，然而與此相反地，將激光束照射構(gòu)件5配置在上側(cè)并將加工屑吸引構(gòu)件6配置在下側(cè)也是本發(fā)明的應(yīng)用范圍。另外，在該情況下，將太陽(yáng)電池基板8以功能層82朝向下方的方式配置來(lái)實(shí)施加工即可。在上述第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，對(duì)于支承臂71，舉出了構(gòu)成為支承太陽(yáng)電池基板的y方向的兩側(cè)部的前后支承部73的例子，然而也可以形成為使用銷(xiāo)等夾持太陽(yáng)電池基板8的結(jié)構(gòu)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性如上所述，本發(fā)明涉及的激光加工裝置在具有透明基板的工件的加工領(lǐng)域是有用的，特別適于太陽(yáng)電池基板的加工領(lǐng)域。
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權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，其特征在于，該激光加工裝置具備非接觸支承構(gòu)件，所述非接觸支承構(gòu)件非接觸地支承工件，該工件由透明基板和層疊于該透明基板上的功能膜構(gòu)成；激光束照射構(gòu)件，所述激光束照射構(gòu)件向支承于所述非接觸支承構(gòu)件的工件照射激光束，所述激光束照射構(gòu)件具有激光振蕩器和物鏡，所述激光振蕩器振蕩出激光束，所述物鏡使從所述激光振蕩器振蕩出的激光束聚光，使聚光點(diǎn)從所述透明基板側(cè)對(duì)準(zhǔn)所述透明基板與所述功能膜的交界面；加工進(jìn)給構(gòu)件，所述加工進(jìn)給構(gòu)件使工件相對(duì)于所述激光束照射構(gòu)件相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給；以及加工屑吸引構(gòu)件，所述加工屑吸引構(gòu)件對(duì)通過(guò)來(lái)自所述激光束照射構(gòu)件的激光束的照射而加熱所述功能膜時(shí)產(chǎn)生的加工屑進(jìn)行吸引，該加工屑吸引構(gòu)件與所述物鏡對(duì)置地配設(shè)于所述工件的所述功能膜側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其中，所述非接觸支承構(gòu)件包括配設(shè)于所述工件的下方的第一噴氣板，該第一噴氣板具有多個(gè)噴氣孔，該第一噴氣板通過(guò)從所述噴氣孔噴出的空氣來(lái)支承所述工件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工裝置，其中，所述非接觸支承構(gòu)件還包括配設(shè)于所述工件的上方的第二噴氣板，該第二噴氣板具有朝向所述工件開(kāi)口的多個(gè)噴氣孔。
全文摘要
本發(fā)明提供一種激光加工裝置，能夠高效地從透明基板除去形成于透明基板的功能層的預(yù)定加工部分。該激光加工裝置具備非接觸地支承太陽(yáng)電池基板(8)的噴氣板(2)，該太陽(yáng)電池基板(8)具有層疊于玻璃基板(81)的功能層(82)；激光束照射構(gòu)件(5)；振蕩出激光束的激光振蕩器(53)；以及物鏡(51)，物鏡(51)使振蕩出的激光束以聚光點(diǎn)從透明基板(81)側(cè)對(duì)準(zhǔn)透明基板(81)與功能層(82)的交界面的方式聚光，該激光加工裝置使太陽(yáng)電池基板(8)相對(duì)于激光束照射構(gòu)件(5)相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給。
文檔編號(hào)B23K26/42GK102398113SQ20111026814
公開(kāi)日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2011年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月13日
發(fā)明者安田祐樹(shù), 富樫謙, 山脇陽(yáng)平 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪思科