專利名稱:一種管路拆卸夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及管路拆卸領(lǐng)域,特別是涉及一種采用了凸輪結(jié)構(gòu)的管路拆卸夾具。
背景技術(shù):
目前,各種尺寸各種類型的管路在工業(yè)、民用、科學(xué)研究領(lǐng)域都有著廣泛應(yīng)用。例 如半導(dǎo)體制程設(shè)備、化工廠機(jī)器設(shè)備等,工業(yè)上最典型的應(yīng)用是在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造中各種 高、低真空管路的使用。通常所知,在半導(dǎo)體制造的各個(gè)流程中對設(shè)備作業(yè)環(huán)境的要求很 高,為保證半導(dǎo)體產(chǎn)品性能完全符合設(shè)計(jì)要求以及較高的良品率,所以制程設(shè)備在其內(nèi)部 作業(yè)空間內(nèi)大都形成真空環(huán)境。而制程腔體與真空泵之間必然由真空管路連接,由于各種 制程氣體的使用管路中往往附著著各種不同的附著物,而真空管路一般需要定期更換以便 清潔,如何拆卸真空管路而不引起安全事故便是一個(gè)需要解決的問題。真空管路的連接一般由兩段管路連接而成,中間加以密封圈,再以管路夾鎖緊。在 更換管路進(jìn)行管路拆卸時(shí),如果設(shè)備使用的是可燃易燃制程氣體那就存在很大的安全隱 患,在拆卸這些危險(xiǎn)管路時(shí)如果管路有摩擦或碰撞則極易引起火災(zāi),如果密封圈不小心掉 落地上碰撞也極易引起火災(zāi),火災(zāi)對于一個(gè)半導(dǎo)體FAB(晶圓工廠)來說其危害可能是毀滅 性的,因此,有必要改善拆卸管路的作業(yè)手法,并設(shè)計(jì)合適的工具來進(jìn)行管路拆卸作業(yè)。
發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷和不足,本發(fā)明的目的是提出一種管路拆卸夾具,能 避免管路拆卸時(shí)的徑向摩擦碰撞,并還能避免密封圈掉落而引起的事故。為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明提出了一種管路拆卸夾具,包括底座;夾爪,分別位于所述底座的左右兩側(cè),用于夾緊所述管路接口處兩端的管路,并且 所述夾爪在所述底座上是可軸向移動(dòng)的;凸輪,位于所述底座中央腔體中,且所述凸輪與凸輪手柄相連,凸輪手柄的轉(zhuǎn)動(dòng)帶 動(dòng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng);其中,所述凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)使左右兩側(cè)的夾爪之間的間距變化,當(dāng)凸輪位于第一位置 時(shí),左右兩側(cè)的夾爪之間的間距最小,當(dāng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)至第二位置時(shí),左右夾爪之間的間距最 大。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,還包括承載盤,所述承載盤位于具有所述凸輪的所述 腔體的正上方,且直接與所述底座連接。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述承載盤的內(nèi)部放置有蘸水海綿。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,還包括端止板,位于所述底座的左右最外側(cè),用于阻擋 所述夾爪。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,在所述夾爪與所述端止板之間具有彈簧槽,所述彈簧 槽中安裝有彈簧,當(dāng)所述凸輪向第一位置轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述彈簧釋放,將夾爪向所述凸輪方向推進(jìn);當(dāng)所述凸輪向第二位置轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),夾爪向底座外側(cè)移動(dòng),壓縮所述彈簧。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述夾爪由用于夾緊管路的第一部分和用于在所述底 座上移動(dòng)的第二部分。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述第一部分的內(nèi)側(cè)具有可以徑向移動(dòng)的夾塊,以使 所述夾爪適于夾緊各種管徑的管路。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述夾塊的徑向移動(dòng)由徑向安裝在所述夾塊中的調(diào)整 螺栓實(shí)現(xiàn)。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述夾塊的數(shù)量為3個(gè),并在所述第一部分的內(nèi)側(cè)成 120度夾角分布。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選,所述夾爪的第二部分連接有推桿,所述凸輪與所述推 桿相互作用,所述推桿帶動(dòng)所述夾爪在所述底座上軸向移動(dòng)。使用本發(fā)明提出的管路拆卸夾具,拆卸易燃管路時(shí)先將夾具固定于管路接口的左 右兩側(cè),然后拆下管路夾,最后在凸輪的旋轉(zhuǎn)作用下使管路沿軸向分離,從而避免了管路徑 向的摩擦和碰撞,且如果是水平管路,管路密封環(huán)會(huì)掉落于承載盤避免了密封環(huán)掉落引起 的碰撞。總之使用該夾具可以減少損壞管路和引起安全事故的風(fēng)險(xiǎn)。下面結(jié)合附圖,對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。對于所屬技術(shù)領(lǐng) 域的技術(shù)人員而言,從對本發(fā)明的詳細(xì)說明中,本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將顯 而易見。
圖1為本發(fā)明提出的管路拆卸夾具的底座的示意圖2為圖1沿A-A的剖面圖3為圖1沿B-B的剖面圖4為本發(fā)明提出的管路拆卸夾具的夾爪的示意圖5為圖4沿C-C的剖面圖6為圖1沿D-D的剖面圖7為使用本發(fā)明提出的管路拆卸夾具的安裝示意圖8為使用本發(fā)明提出的管路拆卸夾具分離管路的示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明提出的管路拆卸夾具如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6所示,包括底座10 ;分別位于底座10的左右兩側(cè)的左夾爪1和右夾爪2,用于夾緊所述管路接口處兩 端的管路,并且夾爪1、2在所述底座上是可軸向移動(dòng)的;位于所述底座中央腔體中的凸輪4,且凸輪4與凸輪手柄5相連,凸輪手柄5的轉(zhuǎn) 動(dòng)帶動(dòng)凸輪4轉(zhuǎn)動(dòng);其中,凸輪4與夾爪位于底座上的部分至少是相接觸的,而且,凸輪4為繞固定軸 線轉(zhuǎn)動(dòng)且有變化直徑的盤形構(gòu)件,因此,凸輪4的轉(zhuǎn)動(dòng)使左夾爪1和右夾爪2之間的間距變 化,當(dāng)凸輪位于第一位置時(shí),左夾爪1和右夾爪2之間的間距最小,當(dāng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)至第二位置
4時(shí),左夾爪1和右夾爪2之間的間距最大。在上述實(shí)施例中,還可以包括承載盤3,承載盤3位于具有凸輪4的所述腔體的正 上方,且直接與所述底座連接,即凸輪4的轉(zhuǎn)動(dòng)不會(huì)對承載盤有所影響。使用承載盤3是為 了在拆卸管路時(shí),連接處的管路分離時(shí),可以接住管路連接處的密封圈。因?yàn)閷τ谑褂每扇?易燃?xì)怏w的設(shè)備,密封圈的掉落也極易引起火災(zāi)。為了更加安全和保險(xiǎn),可以在承載盤3的內(nèi)部放置防止起火的材料,例如蘸水海綿等。該管路拆卸夾具還可以包括端止板,包括左端止板6和右端止板7,分別位于所述 底座的左右最外側(cè),用于阻擋夾爪1、2向外側(cè)的過度移動(dòng)。在左夾爪1與左端止板6,右夾爪2與右端止板7之間還具有彈簧槽8,所述彈簧 槽8中安裝有彈簧9,如圖1所示,可以在彈簧槽8中安裝兩個(gè)彈簧9。當(dāng)凸輪4向第一位 置轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述彈簧9逐漸釋放,將夾爪1、2向凸輪4的方向推進(jìn);當(dāng)凸輪4向第二位置轉(zhuǎn) 動(dòng)時(shí),夾爪1、2向外側(cè)移動(dòng),壓縮彈簧9。夾爪1、2可以由用于夾緊管路的第一部分11和用于在底座10上移動(dòng)的第二部分 12構(gòu)成。如圖4所示,該第一部分11可以為圓環(huán)形。第一部分11的內(nèi)側(cè)具有可以徑向移動(dòng)的夾塊13,以使夾爪1、2可以適于夾緊各種
管徑的管路。夾塊13的徑向移動(dòng)是由徑向安裝在夾塊13中的調(diào)整螺栓14實(shí)現(xiàn)的。如圖4所示,夾塊I3的數(shù)量為3個(gè),并在所述第一部分11的內(nèi)側(cè)成120度夾角分 布。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,第一部11的形狀可以為適于夾緊管路的任何形狀,且其內(nèi) 側(cè)的夾塊的形狀、個(gè)數(shù)也可以有所變化,以實(shí)現(xiàn)能將管路夾緊的目的即可。夾爪的第二部分12還可以連接有推桿15,該推桿可以是與夾爪一體成形的。這 樣,凸輪4與推桿15相互作用,推桿15就帶到夾爪1、2在底座上軸向移動(dòng),以實(shí)現(xiàn)凸輪4 的轉(zhuǎn)動(dòng)改變左右夾爪1、2之間的間距。如圖5、6所示,該推桿15與夾爪可以呈L型,以更好地根據(jù)凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)來移動(dòng)夾 爪。如圖7所示,拆卸管路前,先將夾具左夾爪1和右夾爪2分別夾緊管路接口的左右 兩側(cè),拆下管路接口夾,此時(shí)逆時(shí)針或順時(shí)針旋轉(zhuǎn)凸輪手柄,凸輪手柄的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)凸輪4的 旋轉(zhuǎn),凸輪4旋轉(zhuǎn)時(shí)分別推動(dòng)左右夾爪的推桿15,使左右夾爪沿著管路軸線方向分別向左 右移動(dòng),如圖8所示,當(dāng)凸輪4旋轉(zhuǎn)90度時(shí),此時(shí)左右夾爪的開口行程達(dá)到最大,即管路接 口分離量達(dá)到最大,在這種情況下將兩段管路分別用管路蓋板蓋好,一方面避免管路內(nèi)部 附著物直接長時(shí)間暴露在大氣環(huán)境中,另一方面管路在搬運(yùn)或運(yùn)輸途中可避免管路接口因 碰撞而造成的損壞。如果此過程中管路密封圈掉落則掉落于放有蘸水海綿的承載盤3中, 避免事故的發(fā)生。蓋好管路蓋板后,旋轉(zhuǎn)凸輪手柄至初始位置,拆卸左右夾爪。按照此方法 再進(jìn)行下一段管路的拆卸作業(yè)。本發(fā)明采用凸輪機(jī)構(gòu)的管路拆卸夾具推廣應(yīng)用后,如圖7所示,拆卸易燃管路時(shí) 先將夾具固定于管路接口的左右兩側(cè),然后拆下管路夾,最后在凸輪的旋轉(zhuǎn)作用下使管路 沿軸向分離,如圖8所示,從而避免了管路徑向的摩擦和碰撞,且如果是水平管路,管路密 封環(huán)會(huì)掉落于承載盤避免了密封環(huán)掉落引起的碰撞。總之應(yīng)用該夾具可以減少損壞管路和引起安全事故的風(fēng)險(xiǎn),為實(shí)際工作中減少事故提供了一種行之有效并具有深遠(yuǎn)意義的方案。 雖然,本發(fā)明已通過以上實(shí)施例及其附圖而清楚說明,然而在不背離本發(fā)明精神 及其實(shí)質(zhì)的情況下,所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的變化和修 正,但這些相應(yīng)的變化和修正都應(yīng)屬于本發(fā)明的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種管路拆卸夾具,其特征在于,包括底座;夾爪,分別位于所述底座的左右兩側(cè),用于夾緊所述管路接口處兩端的管路,并且所述 夾爪在所述底座上是可軸向移動(dòng)的;凸輪,位于所述底座中央腔體中,且所述凸輪與凸輪手柄相連,凸輪手柄的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)凸 輪轉(zhuǎn)動(dòng);其中,所述凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)使左右兩側(cè)的夾爪之間的間距變化,當(dāng)凸輪位于第一位置時(shí),左 右兩側(cè)的夾爪之間的間距最小,當(dāng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)至第二位置時(shí),左右夾爪之間的間距最大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路拆卸夾具,其特征在于,還包括承載盤,所述承載盤位于 具有所述凸輪的所述腔體的正上方,且直接與所述底座連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的管路拆卸夾具,其特征在于,所述承載盤的內(nèi)部放置有蘸水 海綿。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任意一項(xiàng)所述的管路拆卸夾具,其特征在于,還包括端止板,位 于所述底座的左右最外側(cè),用于阻擋所述夾爪。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的管路拆卸夾具,其特征在于,在所述夾爪與所述端止板之間 具有彈簧槽,所述彈簧槽中安裝有彈簧,當(dāng)所述凸輪向第一位置轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述彈簧釋放,將 夾爪向所述凸輪方向推進(jìn);當(dāng)所述凸輪向第二位置轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),夾爪向底座外側(cè)移動(dòng),壓縮所述 彈簧。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路拆卸夾具,其特征在于,所述夾爪由用于夾緊管路的第 一部分和用于在所述底座上移動(dòng)的第二部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的管路拆卸夾具,其特征在于,所述第一部分的內(nèi)側(cè)具有可以 徑向移動(dòng)的夾塊,以使所述夾爪適于夾緊各種管徑的管路。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的管路拆卸夾具,其特征在于,所述夾塊的徑向移動(dòng)由徑向安 裝在所述夾塊中的調(diào)整螺栓實(shí)現(xiàn)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的管路拆卸夾具,其特征在于,所述夾塊的數(shù)量為3個(gè),并在所 述第一部分的內(nèi)側(cè)成120度夾角分布。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的管路拆卸夾具,其特征在于,所述夾爪的第二部分連接有推 桿,所述凸輪與所述推桿相互作用,所述推桿帶動(dòng)所述夾爪在所述底座上軸向移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種管路拆卸夾具,包括底座;夾爪,分別位于所述底座的左右兩側(cè),用于夾緊所述管路接口處兩端的管路,并且所述夾爪在所述底座上是可軸向移動(dòng)的;凸輪,位于所述底座中央腔體中,且所述凸輪與凸輪手柄相連,凸輪手柄的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng);其中,所述凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)使左右兩側(cè)的夾爪之間的間距變化,當(dāng)凸輪位于第一位置時(shí),左右兩側(cè)的夾爪之間的間距最小,當(dāng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)至第二位置時(shí),左右夾爪之間的間距最大。使用本發(fā)明提出的管路拆卸夾具,能避免管路徑向摩擦和碰撞,和密封環(huán)掉落引起的碰撞,可以減少損壞管路和引起安全事故的風(fēng)險(xiǎn)。
文檔編號(hào)B23P19/04GK102101237SQ200910252770
公開日2011年6月22日 申請日期2009年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月16日
發(fā)明者何偉, 孫倫鄭, 徐忠輝, 金明, 黃會(huì)剛 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司