專利名稱：用于電化學(xué)加工的電極工具和用于制造該工具的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于電化學(xué)加工的電極工具，并涉及一種制造該電極工具的方法。本發(fā)明尤其涉及一種能長時間高精度地對流體軸承中的動態(tài)壓力產(chǎn)生槽進行電化學(xué)加工的電極工具。
背景技術(shù)：
動力槽(動態(tài)壓力產(chǎn)生槽，dynamic groove)加工設(shè)備用于在工件-例如流體軸承-的表面上形成動力槽。動力槽在位于軸承和軸之間的支承流體上產(chǎn)生動態(tài)壓力，以支承軸承中的軸。如圖1所示，用于動力槽加工的傳統(tǒng)電極工具包括電極基體1和通過公知的防鍍(resist)方法在電極基體1的表面上形成的不導(dǎo)電絕緣膜2。在這種電極工具中，導(dǎo)電圖案3越細微，電極基體1和絕緣膜2之間的附著強度就越弱，絕緣膜2脫落的發(fā)生率就越高。
所形成的凹槽對應(yīng)于電極工具上的導(dǎo)電區(qū)域的暴露圖案。另一種已知的電極工具具有上述暴露圖案以外區(qū)域被絕緣樹脂層覆蓋的基體。該絕緣樹脂層是通過將樹脂微粒附著和烘焙到基體上而形成。此外，另一種已知的動力槽加工設(shè)備包括電極工具，在該電極工具上，在待加工的動力槽圖案內(nèi)預(yù)先形成有孔的樹脂薄片固定在電極基體表面上。
此外，在用于細微表面形狀的電化學(xué)加工的電極工具中，由于加工圖案以外區(qū)域的絕緣膜很薄，因此不導(dǎo)電絕緣樹脂附著到基體的強度通常很弱。結(jié)果，絕緣膜由于在電化學(xué)加工過程中使用的電解質(zhì)溶液的影響會脫落。這是因為，在很多情況下，用作絕緣層膜的絕緣樹脂被紫外線、熱等硬化，并且該絕緣樹脂與電極工具中所用的導(dǎo)電基體的附著力通常很低。
另外，由于這種細微表面形狀的電化學(xué)加工通過設(shè)置在電極工具和工件之間的狹窄加工間隙進行，因此絕緣膜受到由于電解質(zhì)溶液流動而產(chǎn)生的相當(dāng)大的剪切力。當(dāng)絕緣膜發(fā)生脫落時，就不可能將加工圖案精確地傳遞到工件上。此外，電極工具和工件之間的加工間隙會被絕緣膜脫落的碎片阻塞。這種阻塞部分地阻隔了電解質(zhì)溶液的流動，造成工件的加工形狀缺陷，因此降低了將該工件用作部件的最終產(chǎn)品-例如動態(tài)軸承(dynamicbearing)等-的產(chǎn)量。而且，上述阻塞會導(dǎo)致?lián)p壞電極工具和工件的電短路。
為了避免上述阻塞問題，已知在另一種已知的用于電化學(xué)加工的電極工具中，電極包括在導(dǎo)電基體表面上形成特殊圖案的導(dǎo)電區(qū)域。電極和表面上將形成有凹陷的工件面對面地浸在電解質(zhì)溶液中。工件和電極分別連接到加工電源的正極和負極，電流通過它們以在對應(yīng)于電極導(dǎo)電區(qū)域圖案的工件表面上形成凹陷。電沉積涂層膜形成為在上述導(dǎo)電區(qū)域圖案以外的電極表面區(qū)域上的絕緣膜。
如圖2所示，另一種已知的電極工具的導(dǎo)電圖案具有由凸臺3限定的電極基體表面。凸臺3通過對電極基體1的表面進行凹槽加工并然后用絕緣樹脂模制基體1而形成。對電極基體1的表面進行機械拋光，以暴露出導(dǎo)電圖案的凸臺。從而，絕緣膜2就被充填在表面基本平坦的基體1中的被切除的凹陷中。
然而，雖然在這種電極工具結(jié)構(gòu)中對電解質(zhì)溶液的流動所帶來的力的影響不敏感，但是電解質(zhì)溶液逐漸地穿透絕緣膜2和導(dǎo)電基體1之間的分界面，導(dǎo)致絕緣膜2最終脫落。
在第三種已知的用于電化學(xué)加工的電極工具中，在面向工件但不對應(yīng)于動力槽圖案的電極工具基體部分形成有凹陷。在這些凹陷中設(shè)置不導(dǎo)電絕緣膜，未被絕緣膜覆蓋的基體部分形成暴露的電極圖案。電極圖案表面形成為與不導(dǎo)電絕緣膜表面齊平。因此，即使為了提高傳遞精度而使加工間隙變窄，也將沒有由加工產(chǎn)生的電解副產(chǎn)品或熱電解質(zhì)溶液的滯留，因此可以維持所期望的電解條件。此外，也不會有因電解副產(chǎn)品與不導(dǎo)電絕緣膜2碰撞而脫落的不導(dǎo)電絕緣膜碎片的阻塞，并且防止了電解質(zhì)溶液的流量下降。
當(dāng)電極工具的上述表面被做成齊平的時，消除了凹坑和凸起，因此在更大程度上防止了電解質(zhì)溶液流量下降。當(dāng)防止了流量下降時，也防止了電流密度下降，從而降低了工件加工表面的表面粗糙度。此外，防止電流密度下降提高了電化學(xué)加工速度。
上述電極工具可以由具有導(dǎo)電圖案的電極基體表面形成，所述導(dǎo)電圖案是由通過凹槽加工形成的凸臺限定的。用緣樹脂模制電極工具。然后，對絕緣樹脂表面進行機械拋光，以暴露出導(dǎo)電圖案的凸臺。該電極工具可以對工件進行精確的表面加工并能長時間使用。
然而，已經(jīng)確定，當(dāng)使用絕緣樹脂模制上述由凸臺限定的導(dǎo)電圖案表面并對樹脂表面進行機械拋光時，凸臺會沿凹槽下降的方向向外伸入當(dāng)拋光電極基體表面的凸臺時應(yīng)該為槽的區(qū)域。這通常導(dǎo)致嚴重的毛刺，因為與絕緣樹脂電極相比基體具有金屬特征的延展性。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于已知電極工具的上述限制，本發(fā)明的電極工具包括在由凸臺限定的導(dǎo)電圖案中精確形成的凹槽，并且凸臺不伸入凹槽下降的方向。更具體地，本發(fā)明的電極工具包括通過對電極基體的表面進行凹槽加工形成的凸臺和凹槽。由凸臺限定的導(dǎo)電圖案的表面形成為低于絕緣樹脂表面或換句話說從絕緣樹脂表面凹進，該絕緣樹脂被一體地模制在導(dǎo)體圖案上并充填在凹槽中。具體地，兩個表面之間的高度差在1μm和5μm之間。
通過使電極工具的導(dǎo)電圖案表面低于絕緣樹脂表面1至5μm，可以防止凸臺產(chǎn)生毛刺。結(jié)果，甚至對于細微的導(dǎo)電圖案，也可獲得能夠制造200,000件或更多工件并且導(dǎo)電圖案具有良好的再現(xiàn)性的電極工具。
此外，由于可以防止電極基體和樹脂產(chǎn)生毛刺，因此可以精確地形成細微的凸臺圖案。另外，通過選擇基體和樹脂的適當(dāng)組合，可以沒有毛刺地制造用于電化學(xué)加工的電極工具。
本發(fā)明中所使用的絕緣樹脂可以是任何類型的，只要它對電解質(zhì)溶液-例如典型的是NaNO3(硝酸鈉)-具有高的抗腐蝕能力，并對電極基體具有良好的附著性。該絕緣樹脂可以是從環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂或聚酰亞胺樹脂中選出的材料。另外，本發(fā)明的電極工具的電極基體優(yōu)選包括銅合金和鐵合金，銅合金包括黃銅，鐵合金包括奧氏體不銹鋼。
此外，本發(fā)明的另一方面涉及一種制造用于電化學(xué)加工的電極工具的方法，該方法包括形成由凸臺限定的導(dǎo)電圖案，即，通過對電極基體表面進行凹槽加工，用絕緣樹脂模制電極基體表面，對絕緣樹脂的表面進行機械拋光以暴露出導(dǎo)電圖案的凸臺，以及對導(dǎo)電圖案的凸臺進行化學(xué)溶解。
而且，在本發(fā)明中，當(dāng)通過對下降到刀凹槽內(nèi)的凸臺的邊緣進行倒圓來形成由凸臺限定的導(dǎo)電圖案時，可以防止下降到凹槽中的凸臺的邊緣在拋光過程中延展，從而防止產(chǎn)生毛刺。
電化學(xué)加工、銑削或其它機械加工、激光加工、電火花加工、噴丸處理等都可用于對電極基體進行凹槽加工并形成凹陷。
此外，可以通過蝕刻、通過使用酸或堿溶解電極基體或通過電化學(xué)加工來化學(xué)溶解導(dǎo)電圖案的凸臺。


附圖和下文的詳細說明包含在說明書中并形成說明書的一部分，用以進一步說明根據(jù)本發(fā)明的各種實施例并解釋本發(fā)明的各種原理和優(yōu)點，在附圖中，相同的參考數(shù)字在所有附圖中表示相同的元件或功能相似的元件。
圖1示出用于電化學(xué)加工的現(xiàn)有技術(shù)電極工具的橫截面；圖2示出用于電化學(xué)加工的另一種現(xiàn)有技術(shù)電極工具的橫截面；圖3A-圖3E示出形成根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的電極工具的工藝步驟；圖4A-圖4E示出形成根據(jù)本發(fā)明的第二和第三實施例的電極工具的工藝步驟；圖5是在根據(jù)本發(fā)明的電極工具上形成的典型導(dǎo)電圖案的示意圖；圖6是使用根據(jù)本發(fā)明的電極工具的電化學(xué)加工裝置的實施例的簡圖；圖7是使用圖6的電化學(xué)加工裝置在工件上形成的典型導(dǎo)電圖案的照片；圖8A是由光波干涉測量系統(tǒng)生成的三維圖片，該圖片示出由圖6的電化學(xué)加工裝置使用傳統(tǒng)電極工具在工件上形成的導(dǎo)電圖案；圖8B是由光波干涉測量系統(tǒng)生成的圖片，該圖片示出由圖6的電化學(xué)加工裝置使用根據(jù)本發(fā)明的電極工具在工件上形成的導(dǎo)電圖案。
具體實施例方式
下文將根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明。省略了對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員理解本發(fā)明不必要的對部件的圖示和說明。
參考圖3A-圖3E，下文將說明形成根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的用于電化學(xué)加工的電極工具的工藝。
在圖3A中，優(yōu)選由銅合金黃銅制成的電極基體1包括用作加工電極的表面1a。清洗加工電極表面1a，然后，如圖3B中所示，通過凹槽加工在表面1a上銑出凸臺3。凸臺3共同形成導(dǎo)電圖案，例如圖5中所示的導(dǎo)電圖案14。導(dǎo)電圖案14形成后，去除加工電極表面的油污并清洗加工電極表面。
然后，如圖3C中所示，用環(huán)氧樹脂模制加工電極表面1a的上部，以形成堅硬的絕緣樹脂層4。用拋光機拋光該堅硬的絕緣樹脂層4以使之逐漸變薄，直到如圖3D中所示暴露出導(dǎo)電圖案14，拋光后絕緣樹脂2仍保留于在凸臺3之間限定的凹槽3a中。在凸臺3伸入凹槽3a的位置處，在凸臺3的邊緣5處形成毛刺。
然后，將電極工具浸在60％的硝酸溶液中3秒鐘并用清水清洗。導(dǎo)電圖案14被蝕刻，而且毛刺被完全去除。如圖3E中所示，形成最終的電極工具，導(dǎo)電圖案14的表面形成為低于堅硬的絕緣樹脂層4的表面，或者說從絕緣樹脂層4的表面凹進。導(dǎo)電圖案14的表面和絕緣樹脂2的表面之間的高度差約為2μm。
根據(jù)本發(fā)明第二實施例的用于電化學(xué)加工的電極工具可通過圖4A-圖4E所示的工藝制造。
在第二實施例中，用銅合金黃銅作為電極基體1。如圖4A中所示，清洗將用作加工電極的表面1a。然后，如圖4B中所示，通過凹槽加工在電極基體的表面1a上銑出凸臺3，以形成圖5中所示的導(dǎo)電圖案14。導(dǎo)電圖案14形成后，對伸入相鄰凹槽3a內(nèi)的凸臺3的邊緣進行倒圓，并清洗加工電極的表面1a。
如圖4C中所示，用環(huán)氧樹脂模制加工電極的表面1a，以在加工電極上形成堅硬的絕緣樹脂層4。然后通過拋光去掉堅硬的絕緣樹脂層4，拋光后絕緣樹脂2仍保留在凹槽中。堅硬的絕緣樹脂層4通過拋光加工而逐漸變薄，直到如圖4D中所示暴露出導(dǎo)電圖案14。在伸入凹槽3a的凸臺3的邊緣5處幾乎沒有毛刺。
然后，將電極工具浸在60％的硝酸溶液中2秒鐘并用清水清洗。導(dǎo)電圖案3被蝕刻，而且毛刺被完全去除。參考圖4E，最終的電極工具具有導(dǎo)電圖案表面，所述導(dǎo)電圖案表面形成為低于堅硬的絕緣樹脂2的表面或者說從絕緣樹脂2的表面凹進，導(dǎo)電圖案表面和絕緣樹脂2的表面之間的高度差約為3μm。
根據(jù)本發(fā)明第三實施例的用于電化學(xué)加工的電極工具也可通過圖4A-圖4E中所示的工藝制造。
具體地，用奧氏體不銹鋼SUS304作為電極基體1。清洗將用作加工電極的表面。如圖4B中所示，通過激光加工對加工電極的表面進行凹槽加工，以形成凸臺3。凸臺3共同形成例如圖5中所示的電極導(dǎo)電圖案14。
導(dǎo)電圖案14形成后，對伸入凹槽3a內(nèi)的凸臺3的邊緣進行倒圓，去除加工表面的油污并清洗加工表面。如圖4C中所示，用環(huán)氧樹脂模制加工電極的表面1a，以形成堅硬的絕緣樹脂層4。拋光該堅硬的絕緣樹脂層4并使之逐漸變薄，直到如圖4D中所示暴露出導(dǎo)電圖案14。在伸入凹槽3a的凸臺3的邊緣5處幾乎沒有毛刺。
然后，將電極工具浸在60％的硝酸溶液中3秒鐘并用清水清洗。導(dǎo)電圖案14被蝕刻并且存在的任何毛刺都被完全去除。最終的電極工具包括導(dǎo)電圖案14，所述導(dǎo)電圖案的表面形成為低于絕緣樹脂2的表面，導(dǎo)電圖案表面和絕緣樹脂2的表面之間的高度差約為1μm。
用于電化學(xué)加工的電極工具也可以基于表1中所示的條件通過與上述第一、第二和第三實施例類似的方式制造。(表1)示出基于第四至第八實施例的實際使用的試驗結(jié)果、現(xiàn)有技術(shù)電極工具的對比試驗結(jié)果和相應(yīng)的制造條件?，F(xiàn)有技術(shù)的例子的電極工具是根據(jù)上述第一實施例制造的，但省略了蝕刻步驟。
(表1)

在表1中，術(shù)語“最小寬度”是指凹槽最窄部分處(例如，圖5所示的典型電極導(dǎo)電圖案中的圖案中心附近)的電極導(dǎo)電圖案能夠被精確復(fù)制的最小寬度。在本發(fā)明中，該最小寬度約為20μm±5μm。并且，術(shù)語“壽命”是指用于電化學(xué)加工的單個電極工具在保持圖案再現(xiàn)性的情況下所能制造的工件數(shù)量。
圖6示出使用在本發(fā)明的上述任一實施例中所討論的類型的電極工具在工件上形成導(dǎo)電圖案的電化學(xué)加工裝置。
包括由電極基體1和絕緣樹脂2形成的導(dǎo)電圖案14的電極工具和工件6隔著一間隙(約為20至100μm)相互對置，電解質(zhì)溶液8穿過所述間隙循環(huán)。直流脈沖電源13的負極端子連接到電極工具上，正極端子連接到工件6上。
包含重量百分比為15的NaNO3(硝酸鈉)的特定量電解質(zhì)溶液8存儲在電解質(zhì)溶液存儲槽15中。向電極工具的殼體16內(nèi)供給電解質(zhì)溶液8的電解質(zhì)溶液供給管11和從電極工具的殼體16排出電解質(zhì)溶液并使之返回到電解質(zhì)溶液存儲槽15的電解質(zhì)溶液排出管12通過泵9和過濾器10連接到存儲槽15。因此，電解質(zhì)溶液8穿過殼體16循環(huán)，同時被過濾器9過濾。
優(yōu)選地，電化學(xué)加工裝置中的電解質(zhì)溶液8的流速設(shè)定在8至12m/s。來自電壓為8至16V的直流脈沖電源13的電流供給到電極工具1至5秒。
只有與電極工具的導(dǎo)電圖案凸臺3相對應(yīng)的工件6的表面區(qū)域通過電解反應(yīng)被除去并變?yōu)榘疾刍虬枷?，從而凹槽或凹陷7形成為電極工具的導(dǎo)電圖案14的形狀。圖7示出具有使用上述電化學(xué)加工裝置在工件6的表面上形成的凹槽7的典型導(dǎo)電圖案18。
圖8A是由光波干涉測量系統(tǒng)生成的三維圖片，該圖片更詳細地示出由圖6的電化學(xué)加工裝置使用如上所述的傳統(tǒng)電極工具在工件表面上形成的在1627μm×1237μm的區(qū)域內(nèi)的導(dǎo)電圖案20。圖8B是由光波干涉測量系統(tǒng)生成的圖片，該圖片更詳細地示出由圖6的電化學(xué)加工裝置使用本發(fā)明的電極工具在工件表面上形成的在1627μm×1237μm的區(qū)域內(nèi)的導(dǎo)電圖案21。如所示出的，導(dǎo)電圖案20表現(xiàn)出變形，例如在22處、在凹槽的尖端或末端部分的變形，所述變形造成凹槽分隔部斷口(break)，例如在23處示出凹槽分隔部斷口。另一方面，導(dǎo)電圖案21沒有這種變形或凹槽分隔部斷口，因此根據(jù)本發(fā)明的電極工具能夠形成具有更高精度且沒有缺陷的動力槽，從而能夠制造出例如與具有使用傳統(tǒng)電極工具形成的動力槽的流體軸承相比性能更好的流體軸承。
在形成根據(jù)本發(fā)明的電極工具時在加工電極表面上不產(chǎn)生毛刺，從而可以精確地形成不受毛刺影響的凸臺導(dǎo)電圖案。此外，上述用于制造本發(fā)明的電極工具的方法可以防止產(chǎn)生毛刺，甚至在使用易于起毛刺的電極基體和樹脂時。這使得可以選擇電極基體和樹脂的組合以制造具有期望特性的電極工具，這反過來有助于開發(fā)更小的流體軸承。
本公開旨在解釋如何制造和使用根據(jù)本發(fā)明的各種實施例，并非意圖窮舉或?qū)⒈景l(fā)明限制為所公開的具體形式。可以根據(jù)上文的教導(dǎo)進行修改和變型。選擇并描述實施例旨在最清楚地說明本發(fā)明的原理及其實際應(yīng)用，并使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠在各種適合于特定用途并落在由所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍內(nèi)的實施例和變型中應(yīng)用本發(fā)明，還可以在根據(jù)所附權(quán)利要求被清楚地、合法地并公正地授權(quán)的范圍內(nèi)解釋時的所有等同物中使用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種用于電化學(xué)加工的電極工具，包括包含加工電極表面的電極基體；由形成在加工電極表面上的多個凸臺和凹槽限定的導(dǎo)電圖案；與電極基體模制成一體并充填在導(dǎo)電圖案的凹槽中的絕緣樹脂，其中，凸臺限定導(dǎo)電圖案的表面，所述表面低于充填在導(dǎo)電圖案的凹槽中的絕緣樹脂的表面，并且導(dǎo)電圖案表面與絕緣樹脂表面之間的高度差在1μm和5μm之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的電極工具，其特征在于，絕緣樹脂包括從環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂和聚酰亞胺樹脂中選出的樹脂。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的電極工具，其特征在于，電極基體包括黃銅和奧氏體不銹鋼之一，絕緣層包括環(huán)氧樹脂。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的電極工具，其特征在于，凸臺包括去除了毛刺的凸臺。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的電極工具，其特征在于，導(dǎo)電圖案表面與絕緣樹脂表面之間的高度差在1μm和3μm之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的電極工具，其特征在于，導(dǎo)電圖案表面與絕緣樹脂表面之間的高度差是2μm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的電極工具，其特征在于，導(dǎo)電圖案表面與絕緣樹脂表面之間的高度差是3μm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的電極工具，其特征在于，凸臺具有倒圓的邊緣。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的電極工具，其特征在于，在工件上復(fù)制出的導(dǎo)電圖案沒有凹槽分隔部斷口。
10.一種制造用于電化學(xué)加工的電極工具的方法，包括對電極基體的加工電極表面進行凹槽加工，以形成限定導(dǎo)電圖案的凸臺和凹槽；用絕緣樹脂模制加工電極表面；對絕緣樹脂的表面進行機械拋光，以暴露出導(dǎo)電圖案的凸臺；以及僅對導(dǎo)電圖案的凸臺進行化學(xué)溶解，以使導(dǎo)電圖案表面低于絕緣樹脂表面。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的方法，其特征在于，還包括對在凹槽加工時伸入凹槽中的凸臺邊緣進行倒圓。
12.根據(jù)權(quán)利要求10的方法，其特征在于，僅對導(dǎo)電圖案的凸臺進行化學(xué)溶解包括將導(dǎo)電圖案浸在60％的硝酸溶液中大約2秒鐘，然后用清水清洗導(dǎo)電圖案。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，通過將導(dǎo)電圖案浸入在60％的硝酸溶液中大約2秒鐘并然后用清水清洗導(dǎo)電圖案，來從凸臺上去除毛刺。
14.根據(jù)權(quán)利要求10的方法，其特征在于，僅對導(dǎo)電圖案的凸臺進行化學(xué)溶解以使導(dǎo)電圖案表面低于絕緣樹脂表面包括僅對導(dǎo)電圖案的凸臺進行化學(xué)溶解，以使導(dǎo)電圖案表面低于絕緣樹脂表面1至5μm。
15.根據(jù)權(quán)利要求10的方法，其特征在于，僅對導(dǎo)電圖案的凸臺進行化學(xué)溶解包括通過將導(dǎo)電圖案浸在60％的硝酸溶液中大約3秒鐘并然后用清水清洗導(dǎo)電圖案，來化學(xué)溶解導(dǎo)電圖案的凸臺。
16.一種使用具有從不導(dǎo)電表面凹進的導(dǎo)電圖案表面的電極工具對工件進行機械加工的方法，包括將工件和電極工具相互分開地置于電解質(zhì)溶液中，以限定工件和電極工具之間的間隙；使電解質(zhì)溶液穿過間隙循環(huán)；以及產(chǎn)生通過電極工具到工件的直流電流，以在工件上形成凹槽，所述凹槽對應(yīng)于電極工具上的導(dǎo)電圖案。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其特征在于，將工件和電極工具相互分開地置于電解質(zhì)溶液中以限定工件和電極工具之間的間隙包括將工件和電極工具相互分開地置于電解質(zhì)溶液中，以限定工件和電極工具之間約為20-100μm的間隙。
18.根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其特征在于，使電解質(zhì)溶液穿過間隙循環(huán)包括使電解質(zhì)溶液以8m/s至12m/s的速度穿過間隙循環(huán)。
19.根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其特征在于，將工件和電極工具相互分開地置于電解質(zhì)溶液中以限定工件和電極工具之間的間隙包括將工件和電極工具相互分開地置于電解質(zhì)溶液中，以限定工件和電極工具之間約為20-100μm的間隙；使電解質(zhì)溶液穿過間隙循環(huán)包括使電解質(zhì)溶液以8m/s至12m/s的速度穿過間隙循環(huán)。
20.根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其特征在于，產(chǎn)生通過電極工具到工件的直流電流以在工件上形成凹槽包括將直流脈沖電源的負極端子連接到電極工具上；將直流脈沖電源的正極端子連接到工件上。
全文摘要
一種用于電化學(xué)加工的電極工具包括加工電極表面(1a)。該加工電極表面(1a)包括由通過對電極表面(1a)進行凹槽加工形成的凸臺(3)和凹槽(3a)限定的導(dǎo)電圖案。然后，將加工電極表面(1a)模制上堅硬的絕緣樹脂層(4)，并對該堅硬的絕緣樹脂層(4)的表面進行機械拋光，以暴露出導(dǎo)電圖案的凸臺(3)。對凸臺(3)進行化學(xué)溶解，以得到導(dǎo)電圖案(14)，所述導(dǎo)電圖案的表面形成為低于最終的絕緣樹脂表面(2)，兩個表面之間的高度差在1μm和5μm之間。電極工具能夠?qū)ぜM行精確的表面加工，并能夠長時間使用。
文檔編號B23Q15/00GK1989276SQ200480040833
公開日2007年6月27日 申請日期2004年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月23日
發(fā)明者安田知行, 井出淳 申請人:美蓓亞株式會社