專利名稱：離子注入機特氣導管安裝結構的制作方法
技術領域：
離子注入機特氣導管安裝結構技術領域[0001]本實用新型涉及半導體技術領域，特別是涉及一種離子注入機特氣導管安裝結構。
背景技術：
[0002]離子注入機是集成電路制造前工序中的關鍵設備，離子注入是對半導體表面附近區(qū)域進行摻雜的技術，其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類型。離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進行精確的控制，克服了常規(guī)工藝的限制，提高了電路的集成度、開啟速度、成品率和壽命，降低了成本和功耗。離子注入機廣泛用于摻雜工藝，可以滿足淺結、低溫和精確控制等要求，已成為集成電路制造工藝中必不可少的關鍵裝備。[0003]離子注入機中使用固態(tài)源時，一般先將固態(tài)源氣化后通入起弧室，特氣導管與起弧室底部通過石墨接頭豎直接觸連接，由于特氣導管通向起弧室的過程中有浮力，再加上特氣導管過細，導致電離過程中殘余物通過此豎直的特氣導管很容易掉落到特氣導管底部并累積，從而將特氣導管的接口堵住，生產(chǎn)的氣體無法進入起弧室，最終導致工藝停止。[0004]因此，針對上述技術問題，有必要提供一種新的離子注入機特氣導管安裝結構。實用新型內(nèi)容[0005]有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種不會堵塞的離子注入機特氣導管安裝結構。[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型實施例提供的技術方案如下:[0007]—種離子注入機特氣導管安裝結構，所述離子注入機包括坩堝、起弧室以及連接所述坩堝和起弧室的特氣導管，所述起弧室包括兩對應設置的側(cè)板，所述特氣導管與側(cè)板相連接，所述特氣導管包括與坩堝連接的坩堝特氣導管、與起弧室連接側(cè)板相連的側(cè)板特氣導管、以及連接所述坩堝特氣導管和側(cè)板特氣導管的一個或多個坩堝-側(cè)板特氣導管，所述至少一個坩堝-側(cè)板特氣導管彎曲設有若干呈銳角的圓弧，所述側(cè)板特氣導管彎曲設有若干呈銳角的圓弧。[0008]作為本實用新型的進一步改進，所述側(cè)板特氣導管及坩堝-側(cè)板特氣導管的圓弧弧度設為75°。[0009]作為本實用新型的進一步改進，所述側(cè)板特氣導管、坩堝特氣導管及坩堝-側(cè)板特氣導管分離設置，相鄰的導管相互嵌套設置。[0010]作為本實用新型的進一步改進，所述坩堝-側(cè)板特氣導管的內(nèi)徑等于所述側(cè)板特氣導管和坩堝特氣導管的外徑。[0011]作為本實用新型的進一步改進，所述相鄰的導管相互嵌套的重疊距離設為3mm。[0012]作為本實用新型的進一步改進，所述側(cè)板向外延伸設有側(cè)板鏈接結構，所述側(cè)板特氣導管設于所述側(cè)板鏈接結構內(nèi)部，側(cè)板特氣導管與坩堝-側(cè)板特氣導管相連的一端位于側(cè)板鏈接結構的下表面中央，側(cè)板特氣導管與起弧室相連的另一端位于側(cè)板鏈接結構側(cè)面上。[0013]作為本實用新型的進一步改進，所述側(cè)板鏈接結構設為長方體或正方體，所述側(cè)板鏈接結構的長和寬均為2cm。[0014]作為本實用新型的進一步改進，所述側(cè)板鏈接結構與側(cè)板為一體成型結構設置。[0015]本實用新型的有益效果是:本實用新型通過將特氣導管設為相互嵌套的坩堝特氣導管、側(cè)板特氣導管、及坩堝-側(cè)板特氣導管，特氣導管彎曲設有呈銳角的圓弧，當電離氣體內(nèi)的殘余物流進特氣導管內(nèi)時，殘余物會停留在特氣導管的圓弧處，而不會掉落到特氣導管的底部，有效地避免了特氣導管與坩堝接頭處的堵塞問題；特氣導管分離嵌套設置，結構簡單、制造方便，特氣導管損壞時可單獨更換，節(jié)約了工藝成本。


[0016]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型中記載的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。[0017]圖1為本實用新型一實施方式中離子注入機特氣導管安裝結構的示意圖；[0018]圖2為本實用新型另一實施方式中離子注入機特氣導管安裝結構的示意圖。[0019]其中:10、坩堝；20、起弧室；30、特氣導管；31、坩堝特氣導管；32、側(cè)板特氣導管；33、坩堝-側(cè)板特氣導管；331、第一圓??；332第二圓??；321、第三圓弧。
具體實施方式
[0020]本實用新型公開了一種離子注入機特氣導管安裝結構，離子注入機包括坩堝、起弧室以及連接坩堝和起弧室的特氣導管，起弧室包括兩對應設置的側(cè)板，特氣導管與側(cè)板相連接，其中，特氣導管包括與坩堝連接的坩堝特氣導管、與起弧室連接側(cè)板相連的側(cè)板特氣導管、以及連接坩堝特氣導管和側(cè)板特氣導管的一個或多個坩堝-側(cè)板特氣導管，至少一個坩堝-側(cè)板特氣導管彎曲設有若干呈銳角的圓弧，側(cè)板特氣導管彎曲設有若干呈銳角的圓弧。[0021]本實用新型通過將特氣導管設為相互嵌套的坩堝特氣導管、側(cè)板特氣導管、及坩堝-側(cè)板特氣導管，特氣導管彎曲設有呈銳角的圓弧，當電離氣體內(nèi)的殘余物流進特氣導管內(nèi)時，殘余物會停留在特氣導管的圓弧處，而不會掉落到特氣導管的底部，有效地避免了特氣導管與坩堝接頭處的堵塞問題。[0022]為了使本技術領域的人員更好地理解本實用新型中的技術方案，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都應當屬于本實用新型保護的范圍。[0023]參圖1所示，本實用新型的公開了一種離子注入機特氣導管安裝結構，該離子注入機包括坩堝10、起弧室20以及連接坩堝10和起弧室20的特氣導管30，起弧室20包括兩對應設置的側(cè)板(未圖示)，特氣導管30與側(cè)板相連接，其中，本實用新型中的特氣導管30包括坩堝特氣導管31、側(cè)板特氣導管32、以及一個或多個坩堝-側(cè)板特氣導管33，優(yōu)選地，在本實施方式中只設有一個坩堝-側(cè)板特氣導管33。其中坩堝特氣導管31與坩堝10相連，側(cè)板特氣導管32與起弧室20相連，坩堝-側(cè)板特氣導管33連接上述坩堝特氣導管31與側(cè)板特氣導管32。[0024]本實用新型中的坩堝-側(cè)板特氣導管33為彎曲設置，坩堝-側(cè)板特氣導管33設有若干圓弧，如參圖1所示，在本優(yōu)選實施方式中，坩堝-側(cè)板特氣導管33設有兩端相互連通的第一圓弧331和第二圓弧332，第一圓弧331和第二圓弧332均呈銳角設置，第一圓弧331的另一端與側(cè)板特氣導管32豎直連通，第二圓弧332的另一端與坩堝特氣導管31豎直連通。本實用新型中第一圓弧331和第二圓弧332的弧度設為銳角，優(yōu)選地，為了保證電離氣體順暢的通過特氣導管，在本實施方式中將第一圓弧331和第二圓弧332的弧度設為75°，坩堝-側(cè)板特氣導管33總長度設為5cm。當起弧室10內(nèi)電離產(chǎn)生殘余物時，殘余物可能會流入特氣導管中，如此設計，殘余物流入特氣導管后，由于設計了若干呈銳角的圓弧結構，殘余物會停留在特氣導管的圓弧處，而不會掉落到特氣導管的底部，有效地避免了特氣導管與坩堝接頭處的堵塞問題。[0025]另外，本實用新型中將側(cè)板特氣導管32上也相應地設有了第三圓弧321，第三圓弧321的弧度也設為銳角，優(yōu)選地，本實施方式中也設為75°。如此設置可以保證電離氣體水平進入起弧室20。坩堝特氣導管31豎直設置，在其他實施方式中，坩堝特氣導管31也可以設為帶有銳角圓弧的結構。[0026]進一步地，本實用新型中的側(cè)板特氣導管32、坩堝特氣導管31及坩堝-側(cè)板特氣導管33分離設置，相鄰的導管相互嵌套設置。坩堝-側(cè)板特氣導管33的內(nèi)徑等于側(cè)板特氣導管32和坩堝特氣導管31的外徑，如此，坩堝-側(cè)板特氣導管33可以密封嵌套于側(cè)板特氣導管32和坩堝特氣導管31內(nèi)，優(yōu)選地，坩堝-側(cè)板特氣導管33與側(cè)板特氣導管32和坩堝特氣導管31嵌套部分長度設為3_，為了保證特氣導管的密封性，還可以在嵌套部外側(cè)使用密封膠等進一步密封。[0027]本實用新型離子注入機的工藝流程具體為:[0028]在坩堝10內(nèi)使固態(tài)源氣化，氣化后的氣體依次經(jīng)過坩堝特氣導管31、 甘堝-側(cè)板特氣導管33及側(cè)板特 氣導管32，最后進入起弧室20 ；[0029]起弧室20內(nèi)的發(fā)射電子燈絲陰極在強電流情況下加熱溫度升高，當溫度高于材料發(fā)射溫度時，陰極表面發(fā)射電子，電子在燈絲和起弧室電場作用下向陽極和反射極方向運動，由于在燈絲陽極與反射板之間有一磁場，磁場方向與引出縫方向平行，因此，自由電子在磁場洛倫茲力作用下作螺旋運動而有效增加運動路徑。電子與起弧室內(nèi)氣體分子發(fā)生碰撞，當電子的動能大于氣體分子的電離能時，使部分氣體分子電離，電離后繼續(xù)完成離子注入的步驟。[0030]參圖2所示，在本實用新型的另一實施方式中，與第一實施方式相同地，本實施例中離子注入機包括坩堝10、起弧室20以及連接坩堝10和起弧室20的特氣導管30，起弧室20包括兩對應設置的側(cè)板(未圖示)，特氣導管30與側(cè)板相連接，其中，特氣導管30包括坩堝特氣導管31、側(cè)板特氣導管32、以及一個或多個坩堝-側(cè)板特氣導管33，優(yōu)選地，在本實施方式中只設有一個坩堝-側(cè)板特氣導管33。其中坩堝特氣導管31與坩堝10相連，側(cè)板特氣導管32與起弧室20相連，坩堝-側(cè)板特氣導管33連接上述坩堝特氣導管31與側(cè)板特氣導管32。[0031]坩堝-側(cè)板特氣導管33為彎曲設置，坩堝-側(cè)板特氣導管33設有若干圓弧，如參圖1所示，在本優(yōu)選實施方式中，坩堝-側(cè)板特氣導管33設有兩端相互連通的第一圓弧331和第二圓弧332，第一圓弧331和第二圓弧332均呈銳角設置，第一圓弧331的另一端與側(cè)板特氣導管32豎直連通，第二圓弧332的另一端與坩堝特氣導管31豎直連通。本實用新型中第一圓弧331和第二圓弧332的弧度設為銳角，優(yōu)選地，為了保證電離氣體順暢的通過特氣導管，在本實施方式中將第一圓弧331和第二圓弧332的弧度設為75°，坩堝_側(cè)板特氣導管33總長度設為5cm。當起弧室10內(nèi)電離產(chǎn)生殘余物時，殘余物可能會流入特氣導管中，如此設計，殘余物流入特氣導管后，由于設計了若干呈銳角的圓弧結構，殘余物會停留在特氣導管的圓弧處，而不會掉落到特氣導管的底部，有效地避免了特氣導管與坩堝接頭處的堵塞問題。[0032]進一步地，在本實施方式中，側(cè)板特氣導管32設于側(cè)板鏈接結構40中，側(cè)板鏈接結構40為一個長方體或正方體，優(yōu)選地，側(cè)板鏈接結構40的長和寬均為2cm，側(cè)板特氣導管32的一端位于側(cè)板鏈接結構40的底面中央部位，側(cè)板特氣導管32的另一端位于側(cè)板鏈接結構40 —側(cè)面中央部位，側(cè)板鏈接結構40可以起到固定特氣導管的作用，從而保證了氣體從特氣導管中流出時的方向。本實用新型中的側(cè)板鏈接結構40與側(cè)板為一體成型結構設置，結構簡單且制造方便，在其他實施方式中也可以設為可拆卸式結構。[0033]由以上技術方案可以看出，本實用新型通過將特氣導管設為相互嵌套的坩堝特氣導管、側(cè)板特氣導管、及坩堝-側(cè)板特氣導管，特氣導管彎曲設有呈銳角的圓弧，當電離氣體內(nèi)的殘余物流進特氣導管內(nèi)時，殘余物會停留在特氣導管的圓弧處，而不會掉落到特氣導管的底部，有效地避免了特氣導管與坩堝接頭處的堵塞問題；[0034]特氣導管分離嵌套設置，結構簡單、制造方便，特氣導管損壞時可單獨更換，節(jié)約了工藝成本。[0035]對于本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實用新型內(nèi)。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。[0036]此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經(jīng)適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。
權利要求1.一種離子注入機特氣導管安裝結構，所述離子注入機包括坩堝、起弧室以及連接所述坩堝和起弧室的特氣導管，所述起弧室包括兩對應設置的側(cè)板，所述特氣導管與側(cè)板相連接，其特征在于，所述特氣導管包括與坩堝連接的坩堝特氣導管、與起弧室連接側(cè)板相連的側(cè)板特氣導管、以及連接所述坩堝特氣導管和側(cè)板特氣導管的一個或多個坩堝-側(cè)板特氣導管，所述至少一個坩堝-側(cè)板特氣導管彎曲設有若干呈銳角的圓弧，所述側(cè)板特氣導管彎曲設有若干呈銳角的圓弧。
2.根據(jù)權利要求1所述的離子注入機特氣導管安裝結構，所述側(cè)板特氣導管及坩堝-側(cè)板特氣導管的圓弧弧度設為75°。
3.根據(jù)權利要求1所述的離子注入機特氣導管安裝結構，其特征在于，所述側(cè)板特氣導管、坩堝特氣導管及坩堝-側(cè)板特氣導管分離設置，相鄰的導管相互嵌套設置。
4.根據(jù)權利要求3所述的離子注入機特氣導管安裝結構，其特征在于，所述坩堝-側(cè)板特氣導管的內(nèi)徑等于所述側(cè)板特氣導管和坩堝特氣導管的外徑。
5.根據(jù)權利要求3所述的離子注入機特氣導管安裝結構，其特征在于，所述相鄰的導管相互嵌套的重疊距離設為3mm。
6.根據(jù)權利要求1所述的離子注入機特氣導管安裝結構，其特征在于，所述側(cè)板向外延伸設有側(cè)板鏈接結構，所述側(cè)板特氣導管設于所述側(cè)板鏈接結構內(nèi)部，側(cè)板特氣導管與坩堝-側(cè)板特氣導管相連的一端位于側(cè)板鏈接結構的下表面中央，側(cè)板特氣導管與起弧室相連的另一端位于側(cè)板鏈接結構側(cè)面上。
7.根據(jù)權利要求1所述的離子注入機特氣導管安裝結構，其特征在于，所述側(cè)板鏈接結構設為長方體或正方體，所述側(cè)板鏈接結構的長和寬均為2cm。
8.根據(jù)權利要求7所述的離子注入機特氣導管安裝結構，其特征在于，所述側(cè)板鏈接結構與側(cè)板為一體成型結構設置。
專利摘要本實用新型公開了一種離子注入機特氣導管安裝結構，離子注入機包括坩堝、起弧室以及連接坩堝和起弧室的特氣導管，起弧室包括兩對應設置的側(cè)板，特氣導管與側(cè)板相連接，其中，特氣導管包括坩堝特氣導管、側(cè)板特氣導管、以及連接坩堝特氣導管和側(cè)板特氣導管的坩堝-側(cè)板特氣導管，坩堝-側(cè)板特氣導管彎曲設有若干呈銳角的圓弧，側(cè)板特氣導管彎曲設有若干呈銳角的圓弧。本實用新型中當電離氣體內(nèi)的殘余物流進特氣導管內(nèi)時，殘余物會停留在特氣導管的圓弧處，而不會掉落到特氣導管的底部，有效地避免了特氣導管與坩堝接頭處的堵塞問題。
文檔編號H01J37/317GK202996767SQ20122062211
公開日2013年6月12日 申請日期2012年11月22日 優(yōu)先權日2012年11月22日
發(fā)明者欒廣慶 申請人:無錫華潤上華科技有限公司